CN101109453B - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

一种真空阀，其包括带气门孔的阀体、阀板、阀杆、横向驱动单元、纵向驱动单元、导向装置，其中阀板可从张开位置经中间位置调节到闭合位置中并且可从闭合位置经中间位置调节到张开位置中，在张开位置中阀板释放气门孔，在中间位置中阀板覆盖气门孔但从阀座上抬起，其中可借助于横向驱动单元沿横向于气门孔纵轴线的横向调节方向调节阀板，并且借助于纵向驱动单元沿平行于气门孔纵轴线的纵向调节方向以及反向于纵向调节方向调节阀板，并且借助于导向装置可相对于阀体平行于纵向调节方向移动地导引横向驱动单元，并且在将阀板从其中间位置调节到其闭合位置中以及从其闭合位置调节到其中间位置中时，横向驱动单元相对于阀体平行于纵向调节方向移动。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀，该真空阀包括具有气门孔和将所述气门孔包围的阀座的阀体、阀板、承载着所述阀板的阀杆、横向驱动单元和纵向驱动单元，其中所述气门孔具有纵轴线，所述阀板可以从张开位置经过中间位置调节到抵靠着所述阀座的闭合位置中并且可以从所述闭合位置经过所述中间位置调节到所述张开位置中，在所述张开位置中所述阀板释放所述气门孔，在所述中间位置中所述阀板覆盖所述气门孔但从阀座上抬起，并且其中借助于所述横向驱动单元可以将所述阀板沿横向于所述气门孔的纵轴线的横向调节方向从其张开位置调节到其中间位置中并且可以反向于所述横向调节方向从其中间位置调节到其张开位置中，并且借助于所述纵向驱动单元可以将所述阀板沿平行于所述气门孔的纵轴线的纵向调节方向从其中间位置调节到其闭合位置中并且可以反向于纵向调节方向从其闭合位置调节到其中间位置中。
背景技术
一种所述的阀门比如由US 2004/0079915 A1得到公开。在可由横向驱动单元在轴向方向上移动的阀杆上，安装了一个支撑体，在该支撑体上布置了用于将所述阀板压紧到所述阀座上的纵向驱动单元。在一种实施方式中，在所述支撑体上在所述阀板的对置的一侧上固定着支撑板，该支撑板可借助于活塞-气缸-单元压紧在所述阀体的内壁上，用于承受所述阀板的反作用力。这种结构比较复杂，并且由此产生较高费用，并且导致较大的结构。在另一种实施方式中，所述压紧板也可以省去，其中所述阀板的反作用力必须由所述阀杆承受或者所述阀杆必须具有相应的弹性，使得所述支撑体可以压紧在所述阀体的与所述阀座对置的内壁上。
另一种开头所述类型的阀门由US 6,561,484 B2得到公开。在阀杆上要么安装了具有活塞-气缸-单元的支撑板，借助于该活塞-气缸-单元将所述阀板压紧在所述阀体上，要么在所述阀杆上安装具有活塞-气缸-单元的阀板，借助于该活塞-气缸-单元将支撑板压紧在所述阀体的与所述阀座对置的内壁上，其中所述阀板朝所述阀座推动。由US 6,561,483B2也公开了一种类似的真空阀。
由US 6,056,266和US 6,899,316 B2公开了其它的真空阀，其中所述阀板可借助于活塞-气缸-单元相对于安装在所述阀杆上的支撑体移动。
在出自US 6,431,518 B1的真空阀上，所述阀板安装在阀杆上，该阀杆同样可以借助于活塞-气缸-单元在释放气门孔的位置和将所述气门孔覆盖但从阀座上抬起的位置之间调节。这种活塞-气缸-单元的气缸可围绕着垂直于所述阀杆的纵轴线并且垂直于所述气门孔的纵轴线定向的轴线偏转。通过这个气缸借助于另一个可以比如同样构造为活塞-气缸-单元的驱动单元进行的偏转，将所述阀板压紧在所述阀座上。
US 6,776,394 B2示出了一种摆动阀(Pendelventil)，其中在阀板的闭合位置中该阀板额外地借助于挺杆压紧在阀座上，所述挺杆由活塞致动，所述活塞则可移动地支承在所述阀体的圆柱孔中。
发明内容
本发明的任务是提供一种开头所述类型的真空阀，其中所述阀板可以在阀杆没有弯曲的情况下抵靠在阀座上，其中这种结构仍然十分简单，并且其中所述阀板可以平行地抵靠在阀座上。按本发明，通过一种具有权利要求1所述特征的真空阀实现这一点。
在按本发明的设计方案中，所述横向驱动单元可相对于所述阀体平行于纵向移动方向移动地进行导向，通过这种按本发明的设计方案所述阀板可以精确地平行移向所述阀座，可以实现所述阀板在很大程度上无间隙以及很高的抗扭刚度。
