KR20070120033A

KR20070120033A - 진공 밸브

Info

Publication number: KR20070120033A
Application number: KR1020070057812A
Authority: KR
Inventors: 마티아스 쉔
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2006-06-16
Filing date: 2007-06-13
Publication date: 2007-12-21
Also published as: US7654505B2; CN101109452B; JP4953921B2; TW200801380A; TWI388754B; JP2007333209A; DE102007025974A1; CN101109452A; US20070290157A1

Abstract

진공 밸브는 밸브 하우징 (1) 의 마주하여 놓인 벽 (4, 5) 을 관통하는 입구 개구부 (2) 와 출구 개구부 (3) 및 상기 입구 개구부 (2) 를 둘러싸는 밸브 시트 (6) 를 구비한 밸브 하우징 (1), 및 입구 개구부 (2) 를 해제하는 열림 위치와 입구 개구부 (2) 를 덮으나 밸브 시트 (6) 로부터 들어내진 중간 위치와 입구 개구부 (2) 를 덮으며 밸브 시트 (6) 에 눌려지는 닫힘 위치 사이에서 조정가능한 밸브 플레이트 (9) 및 폐쇄 유닛 (8) 의 내부 공간 (16) 에 배치된 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 을 포함하며 밸브 하우징 (1) 의 내부 공간 (7) 에 배치된 폐쇄 유닛 (8) 을 포함하며, 상기 조정 피스톤은 밸브 플레이트 (9) 를 그 중간 위치와 그 닫힘 위치 사이에서 종방향 중앙축 (20) 의 방향으로 조정하기 위해 밸브 플레이트 (9) 가 그 중간 위치에 위치하는 수동 위치와 밸브 플레이트 (9) 가 그 닫힘 위치에 위치하는 능동 위치 사이에서 이동 가능하다. 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 을 그 능동 위치로 옮기기 위해 압축가스로 가압될 수 있는 폐쇄 유닛 (8) 의 적어도 하나의 작업 공간 (23) 은 멤브레인 밀봉부 (25) 에 의해 한정된다. 조정 피스톤 (15) 에는 폐쇄 유닛 (8) 의 내부 공간 (16) 밖으로 개구부를 통해 가이드되는 적어도 하나의 태핏이 설치되며, 상기 태핏은 수동 위치로부터 능동 위치로 조정 피스톤 (15) 의 위치 이동시 출구 개구부 (3) 옆의 영역에서 직접적으로 또는 간접적으로 밸브 하우징 (1) 에 지지된다.

진공 밸브

Description

진공 밸브{VACUUM VALVE}

도 1 은 밸브 플레이트의 열림 위치에서 본 발명에 따른 진공 밸브의 실시예이다.

도 2 는 밸브 플레이트가 입구 개구부를 부분적으로 덮는 위치에 위치하는, 도 1 에 따른 도이다.

도 3 은 도 2 에 일치하는 밸브 플레이트의 위치에서 진공 밸브의 경사진 도이다.

도 4 는 도 3 에 대해 밸브 하우징의 마주하여 놓인 쪽으로부터, 도 2 에 일치하는 밸브 플레이트의 위치에서 진공 밸브의 경사진 도이다.

도 5 는 도 1 에 일치하나 입구 개구부를 덮는 밸브 플레이트의 중간 위치의 도이다.

도 6 은 밸브 플레이트의 중간 위치에서 도 5 의 선 (A-A) 을 따른, 단순화되고 부분적으로 개략적인 단면도이다.

도 7 은 밸브 플레이트의 닫힘 위치에서 도 6 에 따른 단면도이다.

도 8 은 폐쇄 유닛의 경사진 도이다.

도 9 는 조정 피스톤의 능동 위치에서, 잘라내진 폐쇄 유닛의 경사진 도이다.

도 10 은 조정 피스톤의 수동 위치에서, 도 9 에 일치하는 도이다.

도 11 은 조정 피스톤의 능동 위치에서, 도 8 의 선 (B-B) 을 따른 단면도이다.

도 12 은 조정 피스톤의 수동 위치에서, 도 11 에 일치하는 단면도이다.

도 13 은 도 12 의 C 의 확대 상세도이다.

14 및 도 15 는, 도 11 의 D 및 도 12 의 E 의 확대도이다.

도 16 및 도 17 은, 도 11 의 F 및 도 12 G 의 확대도이다.

도 18 및 도 19 는 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 폐쇄 유닛의 단면도이다.

도 20 및 도 21 은 본 발명의 제 3 실시형태이다.

도 22 는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 진공 밸브의 개략도이다.

도 23 은 도 22 의 H 의 확대도이다.

도 24 는 도 22 에 일치하나 밸브 하우징의 입구 개구부 및 출구 개구부의 보다 적은 폭을 갖는 실시형태이다.

도 25 는 도 24 의 I 의 확대된 상세도이다.

도 26 은 본 발명의 상기 실시형태에 따른 (밀봉부가 없는) 폐쇄 유닛의 경사진 도이다.

도 27 은 조정 피스톤들 중 하나가 수용 하우징으로부터 끌어내진, 떼어내진 밸브 플레이트에서 도 26 의 폐쇄 유닛이다.

도 28 및 도 29 는 상기 실시예에 따른 멤브레인 밀봉부의 경사진 도이다.

도 30 및 도 31 은, 도 28 및 도 29 의 멤브레인 밀봉부들의 종방향 중앙 단면도이다.

