JP6173818B2 - バルブ - Google Patents

Description

本発明は、真空バルブ等のバルブに関する。

本発明に関連する真空バルブが提案されている（特許文献１〜４参照）。

アメリカ合衆国特許公開公報 ＵＳ２００４／００７９９１５Ａ１ 国際公開公報 ＷＯ２０１１／１３７６９１Ａ１ アメリカ合衆国特許公報 ＵＳ４１２９３２８Ａ 国際公開公報 ＷＯ２０１１／０９６６１３Ａ１

本発明は、バルブプレートが大きな温度変化に曝されても元の状態を維持しうるバルブを提供することを目的とする。

本発明は、開口部を閉塞するためのバルブプレートと、前記開口部を囲んでいるバルブシートに対して前記バルブプレートを押し付けるための複数のピストンシリンダ機構とを備え、少なくとも１つの前記ピストンシリンダ機構が、第１構成部材としての少なくとも１つのシリンダと、前記シリンダにおいて可動に配置されている第２構成部材としてのピストンとを備え、前記ピストンシリンダ機構の前記第１構成部材および前記第２構成部材のうち一方の構成部材が前記バルブプレートに対して固定されている真空バルブ等のバルブに関する。

本発明のバルブは、前記ピストンシリンダ機構の前記第１構成部材および前記第２構成部材のうち少なくとも１つまたは他方の構成部材が、隣接する２つのピストンシリンダ機構の間隔に対して平行な方向について、前記バルブの少なくとも１つの支持要素に対して変位可能に設けられていることを特徴とする。

本発明の基本的思想によれば、少なくとも１つのピストンシリンダ機構の第１構成部材がバルブプレートに対して固定されて配置され、当該ピストンシリンダ機構の第２構成部材が少なくとも１つの支持要素に対して変位可能に設けられている。これにより、バルブプレートが温度に応じて膨張または収縮した場合、隣接する複数のピストンシリンダ機構の間隔が変化することが可能になる。ピストンシリンダ機構の少なくとも１つの構成部材が支持要素に対して変位可能に設けられていることにより、バルブプレートが温度に応じて膨張または収縮することに起因する緊張またはがたつきが防止される。適当な密封の観点から、バルブシートが存在している平面においてバルブプレートのひずみが生じない。ピストンシリンダ機構の構成部材のうち、少なくとも１つの支持要素に対して変位可能な構成部材が、当該ピストンシリンダ機構のピストンであってもよく、シリンダであってもよい。他方の構成部材はバルブプレートに対して固定されている。当該他方の構成部材が指定位置においてバルブプレートに対して固定されていることが好ましい。これは、バルブプレートが温度に応じて膨張または収縮した場合にバルブプレートに対して固定されているピストンシリンダ機構の構成部材が必然的に膨張または収縮することを意味する。少なくとも２つの隣接するピストンシリンダ機構の間隔に対して平行な方向について他方の構成部材の支持要素に沿った可動性または変位可能性が付与される。

圧力印加に応じて閉塞時に開口部を完全に密閉するのに適しているようにバルブプレートが設計され、または、シール部材がバルブプレートに設けられていることが好ましい。バルブプレートの設計およびそのシール部材は、押圧領域および必要な圧力によって定められる。

バルブプレートにより閉塞される開口部は、これを囲むバルブシートと同様にバルブの構成要素であることが好ましい。バルブシートおよび開口部はバルブの構成要素ではない他の部分であってもよい。

支持要素が少なくとも部分的にロールまたはロッドにより構成されていてもよい。安定な構成の観点から、ピストンシリンダ機構の少なくとも１つの構成部材が、隣接するピストンシリンダ機構の間隔に対して平行な方向について、複数の支持要素に対して可動または変位可能に設けられていることが好ましい。

本発明において、気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体をシリンダの作用空間に導入するまたはシリンダの作用空間から導出するための通路系を支持要素が利用してもよい。当該二重機能の観点から、前記複数のピストンシリンダ機構のうち少なくとも１つの前記シリンダの作用空間に対して連通する、気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体用の少なくとも１つの連結通路が前記支持要素に配置されていることが好ましい。