按本发明的真空阀可以具有简单且成本低廉的结构。
所述按本发明的结构实现了节省位置空间的设计方案。
此外，在一种按本发明的真空阀上在真空区外部通过检测所述横向驱动单元的位置来探测所述阀板是处于其闭合位置中还是处于其中间位置中。
在本发明的一种优选的实施方式中，所述用于相对于所述阀体可移动导引所述横向驱动单元的导向装置构造为平行四边形导向装置。
优选为所述横向驱动单元设置止挡，所述横向驱动单元在所述阀板的中间位置中借助于压紧元件比如借助于弹簧元件压紧在该止挡上，并且在所述阀板的闭合位置中所述横向驱动单元从该止挡上抬起。这种压紧元件可以用于将所述阀板从其闭合位置推入其中间位置中。
在本发明的一种优选的实施方式中，所述阀板直接安装在所述阀杆上并且具有挺杆，所述挺杆可以借助于活塞-气缸-单元压紧在所述阀体的与所述阀座对置的内壁上，用于将所述阀板从其中间位置推入其闭合位置中并且将其压紧在所述阀座上。
附图说明
下面借助于附图对本发明的其它优点和细节进行解释。附图示出：
图1是一种按本发明的真空阀的实施例的示意图，其中阀板处于闭合位置中；
图2是沿图1所示线条A-A的示意剖面图；
图3是相应于图2的剖面图，但阀板处于中间位置中；
图4是相应于图2的剖面图，但阀板处于张开位置中；
图5是用于可移动导引所述横向驱动单元的导向件的斜视图；
图6和图7是图5所示导向件的横截面图，其中该导向件分别处于初始位置和偏移的位置中，
图8和图9是所述导向件的一种经过改动的实施方式的相应于图6和7的横截面图；
图10和图11是所述导向件的另一种实施方式的相应于图6和7的横截面图；
图12和13是所述导向件的另一种实施方式的相应于图6和7的横截面图；
图14和15是所述导向件的另一种实施方式的相应于图6和7的横截面图；
图16是一种用于横向驱动单元的导向装置的示意剖面图，该导向装置具有经过改动的压紧元件；
图17到19是所述阀杆从所述阀体的真空区中引出、经过改动的引出端(Herausführung)(＝套管)的示意纵向中间剖面图，其中所述阀板分别处于张开位置、中间位置和闭合位置中；
图20是所述套管的翻转元件的放大的纵向中间剖面图；
图21到23是另一种经过改动的套管的相应于图17到19的纵向中间剖面图；
图24到26是按本发明的真空阀的另一种实施方式的示意剖面图，其中所述阀板分别处于张开位置、中间位置和闭合位置中；
图27和28是按本发明的真空阀的另一种实施方式的示意剖面图，其中所述阀板处于闭合位置和中间位置中(图30的剖切线B-B)；
图29是所述真空阀在用于横向驱动单元的导向装置的区域中的放大的截取部分；
图30是按该实施方式的真空阀的示意图。
具体实施方式
在图1到7中示意示出了本发明的第一实施例。该真空阀具有一个阀体1，该阀体1在所示出的实施例中构造为外壳类型。对置的壁体2、3被一个形成气门孔4的进入口和一个排出口5从中穿过。所述气门孔4被阀座6所包围，该阀座6则由在所述壁体2的内侧上的密封面所构成。
在所示出的实施例中，如优选的一样，所述气门孔的纵轴线10与所述排出口5的纵轴线重合。
所述阀体1的内腔7形成所述真空阀的真空区，在该内腔7中布置了阀板8。在所述阀板8的闭合位置中，该阀板8压紧在所述阀座6上，其中所述阀板的密封件9抵靠在阀座6上。
比如所述密封件9也可以布置在所述阀座6上，并且在所述阀板8上可以设置一个密封面用于与该密封件共同作用。
在图4中所示的阀板8的张开位置中，该阀板8释放所述气门孔4。从所述阀板8的张开位置开始经过在图3中示出的中间位置关闭所述真空阀，其中在所述中间位置中所述阀板8覆盖着所述气门孔4(沿所述气门孔4的纵轴线10看上去)但从所述阀座6上抬起。与此相反，在打开所述真空阀时，所述阀板8则从所述闭合位置首先转换到中间位置中并且而后转换到张开位置中。
所述阀板8在所述张开位置和中间位置之间的调节以横向于、尤其以垂直于所述气门孔4的纵轴线10的方式进行。所述阀板8在中间位置和闭合位置之间的调节则以平行于所述气门孔4的纵轴线10的方式进行。
在所示出的实施例中，所述阀板8直接安装在阀杆11的端部上。为了对所述阀板8在所述张开位置和中间位置之间进行调节，所述阀杆11借助于位于所述真空阀的真空区外部的横向驱动单元12在其轴向方向上沿着所述横向调节方向16以及反向于所述横向调节方向16移动。所述阀杆11平行于所述横向调节方向16。纵向驱动单元13用于对所述阀板8在其中间位置和其闭合位置之间并且沿着所述纵向调节方向17以及反向于所述纵向调节方向17进行调节。
