CN102165232B - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及真空阀，它包括具有被阀座（4）包围的阀孔（2）的壁体（1）、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片（5），它可以从打开位置调整到纵向（6）上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向（6）的横向（7）上的关闭位置，还包括至少一个支承阀片（5）的阀杆（12），它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体（1）在平行于阀杆（12）纵轴线（14）的纵向（6）上以及横向（7）上移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向和横向驱动装置（15,15’，16,16’），由它们使阀杆（12）为了使阀片（5）在纵向（6）和横向（7）上调整可以移动。存在一个位于真空阀的真空范围以外的、刚性地与壁体（1）连接的支承单元（17,17’），由它在横向（7）上可移动地导引一个使阀杆（12）在纵向（6）上可移动导引的导向单元（20,20’）。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一个真空阀，它包括具有被阀座包围的阀孔的壁体、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片，它可以从打开位置调整到纵向上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向的横向上的关闭位置，在打开位置阀片释放阀孔，在中间位置阀片覆盖阀孔，但是从阀座上抬起，在关闭位置阀片顶压在阀座上并且关闭阀孔，还包括至少一个支承阀片的阀杆，它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体在平行于阀杆纵轴线的纵向上移动以及相对于壁体在横向上平行移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向驱动装置，由它使阀杆为了使阀片在其打开位置与其中间位置之间在纵向上调整可以移动，并且还包括一个设置在真空阀的真空范围以外的横向驱动装置，由它使阀杆为了使阀片在其中间位置与其关闭位置之间在横向上调整可以移动。
背景技术
这种真空阀也称为L形阀，它们以不同的结构形式所公知。在一个常见的、不是此类的结构形式中阀杆围绕垂直于纵向且垂直于横向的轴可偏转地支承，用于使阀片能够从其中间位置调整到其关闭位置并且再返回。例如由US 6,431`,518 B1已知这种结构。形成纵向驱动装置的活塞缸单元的气缸可以与阀杆一起偏转并且另一活塞缸单元用于使阀杆和气缸偏转。由US 6,416,037 B1也已知一个类似的装置。一个常见的结构形式也在于，利用连杆导向通过相同的、起到纵向驱动装置作用的活塞缸单元实现阀杆倾翻，如同例如由US 6,966,538 B2，US 5,641,149 A,US 6,237,892 B1和US 6,619,618 B2所给出的那样。
在这些已知的L形阀门中通过阀杆的倾翻实现阀片在横向上的调整，其缺陷是，阀片的调整不能精确且平行地在横向上实现，而是只能近似地实现，这导致对相对于阀座密封的阀片的密封提出更高的要求。
此外也已知所谓的J形阀门，其中阀片在阀座上的启动强烈地倾斜于横向。
