JP2004316916A - 少なくとも一つの開口を有する真空閉塞体の閉塞装置 - Google Patents

Abstract

【課題】漏れのリスクを減少し、補修が容易な真空閉塞体の閉塞装置を提供する。
【解決手段】開口２を閉塞するバルブプレート３を開口位置と開口に対向する位置との間を移動させるピストン−シリンダユニット３１、３２を有し、該ピストン−シリンダユニットのピストンロッド２９はバルブプレート３と協働する支持ユニット７に結合されている。該支持ユニット７は第２ピストン９、第２ピストンロッド９が配設されたシリンダ８を備えて、バルブプレート３を開口に対向する位置と閉塞位置との間を移動させる。かかる形式の閉塞装置において、シリンダ８は取外し可能なカバー１１で閉鎖され、カバー１１とシリンダ８との間に二つのシールリングを配設し、シールリング間に形成した空間に大気を連通する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、壁に少なくとも一つの開口を有する真空閉塞体の閉塞装置に関する。該閉塞装置は、各開口と協働するバルブプレートを有し、当該バルブプレートは、開口を開放する開位置と、開口を覆うが壁面とは離間している位置と、開口を覆い壁面に接する閉塞位置との間を移動する。少なくとも一つのピストン−シリンダユニットが、バルブプレートを開位置と開口を覆うが壁面とは離間している位置との間を移動させ、該ピストン−シリンダユニットはシリンダハウジング内に配設され、該シリンダハウジングから穿孔を介して延出するピストンロッドを備える気体が作用するピストンを有する。少なくとも一つのピストン−シリンダユニットのピストンロッドと連結し、各バルブプレートと協働する少なくとも一つの支持ユニットが、気体が作用するピストンが配設された少なくとも一つのシリンダを有し、該ピストンはバルブプレートを開口を覆うが壁面から離間した位置と、閉塞位置との間を移動させ、穿孔を介して支持ユニットから延出するピストンロッドを備え、バルブプレートは該ピストンロッドに固定されている。

上述した形式の閉塞装置は特許文献１により知られている。この閉塞装置は、特に、真空装置の外方のドアとして使用されている。バルブプレートのＬ字状の移動を行う二つのピストンーシリンダユニットの作動順序は、二つのピストン−シリンダユニットの作動が正確なシーケンスで連続的に作動するようにシーケンス制御手段により制御される。

更に、特許文献２には，壁に開口を備えた真空閉塞体の閉塞装置で、ハウジングが壁部に対して旋回可能に支持された閉塞装置を開示している。気体ピストンを変位可能に支持する第１シリンダがハウジングに形成され、気体ピストンのピストンロッドは弁プレートを支持する。該弁プレートは、これらピストンにより開口が開放される開位置と、弁プレートが開口を覆うが壁から離間している位置との間を移動する。ハウジングを旋回させる気体ピストンを配設する第２シリンダが、ハウジングが移動可能なようにハウジング内に設けられる。これらの気体ピストンの作動により、ハウジングが旋回して弁プレートが壁に押圧され、開口は真空的に蜜に閉塞される。この種の閉塞装置も真空室のドアとして使用できる。特許文献２には真空室内に配置したバルブとしての用途も記載されている。

特許文献１、２に記載されているような閉塞装置を、壁の開口の両側が真空であるような用途に使用すると、ピストン−シリンダユニットが真空領域に位置するためピストン−シリンダユニットに漏れが発生する惧れがある。このような漏れのリスクはピストンに作用する圧縮空気の圧力が増加すると特に大きくなる。真空に対する圧力の差異が大気圧より実質的に大きくなればなるほど、漏れのリスクも実質的に大きくなる。漏れが生じた場合のダメージも、大気圧に対しての漏れと比較して一般的に大きくなる。真空室内の漏れの場合、圧力は大気圧よりかなり大きくなるので、例えば、室壁の変形、あるいは溶接部から更なる漏れ等が生じる。