所述横向驱动单元12在所示出的实施例中由一个具有活塞14的活塞-气缸-单元构成，所述阀杆11安装在该活塞14上并且该活塞14可在气缸15中移动。比如所述活塞14可以构造成双作用的活塞的形式。也可以考虑使用单作用的活塞并且结合给活塞在另一个调节方向上进行弹簧加载。通过压缩气体比如压缩空气或者处于压力之下的氮气对所述活塞14进行加载。压缩空气接头53、54在图2到4中示意示出。
也可以考虑以其它方式构成的横向驱动单元12，其中比如也可以通过电动机进行驱动。
所述横向驱动单元12可通过导向装置18相对于所述阀体1平行于所述纵向调节方向移动地得到导引，该导向装置18在所示出的实施例中构造为平行四边行导向装置的形式。所述导向装置18在所述阀杆的两侧分别具有一个板状导向件19，该导向件19分别可围绕着第一轴20偏转地与所述横向驱动单元12的气缸15相连接以及可围绕着第二轴21偏转地与所述阀体1相连接。所述第一和第二轴20、21垂直于所述横向调节方向16并且垂直于所述纵向调节方向17。两根第一轴20穿过的平面和两根第二轴21穿过的平面分别垂直于所述横向调节方向16。所述导向件19彼此平行。
所述轴20、21可以比如由薄膜铰链构成，就象在图5到7中所示出的一样。为此，板22比如具有由单侧的槽状凹处23、24构成的横截面变细结构。这些横截面变细结构将在处于凹处23、24之间的区域中延伸的导向件19与在两侧连接的紧固法兰25、26隔开，利用所述紧固法兰25、26将所述板22一方面旋紧在气缸15上，另一方面旋紧在阀体1上。所述板22可以比如由金属板比如铝板制成。也可以考虑由塑料比如纤维增强型塑料进行构造。
所述阀杆11在该实施例中借助于波纹管27保持密封，并且在此可沿所述横向调节方向16和纵向调节方向17移动地从所述阀体1的构成真空区的内腔7中引出来。所述波纹管27的端头28、29以真空密封的方式与所述阀体1或者说与所述阀杆11相连接。
为构造所述纵向驱动单元13，所述阀板8可以比如象所示出的一样构造为外壳类型，并且具有一个内腔30，至少一个活塞31可在该内腔30中移动。在所述活塞31上安装了挺杆32，所述挺杆32至少在所述活塞31的主动位置中(参照图2)通过相应的开口从所述阀板8的内腔30中伸出来。在所述活塞31的这个主动位置中，所述挺杆32支撑在所述壁体3的与所述阀座6对置的内侧上，并且将所述阀板8压紧在所述阀座6上。与此相反，在所述活塞31的被动位置中(图3和4)所述挺杆32从所述壁体3上抬起。
所述活塞31可以比如在其圆周范围内相对于所述阀板8的圆柱孔的内壁借助于圆周密封件得到密封。在所示出的实施例中，为了象示意示出的一样对所述工作腔33、34进行密封布置了膜片密封件35、36。这些膜片密封件35、36具有刚性的中间区段和柔性的边缘区段，所述中间区段抵靠着所述阀板8的相应的内壁并且所述边缘区段则相应密封地设置在活塞31上。借助于压缩气体通道37、38，可以向所述工作腔33、34加载压缩气体，比如压缩空气或处于压力之下的氮气。所述压缩气体通道37、38延伸通过所述阀杆11，并且在这个区段中其走向在图2到4中通过虚线示出。
所述挺杆32优选以密封的方式比如借助于膜片39从所述内腔30中引出。
所述膜片密封件35、36的中间区段借助于轴颈42压紧在所述阀板8的对内腔30进行限界的壁体上。所述轴颈42也可以用于可移动地导引所述活塞31。
此外，在所述真空区外部有一个压紧元件40，该压紧元件与所述横向驱动单元12共同作用。在按图1到7的实施例中，所述压紧元件40由弹簧构成。在所述活塞31的被动位置中(图3和4)，所述压紧元件40将所述横向驱动单元12压紧在固定在阀体上的止挡41上。
如果所述真空阀从所述阀板8的张开位置开始进行关闭，那么所述阀板8首先借助于所述横向驱动单元12沿所述横向调节方向16从其张开位置(图4)调节到其中间位置中(图3)。在这种情况下，所述活塞31处于其被动位置中并且所述横向驱动单元12由至少一个压紧元件40压紧在所述止挡41上。而后将所述活塞31调节到其主动位置中，其中所述挺杆32抵靠着所述壁体3的内侧，并且所述阀板8连同所述阀杆11和横向驱动单元12沿纵向调节方向17移动。在这种情况下，所述横向驱动单元12从所述止挡41上抬起。