前記複数のピストンシリンダ機構のうち少なくとも１つが、前記ピストンの相互に反対する側に配置され、かつ、気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体が充填されるように構成されている２つの作用空間を備えていることが好ましい。一方の前記作用空間が大気に連通し、他方の前記作用空間が気相状態または液相状態の圧縮媒体が充填されるように構成されていることが好ましい。後者（他方の作用空間が気相状態または液相状態の圧縮媒体が充填されるように構成されていること）は、気相状態または液相状態の媒体が、大気圧または標準気圧においてのみ、当該作用空間ならびにその導入通路および導出通路に存在することを意味する。シリンダにおいてピストンが動いた際に作用空間から大気に空気が流れることができるように、当該作用空間が導入通路および導出通路のうち一方または両方を通じて大気に対して開放されている。他方の作用空間は、バルブを開閉するため、気相状態または液相状態の媒体が圧縮媒体として流入かつ流出するような作用空間を利用する。位置復元の観点から、前記バルブシートから前記バルブプレートを離間させるための復元ばねが、大気に連通する前記一方の作用空間に配置されていることが好ましい。

前記支持要素が、少なくとも１つのまたは中央に配置されている前記ピストンシリンダ機構に対して固定され、かつ、少なくとも１つまたはすべての前記他方のピストンシリンダ機構の前記他方の構成部材のそれぞれが、少なくとも隣接しあう前記ピストンシリンダ機構の間隔に対して平行な方向について、前記支持要素に対して変位可能に配置されていることが好ましい。換言すると、一または複数の支持要素が、一のピストンシリンダ機構、好ましくは中央のピストンシリンダ機構に対して固定されている。他のピストンシリンダ機構の構成部材のうち、支持要素に対して可動に設けられている構成部材は、バルブプレートの温度に応じた膨張または収縮に応じて、一または複数の支持要素に沿って摺動することができる。気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体の導入通路および導出通路のうち一方または両方が、中央のピストンシリンダ機構を介して一または複数の支持要素に対して固定される。前記一方のピストンシリンダ機構を通じた前記他方のピストンシリンダ機構の前記他方の作用空間に対する媒体導出通路、および、前記一方の作用空間からの媒体導出通路のうち一方または両方が、前記支持要素に対して固定されているまたは連通していることが好ましい。

ピストンシリンダ機構による、バルブプレートをバルブシートに対して押し付けるための目標値に対して十分に高い圧力が用いられる。前記ピストンシリンダ機構により前記バルブプレートが前記バルブシートに対して押し付けられる際、対向シートに対して突出可能に構成されている、前記バルブの少なくとも１つの対向突出部が前記ピストンシリンダ機構に配置されていることが好ましい。対向突出部が他のバルブプレートまたはその均等物に設けられ、対応する対向バルブシートを有する開口部を密封状態に閉塞するために用いられてもよい。

バルブプレートが、ピストンシリンダ機構によって押圧方向についてバルブシートに対して押し付けられるとともに、横駆動装置によって押圧方向に対して垂直な方向等、押圧方向とは異なる２つの方向について移動可能に構成されていることが好ましい。当該構成のバルブはいわゆるＬバルブとして知られている。Ｌバルブによれば、バルブプレートが開口部を閉塞するため、開位置（完全に開放する位置）から、開口部を覆う一方で密封していない中間位置まで動かされる。その後、閉塞行程の第２部分において、ピストンシリンダ機構によりバルブプレートが押圧方向について開口部周囲のバルブシートに対して押し付けられて当該開口部が密閉される。開放行程は上記とは逆の手順で実現される。公知技術である電動式、気圧式、液圧式（油圧式）またはその他の駆動装置が横駆動装置として採用される。バルブプレートがピストンシリンダ機構によって押圧方向に駆動されるのと同様に、バルブプレートが開口部を完全に開放している開位置と、中間位置との間で直線的に駆動されることが好ましい。バルブプレートが横駆動装置によって開位置と中間位置との間で揺動されてもよい。