此外已知L形阀门，其中通过直线的移动在横向上实现阀片从其中间位置到其关闭位置的调整。例如由申请者US 2007/0272888 A1已知一个真空阀，其中阀片利用活塞缸单元相对于支承单元在横向上移动。该支承单元设置在阀杆上，它可以利用另一活塞缸单元在纵向上移动。除了由真空阀构成以外这个装置也可以由门构成，其中阀片从外面封闭真空室壁体中的开孔并且可以位于真空范围以外。由US 6,899,316 A已知一个类似的真空阀，它具有用于使具有支承单元的阀杆纵向移动并用于使阀片相对于支承单元横向移动的活塞缸单元。
由US 2008/0017822 A1已知一个L形阀门，其中阀片安置在阀杆上，它在纵向上移动地导引并且利用活塞缸单元可以在纵向上调整。利用导向装置（它在一个实施例中由直线导向构成）使这个活塞缸单元在横向上移动地导引，由此也可以使活塞杆相对于具有阀孔的壁体在横向上移动。为了使阀片从其中间位置调整到其关闭位置使用一个集成到阀片里面的活塞缸单元。在另一实施例中横向驱动装置由设置在真空范围以外的活塞缸单元构成，它作用于纵向驱动装置的活塞缸单元的气缸。显然，这种结构尤其适用于这些应用，其中阀片只通过压差加载，压差使阀片顶压在阀座上。在这种情况下无需施加大的、使阀门顶压在阀座上的关闭力。通过由这个文献给出的横向导向传递更大的关闭力可能是有问题的。
发明内容
本发明的目的是，提供一个上述形式的改进的真空阀，它也适用于这些应用，其中在两个方向上可以产生作用于阀片上的压差。按照本发明这个目的通过具有权利要求1特征的真空阀得以实现。
在本发明的真空阀中所述阀杆一方面可以在平行于其纵轴线的纵向上相对于具有阀孔的壁体移动，另一方面可以在垂直于纵轴线的横向上相对于具有阀孔的壁体平行移动。用于阀杆的纵向驱动装置和横向驱动装置位于真空阀的真空范围以外。在真空阀的真空范围以外还设置一个支承单元。由这个支承单元使导向单元在横向上可移动地导引，该导向单元使阀杆在纵向上可移动地导引，因此该导向单元同样位于真空阀的真空范围以外。该导向单元作为边界、即在其整个长度上可以在横向上相对于支承单元移动。
利用设置在真空范围以外、刚性地与壁体连接的、可移动地导引导向单元的支承单元可以更好地传递力到阀片上，由此为了接收在两个方向上作用于阀片上的压差而设计这种L形阀门，其中不仅纵向驱动装置而且横向驱动装置都位于真空范围以外。通过在真空范围以外布置不仅纵向驱动装置而且布置横向驱动装置可以实现有利的且维护友好的结构。
所述支承单元使导向单元直线地在横向上可移动地支承，该支承单元有利地具有基于纵向位于导向单元两侧的分段。在此所述导向单元最好至少部分地、最好完全地设置在支承单元的容纳室里面并且在容纳室里面由支承单元可移动地导引。所述导向单元是由支承单元直线地在横向上导引的溜板。
所述纵向驱动装置有利地具有至少一个活塞缸单元。在导向单元里面可以有利地构成气缸空隙，在其中设置活塞。但是也可以设有一个刚性地与导向单元连接的气缸。该活塞缸单元的活塞阀杆可以直接形成在真空范围里面导引的且支承阀片的阀杆，或者可以设有一个单独与阀杆连接的活塞杆。
由横向驱动装置为了使阀杆在横向上移动施加的作用力有利地通过导向单元作用于阀杆上，其中这个作用可以直接或通过至少一个传动环节实现。所述横向驱动装置例如可以以至少一个活塞缸单元的形式构成。
在本发明的一个可能的实施例中所述横向驱动装置具有至少一个在纵向上移动的驱动部件，它通过至少一个传动环节与导向单元连接，该传动环节将在纵向上实现的驱动部件运动转换成导向单元在横向上的运动。在此所述驱动部件或各驱动部件最好在基于纵向对置的驱动部件一侧上通过各传动环节与导向单元连接，用于实现导向单元在横向上的平行移动。换言之，所述传动环节形成用于导向单元的平行导向。在此所述传动环节例如可以是可偏转地与驱动部件和导向单元连接的导杆，它们一起构成平行四边形导向。在此具有驱动部件的横向驱动装置的致动器可以作为边界在纵向上可移动地相对于支承单元导引并且支承在这个支承单元上，例如利用板状的、相对于支承单元可移动的移动部件，在其上安置致动器。通过这种方式可以相对于纵向施加防止阀杆倾翻的大作用力，用于使阀片在其关闭位置以相应大的关闭力顶压在阀座上。