为打开所述真空阀，将所述活塞31调节到其被动位置中，其中所述至少一个压紧元件40将横向驱动单元12并且与该横向驱动单元12一起将所述阀杆11以及所述阀板8反向于所述纵向调节方向17推移，直到所述横向驱动单元12抵靠在所述止挡41上。由此到达所述阀板8的中间位置，并且以后借助于所述横向驱动单元12将所述阀板8移到其张开位置中。
优选存在至少一个传感器43用于检测所述横向驱动单元12的位置，其中所述至少一个传感器43布置在所述真空阀的真空区的外部并且优选直接与所述横向驱动单元12共同作用。在所示出的实施例中有一个这样的传感器43，在所述阀板8处于其闭合位置中的时候通过该传感器43来检测所述气缸15移向该传感器43的情况。在所述阀板8的闭合位置中，不得致动所述横向驱动单元12。
图8到15示出了其它方案，这些方案用于可围绕着所述轴20、21偏转地或者说弯曲地将板状导向件19与所述横向驱动单元12以及所述阀体1相连接。在按图8和9的实施例中(在未偏转的和已移动的状态中)，在所述板22上从两个表面上加入槽状凹处23、24。在图10和11或者说12和13的实施方式中，所述凹处23、24构造为V形(在所述板的一侧或两侧上)。在按图14和15的实施方式中，所述导向件19由连续的、相应柔性的、无凹处的板构成。通过两个平行的以这种形式构成的导向件19的使用，通过在所述导向件19中构造弯曲点同样可以实现平行导向。
图16示出了所述压紧元件40的另一种可能的构造形式。在该实施方式中，将所述压紧元件40构造为活塞-气缸-单元的形式，通过该活塞-气缸-单元可以将所述横向驱动单元12压紧在所述止挡41上。优选也给所述活塞44加载压缩气体。所述活塞44在此构造为单作用的活塞。
图17到19示出了所述阀杆11从真空阀的真空区中引出的引出端的另一种可能的构造形式。在所述阀杆11上以真空密封的方式安装了波纹管27的其中一个端头28。所述波纹管27的另一个端头29由紧固件45不可相对于所述横向驱动单元12移动地固定在该横向驱动单元12上。比如所述紧固件45可以构造为套筒状。在所述端头29和所述阀体1之间延伸着一个翻转元件46，该翻转元件46具有圆锥形状并且在两个端部区段中具有外面的环绕的密封凸起47、48。这些密封凸起47、48抵靠着所述端头29和阀体1的密封面。在所述横向驱动单元12相对于所述阀体1沿纵向调节方向17移动时，所述翻转元件46围绕着垂直于所述纵向调节方向17并且垂直于所述横向调节方向16的轴翻转。
在所述阀杆11的在图21到23中示出的实施方式中，相对于所述在图17到19中示出的实施方式，所述波纹管27由用于所述阀杆11的移动密封元件49所代替。所述阀杆11可相对于所述移动密封元件49在轴向方向上移动地借助于所述移动密封元件49的以圆周方式抵靠着所述阀杆11的密封件50得到密封。所述移动密封元件49又通过紧固件45与所述横向驱动单元12相连接并且借助于翻转元件46可相对于所述阀体1沿所述纵向调节方向17移动。所述真空阀的真空区通过该翻转元件46一直延伸到所述移动密封元件49处。
在按图24到26的实施例中，所述纵向驱动单元13完全布置在所述真空阀的真空区外部。所述纵向驱动单元13直接作用于所述横向驱动单元12，用于使该横向驱动单元12沿着所述纵向调节方向17并且反向于所述纵向调节方向17相对于所述阀体1移动。由此，也使所述阀杆11并且使所述阀板8与该阀杆11一起沿所述纵向调节方向17移动。
所述纵向驱动单元13在这种情况下可以比如由活塞-气缸-单元构成。如果所述阀板8已经由所述横向调节单元12调节到其中间位置中，那么所述阀板8可以借助于这个活塞-气缸-单元沿所述纵向调节方向17移动并且置于其闭合位置中。同样也借助于这个活塞-气缸-单元从所述闭合位置复位到所述中间位置中。所述活塞-气缸-单元的活塞51可以比如象所示出的一样构造为单作用的活塞51，该活塞51沿所述纵向调节方向17起作用，其中所述活塞的反向移动则通过弹簧52进行。同样也可以使用一种双作用的活塞。优选也对所述活塞加载压缩气体。