特許文献３に、壁に少なくとも一つの開口を有する真空閉塞体の閉塞装置の他の例が記載されている。この閉塞装置は、複数のスロット状開口の閉塞、開放に特に適している。かかる目的のため、ベローズに封入された駆動タペットにより壁面を移動する支持プレートを備え、各開口と協働する閉塞プレートは支持プレートに支持されて壁と垂直な方向に移動可能であり、支持プレートに固定されたブッシュ内をスライドする案内ピンを備えている。緊密で拡張可能なシリンダ空間が支持プレートと各閉塞プレートとの間にベローズにより形成されている。このシリンダ空間に圧縮空気を導入して壁の開口を真空的密に閉塞する。（バルブ装置が閉塞状態であっても、開放状態であっても同じように）壁の両側を真空とすることができる。

この装置の特に不都合な点は、シリンダ空間を形成するベローズを、シリンダ空間に導入した圧縮空気の圧力を吸収するために極めて安定した構成にしなければならない点にある。更に、この種のベローズは、特に、長期間使用した後の漏れのリスクが大きく、漏れた場合、圧縮空気が真空室内に流入する。

このバルブ装置の更なる不都合な点は閉塞プレートの交換に困難が伴う点である。特に腐食性の処理ガスを使用した場合は、時折閉塞プレートの交換が必要となる。更に、ダイアフラムベローズによって囲まれた空間はアクセスするのが困難である。

更に、真空室の壁と該壁を挿通してガイドされる部品との間に、互いに間隔を有する二つのシールリングを配置する直線的な挿通装置も知られている。この二つのシールリング間の空間はポンプ及び該空間に接続する通路により排気
される。これは挿通装置から真空室に漏れ出すガスを減少させるためである。
ＵＳ６０５６２６６Ａ ＤＥ１９６３３７９８Ａ１ ＵＳ６４２７９７３Ｂ１

本発明の目的の一つは、冒頭に述べた形式の閉塞装置において漏れのリスクを減少させた閉塞装置を提供するにある。本発明の他の目的は、漏れのリスクを減少しつつサービスが容易な閉塞装置を提供するにある。本発明の他の目的は、冒頭に述べた形式の閉塞装置において特に複数のスロット状開口を閉塞するに適した閉塞装置を提供するにある。本発明の他の目的は、冒頭に述べた形式の閉塞装置において開口の両側を真空領域とすることが可能な閉塞装置を提供するにある。

壁に少なくとも一つの開口を有する真空閉塞体における本発明による閉塞装置は、前記開口を開放する開位置と、前記開口を覆うが壁より離間した位置と、前記開口を覆って壁に接する閉位置との間を移動し、前記開口と協働するバルブプレートを有し；前記バルブプレートを、前記開口を開放する開位置と、前記開口を覆うが壁より離間した位置との間を移動させる少なくとも一つのピストン−シリンダユニットを有し、該ピストン−シリンダユニットは、シリンダハウジング内に配置され、気体が作用する第１ピストンを有し、該ピストンは前記シリンダハウジングから穿孔を介して外方に延出する第１ピストンロッドに取り付けられ、前記少なくとも一つのピストン−シリンダユニットの第１ピストンロッドは、前記バルブプレートと協働する少なくとも一つの支持ユニットに結合され、該支持ユニットは、気体が作用する第２ピストンが配設される少なくとも一つのシリンダ穿孔を有し、該第２ピストンは、前記支持ユニットから穿孔を介して延出して前記バルブプレートが固定された第２ピストンロッドを備え、前記バルブプレートを前記開口を覆うが壁より離間した位置と閉位置との間を移動させ、前記少なくとも一つの支持ユニットにおける少なくとも一つのシリンダ穿孔は、取外し可能なカバーにより閉鎖され、少なくとも二つのシールリングが前記カバーと支持ユニットとの間に配設され、大気に連通する通路または排気される通路が該二つのシールリング間に囲まれた空間に連通することを特徴とする。