本发明的一个有利的实施例规定，所述阀杆不仅在打开位置而且在中间位置和关闭位置在其阀片一侧上从导向单元中突出来并且在阀片的关闭位置支承在横止挡上，该横止挡设置在支承单元上并且反作用于阀杆在横向上的移动。在此阀杆或与阀杆连接的部件在基于横向的靠近位于阀座的阀杆或这个部件的一侧上支承在横止挡上。因此支承单元的横止挡以及阀片顶靠在其上的阀座在阀片关闭位置形成两个用于由阀杆和阀片形成的单元的支座。因此可以使阀杆在阀片的关闭位置平行于纵向对准的阀杆作用力通过支承单元传递到具有阀孔的壁体上。
附图说明
下面借助于附图详细解释本发明的其它优点和细节。附图中：
图1示出按照本发明的第一实施例的真空阀视图，在阀片的打开位置，
图2至4示出沿着图1的剖面线AA,BB和CC的截面图，
图5示出对应于图1的视图，但是在阀片的中间位置，
图6至8示出沿着图5的剖面线AA,BB和CC的截面图，
图9示出对应于图1的视图，但是在阀片的关闭位置，
图10至12示出沿着图9的剖面线AA,BB和CC的截面图，
图13示出对应于按照本发明的第一实施例的真空阀驱动装置的立体图，具有阀杆和安置在其上的阀片，
图14示出对应于图13的阀门部件的分解图，
图15以正视图示出对应于本发明第一实施例的真空阀的另一实施例变化，
图16示出沿着图15剖面线AA的截面图，
图17示出按照本发明第二实施例的真空阀的正视图，在阀片的打开位置（去掉阀杆的波纹管过孔的波纹管），
图18至20示出沿着图17的剖面线AA,BB和CC的截面图（具有阀杆波纹管过孔的波纹管），
图21示出图17的阀门的正视图，在阀片的中间位置，
图22至24示出沿着图21剖面线AA,BB和CC的截面图，，
图25示出图17的阀门的正视图，在阀片的关闭位置，
图26至28示出沿着图25剖面线AA,BB和CC的截面图，
图29示出按照第二实施例的真空阀底视图，
图30示出按照第二实施例的真空阀立体图，
图31示出从对应于图30的视线看去的真空阀部件的分解图，
图32示出对应于图31的视图，但是从另一视线，
图33以局部剖视图示出具有阀杆（没有波纹管过孔的波纹管）的阀门驱动装置，
图34示出阀门在加入到真空室里面的状态的示意图。
这些附图部分简化地示出。因此简化地示出连接法兰，例如去掉部分螺栓孔，并且部分地未示出连接螺栓。
具体实施方式
下面借助于图1至4解释本发明的第一实施例。所述真空阀包括具有阀孔2的壁体1，它具有轴线3并且被阀座4包围，该阀座在本实施例中由密封面构成。为了使阀孔2真空密封地封闭在真空阀的关闭状态（参见图9至12）设有阀片5。在真空阀的打开状态（参见图1至4）阀片5释放阀孔2，其中阀片最好基于阀孔2的轴线3的方向完全设置在阀孔2旁边。从这个阀片5的打开位置开始阀片5为了封闭真空阀可以首先在纵向6上移动，直到阀片覆盖阀孔2（在轴线3的方向上看去），但是在此还从阀座4上抬起。在图5至8中示出阀片5的这个中间位置。通过直线地在纵向6上的整个调整行程实现阀片从其打开位置到其中间位置的移动。此外阀片从其中间位置在垂直于纵向的、平行于轴线3的横向7上在阀座4方向上移动并且为了密封阀孔2顶压在阀座4上。在阀片的这个关闭位置（参见图9至12）真空阀关闭。通过直线地在横向7上的整个调整行程实现从中间位置到关闭位置的移动。
在关闭位置设置在阀片5上的弹性密封挤压在形成阀座的密封面上。以相反的顺序打开真空阀，即从阀片的关闭位置到其中间位置并且继续到其打开位置。
设置在真空阀真空范围（=抽真空的部位）的阀片5安置在阀杆12上，它利用波纹管过孔从真空阀的真空范围导出来，即，阀杆的一段（在其上安置阀片5）位于真空范围，阀杆12的另一段位于真空范围以外。波纹管过孔由在附图中只示意表示的波纹管13、例如折叠波纹管或薄膜波纹管形成，它一方面真空密封地与阀杆12连接，另一方面真空密封地与壁体46连接，它刚性地与壁体1连接并且与壁体1成角度、最好成直角，而且在开孔部位穿过壁体46，阀杆12穿过壁体伸出来。阀片5可以如图所示刚性地与阀杆12连接或者这个连接可以具有弹性，用于实现阀片5在阀座4上在阀片5的关闭位置的一定匹配性。已知在阀片5与阀杆4之间的这种弹性连接。
