JP4092028B2 - 真空ゲート弁 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空容器に連通する弁箱の連通口を弁板により開閉して真空容器との連通状態又は連通遮断状態に切り換えるための真空ゲート弁に関し、特に、弁板の開閉速度の制御に関する技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、この種の真空ゲート弁として種々のものが知られている。例えば実開平２―９１２７７号公報に示されるものでは、真空容器に連通する連通口を有する弁箱内に弁板支持体を、その背面に軸支したガイドローラで案内しながら昇降可能に配置し、この弁板支持体の真空容器側の側面に、弁箱の連通口を開閉する弁板を平行リンク機構を介して接離可能に支持し、弁箱内に、弁板支持体の閉じ移動時に弁板に当接して弁板を弁板支持体から離れる閉じ方向に相対移動させるストッパを設け、弁箱外に、弁箱の壁部を気密状に貫通するピストンロッドを有するシリンダ（アクチュエータ）を取り付けて、そのピストンロッドの先端部を弁箱内の弁板支持体に連結し、シリンダの伸縮作動により弁板支持体を弁箱内で移動させて弁板を開閉させ、シリンダにより弁板支持体を開弁位置に移動させたときには、その弁板支持体と共に弁板を移動させて弁箱の真空容器への連通口を開く一方、弁板支持体を閉弁位置に移動させたときには、その途中で、弁板をストッパに当接させて平行リンク機構により弁板支持体から離隔させ、この離隔により弁板を弁箱の連通口の周りに押し付けて連通口をシール状態で閉じるようになされている。
【０００３】
また、上記のように、弁板を弁板支持体に接離可能に連結支持し、弁板支持体の移動により弁板を接離させて開閉する真空ゲート弁の他の例としては、例えば特開平４―３４７０８４号及び特開平５―１０６７６１号の各公報に示されるように、上記リンク機構に代えてカム機構を用いたものも知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のように、弁板を支持する弁板支持体を移動させ、その開弁位置又は閉弁位置への移動により弁板を弁板支持体に対し接離させて弁箱の連通口を開閉する真空ゲート弁においては、弁板は圧力を受ける強度部材であって比較的重いので、その分、弁板を弁箱に対し支持する剛性が低くなる傾向があり、この弁板の支持剛性の低下は、設置スペースの縮小化等の目的で弁箱の厚さ寸法が薄くされて支持部分の大きさが小さくなると助長される。そして、このような弁板の支持剛性の低下のため、ゲート弁の開弁時に弁板をアクチュエータの駆動速度により決まる一定の開き速度で開いたとき、弁箱の連通口を閉じている弁板が弁板支持体に引き寄せられて連通口の周縁から離隔した後に振動することがあり、その振動により弁板が連通口周縁の弁箱の壁部に衝突してシール部材が損傷したり劣化したりするという問題がある。特に、真空ゲート弁の開閉時間を短縮するために弁板の開閉速度が速い場合には上記問題が顕著となる。
【０００５】
本発明は斯かる点に鑑みてなされたもので、その目的は、真空ゲート弁における弁板の開閉動作をコントロールすることで、開弁直後に弁板が振動するのを抑制し、その弁箱との衝突によるシール部材の損傷や劣化等を防止して真空ゲート弁の作動信頼性、耐久性を向上することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、この発明では、弁板の開閉速度を複数段階に異ならせ、開弁時に弁箱の連通口近辺における弁板の開き速度のみを他の状態の開き速度及び閉じ速度よりも遅くするようにした。
【０００７】
具体的には、請求項１の発明では、真空容器に連通する連通口を有する弁箱内に、駆動手段に駆動されて開弁位置及び閉弁位置の間を移動する弁板支持体と、この弁板支持体に接離可能に支持され、弁板支持体の移動に伴い弁板支持体に対し接離して上記弁箱の連通口を開閉する弁板とが設けられてなる真空ゲート弁が前提である。そして、上記弁板の開閉速度を、開弁時に弁板が弁箱の開口部から離れた後に弁板支持体が開弁位置へ移動開始するまでの間の開き速度のみが他の位置にあるときの開き速度、及び弁板の全ての位置での閉じ速度よりも低くなるように複数段階に切り換える速度切換手段を設ける。
【０００８】
上記の構成により、真空ゲート弁の閉弁時に駆動手段の駆動により弁板支持体が開弁位置から弁板と共に閉弁位置に移動すると、弁板支持体に支持されている弁板が弁板支持体から離隔する方向に移動して弁箱の連通口を閉じ、真空ゲート弁が閉弁状態となる。一方、この閉弁状態からの開弁時には、上記閉弁動作とは逆に、弁板支持体の開弁位置への移動により弁板が弁箱の連通口から離れてそれを開き、真空ゲート弁が開弁する。
【０００９】
そのとき、上記弁板の開閉速度が速度切換手段により複数段階に切り換えられ、上記真空ゲート弁の開弁時に弁板が弁箱の開口部から離れた後に弁板支持体が開弁位置へ移動開始するまでの間にある状態では、その状態でのみ弁板の開き速度が遅くなり、その後に弁板が連通口近辺の位置から他の位置に移動したときの開き速度、或いはゲート弁の閉弁時の弁板の閉じ速度は速くなる。こうして弁箱の連通口近辺の位置にある弁板の開き速度のみが遅いので、弁板が弁箱の連通口からゆっくりと離れて連通口を開くこととなり、この弁板の低速移動によって振動は生じ難く、弁板が弁箱と衝突してシール部材が損傷したり劣化したりすることがなくなり、真空ゲート弁の作動信頼性や耐久性を高めることができる。
【００１０】
また、上記弁板が弁箱の連通口近辺の位置にあるときの開き速度のみが遅く、弁板の他の位置での開き速度及び閉弁時の弁板の閉じ速度は速いので、全体として弁板の開閉速度が低くなることはなく、ゲート弁の開閉時間を短時間に維持することができる。
【００１１】
請求項２の発明では、上記弁板支持体は駆動手段に対し、弁板支持体の移動方向に延びる第１及び第２ロッドにより連結されているものとする。また、駆動手段は、上記第１及び第２ロッドを長さ方向に移動させる１つの直動型のものとする。そして、上記駆動手段の駆動により第１及び第２ロッドが一体的に移動したときには、弁板支持体が弁板と共に移動する一方、第１ロッドが停止して第２ロッドのみが移動したときに、弁板が弁板支持体に対し接離して弁箱の連通口を開閉するように構成されているものとする。