ドイツ連邦共和国特許公開公報 ＤＥ １０ ２００７ ０３０ ００６ Ａ１に開示されているように、バルブプレートがバルブシートに対して押し付けられる際、横駆動装置が押圧方向に動かされる。

シリンダの作用空間に連通する一または複数の連結通路が支持要素に設けられている場合、ピストンシリンダ機構の他方の構成部材（たとえばシリンダ）が長穴−穴の組合せまたは長穴−長穴の組合せを通じて支持要素の連結通路に対して連結されていてもよい。これにより、当該構成部材またはシリンダが支持要素に沿って動いた際、気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体が連結通路からシリンダの作用空間に流入または流出することが妨げられないことが保証される。長穴−穴の組合せまたは長穴−長穴の組合せが設けられている領域が、適当なシール部材によって外周が密封されていてもよい。当該構成によれば、シリンダに長穴が設けられ、かつ、支持要素に穴または他の長穴が設けられ、あるいは、支持要素に長穴が設けられ、かつ、シリンダに穴または他の長穴が設けられている。

前記のバルブがいわゆる真空技術において用いられる真空バルブとして用いられてもよい。真空状態または相当の負圧状態において実施される製造、洗浄またはその他の工程が真空技術に該当する。当該技術分野において、閉塞対象であるプロセスチャンバの開口部に真空バルブが採用される。これにより、特に気相状態の媒体の流入および流出の制御が可能になり、さらに、処理対象物などの物のプロセスチャンバへの出し入れが可能なる。

当業者にとって、真空技術は真空１［ｍｂａｒ］または１００［Ｐａ］より低い圧力状態における技術を意味する。

本発明のバルブの様々な特徴および詳細は、次の図面に基づいて説明される。

本発明の一実施形態としての真空バルブの第１の斜視図。 本発明の一実施形態としての真空バルブの第２の斜視図。 媒体接続部の領域における真空バルブの第１の仮想的断面図。 媒体接続部の領域における真空バルブの第２の仮想的断面図。 バルブハウジングが省略されている真空バルブの第１の斜視図。 バルブハウジングが省略されている真空バルブの第２の斜視図。 バルブプレートの背面ならびにピストンシリンダ機構および支持要素の構成図。 図７のピストンシリンダ機構を通る仮想的断面図。 図７のＡ−Ａ線に沿った断面図。 図７のＢ−Ｂ線に沿った断面図。 図７のＥ−Ｅ線に沿った断面図。 図７のＤ−Ｄ線に沿った断面図。 図７のＣ−Ｃ線に沿った断面図。 本実施形態のピストンシリンダ機構の切欠説明図。

図１は、バルブプレート２により開口部３が閉じられている状態における真空バルブの形態での本発明のバルブ１の斜視図である。図２は、バルブプレート２が開位置にあって開口部３が完全に開放されている状態における真空バルブ１の斜視図である。他の実施形態において、バルブプレート２が開位置にある際に、開口部３が部分的にのみ開放されていてもよい。本実施形態では、開口部３およびその周囲のバルブシート６がバルブハウジング２２に設けられ、バルブ１の一部を構成する。横駆動装置１９および媒体接続部２０が駆動支持プレート２８を介してバルブハウジング２２に設けられている。横駆動装置１９は、バルブプレート２が開口部３を覆う一方でバルブシート６に当接していない中間位置と、図２に示されている開位置との間で、バルブプレート２を横駆動方向４５について駆動する機能を有する。横駆動装置１９には公知の任意の直線駆動装置が設けられていてもよい。横駆動装置１９は、気圧式または液圧式（油圧式）のピストンシリンダ機構、電動式の直線駆動装置、ラック機構であってもよい。バルブプレート２を開位置と中間位置との間で揺動させるように横駆動装置１９が構成されていてもよい。媒体接続部２０は、図３および図４に示されているように、本質的に、気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体をピストンシリンダ機構４および５に流入またはピストンシリンダ機構４および５から流出させるための結合部である。