取外し可能なカバーは、支持ユニットのシリンダにピストンを装着することを可能にし、ピストンのサービスを可能とする。本発明による構成はカバーと支持ユニットとの間の漏れの危険性を実質的に減少する。この種の漏れが原因の損害も実質的に減少する。

本発明の実施形態における優位な点は、第２ピストンのバルブプレートとから離れた側にカバーを設けた点にある。第２ピストンロッドは支持ユニットの穿孔を介して支持ユニットの外方に案内され、支持ユニットに配設された二つのシールリングにより第２ピストンロッドが支持ユニットに対してシールされ、該二つのシールリング間の空間に大気に連通する通路、または排気される通路を導通する点にある。このようにして第２ピストンロッドと支持ユニットとの間の漏れのリスクを実質的に減少できる。第２ピストンのバルブプレートに面する側のカバーも同様にすることも考えられ、可能である。この場合は、カバーに設けられた穿孔を挿通して支持ユニットの外方に延出し、カバーの穿孔の壁面に配設された二つのシールリングがカバーと第２ピストンロッドとの間のシールを優位に提供する。該二つのシールリング間の空間には大気に連通する通路、または排気される通路を導通する。

本発明の実施形態における優位な点は、少なくとも一つの支持ユニットをシリンダハウジングに対して移動する少なくとも一つのピストン−シリンダユニットの第１ピストンロッドがシリンダハウジングの穿孔を介して延出し、該シリンダハウジングに配設された少なくとも二つのシールリングによりシールされ、該二つのシールリング間の空間には大気に連通する通路または排気される通路が導通する点にある。この構成もピストン−シリンダユニットの漏れの危険性を実質的に減少する。

本発明の更なる優位点及び詳細を以下に、図に示す実施例を参照して、記載する。これにより、本発明の更なる目的が明らかとなる。

（実施例）本発明による実施例である図１ないし図１１に示す閉鎖装置は、壁１に開口するスロット状開口２の真空閉塞または真空シールを行う。本明細書における真空閉塞という表現の意味は、閉塞装置の閉塞状態において開口２は壁の少なくとも一側（図５を参照して壁１の左側）を真空に維持できるように閉塞することを意味する。この閉塞装置は、また、両側の差圧に関して安定に構成されている。すなわち、図５の壁１の左側は真空に維持され、右側は大気圧に維持される。また、反対に、図５の壁１の右側が真空に維持され、左側が大気圧に維持される。ここにおける真空とは大気圧の１／１００以下の圧力をいう。

閉塞装置は、周辺が閉じたシールリング４を備えるバルブプレート３を有し、該シールリング４は、バルブプレート３が開口２の閉塞する閉塞位置（図５）にあるときに、壁１、すなわち、開口２の周囲領域に設けられたシール面５に接触する。

バルブプレート３は、バー状の支持ユニット６に支持ユニット６に対して移動可能に保持されている。かかる目的のために、支持ユニット６には複数のシリンダ７が備えられ、該複数のシリンダ７はバー状の支持ユニット６の長さ方向に互いに間隔を置いて配置されている。ピストン８（第２ピストン）が各シリンダ７に変位可能に装着され、各ピストン８にはピストンロッド９（第２ピストンロッド）が備えられている。各ピストンロッド９は穿孔１０を介して支持ユニット６からそれぞれ外方に延出している。