【００１２】
この構成によると、１つの直動型駆動手段の駆動により第１及び第２ロッドが長さ方向に移動し、この両ロッドが一体的に移動することで、弁板支持体が開弁位置及び閉弁位置の間で弁板と共に移動し、第１ロッドが停止して第２ロッドのみが移動することで、弁板が弁板支持体に対し接離して弁箱の連通口を開閉する。従って、１つの駆動手段により、弁板を伴った弁板支持体の開弁位置及び閉弁位置間の移動と、その弁板の弁板支持体に対する接離動作とを行わせることができる。
【００１３】
請求項３の発明では、上記駆動手段は流体シリンダとする。そして、上記速度切換手段は、上記流体シリンダに並列に接続されかつ互いに流量が異なる２系統の流路と、この流路を切り換える切換バルブと、弁板の位置が弁箱の連通口近辺の位置と他の位置との間で変化したときに上記切換バルブを切換作動させるバルブ切換手段とを有するものとする。
【００１４】
このことで、弁板が弁箱の連通口近辺の位置と他の位置との間で移動したときにバルブ切換手段により切換バルブが切換作動し、流体シリンダに接続されている２系統の流路が切り換えられるので、弁板が弁箱の連通口近辺の位置にあるときには流量の小さい流路に、また他の位置にあるときには流量の大きい流路にそれぞれ切り換えればよい。こうして、流量の小さい流路の切換えにより流体シリンダに対し給排される流体の量が少なくなってシリンダの伸縮による駆動速度が遅くなり、弁板が弁箱の連通口近辺の位置にあるときの開き速度を低くすることができ、速度切換手段を容易に具体化することができる。
【００１５】
請求項４の発明では、上記バルブ切換手段は、流体シリンダにより駆動される可動部に取り付けられたカムとする。また、上記切換バルブは、上記カムにより直接駆動されて切り換わるメカニカルバルブとする。こうすると、流体シリンダが伸縮すると、そのシリンダにより駆動される可動部に取り付けられたカムも移動し、このカムにより駆動されて切換バルブとしてのメカニカルバルブが切り換わり、流体シリンダに接続されている２系統の流路が切り換えられる。この場合も速度切換手段をさらに容易に具体化することができる。
【００１６】
請求項５の発明では、バルブ切換手段は、流体シリンダにより駆動される可動部の位置を検出するセンサとする。また、切換バルブは、上記センサからの出力信号により切り換わる電磁バルブとする。このことで、流体シリンダが伸縮すると、そのシリンダにより駆動される可動部が移動し、この可動部の位置がセンサにより検出されて、このセンサの出力信号に基づいて切換バルブとしての電磁バルブが切り換わり、流体シリンダに接続されている２系統の流路が切り換えられる。この場合も速度切換手段を具体化することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
（実施形態１）
図２及び図３は本発明の実施形態１を示し、１は前側に位置する第１真空容器、２は第１真空容器１の後側に隣接する第２真空容器であって、各真空容器１，２はそれぞれ互いに対向配置された左右方向（図３の紙面と直交する方向。図２では左右方向）に長い矩形状の開口３，４を有する。この両真空容器１，２間には両真空容器１，２の内部空間（真空空間）同士を連通又は連通遮断するための真空ゲート弁５が配設されている。この真空ゲート弁５は、両真空容器１，２間に気密状に挟まれた矩形状の弁箱６を備え、この弁箱６の前壁（図３で左側壁）の上部には上記第１真空容器１の開口３に対応する左右方向に長い矩形状の前側連通口７が、また後壁（図３で右側壁）の上部には第２真空容器２の開口４に対応する左右方向に長い矩形状の後側連通口８がそれぞれ開口されており、この連通口７，８を介して弁箱６内の真空空間が各真空容器１，２と連通している。
【００１８】
図４に拡大して示すように、上記弁箱６内には、上記前側連通口７を開閉する前側弁板１６と、後側連通口８を開閉する後側弁板１７とが前後に対向して配置されている。これら両弁板１６，１７は、それぞれ前後の連通口７，８に対応しかつそれよりも若干大きい左右方向に長い矩形状の板材からなり、各々の長さ方向である左右方向に離れた左右両側の２箇所（３箇所以上でもよい）で背面側、つまり他の弁板１７，１６との対向面側から同期して押圧されて各連通口７，８を閉じるようになっている。
【００１９】
すなわち、弁箱６内において上記前後の弁板１６，１７間には上記弁板１６，１７の左右の押圧位置に対応する部分にそれぞれ弁板支持体１９，１９が配置されている。この各弁板支持体１９は、所定厚さを有する円環板状のもので、後述の第１ロッド４６の昇降移動により、上記弁板１６，１７と共に、弁箱６内の下側に位置する開弁位置と、弁箱６内の上側でかつ各連通口７，８に対応する閉弁位置との間を上記両真空容器１，２の配列方向（前後方向）と直交する上下方向に沿って移動可能とされている。弁板支持体１９の上端部には前後方向に延びる係止ロッド２０が貫通されて固定支持されている。この係止ロッド２０の前端部は、前側弁板１６の後面（背面）上部に形成した有底の凹部２１に、また係止ロッド２０の後端部は、後側弁板１７の前面（背面）上部に形成した同様の凹部２２にそれぞれ移動可能に係合されている。この係止ロッド２０と各凹部２１，２２とで係止機構２３が構成され、この係止機構２３により、前後両側の弁板１６，１７が弁板支持体１９にそれぞれ真空容器１，２の配列方向たる前後方向に接離可能にかつ弁板支持体１９の移動方向たる上下方向に沿って相対移動不能に係止支持されており、この弁板支持体１９に対し接離することで弁板１６，１７が弁箱の連通口７，８を開閉するようになっている。
【００２０】
上記円環状の弁板支持体１９の内部には、下端部から上側に向かって左右方向に２股状に分かれた略Ｕ字状の弁板駆動体２５が配置されている。この弁板駆動体２５は、機能的には弁板支持体１９の一部をなすもので、後述の第２ロッド４９のみが第１ロッド４６に対し昇降移動することにより、弁板支持体１９内で下側の開弁状態と上側の閉弁状態との間を所定距離だけ上下方向（弁板支持体１９全体の移動方向）に相対的に昇降移動可能とされている。
【００２１】