도 32 및 도 33 은, 조정 피스톤의 수동 위치 및 능동 위치에서 롤링 멤브레인의 형태로 형성된 멤브레인 밀봉부의 그 밖의 실시형태이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 밸브 하우징 2 : 입구 개구부

3 : 출구 개구부 4 : 벽

5 : 벽 6 : 밸브 시트

7 : 내부 공간 8 : 폐쇄 유닛

9 : 밸브 플레이트 10 : 밀봉링

11 : 선회축 12 : 암

13 : 회전 구동장치 14 : 종축

15 : 조정 피스톤 16 : 내부 공간

17 : 벽 18 : 태핏

19 : 벨로스 20 : 종방향 중앙축

21 : 샤프트 22 : 작업 공간

23 : 작업 공간 24 : 멤브레인 밀봉부

25 : 멤브레인 밀봉부 26 : 환형 그루브

27 : 돌출부 28 : 홀딩링

29 : 클램핑 링 30 : 중앙 섹션

31 : 핀 32 : 밀봉링

33 : 슬라이드 부시 34 : 환형 섹션

35 : 금속 부품 36 : 탄성적인 플라스틱

37 : 압축가스 채널 38 : 압축가스 채널

39 : 채널 40 : 관

41 : 관 42 : 멤브레인 밀봉부

43 : 스프링 44 : 밀봉부

45 : 밸브 로드 46 : 피스톤-실린더 유닛

47 : 불룩부 48 : 개구부

49 : 가이드부 51 : 밀봉링

52 : 가이드 핀

본 발명은 진공 밸브에 관한 것으로서, 상기 진공 밸브는 밸브 하우징의 마주하여 놓인 벽을 관통하는 입구 개구부와 출구 개구부 및 상기 입구 개구부를 둘러싸는 밸브 시트를 구비한 밸브 하우징, 및 입구 개구부를 해제하는 열림 위치와 입구 개구부를 덮으나 밸브 시트로부터 들어내진 중간 위치와 입구 개구부를 덮으며 밸브 시트에 눌려지는 닫힘 위치 사이에서 조정가능한 밸브 플레이트 및 폐쇄 유닛의 내부 공간에 배치된 적어도 하나의 조정 피스톤을 포함하며 밸브 하우징의 내부 공간에 배치된 폐쇄 유닛을 포함하며, 상기 조정 피스톤은 밸브 플레이트를 그 중간 위치와 그 닫힘 위치 사이에서 종방향 중앙축의 방향으로 조정하기 위해 밸브 플레이트가 그 중간 위치에 위치하는 수동 위치와 밸브 플레이트가 그 닫힘 위치에 위치하는 능동 위치 사이에서 이동 가능하고, 적어도 하나의 조정 피스톤을 그 능동 위치로 옮기기 위해 압축가스로 가압될 수 있는 폐쇄 유닛의 적어도 하나의 작업 공간은 멤브레인 밀봉부에 의해 한정된다.

밸브 플레이트가 그 중간 위치와 그 닫힘 위치 사이에서 폐쇄 유닛의 내부 공간에 배치된 조정 피스톤을 수단으로 옮겨질 수 있는 진공 밸브는 US 6.561.484 B2 에 공지되어 있다. 상기 폐쇄 유닛은 밸브 플레이트와 지지 플레이트를 포함한다. 상기 조정 피스톤을 수단으로 밸브 플레이트와 지지 플레이트는 밸브 하우징의 내면들 사이에서 입구 개구부 및 출구 개구부 둘레의 영역에서 밸브 하우징에 대해 버틸 수 있다. 이때 조정 피스톤을 위한 수용 하우징은 지지 플레이트에 또는 밸브 플레이트에 배치될 수 있다. 조정 피스톤을 옮기기 위해 가압될 수 있는 작업 공간을 형성하기 위해, 조정 피스톤과 수용 하우징 사이에 작용하는 밀봉링들이 마련된다. 밸브 플레이트와 지지 플레이트 사이에는, 실시형태의 몇 가지에서 적어도 하나의 밀봉 벨로스가 뻗어 있다. 폐쇄 유닛이 그 열림 위치와 그 중간 위치 사이에서의 조정시 직선으로 이동가능한 실시형태 외에, 진자 밸브의 방식에 따라 형성된 실시형태들로 기술되며, 상기 실시형태에서 폐쇄 유닛이 설치된 지지암은 열림 위치와 중간 위치 사이에서 폐쇄 유닛의 조정을 위해 선회축 둘레로 선회가능하다.

밸브 플레이트가 그 중간 위치와 닫힘 위치 사이에서 폐쇄 유닛의 내부 공간에 배치된 조정 피스톤을 수단으로 옮겨질 수 있는 그 밖의 밸브는 US 2004/0079915 A1 에 공지되어 있다. 여기에서도, 피스톤의 위치 이동을 위해 압축가스로 가압될 수 있는 작업 공간들은 탄성적인 밀봉링들에 의해 밀봉된다.

조정 피스톤이 배치되어 있는 밸브 하우징 안에 실린더 보어가 형성되어 있는 진자 밸브는 US 6.776.394 B2 로부터 공지되어 있다. 밸브 플레이트의 닫힘 위치에서 상기 밸브 플레이트를 밸브 시트에 눌러대기 위해, 상기 조정 피스톤을 수단으로 태핏들은 이동 가능하다. 조정 피스톤은 마찬가지로 밀봉링들에 의해 실린더 공간들의 벽들에 대해 밀봉된다.

DE 19 857 201 A1 의 도 5 에 도시된 실시예로부터 상기 유형의 진공 밸브가 공지되어 있다. 밸브 플레이트를 밸브 하우징에 대해 세게 누르기 위해, 클램핑 실린더는 리프팅 몸체로서 쓰인다. 클램핑 실린더들은 폐쇄 유닛의 본체에 대해 멤브레인 밀봉부에 의해 밀봉된다.

US 5.975.492 A 로부터 밸브 플레이트들을 폐쇄 유닛의 내부 공간에 배치된 액추에이터를 수단으로 밸브 하우징의 밸브 시트에 세게 누르는 것이 공지되어 있다. 액추에이터는 플레이트들로 구성되며, 상기 플레이트들은 특수강 벨로스에 의해 압력 밀봉되어 서로 연결된다 (도 21 참조).

또한, 부품들, 예컨대 클램핑되어야 하는 공작물을 단단히 조이기 위해, 멤브레인 피스톤을 갖는 조정 요소들은 다른 사용 영역으로부터 진공 밸브로서 예컨대 제동 실린더와 관련하여 차량 제조에서 또는 장치 제조에서 알려져 있다.

본 발명의 목적은, 압축가스 손실의 경우 밀봉된 상태가 오랫동안 유지될 수 있고, 유리하며, 콤팩트하게 형성된, 전술된 유형의 진공 밸브를 제공하는 것이다.