シリンダ７は、ピストン８のバルブプレート３から遠方の一側においてカバー１１により閉鎖されている。カバー１１には中央穿孔１２が形成され、ピストンロッド９が中央穿孔１２を挿通してピストンを貫通し、ピストン８はリテーナリングによりピストンロッド９に固定されている。ピストンロッド９は中央穿孔１２を通ってピストン８のバルブプレート３から遠方の一側のカバー１１内に突出している。ピストンロッド９は、スリーブ１３と該スリーブ１３を貫通するネジを有するピン又はボルト１４とから形成されており、該ボルト１４は、その頭部がスリーブ１３のバルブプレート３から遠方側の前端部に接して、バルブプレート３に設けられたネジ孔に締めつけられている。ネジ付きボルト１４の頭部はスリーブ１３と同径で接続面が連続している。バルブプレート３を取外すには、支持ユニット６の背面からボルト１４の頭部にアクセスしてボルト１４のネジを弛めるだけでよい。

支持ユニット６内におけるカバー１１の溝に設けられた二つのシールリング１５、１６が、カバー１１と支持ユニット６との間に配設されて、カバー１１と支持ユニット６との間をシールする。二つのシールリング１５、１６間の環状のギャップをなす空間に通路１７（図７参照）が導通し、通路１７は大気に連通して、後に詳述するように大気圧となっている。

ピストン８のピストンロッド９は、二つのシールリング２０、２１により支持ユニット６との間をシールされている。これらのシールリング２０、２１は穿孔１０の壁面に形成された溝に配置され、ピストンロッド９のスリーブ１３と接している。これら二つのシールリング２０、２１間の環状ギャップ状の空間に通路２２（図３および図１０参照）が導通されている。支持ユニット６に形成される溝２３が通路２２と前記環状ギャップとを連通する。通路２２は大気に連通して、後に詳述するように大気圧となっている。

ピストンロッド９はカバー１１の穿孔１２を貫通し、二つのシールリング２６、２７によりカバー１１に対してシールされている。これらのシールリング２６、２７はカバー１１の溝中に配置されてスリーブ１３及びボルト１４の頭部と接触する。二つのシールリング２６、２７の間に設けられた環状ギャップ状の空間に通路２８が連通し、この空間と二つのシールリング１５、１６間に位置する空間とを接続して、二つのシールリング２６、２７間に位置する空間も大気圧としている。通路２８はカバー１１に設ける導管や穿孔により形成される複数の径方向通路２８としてもよい。

支持ユニット６は両側において二つのピストン−シリンダユニット３０のピストンロッド２９（第１ピストンロッド）に結合されている。ピストンロッド２９を結合するため、固定ブロック３１、３２がバー状の支持ユニット６の両側にネジにより固定されている。固定ブロック３１、３２は、壁１に固定されたガイドレール３４に沿って壁面を移動するように支持されているスライドブロック３３に結合されている（図４）。ガイドレール３４はスライドブロック３３のアンダーカットされた溝に係合して、ガイドレール３４から壁面の垂直方向へ離間するのを防止されている。ピストン−シリンダユニット３０のピストンロッド２９はスライドブロック３３にネジ止めされている。

各ピストン−シリンダユニット３０はシリンダハウジング３５を有し、該シリンダハウジング３５は、その中を変位可能に保持されたピストン３６（第１ピストン）を備え、ピストン３６は夫々上述したピストンロッド２９を備えている。通路３７、３８を介して圧縮空気がピストン２９の両側のシリンダ空間へ交互に導入又は排出され、ピストン３６は変位し、支持ユニット６が壁１の面に平行な、あるいは開口２の軸線３９に垂直な方向へ移動する（図１１）。通路３７、３８は図示しない対応する圧縮空気通路に接続されている。

ピストンロッド２９は夫々穿孔４０を通ってシリンダハウジング３５から突出している。シリンダハウジング３５の溝に配置される二つのシールリング４１、４２がピストンロッド２９の面に摺接し、ピストンロッド２９とシリンダハウジング３５との間をシールする。二つのシールリング４１、４２間に位置する環状ギャップ状の空間に通路４３が連通している。図１１に示すように、通路４３は大気に連通し、大気圧となっている。