上記弁板駆動体２５の２股状に分かれた上部間及び下部間にはそれぞれ水平左右方向に延びる支持軸２６，２７が架設されている。上側の支持軸２６の左右中央部には例えば上側前リンク２８の後端部が、また左右両側部には略Ｕ字状の上側後リンク２９の分離された両方の前端部がそれぞれ揺動可能に支持されている。上記上側前リンク２８の前端部は、前側弁板１６の後面（背面）の有底凹部に取り付けた左右方向に延びる上側支持軸３０に、また上側後リンク２９の集合された後端部は、後側弁板１７の前面（背面）の有底凹部に取り付けた左右方向に延びる上側支持軸３１にそれぞれ揺動可能に支持されている。
【００２２】
また、弁板駆動体２５の下側支持軸２７の左右中央部には例えば上記上側前リンク２８と同様の下側前リンク３２の後端部が、また左右両側部には上側後リンク２９と同様の略Ｕ字状の下側後リンク３３の分離された両前端部がそれぞれ揺動可能に支持され、下側前リンク３２の前端部は、前側弁板１６の後面において上記上側支持軸３０よりも下側の有底凹部に取り付けた左右方向に延びる下側支持軸３４に、また下側後リンク３３の後端部は、後側弁板１７の前面において上記上側支持軸３１よりも下側の有底凹部に取り付けた左右方向の下側支持軸３５にそれぞれ揺動可能に支持されている。よって、上記上下両側の前リンク２８，３２により前側平行リンク機構３６が、また上下両側の後リンク２９，３３により後側平行リンク機構３７がそれぞれ構成されている。
【００２３】
そして、上記弁板支持体１９が閉弁位置にあるときに、その内部で弁板駆動体２５を昇降させることで、両弁板１６，１７を前後の平行リンク機構３６，３７を介して互いに接離するように前後方向（両真空容器１，２の配列方向）に移動させて開閉させる弁板駆動機構３９が設けられている。すなわち、この弁板駆動機構３９は、弁板支持体１９が弁箱６内上側の閉弁位置にあるときに、第２ロッド４９のみの昇降移動による弁板駆動体２５の開弁状態及び閉弁状態の昇降移動（切換わり）に伴って両弁板１６，１７を前後方向に接離、つまり弁板支持体１９に対し接離させて弁箱６の連通口７，８を開閉し、弁板駆動体２５を下降させて開弁状態に切り換えたときには、前後の平行リンク機構３６，３７の各リンク２８，２９，３２，３３を弁板駆動体２５側に向かって下側に向かうように傾斜させ、各弁板１６，１７を弁板支持体１９（弁板駆動体２５）に接近させて連通口７，８周りの弁箱６の前後壁から離隔させることで、その連通口７，８を開く一方、弁板駆動体２５を上昇させて閉弁状態に切り換えたときには、前後の平行リンク機構３６，３７の各リンク２８，２９，３２，３３を前後方向に水平に配置し、各弁板１６，１７を弁板支持体１９から離して連通口７，８周りの弁箱６の前後壁に押し付けることで、その連通口７，８を閉じるようになっている。
【００２４】
上記両弁板１６，１７の背面（対向面）間に亘り円筒状の機構収容ベローズ４１が両者の接離方向に伸縮可能に設けられている。具体的には、機構収容ベローズ４１は、弁板支持体１９の前面と前側弁板１６の後面との間に架設された金属製の前ベローズ４１ａと、弁板支持体１９の後面と後側弁板１７の前面との間に前ベローズ４１ａと同心に架設された同様の後ベローズ４１ｂとに分割され、各ベローズ４１ａ，４１ｂの各々の前後端部は弁板支持体１９及び各弁板１６，１７に気密状に溶接されており、この機構収容ベローズ４１内の空間、つまり前後ベローズ４１ａ，４１ｂ、弁板１６，１７及び弁板支持体１９で囲まれる空間が弁箱６内の他の空間と気密状に区画された収容室４２に形成され、この収容室４２に、上記係止機構２３、弁板駆動体２５、前後の平行リンク機構３６，３７及び弁板駆動機構３９が収容されている。すなわち、機構収容ベローズ４１は、これら係止機構２３、平行リンク機構３６，３７等から発生する塵を収容室４２内に封じ込めて、弁箱６内への放出を防止するものである。
【００２５】
上記弁板支持体１９が弁箱６内で開弁位置及び閉弁位置間を昇降する動きと、この弁板支持体１９内で弁板駆動体２５が相対的に昇降移動する動き、すなわち弁板駆動機構３９の作動とは、いずれも弁箱６の底壁外側からの駆動により行われるようになっている。つまり、図５に拡大して示すように、弁箱６の底壁において各弁板支持体１９の真下の部分（上記弁板１６，１７の左右の押圧位置に対応する部分）には開口部６ａ，６ａが形成され、この各開口部６ａには、上下方向に延びかつ上端が開口する有底状の外筒４４の上端部が同心状にかつ気密状に接合されている。この外筒４４の底部の中心には中心孔４４ａが貫通形成され、また外筒４４の内底部上面には中心孔４４ａの周りから外筒４４内を同心状に上側に延びる内筒部４４ｂが一体に形成されている。
【００２６】
また、上記弁板支持体１９の下端部には弁箱６内を上下方向に延びる筒状の第１ロッド４６の上端部（内端部）が移動一体にかつ気密状に溶接固定されている。この第１ロッド４６は、弁板支持体１９を開弁位置及び閉弁位置間で昇降移動させるもので、上記弁箱６底壁の開口部６ａないし該開口部６ａに同心に接合された外筒４４をその底部の中心孔４４ａ及び内筒部４４ｂに気密状に挿通された状態で貫通している。第１ロッド４６の下端部（外端部）は弁箱６外に延び、この下端部には上側フランジ４７が移動一体に取付固定されており、第１ロッド４６の昇降移動（長さ方向の移動）により弁板支持体１９を開弁位置及び閉弁位置間で移動させ、後述のベローズ取付フランジ６６が弁箱６の底壁の位置に移動したときを弁板支持体１９の開弁位置に、また上側フランジ４７が外筒４４の底部下面に当接したときを閉弁位置にそれぞれ設定している。
【００２７】
一方、上記筒状の第１ロッド４６内には、その内径よりも若干小さい外径を有する第２ロッド４９が上下方向に摺動可能に挿通されている。この第２ロッド４９は、上記弁板駆動機構３９により弁板駆動体２５を開弁状態及び閉弁状態の間で切り換えて弁板１６，１７を開閉させるもので、その上端部（内端部）は、上記弁板支持体１９の下端部に第１ロッド４６と同心状に貫通形成した上下方向の挿通孔１９ａを経て弁板支持体１９内に延び、かつ弁板駆動体２５の下端部にピン５０により移動一体に連結されている。一方、第２ロッド４９の下端部（外端部）は第１ロッド４６の下端部から突出して弁箱６外に延び、この下端部には上側フランジ４７と略同径の下側フランジ５１が移動一体に取付固定されており、第２ロッド４９が第１ロッド４６に対し相対的に摺動して昇降移動（長さ方向の移動）することにより、弁板駆動体２５の開弁状態及び閉弁状態を切り換え、下側フランジ５１が上側フランジ４７から最も離れて後述のリンク機構５６，５６が伸長したときを弁板駆動体２５が開弁状態に、また下側フランジ５１が上側フランジ４７に最も接近して同リンク機構５６，５６が収縮したときを閉弁状態にそれぞれなるようにしている。