阀杆12的纵轴线14平行于纵向6。为了使阀片5在其打开位置与其中间位置之间调整使阀杆12在纵向6上相对于壁体1移动。为了使阀片5在其关闭位置与其中间位置之间调整使阀杆12在横向7上相对于壁体1平行移动。代替从真空范围引出阀杆的波纹管过孔也可以设有滑动过孔。这个过孔具有滑动部件，它具有通孔，穿过通孔阀杆利用密封件密闭地导引。因此阀杆12在纵向6上相对于这个滑动部件移动。滑动部件本身相对于壁体46在横向7上移动地支承，其中滑动部件利用密封件相对于壁体46密封。滑动部件也形成一种相对于壁体46密封的且在横向7上移动的溜板。已知这种滑动过孔，它们能够实现在两个、尤其相互正交的方向上的移动性。
为了打开和关闭真空阀使用一个阀驱动装置，它是设置在真空范围以外的纵向驱动装置15，由它使阀杆12在纵向上移动，并且它是同样设置在真空范围以外的横向驱动装置16，由它使阀杆在横向上移动。
在所示的实施例中壁体1形成阀壳8的一部分，它也具有一个在实施例中与壁体1对置的具有另一开孔10的壁体9。阀孔2和开孔10是在阀门的打开状态释放的通道穿过阀壳8的一部分，它在本实施例中直线地延伸。阀片5容纳在阀壳8的内室11里面，它是真空阀的真空范围。
取而代之壁体1也可以是真空室的一部分（如同下面借助于图15和16解释的那样）。此外真空阀可以形成一种嵌件，其中壁体1在真空室的真空范围中使用。参见图34的示意图，它还描述了与第二实施例的关系。
现在更详细地描述阀杆12在纵向和横向6,7上的移动支承以及纵向和横向驱动装置15,16：
在真空阀的真空范围以外支承单元17刚性地与壁体1连接。该支承单元17在所示实施例中包括一个刚性地与壁体1或具有壁体1的阀壳8连接的驱动外壳18，它具有容纳室19。在容纳室19里面设置导向单元20，它在容纳室19里面在横向7上直线移动地导引。从导向单元20再使阀杆12在纵向6上移动地导引。在此导向单元20的基体23具有被阀杆12穿过的通道，在其中阀杆12利用导向套21,22在纵向6上移动地导引。下面还要更详细地解释导向单元20相对于支承单元17的移动导向。
纵向驱动装置15在所示实施例中作为致动器包括两个活塞25，它们分别设置在导向单元20的基体23中的气缸空隙26里面。气缸空隙26由导向单元20的缸盖24封闭，缸盖被安置在活塞25上的活塞杆27穿过。活塞杆27通过衔铁28与阀杆12固定连接，由此在活塞25在气缸空隙26里面移动时利用压力介质、最好是压力空气在纵向6上携带阀杆12。衔铁28为了与阀杆12连接例如旋紧在阀杆上。
横向驱动装置16作为致动器包括两个活塞29，具有密封件36，它们设置在气缸空隙30里面，它们在导向单元20的基体23里面构成。活塞29固定在活塞杆31上，它们在所示的实施例中与支承单元17的驱动外壳18一体地构成。在这个意义上活塞29是支承单元17的一部分。活塞杆31也可以由支承单元17的独立部件构成，它们刚性地与支承单元17的驱动外壳18连接。
在所示实施例中活塞29由单作用活塞构成。通过加载在活塞杆31一侧上位于活塞29与驱动外壳18之间的空间可以使导向单元并通过它使阀杆12这样相对于支承单元17在横向7上移动，使阀片5从其关闭位置移动到其中间位置。为了使导向单元20并通过它使阀杆12和阀片5在相反方向上移动在所示实施例中首先利用弹簧装置。它包括许多在导向单元20与驱动外壳18之间起作用的螺簧32。螺簧32设置在包围各阀杆31的圆上（在图14中为了清晰只对于活塞杆31示出螺簧）。可以设想并实现螺簧32的其它布置和/或使用其它弹簧用于构成这种弹簧装置。