図３および図４は、媒体接続部２０の領域における真空バルブ１の鉛直断面図である。

本実施形態では、バルブプレート２を押圧方向４６についてバルブシート６に向かって中間位置から閉位置に駆動する、気圧式の、すなわち空気によって作動するピストンシリンダ機構４および５が採用されている。液圧式（油圧式）の、すなわち液体によって作動するピストンシリンダ機構４および５が採用されてもよい。媒体接続部２０の圧力通路２４は、適当な圧力源によってピストンシリンダ機構４および５の作用空間１４（詳細は後述）に圧力を作用させる機能を有する。さらに、圧力通路２４を通じて作用空間１４の圧力が低下される。媒体接続部２０の大気通路２５により、ピストンシリンダ機構４および５の作用空間１５が大気に直接的に連通する。これにより、作用空間１５は永久的に大気圧または標準気圧に維持される。

圧力通路２４は、適当な分配管ブロック２１および中央のピストンシリンダ機構４を介して支持要素１０を通る連結通路１２に対して連結されている。連結通路１２は、長穴３０−穴３５の組合せおよび連結穴３７を通じてピストンシリンダ機構５の作用空間１４に連通している。大気通路２５は、適当な分配管ブロック２１および中央のピストンシリンダ機構４を介して支持要素１１を通る連結通路１３に対して連結されている。連結通路１３は、長穴３１−穴３６の組合せおよび連結穴３８を通じて、復元ばね１６が配置されているピストンシリンダ機構５の作用空間１５に連通している。圧力または大気との連結態様は、後述の図面に基づいてさらによく理解されるであろう。

図３および図４からよくわかるように、分配管ブロック２１の下側に、シール部材２３を有するバルブプレート２と、後側に支持要素１０、１１および対向突出部１７を有するピストンシリンダ機構４とが配置されている。図３においてバルブプレート２は完全開放位置にあって、バルブハウジング２２の開口部３が完全に貫通している状態である。図４においてバルブプレート２は中間位置にあって、開口部３を覆う一方でそのシール部材２３がバルブシート６に対して押し付けられていない。図４に示されている状態からバルブプレート２をバルブシート６に対して密封して押し付けるため、ピストンシリンダ機構４および５の作用空間１４に対して空気が供給され、これによりバルブプレート２がそのシール部材２３とともにバルブシート６に対して押し付けられ、ピストンシリンダ機構４および５のシリンダ７がその対向突出部１７とともにバルブハウジング２２の対向シート１８に対して押し付けられる。これにより、バルブプレート２が、本実施形態では横駆動方向４５に対して垂直な押圧方向４６に動かされる。ピストンシリンダ機構４および５のシリンダ７は押圧方向４６の反対方向に動かされる。バルブプレート２は、シール部材２３がバルブシート６に対して押し付けられている閉位置と、図３に示されている開位置との間で、閉塞行程と同様に開放行程においてＬ字形状の軌道に沿って動く。

本実施形態によれば、バルブプレート２がバルブシート６に対して押し付けられ、かつ、シリンダ７が横駆動装置１９を有する横駆動機構の対向シート１８に対して押し付けられる際、駆動プレート２８と同様に駆動ロッド２７と、媒体接続部２０とが、押圧方向４６に対して平行な方向について並行して移動する。これは、バルブプレート２をバルブシート６に対して均等に当接させて高い密封性を確保する観点から、バルブプレート２の傾動を生じさせないように押圧方向４６に対して平行な該当部材の並行移動を実現する。駆動プレート２８およびこれに固定されている部材の押圧方向４６に対して平行な並行移動を可能とするため、図５および図６に示されている、バルブハウジング２２に対して駆動プレート２８を相対的に変位させる直線案内機構２６が駆動プレート２８に配置されている。