各ピストンロッド２９はピストン３６を貫通し、ピストン３６の支持ユニット６より遠方の側に配設されたシリンダカバー４５の穿孔４４を介して突出している。図１１に示すように、ピストン−シリンダユニット３０には、ピストンロッド２９に長さ方向に挿入された導管により形成された通路１９、２５が備えられる。通路１９、２５は、スライドブロック３３の左側の図示しない導管と、固定ブロック３２に導管により形成された通路１８、２４とにより、支持ユニット６に配設された導管により形成された通路１７、２２（図７、１０）と連通する。通路１９、２５は、シリンダカバー４５を通過してシリンダの空間の外方にあるピストンロッド２９の前端部で開口しており、そのため、大気と連通して大気圧となり、通路１７，２２も同様大気圧となる。

図１１の右側に示すピストンロッド２９には、長さ方向に延出した通路４６、４７が配設された導管により形成されている。図１１の右側のスライドブロック３３に配設された図示しない導管と、右側の固定ブロック３２に配設された導管とにより、通路４６、４７は、支持ユニット６を長さ方向に導通する導管により形成される通路５０、５１（図８、９）と連通する。

通路５０、５１は、支持ユニット６におけるピストン８の両側においてシリンダ空間に開口している。通路４６、４７に（通路４６、４７に接続する図示しない圧縮空気通路を介して）交互に圧縮空気を導入し又は通路４６、４７から交互に圧縮空気を排出することにより、ピストン８はシリンダ７内を移動する。通路４６、４７は、シリンダカバー４５から延出しているピストンロッド２９の前端部に開口している。

図１、２及び図３は、バルブプレート３が壁１から離間して、開口２が完全に開放されているバルブプレート３の開位置を示す。この位置から、開口２を閉塞するため、最初に、ピストン−シリンダユニット３０のピストン３６に通路３８を介して圧縮空気が作用し（通路３７は開放されている）、支持ユニット６は、バルブプレート３が開口２に対向する位置まで図の上方へ移動し、開口２は開口２の軸線３９の方向に離間した位置で覆われる。しかしながら、バルブプレート３はまだ壁１から離間している。ついで、圧縮空気が通路４６に導入され（通路４７は開放されている）、通路５０によりピストン８の右側に位置するシリンダ空間に作用する。そのため、ピストン８と、それによるバルブプレート３が壁１の方向に（軸線３９と平行に）移動し、バルブプレート３は壁１に押圧され、図４乃至図１１に示す閉塞位置に達する。

図１〜図１１に示す実施例においては、閉塞装置は真空バルブの一部を構成する。そのため、少なくとも一つの開口２を有する壁１は、壁５２と真空的に密に結合され、壁５２は壁１からバルブプレート及び支持ユニット側に延出して、バルブプレートと支持ユニットのフレームのように取囲んでいる。壁１及び壁５２は、互いに一体となるように構成される。壁５２はバルブの真空領域を画成し、ピストン−シリンダユニット３０のピストンロッド２９は壁５２の開口５３を貫通し、各開口５３はシリンダハウジング３５により閉塞されている。かかる真空バルブを、例えば真空室に結合するフランジについては図示していないが、従来の方法により構成することが可能である。

一方、壁１は容易に真空室の壁、あるいは二つの真空室の中間壁とすることができる。後者の場合、本発明による閉塞装置は、二つの真空室の間における切替バルブの形式とすることができる。かかる場合、ピストンロッド２９は真空室の外側に真空的に密に案内され、真空室内にはバルブプレート３と支持ユニット６が図１〜図１１に示すように配置される。

原理的には、ピストン−シリンダユニット３０を真空装置の真空領域に配置することも考えられ、また可能である。この場合、各シリンダカバー４５とピストンロッド２９との間に二つのシールリングを配設して、シリンダカバー４５を通るピストンロッド２９をガイドさせることもでき、該二つのシールリング間に画成される空間に大気に通ずる（あるいは、ポンプ手段により排出される）通路を連通させる。この場合、大気に通ずる通路の延長部はピストンロッド２９及びシリンダハウジング３５を通って大気に連通する通路に接続する。