【００２８】
上記各下側フランジ５１には、駆動手段としての上下方向の軸心を持つエアシリンダ１００のピストンロッド１００ａ上端部が移動一体に連結されている。すなわち、図２に示すように、上記各弁板１６，１７の左右の押圧位置間の中央下方位置に上下方向の軸線を有する１つのエアシリンダ１００が配置され、このシリンダ１００のボディ上端部は弁箱６に相対移動不能に固定されている。シリンダ１００のピストンロッド１００ａの上端（先端）には、シリンダ１００により駆動される可動部としてのブラケット８２の左右中央部が連結されている。このブラケット８２は左右中央部よりも左右端部が低くなるように略コ字状に折れ曲がった部材からなるもので、その左右端部にそれぞれ上記左右の第２ロッド４９，４９の下端の下側フランジ５１，５１が連結されており、１つのシリンダ１００の駆動により左右の第２ロッド４９，４９や第１ロッド４６，４６等を同期して昇降移動させる。すなわち、後述の如く、シリンダ１００の伸縮作動により、そのピストンロッド１００ａの上端部にブラケット８２を介して連結された各第２ロッド４９を長さ方向に昇降移動させて弁板支持体１９の開弁位置及び閉弁位置間の昇降移動と、弁板駆動体２５の開弁状態及び閉弁状態間の移動切換えとを行うようにしている。
【００２９】
上記弁箱６の外側にある第１ロッド４６及び第２ロッド４９、つまり上側及び下側フランジ４７，５１間は、第２ロッド４９の下端部周りに配置した付勢手段としての圧縮ばね５５により連結されており、この圧縮ばね５５により、第２ロッド４９を第１ロッド４６に対し弁板駆動機構３９が弁板１６，１７を開く下方向に相対移動させるように付勢している。
【００３０】
さらに、弁箱６の外側にある第１ロッド４６及び第２ロッド４９としての上側及び下側フランジ４７，５１間は、直径方向に対向して配置した１対のリンク機構５６，５６を介して連結されている。この各リンク機構５６は、上端部が上側フランジ４７に水平方向の上側リンク軸５７を介して揺動可能に連結された上側リンク５８と、上端部が該上側リンク５８の下端部に水平方向の中間リンク軸５９を介して揺動可能に連結され、下端部が下側フランジ５１に水平方向の下側リンク軸６１を介して揺動可能に連結された下側リンク６０とからなり、上記中間リンク軸５９にはガイドローラ６２が回転可能に支持されている。そして、この各リンク機構５６の上下のリンク５８，６０を上下方向に略一直線上に並べてリンク機構５６を伸長させたときには、下側フランジ５１を上側フランジ４７から離して弁板駆動体２５を開弁状態にすることで、前後の弁板１６，１７を弁板支持体１９に接近させる一方、上下のリンク５８，６０を互いの連結部で中間リンク軸５９が第２ロッド４９から離れるように外側に折り曲げてリンク機構５６を収縮させたときには、下側フランジ５１を上側フランジ４７に接近させて弁板駆動体２５を閉弁状態にすることで、弁板１６，１７を弁板支持体１９から離隔させるようにしている。
【００３１】
また、上記各外筒４４の下側には、シリンダ１００のストロークに対応した所定長さのガイド部６４，６４が外筒４４の真下位置に対応して配置固定されている。この両ガイド部６４，６４は、その間を上記上側及び下側フランジ４７，５１が所定の隙間をあけて昇降移動可能となるように対向配置されたもので、両ガイド部６４，６４の間に側方から上記ブラケット８２の端部が移動可能に挿通されており、シリンダ１００の伸縮作動によるピストンロッド１００ａ及びそれと一体の各下側フランジ５１の昇降動作に応じて各リンク機構５６を伸長状態又は収縮状態に切り換え、シリンダ１００の伸縮作動に伴って弁板支持体１９を開弁位置及び閉弁位置間で昇降移動させたとき、その弁板支持体１９が上昇端の閉弁位置以外にある状態では、上記各リンク機構５６における上下両側リンク５８，６０の連結部にある中間リンク軸５９上のガイドローラ６２を各ガイド部６４の内面で転動案内しながら、各リンク機構５６をガイド部６４，６４間に潜らせて伸長状態に保持する一方、弁板支持体１９が上昇端の閉弁位置にある状態では、各リンク機構５６をガイド部６４，６４上端から突出させて収縮状態に切り換えるようにしている。尚、ガイド部６４の上端面は、上記ガイドローラ６２の昇降時のガイド部６４，６４間に対する出没をスムーズに行わせるように上拡がりのテーパ面に形成されている。
【００３２】
そして、上記弁箱６内の下部にある第１ロッド４６の上端寄り部分にはベローズ取付フランジ６６が気密状に一体に取付固定されている。このベローズ取付フランジ６６の下面には、ベローズ取付フランジ６６よりも下側の第１ロッド４６及び外筒４４底部上面の内筒部４４ｂの周りに配置した金属製の伸縮可能な第１ロッド収容ベローズ６７の上端部が気密状に溶接固定されている。この第１ロッド収容ベローズ６７の下端部は、弁箱６の底壁において第１ロッド４６が貫通される貫通部、つまり外筒４４の底部上面に気密状に溶接固定されており、第１ロッド収容ベローズ６７により第１ロッド４６の貫通部を気密状に覆っている。
【００３３】
尚、前側弁板１６の前面外周部及び後側弁板１７の後面外周部には、それぞれ弁箱６の内面における連通口７，８周りに当接してシールする金属製等のシール部材１６ａ，１７ａが取付固定されている。
【００３４】
さらに、図１に示すように、上記エアシリンダ１００においてピストンロッド１００ａを収縮移動させて弁板支持体１９を開弁位置に移動させるための収縮ポート１００ｂには収縮用エア流路１０１（エア配管）が、またピストンロッド１００ａを伸長移動させて弁板支持体１９を閉弁位置に移動させるための伸長ポート１００ｃには伸長用エア流路１０２（エア配管）がそれぞれ接続され、これら両エア流路１０１，１０２は開閉切換バルブ１０３及びエアタンク１０５を介して加圧エア供給源１０４に接続されている。上記開閉切換バルブ１０３は閉じ位置ＰＳ及び開き位置ＰＯの２位置を有する電磁バルブからなるもので、この開閉切換バルブ１０３を開き位置ＰＯに切り換えることで、加圧エア供給源１０４からの加圧エアを収縮用エア流路１０１によりシリンダ１００の収縮ポート１００ｂに供給し、かつ伸長ポート１００ｃからエアを伸長用エア流路１０２を介して排出してシリンダ１００を収縮させ、弁板支持体１９を閉弁位置から開弁位置に下降移動させる一方、開閉切換バルブ１０３を閉じ位置ＰＳに切り換えることで、加圧エア供給源１０４からの加圧エアを伸長用エア流路１０２によりシリンダ１００の伸長ポート１００ｃに供給し、かつ収縮ポート１００ｂからエアを収縮用エア流路１０１を介して排出してシリンダ１００を伸長させ、弁板支持体１９を開弁位置から閉弁位置に上昇移動させるようにしている。