如果在阀片5的关闭位置在阀片5从阀座4顶开的意义上没有更大的有效的压差作用于阀片5上，则由弹簧装置施加在阀片5上的在阀座4上的顶压力足以密封阀孔2。例如当真空阀为了在两个真空室之间密封并且在一个真空室里面执行真空过程、例如用于半导体工业时，可能出现上述情况。
如果在加载更大的使阀片5离开阀座4的压差情况下需要更高的阀片5在阀座4上的顶压力时，则可以附加地以压力介质、尤其是压力空气加载位于导向单元的基体23与支承单元17的驱动外壳18之间的压力室33或在所示实施例中两个这样的压力室33。这些压力室33由密封件34,35密封。
例如在两个通过真空阀连接的真空室中的一个真空室灌满（flutung）、例如为了维护的情况下可能产生更高的压差，它们使阀片5向着阀座4或离开阀座地加载。
也可以省去螺簧32或不同构成的弹簧。代替弹簧和/或压力室33也可以设有双作用的活塞29。
为了使导向单元20相对于支承单元17导引使用设置在活塞杆31与导向单元20基体23之间的导向套37（参见图4,8和12）。可以这样构成密封件34和/或密封件35和/或密封件36，使它承担导向功能。在这种情况下也可以省去导向套37。
在背离阀片5的导向单元20一侧上从导向单元20伸出来的阀杆12在这个从导向单元20伸出来的分段中在阀片5的关闭位置与设置在支承单元17的驱动外壳18上的横止挡38共同作用，最好如图所示在阀杆12的端部部位。在阀片5的打开位置和阀片5的中间位置阀杆12与横止挡38间隔。在阀片5从中间位置移动到关闭位置时阀杆12、最好与阀片5在阀座4上的启动同时地在横止挡38上启动。因此使阀杆12在横向驱动装置16的在阀杆12上的作用部位两侧支承在壁体1上或与壁体1刚性连接的部分上，其中这个作用部位位于阀杆12相对于导向单元20的移动支承部位。由此可以通过简单的方式将所需的阀片5顶压力传递到阀座4上，无需由阀杆12的纵向导向和导向单元20的横向导向承受大的倾翻力。
所述纵向驱动装置15和/或横向驱动装置16也可以具有比两个所示活塞25或29更多或更少的活塞。代替用于纵向驱动装置15的活塞25和/或用于横向驱动装置16的活塞29的气缸空隙26或30的结构作为在导向单元20基体23中的空隙也可以设有独立的气缸，它们刚性地与导向单元连接。也可以设想并实现气缸和活塞的相反布置。由此可以使纵向驱动装置15的活塞与导向单元20刚性连接并且使这个活塞的气缸与阀杆12连接和/或使横向驱动装置16的活塞29刚性地与导向单元20连接并且使用于这些活塞的气缸与支承单元17刚性地连接或者以气缸空隙的形式在支承单元17中构成。
在图15和16所示的实施例中阀驱动装置、阀杆12和与其连接的阀片5与在图1至14中所示的一致地构成。这个实施例变化的差别仅仅在于，在这里具有阀孔2的真空阀壁体1是在图15和16中只部分和示意示出的真空室39的一部分。阀片5位于真空室39内部，它是阀门的真空范围，如果泵浦真空室的时候。在图15和16中作为独立部件示出壁体46，穿过其开孔阀杆12从真空室39的真空范围伸出来，该独立部件通过法兰连接与真空室39连接，而且在围绕真空室39中的开孔的部位。因此通过打开这个法兰连接可以将壁体46从安置在其上的阀驱动装置上并且从阀杆和阀片5上取下来。
下面借助于图17至34描述本发明的第二实施例。
所有在本发明的第一实施例的前五个段落中已经描述的内容（即从附图的简述以后开始的“本发明的第一实施例”），一致地适用于第二实施例并且这些类似部件配有相同的标记符号。
与第一实施例的差别主要在于，在这里壁体1不是封闭的（不考虑开孔）阀外壳的一部分。而是真空阀由用于安装到真空室42里面的嵌件构成，如同在图34中示意表示的那样。因此壁体1在与阀座4对置的一侧上具有包围阀孔2的弹性密封件40，用于使壁体1相对于真空室的壁体41在包围真空室42开孔43的部位中密封。与壁体1处于直角的壁体46（阀杆12穿过其开孔）具有包围这个开孔的弹性密封件47，用于使壁体46相对于真空室的壁体44在包围壁体44的开孔45和开孔60的部位中密封，其中阀杆12利用包括波纹管13的波纹管过孔真空密封地从真空阀的真空范围中引出来。示意的示出用于固定在真空室42上的螺栓61。