상기 목적은 본 발명에 따르면 청구범위 제 1 항의 특징을 갖는 진공 밸브에 의해 달성된다.

조정 피스톤을 그 능동 위치로 옮기는 데에 쓰이는 작업 공간을 멤브레인 (membrane) 밀봉부를 수단으로 밀봉함으로써, 상기 작업 공간의 높은 밀봉성이 달성될 수 있다. 이로 인해, 진공 밸브의 닫힘 위치에서 압축가스의 손실이 생길 경우 진공 밸브의 밀봉된 상태가 오랫동안 유지된다.

또한, 본 발명에 따른 형성에 의해, 입구 개구부와 출구 개구부 사이의 밸브 하우징의 치수와 관련하여 진공 밸브의 콤팩트한 제조 방식이 달성될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시형태에서 멤브레인 밀봉부는 접시 모양으로 형성되며, 상기 멤브레인 밀봉부는 그 둘레 가장자리의 영역에서는 조정 피스톤과 밀봉 연결되고, 중앙 섹션에서는 조정 피스톤을 위한 수용 하우징의 벽의 내부 표면에 유지된다. 접시 모양으로 형성된 멤브레인은 그 둘레 가장자리의 영역에서는 진공 밀봉되어 벽과 연결되고, 중앙 섹션에서는 조정 피스톤에 밀착하여 유지되는 것도 가능하다. 또한, 멤브레인은 고리 모양으로 형성될 수도 있으며, 그 외부 둘레 가장자리에서는 조정 피스톤 또는 벽과 연결되고, 그 내부 둘레 가장자리에서는 상기 양 부품들의 다른 부품들과 진공 밀봉되어 연결될 수 있다.

멤브레인의 적어도 하나의 섹션, 바람직하게는 그 외부 둘레 가장자리에 배치된 환형 섹션 (annular section) 은 탄성적인 플라스틱 재료로 구성된다.

본 발명에 따른 진공 밸브는 부품들의 적은 수량으로 인해 적절한 비용으로 형성될 수 있다. 게다가, 적은 마모로 인해 정비 간격이 길어질 수 있다.

바람직하게는, 압축가스로 가압된 작업 공간은 폐쇄 유닛의 내부 공간의 나머지 영역에 대해 멤브레인 밀봉부에 의해 밀봉될 수 있으며, 폐쇄 유닛의 내부 공간의 상기 나머지 영역은 다시금 진공 밸브의 진공 영역에 대해 밀봉될 수 있다. 이때, 폐쇄 유닛의 내부 공간의 상기 나머지 영역은 대기와 연결될 수 있거나 또는 진공화될 수 있다. 그러므로, 압축가스로 가압된 작업 공간의 누출의 경우 진공 밸브의 진공 영역 안으로 압축가스의 방출을 저지하기 위해, 폐쇄 유닛의 내부 공간의 상기 나머지 영역은 멤브레인 밀봉부에 의해 밀봉된 작업 공간과 진공 밸브의 진공 영역 사이에 놓인 안전 공간을 형성한다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점과 상세 내용을 첨부된 도면을 참조로 설명한다.

본 발명에 따른 진공 밸브의 실시예는 도 1 내지 도 17 에 도시되어 있다. 상기 진공 밸브는 입구 개구부 (2) 및 출구 개구부 (3) 를 갖는 밸브 하우징 (1) 을 구비하며, 상기 입구 개구부와 상기 출구 개구부는 밸브 하우징 (1) 의 마주하여 놓인 벽 (4, 5) 을 관통한다. 입구 개구부 (2) 를 구비한 벽 (4) 의 내면에서 밸브 시트 (valve seat) (6) 는 입구 개구부 (2) 를 둘러싸며, 상기 밸브 시트는 본 실시예에서 밀봉면에 의해 형성된다.

밸브 하우징 (1) 의 내부 공간 (7) 에는 폐쇄 유닛 (8) 이 배치되며, 상기 폐쇄 유닛은 밸브 플레이트 (9) 를 포함한다. 도시된 실시예에서 밸브 플레이트 (9) 는 진공 밸브의 닫힌 상태에서 밸브 시트 (6) 에의 밀착을 위해 탄성적인 밀봉링 (10) 을 구비한다. 원칙적으로, 밀봉링을 밸브 시트 (6) 에 배치하고 밸브 플레이트 (9) 에는 상기 밀봉링과 상호 작용하는 밀봉면을 배치하는 것도 가능하다.

이 실시예에서 진공 밸브는 진자 밸브로서 형성되며, 폐쇄 유닛 (8) 은 선회축 (11) 을 둘레로 선회가능한 암 (arm) (12) 에 배치된다. 암 (12) 이 설치되어 있는 샤프트 (21) 를 수단으로 암 (12) 을 선회하기 위해 회전 구동장치 (13) 가 쓰인다. 회전 구동장치 (13) 를 수단으로 폐쇄 유닛 (8) 및 그러므로 밸브 플레이트 (9) 는, 진공 밸브가 그의 완전히 열린 상태를 구비하며 밸브 플레이트가 입구 개구부 (2) 를 해제하는 위치 (도 1 참조) 에서 밸브 플레이트가 입구 개구부 (2) 를 입구 개구부 (2) 의 종축 (14) 의 방향으로 볼 때 덮는 (도 5 참조) 위치로 선회될 수 있다. 이때 밸브 플레이트 (9) 는 우선 아직은 밸브 시트 (6) 로부터 들어내지기 때문에, 이 위치는 본 문헌의 범위에서 '중간 위치'로 명칭된다. 열림 위치와 중간 위치 사이의 중앙 위치는 도 2 내지 도 4 에 도시되어 있다.