【００３５】
そして、本発明の特徴として、上記各弁板１６，１７の開閉速度（移動速度）を、弁板１６，１７が弁箱６の連通口７，８近辺の位置にあるときの開き速度が他の位置にあるときの開閉速度よりも低くなるように２段階に切り換える速度切換機構１０６が設けられている。すなわち、この速度切換機構１０６は、上記伸長用エア流路１０２にシリンダ１００に対し並列になるように接続された第１及び第２の２つの開き用分岐流路１０７，１０８と１つの閉じ用分岐流路１０９とを有し、上記閉じ用分岐流路１０９には開閉切換バルブ１０３からシリンダ１００のみにエアが流れるのを許容するチェックバルブ１１０（逆止弁）が配設されている。また、第１開き用分岐流路１０７にはエア流量を可変とした可変オリフィス１１１が、また第２開き用分岐流路１０８にはメカニカルバルブからなる流路切換バルブ１１２がそれぞれ配設されている。この流路切換バルブ１１２は、連通位置Ｐ１及び連通遮断位置Ｐ２の２位置を有していて常時は連通遮断位置Ｐ２にあるが、切換入力部１１２ａの駆動入力により連通位置Ｐ１に切り換えられるもので、その連通位置Ｐ１ではシリンダ１００から開閉切換バルブ１０３のみにエアが流れるのを許容する。よって、第１及び第２開き用分岐流路１０７，１０８は、流路切換バルブ１１２が連通位置Ｐ１にあるときに、シリンダ１００から開閉切換バルブ１０３に流れるエアの流量が互いに異なる２系統の流路とされ、流路切換バルブ１１２は両流路１０７，１０８を切り換える切換バルブとされる。
【００３６】
また、図２に示す如く、上記流路切換バルブ１１２はシリンダ１００のボディ上端に取付固定され、上記シリンダ１００により駆動される可動部であるブラケット８２には、バルブ切換手段としてのカム１１３が一体に取り付けられ、このカム１１３は、弁板１６，１７の位置が弁箱６の連通口７，８近辺の位置と他の位置との間で変化したときに上記流路切換バルブ１１２の切換入力部１１２ａを直接駆動して該流路切換バルブ１１２を切換作動させるようになっており、弁板１６，１７の開閉速度を２段階に切り換え、開弁時に弁板１６，１７が弁箱６の連通口７，８近辺の位置にあるとき、具体的には例えば弁板１６，１７が前後方向に移動して弁箱６の壁部から離れた後に弁板支持体１９と共にその移動方向と同じ下向きの移動開始するまでの間、流路切換バルブ１１２の連通遮断位置Ｐ２によりエアを第１開き用分岐流路１０７に通してその可変オリフィス１１１によりエアの流量を少なくすることにより、エアシリンダ１００の収縮速度を下げて弁板１６，１７の開き速度を遅くする一方、その他の位置に弁板１６，１７があるときには、カム１１３による流路切換バルブ１１２の切換入力部１１２ａの駆動により、その流路切換バルブ１１２を連通位置Ｐ１に切り換えてエアを第２開き用分岐流路１０８に通し、エアの流量を多くする（通常の流量にする）ことにより、エアシリンダ１００の収縮速度を上げて弁板１６，１７の開き速度を速くする。また、閉弁時には、カム１１３による流路切換バルブ１１２の切換位置に関係なく、加圧エアを閉じ用分岐流路１０９に通してシリンダ１００の伸長ポート１００ｃに供給することにより、そのシリンダ１００へのエアの流量を多くして（通常の流量にする）シリンダ１００の伸長速度を上げ、弁板１６，１７の閉じ速度を速くするようにしている。
【００３７】
次に、上記実施形態の作動について説明する。真空ゲート弁５が開弁しているときには、シリンダ１００は収縮してストロークエンドにある。このため、上側及び下側フランジ４７，５１は両者を連結する各リンク機構５６と共にガイド部６４，６４間にあり、その各リンク機構５６が伸長しかつ両フランジ４７，５１が離隔している。このことで弁板支持体１９は開弁位置に位置しており、また、弁板駆動体２５は弁板支持体１９内の下側に位置する開弁状態にあって、前後の平行リンク機構３６，３７の各リンク２８，２９，３２，３３が弁板駆動体２５側に向かって下側に向かうように斜めに傾斜し、前後の弁板１６，１７が互いに接近した位置にあって弁箱６の前後壁の内面から離隔している。また、機構収容ベローズ４１の前後ベローズ４１ａ，４１ｂ及び第１ロッド収容ベローズ６７はいずれも収縮している。
【００３８】
この状態からゲート弁５を閉弁させるときには、開閉切換バルブ１０３が閉じ位置ＰＳに切り換えられ、加圧エア供給源１０４からの加圧エアが伸長用エア流路１０２及びその一部の閉じ用分岐流路１０９を介してシリンダ１００の伸長ポート１００ｃに供給されるとともに、シリンダ１００の収縮ポート１００ｂからエアが収縮用エア流路１０１を介して排出され、このことでシリンダ１００が伸長してピストンロッド１００ａが上昇する。このピストンロッド１００ａの上昇移動に伴い、その上端にブラケット８２を介して連結されている各下側フランジ５１と、該各下側フランジ５１に下端が連結されている第２ロッド４９とが上昇し、この第２ロッド４９の上端に連結されている弁板駆動体２５が弁板支持体１９内で上昇して閉弁状態に切り換わろうとする。しかし、上記下側フランジ５１と上側フランジ４７とを連結しているリンク機構５６，５６はそれぞれガイド部６４，６４によりその間に伸長状態に拘束されており、しかも両フランジ４７，５１間には圧縮ばね５５が介在されているので、上記下側フランジ５１の上昇移動に伴って上側フランジ４７も下側フランジ５１と離隔したままで追従して上昇し、両者の相対移動は生じない。このことで、第１ロッド収容ベローズ６７が伸長しながら、上側フランジ４７に下端部が連結されている第１ロッド４６も一体的に上昇して、その上端部に連結されている弁板支持体１９が開弁位置から閉弁位置に向かって前後の弁板１６，１７と共に上昇する。また、第１ロッド４６及び第２ロッド４９間の相対移動が生じないので、弁板駆動体２５が閉弁状態に切り換わることはなく、前後の弁板１６，１７は互いに接近したままに保たれ、その上昇時に弁板１６，１７が弁箱６の前後壁の内面に接触することはない。