代替安装在真空室42里面的嵌件形式的真空阀结构可以使真空阀具有阀外壳，它以与结合图1至14所述的一致形状构成。壁体1也可以是真空室的一部分，如同借助于图15和16所示并借助于这些附图所述的那样。
现在更详细地描述阀杆12在纵向和横向6,7上的移动支承以及纵向和横向驱动装置15,16：
刚性地与壁体1连接的设置在真空范围以外的支承单元17’具有驱动外壳18’，后者具有容纳室19’。在容纳室19’里面设置使阀杆12在纵向6上移动支承的导向单元20’，并且在这个容纳室里面由支承单元17’在横向7上直线移动地导引。为了移动地导引使用导向套48，它们容纳在驱动外壳18’的套容纳体49里面并且伸进导向轴50里面，它们刚性地安置在导向单元20’的基体23’上或者与基体23’一体地构成。导向轴50和导向套48的轴线平行于横向。在所示的实施例中存在两个与横向成直角且与纵向成直角间隔的、容纳在套容纳体49里面的导向套48，在其中分别移动地导引导向轴50。在图31中示出一个导向套48从导向轴50中拉下来并且从导向套48拉出来的状态。在图32中可以看出另一导向套在设置在导向轴50上的状态。也可以只设有一个在导向套48中移动的导向轴50或者多于两个这样的移动导引的导向轴50。
纵向驱动装置15’作为致动器具有活塞25’，它设置在在导向单元20’的基体23’里面构成的气缸空隙26’里面。该活塞25’设置在阀杆12上，因此它形成纵向驱动装置15’的活塞缸单元的活塞杆。气缸空隙26’在阀杆12的阀片端部一侧上由缸盖24’封闭，在这里缸盖套状地构成并且它使阀杆12移动地导引。在活塞25’的另一侧上阀杆12在其穿过导向单元20’基体23’中的开孔的部位同样由导向单元20’在纵向6上移动地支承，由此使阀杆12的纵轴线14平行于纵向6。
横向驱动装置16’包括两个在纵向6上移动的驱动部件51，它们在所示的实施例中以各活塞缸单元的活塞的形式构成，它们形成横向驱动装置16’的致动器。例如作为致动器也可以设有至少一个电磁作用的直线驱动装置。以活塞形式构成的驱动部件51设置在气缸空隙30’里面，它们设置在支承单元17’的驱动外壳18’里面。气缸空隙30’在两侧通过缸盖52,53封闭。代替在驱动外壳18’里面的气缸空隙30’结构也可以设有独立的支承单元17’气缸，它们刚性地与驱动外壳18’连接。一个活塞杆31’在驱动部件51两侧突出来并且在两侧从气缸空隙30’伸出来。在两个从气缸空隙30’伸出来的端部上活塞杆31’分别通过传动环节54,55与导向单元20’连接。传动环节是一端可偏转地与活塞杆31’、另一端可偏转地与支承单元7连接的导杆，其中这些偏转轴线与横向7成直角并且与纵向6成直角地对准。为了可偏转地与导向单元20’连接可以设有如图所示的偏转轴56,57，它们穿过轴承空隙，在其中伸进传动环节54,55。
在阀片5的打开位置和中间位置传动环节54,55与横向7成角度。通过以压力介质、最好是压力空气加载相应的气缸空隙30’缸室而使驱动部件51纵向移动，至少减小与横向7的角度，由此使导向单元20’相对于支承单元17’在横向7上移动。
为了将由横向驱动装置在阀片5的关闭位置用于使阀片5顶压在阀座4上所施加的力传递到支承单元17’上使用移动地顶靠在支承单元17’上的移动部件58。这个部件与驱动部件51两侧的各活塞杆31’连接，例如如图所示在活塞杆31’与各传动环节54,55连接的部位。因此在驱动部件51相对于支承单元17’纵向移动时移动部件58一起移动。为了使移动部件58相对于支承单元17’移动导引使用滚动轴承59。同样可以设想并能够使用滑动轴承。因此通过移动部件58使活塞杆31’相对于支承单元17’支承在阀片5的关闭位置。因此不必通过活塞杆31’的移动导向实现力传递。但是也可以设想并能够省去移动部件58并且通过活塞杆的移动的支承将力从活塞杆31’传递到支承单元17’上。