폐쇄 유닛 (8) 은 또한 강성 (rigid) 조정 피스톤 (15) 을 포함하며, 상기 조정 피스톤은 폐쇄 유닛 (8) 의 수용 하우징의 내부 공간 (16) 안에 배치된다. 도시된 실시예에서 상기 수용 하우징의 벽은 밸브 플레이트 (9) 에 의해 형성된다. 밸브 플레이트 (9) 는 상기 수용 하우징의 그 밖의 부분에서는 바람직하게 는 떼어내질 수 있게 설치되며, 예컨대 나사고정되고, 이때 상기 밸브 플레이트는 상기 그 밖의 부분에 대해 밀봉링 (51) 을 수단으로 밀봉된다 (예컨대 도 11 및 도 12 참조). 밸브 플레이트 (9) 에 마주하여 놓인 수용 하우징의 벽 (17) 은 태핏 (18) 들의 돌파를 위한 개구부들을 구비하며, 상기 태핏들은 조정 피스톤 (15) 의 밸브 플레이트 (9) 로부터 멀리 향하는 쪽에 조정 피스톤 (15) 에 배치된다. 바람직하게는, 내부 공간 (16) 밖으로 태핏 (18) 들의 가이드는 예컨대 벨로스 (bellows) (19) 를 수단으로 밀봉된다.

조정 피스톤 (15) 을 수단으로, 중간 위치와 닫힘 위치 (즉, 밸브 플레이트가 입구 개구부 (2) 를 입구 개구부 (2) 의 종축 (14) 의 방향으로 볼 때 덮고 밸브 플레이트가 밸브 시트 (6) 에 눌려지는 위치) 사이에서 밸브 플레이트 (9) 의 조정이 행해진다. 이를 위해 조정 피스톤 (15) 은 그 종방향 중앙축 (20) 의 방향으로 수동 위치 (도 6, 도 10, 도 12 참조) 와 능동 위치 (도 7 내지 도 9 및 도 11 참조) 사이에서 조정된다. 그 수동 위치로부터 그 능동 위치로 조정 피스톤 (15) 의 위치 이동시, 먼저 출구 개구부 (3) 를 구비하는 밸브 하우징 (1) 의 벽 (5) 으로부터 간격을 두고 있는 태핏 (18) 들은 상기 벽 (5) 의 내부 표면을 향해 달려나가며, 잇달아 밸브 플레이가 밸브 시트에 눌려질 때까지 밸브 플레이트 (9) 를 입구 개구부 (2) 의 종축 (14) 의 방향으로 또는 조정 피스톤 (15) 의 종방향 중앙축 (20) 의 방향으로 옮긴다. 이때, 암 (12) 이 설치되어 있는 샤프트 (21) 는 그 종축의 방향으로 옮겨진다. 샤프트 (21) 의 이러한 위치 이동은 진자 밸브에 공지되어 있다. 예컨대, 샤프트 (21) 는 폐쇄 유닛 (8) 으로부터 멀 리 향하는 단부의 영역에 외기어를 구비하며, 상기 외기어와 회전 구동장치 (13) 의 톱니휠이 맞물리고, 이때 상기 외기어는 상기 톱니휠에 대해 샤프트 (21) 의 종방향으로 옮겨질 수 있다.

바람직하게는, 입구 개구부 (2) 의 종축 (14) 은 출구 개구부 (3) 의 종축에 대해 평행하게 놓이며, 상기 종축들은 바람직하게는 겹친다. 도시된 실시예에서, 입구 개구부 (2) 와 출구 개구부 (3) 는 동일한 직경을 구비하는 것이 바람직하다.

바람직하게는, 입구 개구부 (2) 의 종축 (14) 과 조정 피스톤 (15) 의 종방향 중앙축 (20) 은 서로 평행하다. 도시된 실시예에서, 상기 축들은 밸브 플레이트 (9) 의 닫힘 위치에서 겹친다.

그 자유 단부의 영역에서 태핏 (18) 은 벽 (5) 에의 돌진을 위해 바람직하게는 탄성적인 스톱 요소들을 구비한다.

수동 위치와 능동 위치 사이에서 조정 피스톤 (15) 을 옮기기 위해, 작업 공간 (22, 23) 은 압축가스로 가압될 수 있다. 작업 공간 (22, 23) 은 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 를 수단으로 밀봉된다. 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 이 실시예에서 접시 모양으로 형성되며, 그 둘레 가장자리의 영역에서 조정 피스톤 (15) 의 각각의 측면과 밀봉되어 연결된다. 단순화된 도 6 및 도 7 에서, 상기 연결은 구체적으로 도시되어 있지 않다. 이러한 연결을 위한 실시예는 도 11 내지 도 13 으로부터 알 수 있다. 여기에서, 조정 피스톤 (15) 은 환형 그루브 (26) 를 구비하며, 상기 환형 그루브 안으로 각각의 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 의 돌출 부 (27) 가 돌출한다. 홀딩링 (holding ring) (28) 및 상기 홀딩링을 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 에 눌려진 위치에 유지하며 조정 피스톤 (15) 의 언더컷된 어깨부에 지지되는 클램핑 링 (29) 을 수단으로, 조정 피스톤 (15) 에의 밀봉된 고정이 달성된다.

중앙 섹션 (30) 에서 멤브레인 밀봉부 (24) 는 폐쇄 유닛 (8) 의 벽 (17) 의 내면에 밀착하여 유지되며, 멤브레인 밀봉부 (25) 는 밸브 플레이트 (9) 의 내부 표면에 밀착하여 유지된다.

도 6 및 도 7 에 따른 단순화된 도면들에서, 상기 중앙 섹션 (30) 들은 진하게만 도시되어 있다. 예컨대, 상기 중앙 섹션들은 벽 (17) 의 또는 밸브 플레이트 (9) 의 내부 표면에 접착될 수 있다. 바람직하게는, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 상기 중앙 섹션 (30) 에서 강성적으로 형성되며, 벽 (17) 또는 밸브 플레이트 (9) 의 벽의 내면에 밀착하여 유지하기 위해 핀 (31) 이 쓰인다. 상기 핀은 조정 피스톤 (15) 의 종방향 중앙축 (20) 의 방향으로 정렬되며, 상기 핀은 예컨대 탄성적인 밀봉링 (32) 을 수단으로 상기 핀이 밀봉되어 있는 조정 피스톤 (15) 안의 바람직하게는 중앙 개구부를 관통한다. 바람직하게는, 조정 피스톤 (15) 에는 상기 개구부를 둘러싸는 슬라이드 부시 (33) 가 마련된다.