通路３７、３８及び通路４６、４７に接続する圧縮空気通路も、それと協働する制御バルブも図には示していないが、これらは従来の方式により構成され、シーケンス制御のようなプログラム可能な記憶手段による制御装置により制御することができる。

通路１７、２２（図７、図１０）及び４３（図１１）を大気に連通させる替わりに、これらの通路から排気するか、ポンプ装置により排出することもできる（通路１７、２２については、通路１９、２５に接続するポンプ装置に連通することにより行うことができる）。通常このような通路１７、２２及び４３の排気は必要としないが、特に、二つの真空室の間における切替バルブの閉塞装置に使用するときは、真空装置のサイズによっては通常少量の流入ガスは影響がないので、かかる装置にはこのような切替バルブがポンプ容量によって使用される。

本発明による他の実施例を図１２〜図１５に示す。前記の実施例とは異なって本実施例においては、壁１は複数のスロット状開口２を有する。図１２〜図１５の類似部分には図１〜図１１に使用した参照番号と同一の番号を記す。スロット状開口とは、幅の少なくとも三倍の長さを有する開口をいう。本発明による閉塞装置は、特に、複数のスロット状開口を有するものの閉塞に適している。そのために必要なことは、夫々がバルブプレート３を支持する支持ユニット６を相応する数だけ用意することだけである。

この場合、ガイドレール３４は、開口２が配置される壁１の高さに亘って最下位の開口２の下まで延出される。スライドブロック３３は最上位の開口２から最下位の開口２までの長さを有し、複数の支持ユニット６は二つのスライドブロック３３に固定され、支持ユニット６間の距離は開口２間の距離に対応している。このようにして、支持ユニット６はピストン−シリンダユニット３０により壁１に平行な面を同時に移動する。バルブの開放位置では、バルブプレート３は開口２の間の壁部の前部に位置している。支持ユニット６及びピストン−シリンダユニット３０は、図１〜図１１に示した実施例と同じように構成することができる。

本発明の他の実施例を図１６に示す。この実施例においては、一つのシールリング２０が支持ユニット６の穿孔の溝に配置され、ピストンロッド９と支持ユニット６との間のシールを行う。この目的のため、ベローズ５４が配設される。ベローズ５４は一端を支持ユニット６に真空的に密に結合され、他端をピストンロッド９（または、バルブプレート３）に真空的に密に結合される。大気に連通するか、あるいはポンプ装置により排出される通路２２がシールリング２０とベローズ５４に囲まれる空間に連通される。同様の構造をシリンダハウジング３５から延出するピストンロッド２９のガイドに適用することも考えられ、可能である。

本発明による実施例の構造的に変更した例を図１７に示す。ピストン８は、スプリング５５により変位方向すなわちバルブプレート３が壁１から離間する方向に付勢されている。ピストン８は、前述したように、シリンダ空間５６に圧縮空気を導入することにより他の方向に付勢され、スプリング５５の付勢力に抗して他の方向（図１７の左方向）に変位する。スプリング５５が配設されたシリンダ空間に圧縮空気を導入する必要がないので、該シリンダ空間は常に大気と連通するか、あるいは排気（図９の通路５１に対応する通路により）することが可能となる。このような場合、シールリング２０及び通路２２は省略することができる。

同様な方法で、ピストン−シリンダユニット３０のピストン３６もスプリング手段により一方向へ付勢することができる。付勢の方向が図１１の下方である場合は、ピストン３６の上方に位置するシリンダ空間は常に大気または排気に連通させることができ、シールリング４２及び通路４３は、原理的には、省略できる。

以上の記載から理解できるように、ここに示す実施例は本発明の範囲を制限するものではなく、本発明の範囲は付属する特許請求の範囲と可能な均等の範囲とを参照して確定すべきである。