代替容纳在气缸空隙26（它们在支承单元17’的驱动外壳18’里面构成）里面的由活塞形式构成的驱动部件51也可以设想并能够设有独立的、刚性地与驱动外壳18’连接的气缸。
也可以设想并能够设有多于或少于两个用于横向驱动装置16’的驱动部件51。
传动环节54,55也可以与可偏转的杠杆形式不同地构成，例如为了使导向单元20’相对于支承单元17’平行移动可以设想并实现楔部件。
也可以设想并实现弹簧装置，它在一个方向上加载驱动部件51。
纵向驱动装置15’作为致动器也可以具有一个或多个独立的活塞缸单元，其活塞与阀杆12连接。
在第二实施例中也可以设想并能够，使阀杆12在阀片5的关闭位置在背离阀片5的一侧上从导向单元20’伸出来的分段上顶靠在支承单元17’的横止挡上。由此仍然可以减小通过纵向和横向导向防止阀杆12在其方向上倾翻平行于纵向6施加的作用力。
在第一实施例中如上所述也可以设有由嵌件构成的阀体，它包括具有阀孔2的壁体1。这种实施例变化也可以一致地适用于图34的说明。
不仅在第一实施例（图1-16）而且在第二实施例（图17-34）也可以设想并实现下面的变化：
弹性密封件也可以安置在阀座4上并且在阀片5上设有与弹性密封件共同作用的密封面。
也可以设有多于一个支承阀片5的阀杆12。
也可以设有多于一个由一个或多个阀杆12支承的阀片5。
没有具体地描述用于不同已述的、最好气动的活塞缸单元的压力介质管道。在截面图中可以部分地看到孔，它们形成用于压力介质的通道。对于真空阀的纵向和/或横向驱动装置也可以使用其它致动器作为活塞缸单元。
附图标记清单
1    壁
2    阀孔
3    轴线
4    阀座
5    阀片
6    纵向
7    横向
8    阀壳
9    壁体
10     开孔
11     内室
12     阀杆
13     密封波纹管
14     纵轴线
15,15’ 纵向驱动装置
16,16’ 横向驱动装置
17,17’ 支承单元
18,18’ 驱动外壳
19,19’ 容纳室
20,20’ 导向单元
21 导向套
22 导向套
23,23’ 基体
24,24’ 缸盖
25,25’ 活塞
26,26’ 缸空隙
27 活塞杆
28 衔铁
29 活塞
30,30’ 缸空隙
31,31’ 活塞杆
32 螺簧
33 压力室
34 密封
35 密封
36 密封
37 导向套
38 横止挡
39 真空室
40 密封
41 壁体
42 真空室
43 开孔
44 壁体
45 开孔
46 壁体
47 密封
48 导向套
49 套容纳体
50 导向轴
51 驱动部件
52 缸盖
53 缸盖
54 传动环节
55 传动环节
56 偏转轴
57 偏转轴
58 移动部件
59 滚动轴承
60 开孔
61 螺栓

Claims (13)

1.一个真空阀，它包括具有被阀座（4）包围的阀孔（2）的壁体（1）、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片（5），它可以从打开位置调整到纵向（6）上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向（6）的横向（7）上的关闭位置，在打开位置阀片释放阀孔（2），在中间位置阀片覆盖阀孔（2），但是从阀座（4）上抬起，在关闭位置阀片顶压在阀座（4）上并且关闭阀孔（2），还包括至少一个支承阀片（5）的阀杆（12），它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体（1）在平行于阀杆（12）纵轴线（14）的纵向（6）上移动以及相对于壁体在横向（7）上平行移