멤브레인 밀봉부 (24, 25) 를 그 전체 중앙 섹션 (30) 에 걸쳐 핀 (31) 을 수단으로 벽 (17) 또는 밸브 플레이트 (9) 의 내부 표면에 밀착하여 유지하기 위해, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 이 중앙 섹션 (30) 에서 강성적으로 형성된다. 둘레 가장자리 쪽으로, 신축성이 있으며 탄성적인 환형 섹션 (34) 이 이어진다.

중앙 섹션 (30) 전체를 신축성이 없는 재료, 예컨대 금속으로 형성하는 것도 가능하다. 도 11, 도 12, 도 16 및 17 에 도시된 바와 같이, 바람직하게는, 상기 중앙 섹션 (30) 에서 플레이트 모양의 금속 부품 (35) 을 탄성적인 플라스틱으로 씌우거나 또는 탄성적인 플라스틱 (36) 안에 매립한다. 바람직하게는, 상기 탄성적인 플라스틱은 플레이트 모양의 금속 부품 (35) 에 경화된다 (vulcanised).

멤브레인 밀봉부 (24, 25) 의 탄성적인 플라스틱은 바람직하게는 엘라스토머 또는 열가소성 엘라스토머에 의해 형성된다.

상기 형성은 원칙적으로 하기에서 도 28 내지 도 31 을 근거로 다른 실시예와 관련하여 설명되는 형성과 일치한다. 환형 섹션 (34) 의 영역에서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 완전히 탄성적인 플라스틱으로, 바람직하게는 중앙 섹션 (30) 에서 금속 부품 (35) 에 경화된 동일한 탄성적인 플라스틱으로 구성된다.

작업 공간 (22, 23) 안으로 압축가스 공급을 위해 압축가스 채널 (37, 38) 이 쓰이며, 상기 채널들은 조정 피스톤 (15) 을 위한 수용 하우징을 통해 뻗어 있다. 도 6 및 도 7 에 따른 도면들에서, 압축가스 채널 (37) 은 벽 (17) 을 통과하여 뻗어 있으며 압축가스 채널 (38) 은 밸브 플레이트 (9) 를 통과하여 뻗어 있다. 압축가스 채널 (37, 38) 은 멤브레인 밀봉부 (24. 25) 의 중앙 섹션 (30) 에서 구멍들에 의해 계속되며, 상기 구멍들을 통과하여 작업 공간 (22, 23) 안에 이른다.

압축가스로는 예컨대 압축 공기 또는 압력하에 놓인 질소가 이용될 수 있다.

하지만, 양 압축가스 채널 (37, 38) 은 벽 (17) 을 통해 뻗어 있는 것이 바 람직하며, 이때 압축가스 채널 (38) 은 멤브레인 밀봉부 (24) 의 중앙 섹션 (30) 을 통과하는 구멍에 의해 그리고 핀 (31) 에서 뻗어 있는 채널 (39) 에 의해 계속되며, 상기 채널은 핀 (31) 의 둘레에서 작업 공간 (23) 의 영역에서 퇴장한다 (도 11, 도 12, 도 16 및 도 17 참조).

압축가스 채널 (37, 38) 은 바람직하게는 벽 (17) 의 리세스들에 삽입된 평평한 관 (40, 41) 을 통해 뻗어 있으며, 상기 관들의 내부 공간들은 그 벽들을 통과하는 보어들을 통해 멤브레인 밀봉부 (24) 안의 구멍들과 연통한다. 멤브레인 밀봉부 (24) 안의 상기 구멍들은 바람직하게는 관 (40, 41) 의 맞은 편에서 멤브레인 밀봉부 (24) 의 밀봉 불룩부에 의해 밀봉되며, 상기 밀봉 불룩부는 관 (40, 41) 에 눌려진다.

멤브레인 밀봉부 (25) 는 편의상 멤브레인 밀봉부 (24) 와 동일한 형성을 구비할 수 있다.

핀 (31) 에 의해 조정 피스톤 (15) 의 가이드가 행해질 수도 있다. 조정 피스톤 (15) 의 둘레의 영역에는 필요한 경우 추가적인 가이드부들이 마련될 수 있다 (도 9 및 도 10 의 가이드 핀 (52) 참조).

밸브 하우징 (1) 의 외부로부터 작업 공간 (22, 23) 에의 가압을 가능하게 하기 위해, 압축가스 채널 (37, 38) 은 샤프트 (21) 안의 압축가스 채널들 (도면에서는 보이지 않음) 에 의해 계속된다.

그 중간 위치로부터 그 닫힘 위치로 밸브 플레이트 (9) 를 조정하기 위해, 압축가스 채널 (38) 은 압축가스로 가압되며 압축가스 채널 (37) 은 기압에 놓이 고, 이로 인해 작업 공간 (23) 이 가압되며, 조정 피스톤 (15) 은 그 수동 위치로부터 그 능동 위치로 옮겨진다. 중간 위치로의 복귀를 위해, 압축가스 채널 (37) 은 압축가스로 가압되며 압축가스 채널 (38) 은 기압에 놓이고, 이로 인해 작업 공간 (22) 이 가압되며, 조정 피스톤 (15) 은 수동 위치로 복귀된다.

수동 위치로부터 능동 위치로 조정 피스톤 (15) 을 옮길 때, 그리고 정반대의 경우, 환형 섹션 (34) 의 영역에서는 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 의 탄성적인 변형이 생긴다. 바람직하게는, 환형 섹션 (34) 은 조정 피스톤 (15) 의 평면과 함께 전체 조정 영역에 걸쳐 0°와 45 °사이의 범위에 놓인 각도를 포함한다. 이와 반대로, 중앙 섹션 (30) 의 영역에서는 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 의 변형이 생기지 않는다.

또한, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 가 그 둘레 가장자리의 영역에서 벽 (17) 또는 밸브 플레이트 (9) 의 내부 표면에 고정되는 것도 가능하다. 중앙 섹션에서 상기 멤브레인 밀봉부들은 조정 피스톤 (15) 의 각각의 표면에 고정될 수 있거나 또는 멤브레인 밀봉부들이 각각 밀봉하는 작업 공간 (22, 23) 이 가압됨으로써 조정 피스톤 (15) 에 세게 눌려질 수 있다.