本発明の一実施例である閉塞装置の開口を開放している状態を示す斜視図である。 図１に示す閉塞装置の正面図である。 図２に示す閉塞装置のＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面図である。 開口を閉塞している状態の図２に対応する図である。 図４に示す閉塞装置のＶ−Ｖに沿った断面図である。 図４に示す閉塞装置のＶＩ−ＶＩに沿った断面図である。 図５に示す閉塞装置のＶＩＩ−ＶＩＩに沿ったバー状支持ユニットの断面を示す部分断面図である。 図５に示す閉塞装置のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿ったバー状支持ユニットの断面を示す部分断面図である。 図５に示す閉塞装置のＩＸ−ＩＸに沿ったバー状支持ユニットの断面を示す部分断面図である。 図５に示す閉塞装置のＸ−Ｘに沿ったバー状支持ユニットの断面を示す部分断面図である。 図５に示す閉塞装置のＸＩ−ＸＩに沿った左右のピストン−シリンダユニットを示す断面図である。 本発明の他の実施例である閉塞装置の開口を開放している状態を示す斜視図である。 図１２に示す閉塞装置の閉塞状態を示す図である。 図１３に示す閉塞装置のＸＩＶ−ＸＩＶに沿った断面図である。 図１３に示す閉塞装置のＸＶ−ＸＶに沿った断面図である。 本発明の他の実施例を示す図３に対応する部分の断面図である。 本発明の他の実施例を示す図３に対応する部分の断面図である。

符号の説明

１ 壁、２ 開口、３ バルブプレート、４ シールリング、
５ シール面、６ 支持ユニット、７ シリンダ、８ 第２ピストン、９ 第２ピストンロッド、１１ カバー、１３ スリーブ、１４ ボルト、１５、１６ シールリング、１７ 通路、
２０，２１ シールリング、２２ 通路、２６、２７ シールリング、２９ 第１ピストンロッド、３０ ピストン−シリンダユニット、３１、３２ 固定ブロック、３３ スライドブロック、３４ ガイドレール、３５ シリンダハウジング、３６ 第１ピストン、３７，３８ 通路、３９ 開口軸、４１、４２ シールリング、４５ シリンダカバー、５４ ベローズ、５５ スプリング

Claims (13)