【００３９】
そして、シリンダ１００がさらに伸長して伸長ストロークエンド近くに達すると、上側フランジ４７が、弁箱６の底壁下面に接合されている外筒４４の底部下面に当接してそれ以上の上昇移動が規制され、弁板支持体１９が閉弁位置に停止して、前後の弁板１６，１７がそれぞれ弁箱６における前後の連通口７，８に対応した位置に位置付けられる。この状態では、上記各リンク機構５６がガイド部６４，６４の上端から抜け出し始めており、シリンダ１００のさらなる伸長作動により、上記各リンク機構５６が収縮状態に変化しかつ圧縮ばね５５が圧縮されながら、上記停止規制されている上側フランジ４７に対し下側フランジ５１のみが上昇する。このことで、第１ロッド４６と共に停止保持されている弁板支持体１９に対し、弁板駆動体２５が相対的に上昇して開弁状態から閉弁状態に切り換わり、この弁板駆動体２５の上昇移動により、機構収容ベローズ４１の前後ベローズ４１ａ，４１ｂを伸長させながら、前後の平行リンク機構３６，３７の各リンク２８，２９，３２，３３が前後方向に水平に回動し、前後の弁板１６，１７が互いに離れる方向に移動して弁箱６前後壁の連通口７，８周囲の内面を押圧し、その連通口７，８が気密状に閉塞されて、ゲート弁５が閉弁状態になる。
【００４０】
一方、上記のような閉弁状態にあるゲート弁５を開弁させるときには、上記開閉切換バルブ１０３が閉じ位置ＰＳから開き位置ＰＯに切り換えられる。流路切換バルブ１１２は、切換入力部１１２ａに対するカム１１３の駆動がなくて連通遮断位置Ｐ２にあるので、加圧エア供給源１０４からの加圧エアが収縮用エア流路１０１を介してシリンダ１００の収縮ポート１００ｂに供給されるとともに、シリンダ１００の伸長ポート１００ｃからエアが伸長用エア流路１０２及びその一部の第１開き用分岐流路１０７を介して排出され、このことでシリンダ１００が収縮してピストンロッド１００ａが下降する。このピストンロッド１００ａの下降移動に伴い、その上端にブラケット８２を介して連結されている各下側フランジ５１と、該各下側フランジ５１に下端が連結されている第２ロッド４９とが下降し、この第２ロッド４９の上端に連結されている弁板駆動体２５が弁板支持体１９内で下降して開弁状態に切り換わり、この弁板駆動体２５の下降移動により、機構収容ベローズ４１の前後ベローズ４１ａ，４１ｂを収縮させながら、前後の平行リンク機構３６，３７の各リンク２８，２９，３２，３３が傾斜方向に回動し、前後の弁板１６，１７が互いに近付く方向に移動して弁箱６前後壁の連通口７，８周囲の内面から離れ、その連通口７，８が開かれる。
【００４１】
そのとき、上記シリンダ１００の伸長ポート１００ｃからの排出エアが流れる伸長用エア流路１０２の第１開き用分岐流路１０７には可変オリフィス１１１が配設されているので、その第１開き用分岐流路１０７（伸長用エア流路１０２）を流れるエアの流量は上記閉弁時よりも少なくなる。このため、シリンダ１００の収縮速度が遅くなり、このシリンダ１００により駆動される弁板１６，１７の開き速度も遅くなる。このように弁板１６，１７が弁箱６の連通口７，８近辺の位置にあるときの開き速度が遅くなることで、その弁板１６，１７は弁箱６の連通口７，８からゆっくりと離れることとなり、その弁板１６，１７が急速に離隔した場合に生じる振動は抑制される。このため、振動する弁板１６，１７が弁箱６と衝突してシール部材１６ａ，１７ａが損傷し又は劣化することはなく、よって真空ゲート弁５の作動信頼性や耐久性を高めることができる。
【００４２】
そして、下側フランジ５１と上側フランジ４７とを連結しているリンク機構５６，５６がガイド部６４，６４間に入ってその内部で伸長状態に拘束されると、その後は各上側フランジ４７が上記伸長したリンク機構５６，５６により引っ張られて外筒４４の底部下面から離れ、その各上側フランジ４７と該各上側フランジ４７に下端が連結されている第２ロッド４６とがそれぞれ下側フランジ５１及び第１ロッド４９と相対移動することなく一体的に下降する。
【００４３】
このように第２ロッド４６が下降移動を開始すると、上記ブラケット８２に取り付けられて一体に下降移動するカム１１３が流路切換バルブ１１２の切換入力部１１２ａを駆動して、その流路切換バルブ１１２が連通位置Ｐ１に切り換えられ、シリンダ１００の伸長ポート１００ｃから排出されるエアは伸長用エア流路１０２の一部の第２開き用分岐流路１０８を介して排出される。この第２開き用分岐流路１０８にはオリフィス１１１がなく、流れるエアの流量は上記開弁初期よりも少なくて閉弁時と同じとなる。このため、シリンダ１００の伸長用ポートから排出されるエア流量が多くなってシリンダ１００の収縮速度が閉弁時と同様に速くなり、弁板１６，１７の開き速度が元のように速くなる。
【００４４】
そして、シリンダ１００がさらに収縮して収縮ストロークエンド近くに達すると、元の状態に戻り、ゲート弁５が開弁する。
【００４５】
（実施形態２）
図６〜図８は本発明の実施形態２を示し（尚、図２〜図５と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する）、一方の弁板を弁板支持体１９と一体化したものである。
【００４６】
すなわち、この実施形態では、上記実施形態１とは異なり、弁板支持体１９は後側弁板１７（第２の弁板）に気密シールされて一体的に固定され、前側弁板１６（第１の弁板）のみが弁板支持体１９つまり後側弁板１７と接離可能とされている。そして、この弁板支持体１９と後側弁板１７との間には機構収容ベローズ４１が設けられておらず、弁板支持体１９と前側弁板１６との間のみに機構収容ベローズ４１が架設されている（尚、後側弁板１７に代えて前側弁板１６を弁板支持体１９に固定し、後側弁板１７のみを弁板支持体１９に接離可能とするとともに、この後側弁板１７と弁板支持体１９との間に機構収容ベローズ４１を架設するように変更してもよい）。
【００４７】