一种这样的实施方式尤其适合于一些特定的应用情况，在这样的应用情况中所述阀板8仅仅加载了一种压差，该压差将所述阀板8压紧在所述阀座6上。因此，在所述阀板8的闭合位置中不必有很高的闭合力在起作用，在此利用所述闭合力将所述阀板8压紧在所述阀座6上。仅仅设计用于朝一个方向起作用的压差的真空阀也称为“门”。这样的门可以比如用于对在真空室的壁体中的开口进行密封。管道中的开口也可以通过这样的门进行密封，如果所述压差仅仅朝一个方向起作用。按具体的应用情况，所述阀体1也不一定构造为外壳类型，其中尤其可以省去所述壁体3和用于所述阀杆11的经过密封的引出端。
在图27到30中示出了本发明的另一种实施例。所述用于相对于所述阀体1可移动地导引所述横向驱动单元12的导向装置18在该实施例中构造为球循环导向装置(Kugelumlaufführung)的形式。比如所述导向装置18也可以构造为滑动导向装置的形式。
在本发明的另一种实施方式中，也可以在所述阀杆11上布置一个外壳类型的支撑体，该支撑体沿纵向调节方向可移动地承载着所述阀板。在这种情况下，该支撑体可以配有构成所述纵向驱动单元的活塞-气缸-单元，其中所述阀板固定在这个活塞-气缸-单元的活塞杆上或者固定在安装在该活塞上的挺杆上。比如，所述支撑体原则上也可以构造为类似于在图2到4中所示出的阀板，其中所述阀板固定在所述挺杆32上。这样所述气门孔处于所述阀体1的壁体3中，并且所述阀座6在将所述气门孔包围的区域中布置在所述壁体3的内侧上。如果所述阀板在沿所述纵向调节方向调节时抵靠着所述阀座，那么而后所述支撑体与所述阀杆11及所述横向驱动单元12一起反向于所述调节方向移动，直到所述支撑体可以支撑在所述阀体1上以承受反作用力。
附图标记列表
1     阀体              27    波纹管
2     壁体              28    端头
3     壁体              29    端头
4     气门孔            30    内腔
5     排出口            31    活塞
6     阀座              32    挺杆
7     内腔              33    工作腔
8     阀板              34    工作腔
9     密封件            35    膜片密封件
10    纵轴线            36    膜片密封件
11    阀杆              37    压缩气体通道
12    横向驱动单元      38    压缩气体通道
13    纵向驱动单元      39    膜片
14    活塞              40    压紧元件
15    气缸              41    止挡
16    横向调节方向      42    轴颈
17    纵向调节方向      43    传感器
18    导向装置          44    活塞
19    导向件            45    紧固件
20    第一轴            46    翻转元件
21    第二轴            47    密封凸起
22    板                48    密封凸起
23    凹处              49    移动密封元件
24    凹处              50    密封件
25    紧固法兰          51    活塞
26    紧固法兰          52    弹簧
                        53    压缩空气接头
                        54    压缩空气接头

Claims (16)

1.真空阀，包括
具有气门孔(4)和将所述气门孔(4)包围的阀座(6)的阀体(1)，其中该气门孔(4)具有纵轴线(10)，
阀板(8)，该阀板(8)可以从张开位置经过中间位置调节到抵靠着所述阀座(6)的闭合位置中并且可以从所述闭合位置经过所述中间位置调节到所述张开位置中，其中在所述张开位置中所述阀板(8)释放所述气门孔(4)，在所述中间位置中所述阀板(8)覆盖所述气门孔(4)但从所述阀座(6)上抬起，
承载着所述阀板(8)的阀杆(11)，
横向驱动单元(12)，借助于该横向驱动单元(12)可以将所述阀板(8)沿横向于所述气门孔(4)的纵轴线(10)的横向调节方向(16)从其张开位置调节到其中间位置中以及反向于所述横向调节方向(16)从其中间位置调节到其张开位置中，以及