1. 壁に少なくとも一つの開口を有する真空閉塞体の閉塞装置において、
   前記開口を開放する開位置と、前記開口を覆うが壁より離間した位置と、前記開口を覆って壁に接する閉位置との間を移動し、前記開口と協働するバルブプレートを有し；
   前記バルブプレートを、前記開口を開放する開位置と、前記開口を覆うが壁より離間した位置との間を移動させる少なくとも一つのピストン−シリンダユニットを有し；
   該ピストン−シリンダユニットは、シリンダハウジング内に配置され、気体が作用する第１ピストンを有し、該ピストンは前記シリンダハウジングから穿孔を介して外方に延出する第１ピストンロッドに取り付けられ；
   前記少なくとも一つのピストン−シリンダユニットの第１ピストンロッドは、前記バルブプレートと協働する少なくとも一つの支持ユニットに結合され；
   該支持ユニットは、気体が作用する第２ピストンが配設される少なくとも一つのシリンダ穿孔を有し、該第２ピストンは、前記支持ユニットから穿孔を介して延出して前記バルブプレートが固定された第２ピストンロッドに取り付けられ、前記バルブプレートを前記開口を覆うが壁より離間した位置と、閉位置との間を移動させ；
   前記少なくとも一つの支持ユニットにおける少なくとも一つのシリンダ穿孔は、取外し可能なカバーにより閉鎖され、少なくとも二つのシールリングが前記カバーと支持ユニットとの間に配設され、大気に連通するかまたは排気される通路が、該二つのシールリング間に囲まれた空間に連通することを特徴とする閉塞装置。
2. 前記通路は、前記支持ユニット内を導通し、続いて前記ピストン−シリンダユニットの第１ピストンロッド内を導通し、前記支持ユニットに結合された第２ピストンロッド内を導通する導管として構成されるか、または第１ピストンロッドの一つの内部を導通する導管により構成することを特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
3. 前記第２ピストンロッドが挿通する前記カバーに配設された穿孔は、前記カバーと第２ピストンロッドとの間に少なくとも二つのシールリングが配置され、大気に連通するかまたは排気される通路が、該二つのシールリング間に囲まれた空間に連通することを特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
4. 前記第２ピストンロッドは、第２ピストンを貫通し、前記カバーの穿孔を挿通するスリーブと、該スリーブを貫通し、前記バルブプレートのネジ孔に締め付けられるボルトとを有することを特徴とする請求項３記載の閉塞装置。
5. 前記少なくとも一つの支持ユニットに配設され、支持ユニットに形成された穿孔を介して支持ユニットの外方に案内される少なくとも一つの第２ピストンの第２ピストンロッドは、前記支持ユニットに配置された少なくとも二つのシールリングにより、または前記支持ユニットに配置されたシールリングと、前記支持ユニットと第２ピストンロッド若しくは前記バルブプレートとの間のベローズとによりシールされており、大気に連通するかまたは排気される通路が、前記二つのシールリング間に囲まれた空間または前記シールリングとベローズ間の空間に連通することを特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
6. 前記少なくとも一つの支持ユニットに連通する全ての通路は、前記支持ユニット内を導通し、続いて前記ピストン−シリンダユニットの第１ピストンロッド内を導通し、前記支持ユニットに結合された第２ピストンロッド内を導通するか、あるいは前記第１ピストンロッドの一つの内部を導通する導管として構成されことを特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
7. 前記少なくとも一つの支持ユニットを前記シリンダハウジングに対して移動させる少なくとも一つのピストン−シリンダユニットの第１ピストンロッドを外方に案内する前記シリンダハウジングの穿孔は、該シリンダハウジングに配設された少なくとも二つのシールリングにより、または前記シリンダハウジングに配設されたシールリングと、該シリンダハウジングと第１ピストンロッドとの間に拡設されたベローズとによりシールされ、大気に連通するかまたは排気される通路が、前記二つのシールリング間の空間あるいは前記シールリングとベローズとの間の空間に連通することを特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
8. 複数のスロット状開口を閉塞する複数のバルブプレートを有し、全てのバルブプレート用のバー状の支持ユニットを備え、該支持ユニットは、協働して該支持ユニットを移動する少なくとも二つのピストン−シリンダユニットの第１ピストンロッドに結合されていることを特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
9. 前記少なくとも一つのバルブプレート及び少なくとも一つの支持ユニットを囲み、真空領域を画成する室壁が、少なくとも一つの開口を有する壁と真空的に密に接続し、前記室壁は、少なくとも一つのピストン−シリンダユニットの第１ピストンロッドを挿通する少なくとも一つの通孔を有し、該通孔は前記ピストン−シリンダユニットのシリンダハウジングにより真空的に密に閉鎖されることを特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
10. 前記少なくとも一つの支持ユニットは、壁に平行な方向に移動するようにガイドにより案内され、該ガイドは、前記少なくとも一つの支持ユニットの壁に垂直な方向の移動に抵抗する事を特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
11. 前記支持ユニットは、両側にスライドブロックが固定され、該スライドブロックはガイドレールの長さ方向に移動するが、ガイドレールから離間することはできないことを特徴とする請求項１０記載の閉塞装置。
12. 前記壁は真空室の一部であるか、または複数の真空室の一部であることを特徴とする請求項１記載の閉塞装置。
13. 前記少なくとも一つの開口を有する壁は、真空バルブ本体の一部を形成することを特徴とする請求項１ないし請求項１１の何れかに記載の閉塞装置。

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