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向驱动装置（15,15’），由它使阀杆（12）为了使阀片（5）在其打开位置与其中间位置之间的调整可以在纵向（6）上移动，并且还包括一个设置在真空阀的真空范围以外的横向驱动装置（16,16’），由它使阀杆（12）为了使阀片（5）在其中间位置与其关闭位置之间的调整可以在横向（7）上移动，其特征在于，存在一个位于真空阀的真空范围以外的、刚性地与壁体（1）连接的支承单元（17,17’），由它在横向（7）上可移动地导引一个使阀杆（12）在纵向（6）上可移动导引的导向单元（20,20’），
在阀片（5）的关闭位置，阀杆（12）的分段支承在横止挡（38）上，该分段在背离阀片（5）的一侧上从导向单元（20,20’）突出来。
2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述支承单元（17,17’）具有基于纵向（6）位于导向单元（20,20’）两侧的分段。
3.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，所述导向单元（20,20’）至少部分地设置在支承单元（17,17’）的容纳室（19,19’）里面并且在容纳室里面在横向（7）上可移动地导引。
4.如权利要求1至3中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述纵向驱动装置（15,15’）具有至少一个与阀杆（12）连接的活塞（25,25’），它设置在气缸空隙（26,26’）里面。
5.如权利要求4所述的真空阀，其特征在于，所述气缸空隙（26,26’）在导向单元（20,20’）里面构成。
6.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，由横向驱动装置（16,16’）为了使阀杆（12）在横向（7）上移动施加的力通过导向单元（20,20’）作用于阀杆（12），在此导向单元（20,20’）在携带阀杆（12）的条件下在横向（7）上相对于支承单元（17,17’）移动。
7.如权利要求6所述的真空阀，其特征在于，所述横向驱动装置（16’）具有至少一个在纵向（6）上移动的驱动部件（51），它通过至少一个传动环节（54,55）与导向单元（20’）连接。
8.如权利要求7所述的真空阀，其特征在于，为了使导向单元（20’）在横向（7）上的平行移动，所述至少一个驱动部件（51）在该驱动部件（51）的基于纵向（6）对置的侧上通过各传动环节（54,55）与导向单元（20’）连接。
9.如权利要求8所述的真空阀，其特征在于，所述传动环节（54,55）由可偏转地与导向单元（20’）和可偏转地与驱动部件（51）或与其刚性连接的部件（31’）连接的导杆构成。
10.如权利要求6所述的真空阀，其特征在于，所述横向驱动装置（16）具有至少一个活塞（29），它设置在气缸空隙（30）里面，它在导向单元（20）里面构成。
11.如权利要求10所述的真空阀，其特征在于，在导向单元（20）与支承单元（17）之间设有一个压力室（33），用于利用加入到压力室（33）里面的压力介质在横向（7）上加载导向单元（20）。
12.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，在导向单元（20,20’）与支承单元（17,17’）之间设有一个弹簧装置（32），用于在横向上加载导向单元（20,20’）。
13.如权利要求4所述的真空阀，其特征在于，所述阀杆（12）在纵向驱动装置（15’）的直接设置在阀杆上的活塞（25’）两侧由导向单元（20’）可移动地导引。
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