さらに、弁板駆動体２５は第２ロッド４９の上端部に延設されたロッド状のもので、その上下部にはそれぞれ後側面を段差状に切り欠いた切欠部２５ａ，２５ａが上下方向に間隔をあけて形成され、この各切欠部２５ａにそれぞれ上下の支持軸２６，２７が左右中央部の切欠部２６ａ，２７ａにて係合されて図示しないボルトにより締結固定されている。この各支持軸２６，２７の左右両側にはそれぞれリンク２８，３２の後端部が揺動可能に支持され、このリンク２８，３２の前端部は前側弁板１６の後面に取り付けた支持軸３０，３４に揺動可能に支持されている。尚、上記弁板支持体１９側の各支持軸２６，２７の左右両端部にはそれぞれローラ７１，７１が回転可能に支持されており、このローラ７１，７１を弁板駆動体２５の閉弁状態で後側弁板１７の前面に押し付けることで反力を得るようにしている。また、前側弁板１６の後面の支持軸３０，３４には、弁板支持体１９の前面に凹設した上下のローラガイド部１９ｂ，１９ｂ内を転動して案内されるローラ７２，７２が回転可能に支持されており、このローラガイド部１９ｂとローラ７２とにより係止機構２３が構成されている。
【００４８】
また、弁箱６の底壁に連設される外筒４４の底部には、上記第１ロッド４６をその内部の第２ロッド４９と共に案内する第１ロッド案内部としての案内筒７４が取り付けられている（尚、シリンダ１００の伸長作動により弁板支持体１９が閉弁位置に位置付けられたときに、上側フランジ４７は案内筒７４の下端に当接する）。この案内筒７４は第１ロッド４６を摺動可能に挿通する筒状のもので、その上下端の開口部にはそれぞれ第１ロッド４６の外面に摺接する案内リング７５，７６が嵌合固定されている。この上側の案内リング７５は下側の案内リング７６に対し僅かに前側に偏心されており、この両案内リング７５，７６間の偏心により、弁板支持体１９が閉弁位置以外にあるとき、具体的には下端の開弁位置と上端の閉弁位置近くとの間で昇降するときには、後側弁板１７と弁箱６の後壁内面との間に間隙が形成されるように第１ロッド４６を弁板支持体１９や前後の弁板１６，１７等と共に僅かに前傾した状態で案内する。また、第１ロッド４６の前側外面には、弁板支持体１９が閉弁位置にあるときの下側案内リング７６に対応する部分に凹部４６ａが切り欠いて形成されており、この凹部４６ａが下側案内リング７６の位置に移動して弁板支持体１９が閉弁位置にあるときに、その凹部４６ａの隙間分だけ第１ロッド４６の上端部を前後移動可能として、弁板支持体１９の前後方向（両真空容器１，２の配列方向）への移動を許容するようにしている。
【００４９】
尚、上記案内筒７４の下端部には下側案内リング７６に亘り孔部７７が半径方向に貫通して形成され、この孔部７７内には、下側案内リング７６の内面から突出可能なボール７８と、このボール７８を下側案内リング７６の内面から突出させて第１ロッド４６の外面に押し付けるばね７９と、このばね７９の外端部を押すように孔部７７を閉じる蓋部８０とが収容されており、第１ロッド４６の凹部４６ａが下側案内リング７６の位置に移動して弁板支持体１９が閉弁位置にあるときに、ボール７８により第１ロッド４６の凹部４６ａを押圧付勢することで、弁板支持体１９の前後方向へのふらつきを規制している。その他の構成は上記実施形態１と同様である。
【００５０】
したがって、この実施形態においては、開弁状態にある真空ゲート弁５が閉弁するとき、シリンダ１００の伸長作動により左右の第２ロッド４９，４９が同期して押し上げられ、この各第２ロッド４９にリンク機構５６，５６及びばね５５により連結されている第１ロッド４６が相手側の第１ロッド４６と同期して上昇する。この各第１ロッド４６の上昇移動により、弁板支持体１９が、該弁板支持体１９に係止機構２３を介して支持されている前側弁板１６及び弁板支持体１９に一体的に固定支持されている後側弁板１６と共に開弁位置から閉弁位置に移動する。
【００５１】
そのとき、上記各第１ロッド４６は案内筒７４における上下の案内リング７５，７６により案内され、この案内により後側弁板１７と弁箱６の後壁内面との間に間隙が形成された前傾状態で上昇移動する。このため、その後側弁板１７と弁箱６の後壁内面とが接触しないので、その接触による発塵を招くことはない。
【００５２】
そして、弁板支持体１９が閉弁位置に移動すると、上側フランジ４７が案内筒７４の下端に当接して移動規制されるとともに、上記第１ロッド４６外周の凹部４６ａが下側案内リング７６の位置に移動し、この凹部４６ａの隙間分だけ、弁板支持体１９の前後方向への移動が許容される。この弁板支持体１９の前後方向への移動を許容された状態で、第２ロッド４９のさらなる上昇移動により弁板駆動体２５が閉弁状態に切り換えられ、この弁板駆動体２５に平行リンク機構３６を介して連結されている前側弁板１６が後側弁板１７から離隔する方向に移動して弁箱６の前側連通口７を閉じる。そして、この前側弁板１６が弁箱６の前壁から受ける反力により後側弁板１７が後側に押されて弁箱６の後側の連通口８を閉じ、これらにより真空ゲート弁５が閉弁する。この真空ゲート弁５が開弁するときには、上記と逆の動作が行われる。
【００５３】
尚、上記実施形態では、シリンダ１００の可動部としてのブラケット８２にカム１１３を取り付け、このカム１１３により直接に駆動されるメカニカルバルブからなる流路切換バルブ１１２を連通遮断位置Ｐ２から連通位置Ｐ１に切り換えるようにしているが、この他、流路切換バルブをメカニカルバルブに代えて電磁バルブとし、シリンダ１００により駆動される可動部の位置をセンサにより検出して、このセンサからの出力信号により流路切換バルブ（電磁バルブ）の切換えを行うようにしてもよく、同様の作用効果が得られる。
【００５４】
また、上記実施形態では、駆動手段としてエアシリンダ１００を用いているが、液圧シリンダでもよく、その他、回転型のアクチュエータを用いることもでき、電磁型の各種アクチュエータを用いてもよい。また、弁板支持体１９とそれに対し接離する弁板１６，１７との連結構造、弁板支持体１９の駆動構造やその移動方向等は上記各実施形態に限定されず、本発明の技術思想を損なわない範囲で変更することができる。
【００５５】
また、上記各実施形態では、機構収容ベローズ４１を弁板支持体１９と弁板１６，１７との間に架設しているが、前後の弁板１６，１７の背面間に直接架設して、その内部に弁板駆動機構３９に加え弁板支持体１９をも収容できるようにしてもよい。
【００５６】