図５および図６においてバルブハウジング２２が省略されることにより、バルブハウジング２２に対するバルブ１の構成部材の配置態様がよくわかる。駆動支持プレート２８において直線案内機構２６に隣接する領域において、図６において特によくわかるように、中央のピストンシリンダ機構４と、そのそばに支持要素１０および１１に対して変位可能に配置されているピストンシリンダ機構５との配置態様が示されている。ピストンシリンダ機構５のシリンダ７が支持要素１０および１１に対して変位可能に配置されているので、温度に応じたバルブプレート２の伸張または収縮に際して、方向９について当該シリンダ７の隣接するピストンシリンダ機構４または５に対する間隔が変化しうる。これにより、バルブプレート２の温度に応じた膨張または変形が防止される。本実施形態では支持要素１０および１１がロールにより構成され、その内部にピストンシリンダ機構５のシリンダ７の作用空間１４または１５に対して連通する連結通路１２または１３が通っている。支持要素１０および１１は、中央のピストンシリンダ機構４に対して固定されている。

図７はバルブプレート２の背面およびそこに配置されているピストンシリンダ機構４および５を示している。支持要素１０および１１に対するシリンダ７およびそこに設けられている対向突出部１７の配置がよくわかる。図８は、シリンダ７の作用空間１５および支持要素１０および１１の領域における、図７に示されている配置の鉛直断面を示している。ピストンシリンダ機構５のシリンダ７を。支持要素１０および１１に対して変位可能に配置させるための摺動シール部材２９が配置されている。摺動シール部材２９は、支持要素１０および１１に対して当該シリンダ７が方向９について変位することを可能とし、かつ、ピストンシリンダ機構５により支持要素１０および１１が案内される開口部を外側で離れた位置で密封する。中央のピストンシリンダ機構４において支持要素１０および１１は固定シール部材４７によりシリンダ７に密封して固定されている。

図８に示されている断面において、支持要素１０における長穴３０および支持要素１１における長穴３１がよくみえる。支持要素１０における長穴３０は、ピストンシリンダ機構４および５のピストン８における穴３５と相互連携する。支持要素１１における長穴３１は、ピストンシリンダ機構４および５のピストン８における穴３６と相互連携する。長穴３０−穴３５の組合せまたは長穴３１−穴３６の組合せにより、温度に応じてシリンダ７が支持要素１０および１１に対して動いた際に、ピストンシリンダ機構５の作用空間１４および１５の間の流通開口部、ならびに、支持要素１０および１１の連結通路１２および１３が遮断されることが確実に回避される。

図８に示されている中央のピストンシリンダ機構４のシリンダ７の領域の断面において、通気連結通路３２および圧力連結通路３３が視認できる。圧力連結通路３３は、媒体接続部２０の圧力通路２４と、支持要素１０の連結通路１２とを連通させる。通気連結通路３２は支持要素１１の連結通路１３を、媒体接続部２０の大気通路２５に対して連結する。一方側における通気連結通路３２および圧力連結通路３３の連結、ならびに、他方側における圧力通路２４および大気通路２５の連結は、これらの間に配置されている分配管ブロック２１により実現される。

図９は図７のＡ−Ａ線に沿った支持要素１１の断面図である。図１０は図７のＢ−Ｂ線に沿った支持要素１０の断面図である。

図１１はピストンシリンダ機構４およびそこに配置されているバルブプレート２の鉛直断面図である。ピストン８が固定ピン３４によりバルブプレート２に対して固定されていることがわかる。ピストンシリンダ機構４のピストン８がバルブプレート２に対して指定位置に配置されるように固定関連技術が適用される。ピストン８はシリンダ７の内部において押圧方向４６について変位可能に配置されている。ピストン８はシリンダ７の両方の作用空間１４および１５のピストンシール部材３９と相互に摺接しあう。バルブプレート２をバルブシート６に対して押し付けるため、作用空間１４は、連結穴３７、長穴３５−穴３６の連続通路、および支持要素１１に設けられている連結通路１２を通じて空気の作用を受ける。これにより、大気圧の空気が、作用空間１５から連結穴３８および長穴３１−穴３６の連続通路を通じて他方の支持要素１１の連結通路１３に流出する。ベロウズ４０が作用空間１４および１５を遮断している。作用空間１５の内部には、作用空間１４の圧力が低下した場合、バルブシート６からバルブプレートを離間させて元の位置に戻すための復元ばね１６が配置されている。作用空間１４から真空吸引する圧力手段が採用された場合、復元ばね１６は基本的に省略されてもよい。