또한, 원칙적으로, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 를 고리 모양으로 형성하는 것도 가능하며, 즉 단지 상기 상술된 외부 섹션 (34) 만이 존재하고, 한쪽에는 조정 피스톤 (15) 에 다른 쪽에는 벽 (17) 또는 밸브 플레이트 (9) 의 내부 표면에 고정되며, 이때 상기 멤브레인 밀봉부들은 이 부분들과 진공 밀봉되어 연결된다. 그러면 상기 멤브레인 밀봉부들은 통틀어 탄성적인 플라스틱 (36) 으로 형성될 것 이며, 바람직하게는 조정 피스톤 (15) 의 전체 조정 영역에 걸쳐 그 주요 평면과 함께 다시금 0°와 45 °사이의 범위에 놓인 각도를 포함할 것이다.

그러므로, 작업 공간 (22, 23) 은 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 의 도시된 접시 모양의 형성에서뿐만 아니라 멤브레인 밀봉부의 고리 모양의 형성에서도 방사상 방향의 조정 피스톤 (15) 의 종방향 중앙축 (20) 과 관련하여 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 에 의해 한정된다.

작업 공간 (22, 23) 은 폐쇄 유닛 (8) 의 내부 공간 (16) 의 나머지 영역들로부터 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 에 의해 밀봉된다. 바람직하게는 폐쇄 유닛 (8) 의 내부 공간 (16) 의 상기 나머지 영역은 밸브의 진공 영역에 대해 밀봉되며, 이때 예컨대 도시된 바와 같이 및 설명된 바와 같이 태핏 (18) 들을 위해 벨로스 (19) 들이 존재한다. 이때, 내부 공간 (16) 의 상기 나머지 영역은 바람직한 방식으로 도면에 도시되어 있지 않은 라인을 통해 대기와 연결될 수 있다. 내부 공간의 상기 나머지 공간의 진공화도 예컨대 예비 진공 펌프를 수단으로 가능하다. 그러므로, 조정 피스톤 (15) 을 가압하는 압축가스의 압력은, 기압을 구비하거나 또는 진공화된 공간의 삽입에 의해 진공 영역으로부터 분리된다. 이는, 진공 밸브의 추가적인 안전 기능을 나타낸다.

도 18 및 도 19 는 약간 수정된 실시형태를 단순화된 도면에서 도시하고 있으며, 상기 도면에서 핀 (31) 은 조정 피스톤 (15) 에 대해 마찬가지로 멤브레인 밀봉부 (42) 에 의해 밀봉된다. 상기 멤브레인 밀봉부들은 고리 모양으로 형성되며, 한쪽에서는 핀 (31) 에 다른 쪽에서는 조정 피스톤 (15) 에 고정되고, 이때 상기 멤브레인 밀봉부들은 이 부분들에 대해 밀봉된다. 그러므로, 이 형성에서는 동적인 밀봉부들이 더 이상 존재하는 것이 아니라 모든 밀봉부들은 정적인 밀봉부들의 형태로 형성된다.

도 20 및 도 21 에 도시된 바와 같이, 능동 위치로부터 수동 위치로 조정 피스톤 (15) 의 복귀를 위해 또한 스프링 (43) 들이 존재할 수 있다. 그러므로, 작업 공간 (22) 및 상기 작업 공간을 밀봉하는 멤브레인 밀봉부 (24) 가 이 실시예에서는 누락된다. 그러므로, 상기 상술된 이중 작용 조정 피스톤 대신에, 이 실시예에서는 단지 단일하게 작용하는 피스톤 (15) 만이 존재한다. 조정 피스톤 (15) 을 그 능동 위치로 조정하는 작업 공간 (23) 을 압축가스로 가압하는 것은 바람직하게는 다시금 핀 (31) 을 통한 보어에 의해 행해진다. 이때, 핀 (31) 은 작업 공간 (23) 으로부터 떨어져 있는 그 단부에서 밀봉부 (44) 를 통해 관 (41) 에 및 그러므로 간접적으로 벽 (17) 에 지지된다.

이 실시예에서도 작업 공간 (23) 은 폐쇄 유닛 (8) 의 내부 공간 (16) 의 나머지 영역으로부터 멤브레인 밀봉부 (25) 에 의해 밀봉되며, 이때 내부 공간 (16) 의 상기 나머지 영역은 바람직하게는 기압과 연결되거나 또는 펌프 아웃된다 (도면에 도시되어 있지 않은 채널을 통해).

도 22 내지 도 31 에 도시되어 있는 실시예에서, 폐쇄 유닛 (8) 은 밸브 플레이트 (9) 의 열림 위치와 밸브 플레이트 (9) 의 중간 위치 사이에서 선 모양으로 (일직선으로) 옮겨진다. 이를 위해, 폐쇄 유닛은 예컨대 밸브 로드 (valve rod) (45) 에 설치되며, 상기 밸브 로드는 선형 구동장치, 예컨대 도 22 및 도 24 에 개략적으로 도시된 피스톤-실린더-유닛 (46) 을 수단으로 그 종방향에서 이동 가능하다.

밸브 하우징 (1) 안의 입구 개구부 (2) 와 출구 개구부 (3) 및 밸브 플레이트 (9) 는 이 실시형태에서 직사각형의 형성을 구비한다. 폐쇄 유닛 (8) 은 예컨대 3 개의 조정 피스톤 (15) 을 포함한다. 더 많은 또는 더 적은 조정 피스톤 (15) 이 마련될 수도 있다. 각각의 조정 피스톤 (15) 은 유사한 방식으로 도 1 내지 도 17 에 따른 실시예와 관련하여 상기 상술된 바와 같이 이중으로 작용하도록 형성되며, 작업 공간들의 밀봉을 위해 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 가 쓰인다. 다시금, 능동 위치로부터 수동 위치로 각각의 조정 피스톤 (15) 의 복귀는 적어도 하나의 스프링에 의해 행해질 수 있으며, 멤브레인 밀봉부 (24) 들은 이 경우 다시금 누락될 수 있다.