纵向驱动单元(13)，借助于该纵向驱动单元(13)可以将所述阀板(8)沿平行于所述气门孔(4)的纵轴线(10)的纵向调节方向(17)从其中间位置调节到其闭合位置中以及反向于所述纵向调节方向(17)从其闭合位置调节到其中间位置中，
其特征在于导向装置(18)，借助于该导向装置(18)可相对于所述阀体(1)平行于所述纵向调节方向(17)移动地对所述横向驱动单元(12)进行导引，其中在将所述阀板(8)从其中间位置调节到其闭合位置中以及从其闭合位置调节到其中间位置中时，所述横向驱动单元(12)相对于所述阀体(1)平行于所述纵向调节方向(17)移动。
2.按权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述横向驱动单元(12)和所述阀杆(11)在所述阀板(8)被从其中间位置调节到其闭合位置中以及从其闭合位置调节到其中间位置中时与所述阀板(8)一起沿着所述纵向调节方向(17)或者说反向于所述纵向调节方向(17)移动。
3.按权利要求1或权利要求2所述的真空阀，其特征在于，用于相对于所述阀体(1)可移动导引所述横向驱动单元(12)的所述导向装置(18)是平行四边形导向装置。
4.按权利要求3所述的真空阀，其特征在于，所述导向装置(18)具有布置在所述阀杆(11)两侧的、分别可以围绕着垂直于所述横向调节方向(16)并且垂直于所述纵向调节方向(17)定向的第一和第二轴(20、21)偏转的或者弯曲的导向件(19)，所述导向件(19)分别一方面与所述阀体(1)相连接，另一方面与所述横向驱动单元(12)相连接。
5.按权利要求4所述的真空阀，其特征在于，所述导向件(19)构造为板状。
6.按权利要求1到2中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述横向驱动单元(12)具有至少一个活塞-气缸-单元。
7.按权利要求1到2中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述横向驱动单元(12)在所述阀板的中间位置中借助于布置在所述真空阀的真空区外部的压紧元件(40)压紧在止挡(41)上，并且在所述阀板(8)的闭合位置中从所述止挡(41)上抬起。
8.按权利要求7所述的真空阀，其特征在于，所述压紧元件(40)由至少一个弹簧构成。
9.按权利要求7所述的真空阀，其特征在于，所述压紧元件(40)由至少一个活塞-气缸-单元构成。
10.按权利要求1到2中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述纵向驱动单元(13)包括布置在所述阀板(8)的内腔(30)中的活塞(31)。
11.按权利要求1到2中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述纵向驱动单元(13)总体上布置在所述真空阀的真空区外部并且作用于所述横向驱动单元(12)。
12.按权利要求1到2中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述阀板(8)布置在所述阀体(1)的形成真空区的内腔(7)中。
13.按权利要求12所述的真空阀，其特征在于，所述阀杆(11)得到密封并且在这种情况下按照可沿着所述横向调节方向(16)和沿着所述纵向调节方向(17)移动的方式从所述阀体(1)的形成所述真空区的内腔(7)中引出来。
14.按权利要求13所述的真空阀，其特征在于，为了以密封方式将所述阀杆从所述阀体(1)的内腔(7)中引出布置了波纹管(27)。
15.按权利要求13所述的真空阀，其特征在于，为了以密封方式将所述阀杆(11)从所述阀体(1)的内腔(7)中引出而布置了移动密封元件(49)，该移动密封元件(49)被所述阀杆(11)密封地穿过，其中所述阀杆(11)可相对于所述移动密封元件(49)进行轴向移动，并且所述移动密封元件(49)通过翻转元件(46)以真空密封的方式与所述阀体(1)相连接。
16.按权利要求1到2中任一项所述的真空阀，其特征在于，设置了至少一个布置在所述真空阀的真空区外部的、对所述横向驱动单元(12)的移动位置进行检测的传感器(43)。
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