図１２は図７のＤ−Ｄ線に沿った中央のピストンシリンダ機構４の断面図である。当該領域には、シリンダ７の内部において変位する際のピストン８を直線的に案内する案内ピン４４が設けられている。図１２には、ピストンシリンダ機構４および５をバルブプレートに関アイクに位置合わせするためのシリンダ蓋部４３の湾曲部４１も示されている。

図１３は支持要素１０および１１に対して変位可能に配置されているピストンシリンダ機構５の断面図である。これは、図１１に示されている中央のピストンシリンダ機構４の該当部分に基本的に対応している。ピストンシリンダ機構５またはそのシリンダ７が、基本的にさまざまな形態で、摺動シール部材２９（図１３では開示されていないが）によって支持要素１０および１１に対して変位可能に配置される。

図１４にはピストンシリンダ機構５が一部切り欠かれて露出されて示されている。摺動シール部材２９の大部分が視認できる。摺動シール部材２９は、突出リングまたはシールリングに連続して設けられていることが好ましい。本実施形態のバルブを構成するねじ４２が視認できる。ピストン８において復元ばね１６が配置される袋穴４８が視認できる。

ピストンシリンダ機構４および５のピストン８がバルブプレート２の指定位置に固定されている本発明の実施形態が図面に示されている。ピストンシリンダ機構５のシリンダ７が支持要素１０および１１に対して変位可能に配置されている。当該構成が変更されてもよいことはもちろんである。すべてのピストンシリンダ機構４および５のシリンダ７がバルブプレート２の指定位置に固定され、かつ、ピストンシリンダ機構５のピストン８が支持要素１０および１１のうち少なくとも一方に対して可動または変位可能に配置されていてもよい。気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体が支持要素又はこれに連結されている連結通路を通じて各ピストンシリンダ機構の作用空間１４および１５に流通する必要はない。ピストンシリンダ機構に２つの作用空間が設けられている必要はない。

１‥バルブ、２‥バルブプレート、３‥開口部、４‥ピストンシリンダ機構、５‥ピストンシリンダ機構、６‥バルブシート、７‥シリンダ、８‥ピストン、９‥方向、１０‥支持要素、１１‥支持要素、１２‥連結通路、１３‥連結通路、１４‥作用空間、１５‥作用空間、１６‥復元ばね、１７‥対向突出部、１８‥対向シート、１９‥横駆動装置、２０‥媒体接続部、２１‥分配管ブロック、２２‥バルブハウジング、２３‥シール部材、２４‥圧力通路、２５‥大気連通路、２６‥直線案内機構、２７‥駆動ロッド、２８‥駆動支持プレート、２９‥摺動シール部材、３０‥長穴、３１‥長穴、３２‥通気連結通路、３３‥圧力連結通路、３４‥固定ピン、３５‥穴、３６‥穴、３７‥連通穴、３８‥連通穴、３９‥ピストンシール部材、４０‥べロウズ、４１‥湾曲部、４２‥固定ネジ、４３‥シリンダ蓋部、４４‥案内ピン、４５‥横駆動方向、４６‥押圧方向、４７‥押圧シール部材、４８‥袋穴。

Claims (10)