さらに、上記各実施形態では、弁板支持体１９及び弁板１６，１７を上昇移動させて開弁し、下降移動させて閉弁するようにしているが、逆に弁板支持体１９及び弁板１６，１７の下降移動により開弁し、上昇移動により閉弁するようにしてもよい。また、弁板支持体１９及び弁板１６，１７の開閉動作の向きを必ずしも上下方向に限定する必要はないのは勿論である。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明のように、請求項１の発明によると、真空容器に連通口を介して連通する弁箱内に、駆動手段の駆動により移動する弁板支持体と、この弁板支持体に支持され、弁板支持体に対し接離して弁箱の連通口を開閉する弁板とが設けられた真空ゲート弁に対し、弁板の開閉速度を複数段階に切り換える速度切換手段を設けて、開弁時に弁板が弁箱の開口部から離れた後に弁板支持体が開弁位置へ移動開始するまでの間の開き速度のみを、他の位置にあるときの開き速度、及び弁板の全ての位置での閉じ速度よりも低くしたことにより、真空ゲート弁の開弁時の弁板の振動を抑制して、その弁箱との衝突によるシール部材の損傷や劣化を防止でき、よって真空ゲート弁の開閉時間の短縮化を維持しつつその作動信頼性や耐久性の向上を図ることができる。
【００５８】
請求項２の発明によると、駆動手段を１つの直動型のものとして、この駆動手段に対し弁板支持体を弁板支持体の移動方向に延びかつ駆動手段により長さ方向に移動する第１及び第２ロッドにより連結し、両ロッドの一体的な移動により弁板支持体を弁板と共に移動させる一方、第１ロッドの停止状態で第２ロッドのみが移動したときに弁板を弁板支持体に対し接離させて弁箱の連通口を開閉するようにしたことにより、１つの駆動手段により、弁板を伴った弁板支持体の開弁位置及び閉弁位置間の移動と、その弁板の弁板支持体に対する接離動作とを行わせることができる。
【００５９】
請求項３の発明では、駆動手段は流体シリンダとし、この流体シリンダに並列に接続されかつ互いに流量が異なる２系統の流路と、この流路を切り換える切換バルブと、弁板の位置が弁箱の連通口近辺の位置と他の位置との間で変化したときに切換バルブを切換作動させるバルブ切換手段とを設けた。また、請求項４の発明では、上記バルブ切換手段は、流体シリンダにより駆動される可動部に取り付けられたカムとし、切換バルブは、そのカムにより直接駆動されて切り換わるメカニカルバルブとした。さらに、請求項５の発明では、バルブ切換手段は、流体シリンダにより駆動される可動部の位置を検出するセンサとし、切換バルブは、そのセンサからの出力信号により切り換わる電磁バルブとした。これらの発明によると、弁板が弁箱の連通口近辺の位置にあるときに、流量の小さい流路への切換えにより流体シリンダに対し給排される流体の量を少なくしてシリンダの駆動速度を遅くでき、弁板が弁箱の連通口近辺の位置にあるときの開き速度を低くするための速度切換手段を容易に具体化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態１に係る真空ゲート弁における駆動エア回路を示す回路図である。
【図２】 真空ゲート弁の全体構成を示す側面図である。
【図３】 真空ゲート弁の全体構成を示す断面図である。
【図４】 真空ゲート弁の上半部を示す拡大断面図である。
【図５】 真空ゲート弁の下半部を示す拡大断面図である。
【図６】 実施形態２の真空ゲート弁を示す図２相当図である。
【図７】 実施形態２の真空ゲート弁の上半部を示す図４相当図である。
【図８】 実施形態２の真空ゲート弁の下半部を示す図５相当図である。
【符号の説明】
１，２ 真空容器
５ 真空ゲート弁
６ 弁箱
７，８ 連通口
１６，１７ 弁板
１９ 弁板支持体
２３ 係止機構
２５ 弁板駆動体
３６，３７ 平行リンク機構
３９ 弁板駆動機構
４１ 機構収容ベローズ
４２ 収容室
４４ 外筒
４６ 第１ロッド
４９ 第２ロッド
５５ 圧縮ばね
５６ リンク機構
６４ ガイド部
８２ ブラケット（可動部）
１００ エアシリンダ（駆動手段）
１０６ 速度切換機構（速度切換手段）
１０７，１０８ 開き用分岐流路
１１１ 可変オリフィス
１１２ 流路切換バルブ
１１３ カム

Claims (5)

1. 真空容器に連通する連通口を有する弁箱内に、駆動手段に駆動されて開弁位置及び閉弁位置の間を移動する弁板支持体と、該弁板支持体に接離可能に支持され、弁板支持体の移動に伴い弁板支持体に対し接離して上記弁箱の連通口を開閉する弁板とが設けられてなる真空ゲート弁において、
   上記弁板の開閉速度を、開弁時に弁板が弁箱の開口部から離れた後に弁板支持体が開弁位置へ移動開始するまでの間の開き速度のみが他の位置にあるときの開き速度、及び弁板の全ての位置での閉じ速度よりも低くなるように複数段階に切り換える速度切換手段を設けたことを特徴とする真空ゲート弁。
2. 請求項１の真空ゲート弁において、
   弁板支持体は駆動手段に対し、弁板支持体の移動方向に延びる第１及び第２ロッドにより連結され、
   上記駆動手段は、上記第１及び第２ロッドを長さ方向に移動させる１つの直動型のものとされており、
   上記駆動手段の駆動により第１及び第２ロッドが一体的に移動したときには、弁板支持体が弁板と共に移動する一方、第１ロッドが停止して第２ロッドのみが移動したときに、弁板が弁板支持体に対し接離して弁箱の連通口を開閉するように構成されていることを特徴とする真空ゲート弁。
3. 請求項１又は２の真空ゲート弁において、
   駆動手段は流体シリンダであり、
   速度切換手段は、上記流体シリンダに並列に接続されかつ互いに流量が異なる２系統の流路と、
   上記流路を切り換える切換バルブと、
   弁板の位置が弁箱の連通口近辺の位置と他の位置との間で変化したときに上記切換バルブを切換作動させるバルブ切換手段とを有することを特徴とする真空ゲート弁。
4. 請求項３の真空ゲート弁において、
   バルブ切換手段は、流体シリンダにより駆動される可動部に取り付けられたカムであり、
   切換バルブは、上記カムにより直接駆動されて切り換わるメカニカルバルブであることを特徴とする真空ゲート弁。
5. 請求項３の真空ゲート弁において、
   バルブ切換手段は、流体シリンダにより駆動される可動部の位置を検出するセンサであり、
   切換バルブは、上記センサからの出力信号により切り換わる電磁バルブであることを特徴とする真空ゲート弁。

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