조정 피스톤 (15) 은 도면에서 그 종방향 중앙축 (20) 의 방향으로 볼 때 (도 22 내지 도 25) 원형에서 벗어나는 둘레 윤곽을 구비하며, 상기 조정 피스톤에는 둘레 방향으로 마주하여 놓인 위치들에 불룩부 (47) 가 마련된다. 각각의 불룩부 (47) 의 영역에서 조정 피스톤 (15) 에는 태핏 (18) 이 배치된다. 이 태핏들은 다시금 조정 피스톤 (15) 을 위한 수용 하우징 밖으로 보어들에 의해 가이드되며, 조정 피스톤 (15) 의 능동 위치에서 밸브 시트 (6) 에 밸브 플레이트 (9) 를 눌러대는 데에 쓰인다.

상이한 폭 (도 22 및 도 24 참조) 을 가진 입구 개구부들과 출구 개구부들을 위해, 동일한 조정 피스톤 (15) 들은 상이한 회전 위치들에서 삽입될 수 있다. 조정 피스톤 (15) 을 위한 수용 하우징은 각각 입구 개구부 (2) 와 출구 개구부 (3) 의 상응하는 폭에 맞춰져 형성될 수 있다.

조정 피스톤 (15) 들의 상이한 회전 위치들을 위해, 또한 그곳에 설치된 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 를 위해 멤브레인 밀봉부 (24) 의 개구부 (48) 를 통한 압축가스 공급을 가능하게 하기 위해, 상기 개구부 (48) 는 원호를 따라 연장되는 장방형 구멍의 형태로 형성된다.

도 29 및 도 31 에 도시된 바와 같이, 멤브레인 밀봉부 (25) 를 위해 상기 개구부는 바람직하게는 탄성적인 플라스틱 재료에 의해 닫힌다.

멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 환형 섹션 (34) 에서는 다시금 탄성적인 플라스틱으로 구성되며, 중앙 섹션 (30) 에서는 강성적으로 형성된다. 이를 위해, 도 30 및 도 31 에서 알 수 있는 바와 같이, 중앙 섹션에서 금속 부품 (35) 은 탄성적인 플라스틱 재료 안으로 매립되거나 또는 상기 탄성적인 플라스틱 재료에 의해 적어도 부분적으로 둘러싸인다. 탄성적인 플라스틱 재료는 금속 부품 (35) 의 벽 (17) 또는 밸브 플레이트 (9) 의 내부 표면을 향한 쪽에 걸쳐 연장되며, 또한 방사상 외부에 놓인 금속 부품 (35) 의 섹션에서는 바람직하게는 금속 부품 (35) 의 마주하여 놓인 표면에 걸쳐 연장된다.

도 27 에는 조정 피스톤 (15) 을 위한 가이드부 (49) 가 도시되어 있으며, 상기 가이드부들은 각각의 조정 피스톤 (15) 의 둘레 가장자리의 영역에 배치된다.

도 32 및 도 33 에는 멤브레인 밀봉부 (24) 의 그 밖의 실시예가 도시되어 있다. 중앙 섹션에서 멤브레인 밀봉부는 도 30 및 도 31 에 따라 상기 상술된 방식으로 형성된다. 환형 섹션 (34) 은 이 실시형태에서는 롤링 멤브레인 (rolling membrane) 의 방식으로 형성되며, 이때 상기 환형 섹션은 조정 피스톤 (15) 의 위치 이동시 일종의 구르는 운동을 실행하고, 즉 횡단면이 활 모양인 섹션 (34) 의 영역은 상기 섹션 (34) 위로 옮겨진다.

멤브레인 밀봉부 (25) 는 유사한 방식으로 형성될 수 있으며, 이때 개구부 (48) 는 닫힐 수 있다 (도 31 과 일치함).

이러한 롤링 멤브레인들은 상술된 모든 실시형태들에서 멤브레인 밀봉부 (24) 및/또는 멤브레인 밀봉부 (25) 를 위해 이용될 수 있다.

본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서, 도시된 실시예들의 상이한 수정이 가능하다. 즉, 예컨대 다수의 핀 (31) 이 존재할 수 있다. 도시된 것보다 더 많은 또는 더 적은 태핏 (18) 이 존재할 수 있다. 조정 피스톤 (15) 으로부터 멀리 떨어진 태핏 (18) 들의 단부들에는, 밸브 하우징 (1) 의 벽 (5) 의 내부 표면에의 밀착을 위해 플레이트 모양의 누름 요소가 설치될 수 있다. 이 경우, 태핏 (18) 은 상기 플레이트 모양의 누름 요소를 통해 출구 개구부 (3) 옆의 영역에서 밸브 하우징 (1) 에 직접 지지된다. 이 경우, 단지 단독의, 바람직하게는 중앙에 배치된 태핏 (18) 이 존재할 수 있다.

게다가, 조정 피스톤 (15) 으로부터 멀리 떨어진 적어도 하나의 태핏 (18) 의 단부에는 밸브 플레이트도 설치될 수 있으며, 상기 밸브 플레이트는 조정 피스톤 (15) 에 의해 밸브 시트 (6) 에 세게 눌려질 수 있다. 이 경우, 적어도 하나의 태핏 (18) 에 의해 관통된 벽 (17) 에 마주하여 놓이며 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 을 위한 수용 하우징의 벽은, 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 의 능동 위치에서 출구 개구부 (3) 둘레의 영역에서 출구 개구부 (3) 를 구비하는 밸브 하우징 (1) 의 벽 (5) 의 내부 표면에 밀착할 것이며, 반응력을 밸브 하우징 (1) 에 전달할 것이다.

전술한 진공 밸브로 인하여, 압축가스 손실의 경우 밀봉된 상태가 오랫동안 유지될 수 있고, 유리하며, 콤팩트하게 형성되는 효과가 발생하게 된다.