1. 開口部（３）を閉塞するためのバルブプレート（２）と、前記開口部（３）を囲んでいるバルブシート（６）に対して前記バルブプレート（２）を押し付けるための複数のピストンシリンダ機構（４）（５）とを備え、少なくとも１つの前記ピストンシリンダ機構（５）が、第１構成部材としての少なくとも１つのシリンダ（７）と、前記シリンダ（７）において可動に配置されている第２構成部材としてのピストン（８）とを備え、前記ピストンシリンダ機構（５）の前記第１構成部材および前記第２構成部材のうち一方の構成部材が前記バルブプレート（２）に対して固定されているバルブ（１）であって、
   前記ピストンシリンダ機構（５）の前記第１構成部材および前記第２構成部材のうち少なくとも１つまたは他方の構成部材が、隣接する２つのピストンシリンダ機構（４）（５）の間隔に対して平行な方向（９）について、前記バルブ（１）の少なくとも１つの支持要素（１０）（１１）に対して変位可能に設けられていることを特徴とするバルブ。
2. 請求項１記載のバルブにおいて、前記支持要素（１０）（１１）が少なくとも部分的にロールまたはロッドにより構成されていることを特徴とするバルブ。
3. 請求項１または２記載のバルブにおいて、前記ピストンシリンダ機構（５）の前記少なくとも１つまたは他方の構成部材が、隣接する２つのピストンシリンダ機構（４）（５）の間隔に対して平行な方向（９）について、複数の支持要素（１０）（１１）に対して可動または変位可能に設けられていることを特徴とするバルブ。
4. 請求項１〜３のうちいずれか１つに記載のバルブにおいて、前記複数のピストンシリンダ機構（４）（５）のうち少なくとも１つの前記シリンダ（７）の作用空間（１４）（１５）に対して連通する、気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体用の少なくとも１つの連結通路（１２）（１３）が前記支持要素（１０）（１１）に設けられていることを特徴とするバルブ。
5. 請求項１〜４のうちいずれか１つに記載のバルブにおいて、前記複数のピストンシリンダ機構（４）（５）のうち少なくとも１つが、前記ピストン（８）の相互に反対する側に配置され、かつ、気相状態または液相状態の媒体または圧縮媒体が充填されるように構成されている２つの作用空間（１４）（１５）を備えていることを特徴とするバルブ。
6. 請求項５記載のバルブにおいて、一方の前記作用空間（１５）が大気に連通し、他方の前記作用空間（１４）が気相状態または液相状態の圧縮媒体が充填されるように構成されていることを特徴とするバルブ。
7. 請求項６記載のバルブにおいて、前記バルブシート（６）から前記バルブプレート（２）を離間させるための復元ばね（１６）が、大気に連通する前記一方の作用空間（１５）に配置されていることを特徴とするバルブ。
8. 請求項１〜７のうちいずれか１つに記載のバルブにおいて、前記支持要素（１０）（１１）が、少なくとも１つのまたは中央に配置されている前記ピストンシリンダ機構（４）に対して固定され、かつ、少なくとも１つまたはすべての前記他方のピストンシリンダ機構（５）の前記他方の構成部材のそれぞれが、少なくとも隣接しあう前記ピストンシリンダ機構（４）（５）の間隔に対して平行な方向（９）について、前記支持要素（１０）（１１）に対して変位可能に配置されていることを特徴とするバルブ。
9. 請求項８記載のバルブにおいて、前記一方のピストンシリンダ機構（４）を通じた前記他方のピストンシリンダ機構（５）の前記他方の作用空間（１４）に対する媒体導入通路、および、前記一方の作用空間（１５）からの媒体導出通路のうち一方または両方が、前記支持要素（１０）（１１）に対して固定されているまたは連通していることを特徴とするバルブ。
10. 請求項１〜９のうちいずれか１つに記載のバルブにおいて、前記ピストンシリンダ機構（４）（５）により前記バルブプレート（２）が前記バルブシート（６）に対して押し付けられる際、対向シート（１８）に対して突出可能に構成されている、前記バルブ（１）の少なくとも１つの対向突出部（１７）が前記ピストンシリンダ機構（４）（５）に配置されていることを特徴とするバルブ。