Claims

진공 밸브로서, 상기 진공밸브는 밸브 하우징 (1) 의 마주하여 놓인 벽 (4, 5) 을 관통하는 입구 개구부 (2) 와 출구 개구부 (3) 및 상기 입구 개구부 (2) 를 둘러싸는 밸브 시트 (6) 를 구비한 밸브 하우징 (1), 및 입구 개구부 (2) 를 해제하는 열림 위치와 입구 개구부 (2) 를 덮으나 밸브 시트 (6) 로부터 들어내진 중간 위치와 입구 개구부 (2) 를 덮으며 밸브 시트 (6) 에 눌려진 닫힘 위치 사이에서 조정가능한 밸브 플레이트 (9) 및 폐쇄 유닛 (8) 의 내부 공간 (16) 에 배치된 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 을 포함하며 밸브 하우징 (1) 의 내부 공간 (7) 에 배치된 폐쇄 유닛 (8) 을 포함하며, 상기 조정 피스톤은 밸브 플레이트 (9) 를 그 중간 위치와 그 닫힘 위치 사이에서 종방향 중앙축 (20) 의 방향으로 조정하기 위해 밸브 플레이트 (9) 가 그 중간 위치에 위치하는 수동 위치와 밸브 플레이트 (9) 가 그 닫힘 위치에 위치하는 능동 위치 사이에서 이동 가능하고, 이때 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 을 그 능동 위치로 옮기기 위해 압축가스로 가압될 수 있는 폐쇄 유닛 (8) 의 적어도 하나의 작업 공간 (23) 은 멤브레인 밀봉부 (25) 에 의해 한정되는 진공 밸브에 있어서, 조정 피스톤 (15) 에는 출구 개구부 (3) 를 향한 쪽에 적어도 하나의 태핏 (18) 이 설치되며, 상기 태핏은 폐쇄 유닛 (8) 의 내부 공간 (16) 밖으로 개구부를 통해 가이드되고, 수동 위치로부터 능동 위치로 조정 피스톤 (15) 의 위치 이동시 밸브 시트 (6) 에 밸브 플레이트 (9) 를 눌러대기 위해 출구 개구부 (3) 옆의 영역에서 직접적으로 또는 간접적으로 밸브 하우징 (1) 에 지지되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 압축가스로 가압됨으로써 조정 피스톤 (15) 을 그 능동 위치로 이동시킬 수 있는 폐쇄 유닛 (8) 의 제 1 작업 공간 (23) 과 압축가스로 가압됨으로써 조정 피스톤 (15) 을 그 수동 위치로 이동시킬 수 있는 폐쇄 유닛 (8) 의 제 2 작업 공간 (22) 은 각각 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 에 의해 밀봉되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 밸브 플레이트 (9) 는 폐쇄 유닛 (8) 의 수용 하우징의 벽을 형성하며, 상기 수용 하우징은 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 이 배치되는 내부 공간 (7) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 3 항에 있어서, 수동 위치로부터 및 능동 위치로부터 조정 피스톤 (15) 의 위치 이동시 출구 개구부 (3) 옆의 영역에서 직접적으로 또는 간접적으로 밸브 하우징 (1) 에 지지되는 적어도 2 개의 태핏 (18) 이 존재하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 4 항에 있어서, 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 은 그 종방향 중앙축 (20) 의 방향으로 볼 때 원형에서 벗어나는 둘레 윤곽을 구비하며, 상기 조정 피스톤의 둘레의 나머지 영역에서보다 더 큰 방사상 확장부를 구비하는 조정 피스톤 (15) 의 마주하여 놓인 2 개의 불룩부 (47) 의 영역에는 각각 하나의 태핏 (18) 이 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 접시 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 그 둘레 가장자리의 영역에서 조정 피스톤 (15) 과 밀봉 연결되고, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 와 조정 피스톤 (15) 사이에는 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 에 의해 밀봉된 작업 공간 (22, 23) 이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 강성 (rigid) 중앙 섹션 (30) 및 상기 중앙 섹션 (30) 을 둘러싸는 탄성적인 환형 섹션 (34) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 8 항에 있어서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 중앙 섹션 (30) 에서 벽 (9, 17) 의 내부 표면에 밀착하며, 상기 벽은 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 이 배치되는 내부 공간 (16) 을 한정하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 의 강성 중앙 섹 션 (30) 은 조정 피스톤 (15) 의 종방향 중앙축 (20) 에 대해 평행하게 연장되는 적어도 하나의 핀 (31) 의 단부에 의해 벽 (9, 17) 의 내부 표면에 눌려지며, 상기 핀 (31) 은 조정 피스톤 (15) 안의 개구부를 관통하고 상기 조정 피스톤 (15) 에 대해 밀봉되며, 이때 적어도 하나의 핀 (31) 은 다른 단부에서 직접적으로 또는 간접적으로 폐쇄 유닛 (8) 의 마주하여 놓인 벽 (9, 17) 에 지지되며, 상기 벽은 폐쇄 유닛 (8) 의 내부 공간 (16) 을 한정하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 10 항에 있어서, 핀 (31) 은 각각 하나의 작업 공간 (22, 23) 을 밀봉하는 2 개의 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 의 중앙 섹션들 (30) 사이에서 뻗어 있고, 상기 핀은 상기 중앙 섹션들을 벽 (9, 17) 의 마주하여 놓인 내부 표면들에 눌러대며, 상기 벽들은 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 이 배치되는 내부 공간 (16) 을 한정하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 10 항에 있어서, 상기 핀은, 조정 피스톤 (15) 을 그 능동 위치로 옮기기 위해 작업 공간 (23) 을 한정하는 멤브레인 밀봉부 (25) 의 중앙 섹션과, 마주하여 놓인 벽 (17) 의 내부 표면 사이에 뻗어 있으며, 상기 벽은 적어도 하나의 조정 피스톤 (15) 이 배치되는 내부 공간 (16) 을 한정하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 적어도 부분적으로 탄성적인 플라스틱 (36) 으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 탄성적인 환형 섹션 (34) 의 영역에서 탄성적인 플라스틱 재료에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 8 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 멤브레인 밀봉부 (24, 25) 는 강성 중앙 섹션 (30) 의 영역에서 플레이트 모양의 금속 부품 (35) 을 구비하며, 상기 금속 부품은 적어도 부분적으로 탄성적인 플라스틱 재료 (36) 로 씌워지는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 밸브 플레이트 (9) 는 강성인 것을 특징으로 하는 진공 밸브.