CN1749609A - 真空阀门 - Google Patents

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Abstract

一种真空阀门，包括一个具有一个阀孔(2)和一个阀座(26)的阀壳体(1)，该阀孔具有一个纵轴线(3)；一个阀盘(4)，它可以在一个打开位置与一个关闭位置之间在一个滑移方向(7)上直线滑移，在打开位置该阀盘释放阀孔(2)，在关闭位置该阀盘顶靠在阀壳体的阀座上并关闭和密封阀孔，并且所述阀盘安置在至少一个阀杆(5)上，它为了使阀盘滑移可以轴向滑移；一个弹性密封环(8)，它设置在阀盘(4)的一个正面上或者阀壳体(1)的阀座(26)上；一个密封面(27)，它设置在阀壳体(1)的阀座(26)或阀盘(4)的正面上，并且所述密封环(8)在阀盘(4)的关闭位置顶靠在该密封面上，其中该密封面(27)和密封环(8)设置在平行的平面(28，29)里面，它们相对于阀盘(4)的滑移方向(7)分别围绕一个与滑移方向成直角的以及与阀孔(2)的纵轴线(3)成直角的轴线(31)倾斜；和至少一个滑动和间隔部件(32)，它设置在密封环(8)旁边的阀盘(4)的正面上或者设置在密封面(27)或密封环旁边的阀座(26)上并且在阀门关闭时在阀盘关闭行程的最后一段上直到达到阀盘的关闭位置构成一个用于阀盘相对于阀壳体的滑动支承并且该滑动和间隔部件在阀盘的关闭位置使阀盘与阀壳体间隔距离并由此限制挤压密封环。

Description

真空阀门
技术领域
本发明涉及一种真空阀门，包括
一个具有一个阀孔和一个阀座的阀壳体，该阀孔具有一个纵轴线；
一个阀盘，它可以在一个打开位置与一个关闭位置之间在一个滑移方向上直线滑移，在打开位置该阀盘释放阀孔，在关闭位置该阀盘顶靠在阀壳体的阀座上并关闭和密封阀孔，并且所述阀盘安置在至少一个阀杆上，它为了使阀盘滑移可以轴向滑移；
一个弹性密封环，它设置在阀盘的一个正面上或者阀壳体的阀座上；
一个密封面，它设置在阀壳体的阀座或阀盘的正面上，并且所述密封环在阀盘的关闭位置顶靠在该密封面上，其中该密封面和密封环设置在平行的平面里面，它们相对于阀盘的滑移方向分别围绕一个与滑移方向成直角的以及与阀孔的纵轴线成直角的轴线倾斜。
背景技术
在阀门中密封面和密封环位于平行的平面里面，它们相对于阀盘的滑移方向分别围绕一个与阀孔的纵轴线成直角的轴线倾斜，这样的阀门也称之为“楔角-滑板阀门”。这种阀门通常不用于真空应用而是用于液体阀门。例如由美国专利2,194,261给出一个这样的液体阀门。例如由美国专利4,548,386和5,013,009已知其它的“楔角-滑板阀门”。
而在具有弹性密封阀片的真空阀门中通常要求，在阀盘驶入时保证其关闭位置，密封不必从阀盘接触密封面时立刻垂直于其纵向。密封的这种剪切应力对于密封的使用寿命是非常不利的。
因此在真空技术中阀片结构通常这样构成，使得封闭体的关闭运动在关闭运动的最后一段上至少基本垂直于阀座的密封面实现。
在一个这样的滑阀的一个第一常见实施例中所述阀盘为了关闭阀门由一个操纵装置首先在一个滑移方向上移动，直到它位于一个位于阀孔对面的、但是还与阀座间隔的位置上。接着进行垂直于密封面的运动，即，在阀孔纵轴线的方向上的运动，由此使阀盘移动到阀座上。该关闭运动的第二步骤在这种滑阀门中以不同的形式实现，例如通过杠杆机构、通过在阀盘与一个支承板之间的楔角缝隙中导引的滚动体、通过倾翻部件等。为了防止阀杆在关闭运动的第二步骤中弯曲，具有一个对应板，它同时相对于与阀座对置的阀壳体的壁体移动。在另一形式的板阀或滑阀中关闭运动的第二步骤通过使阀杆围绕一个旋转点摆动而实现。
例如由美国专利6,629,682B2已知一种滑阀，其中为了关闭阀门该阀盘首先移动到一个与阀座对置的、但是与阀座间隔的位置上并且接着基本垂直于密封面地顶靠在阀座上。为了在阀门关闭状态实现密封环相对于侵蚀性的、作用于密封环材料的工艺气体的屏蔽并且为了减少密封环在阀门关闭状态的应力，因此该密封环仍然较少地受到侵蚀性工艺气体的作用，在这个阀门中附加地对于密封具有一个由塑料制成的支承环。这个支承环从密封环看去更靠近阀孔的密封环并且在真空阀门的关闭状态限制作用于密封环上的压力。除了密封环与支承环的一体结构以外也描述了一个独立的密封环与支承环的实施例。
由美国专利3,722,852也已知一个垂直于一个密封建立的密封环通过一个包围密封环的支承环的支承。还已知，在阀盘上具有一个与阀盘一体环绕的凸起，它在阀门的关闭状态顶靠在一个包围阀孔的表面上，其中限制密封环的变形。
在另一形式的板阀或滑阀中所述密封面和设置弹性密封的表面以三维的方式这样构成，使得在阀盘直线驶入阀座时没有剪切应力作用于弹性密封。该阀盘在其在打开与关闭位置之间的整个滑移行程上直线地滑移。作用于密封上的作用力或者基本只在垂直于密封面的方向上或者具有一个附加的对准密封纵向的力分量。由此仍然没有剪切力作用于密封环。例如由美国专利4,921,213已知一个这样的真空阀门。在这个真空阀门中密封面和密封环不设置在一个平面里面并且密封环的一个截段设置在一个在阀盘驶入方向上看去阀盘的前端端面段上。这种滑阀门的缺陷是，必需使用一个相对复杂变形的密封环，它对于较大的额定宽度不能构成在一个槽中使用的O形环，而且必需对阀盘进行硫化处理。因此为了更换有缺陷的密封环必需更换整个阀盘。
由美国专利US6,367,770B1已知一个上述形式的真空阀门。该阀盘具有楔角的相互延伸的正面和背面，在其上分别设置一个圆周封闭的密封环。为了尽可能避免密封环的剪切负荷，由操纵机构施加到阀盘上的关闭力非常微小。由此在关闭时导致基本不挤压密封环地使阀盘轻微地顶靠在阀座上。对密封环的挤压和阀门的完全密封只有在两个阀门侧面之间呈现压差的情况下才能实现，该压差使两个密封环中的一个密封环顶压在密封面上。而没有这样的压差力不能实现阀门的完全关闭(＝密封)。
发明内容
本发明的一个主要目的是，提供一种简单的真空阀门。本发明的另一目的是，提供一种真空阀门，其中仅需一个阀盘的直线滑移。本发明的另一目的是，提供一种真空阀门，它无需施加压差也可以完全关闭。本发明的另一目的是，提供一种真空阀门，其中可以方便地更换密封环，其中该阀门不仅适用于小的而且适用于大的额定宽度。
一种按照本发明的真空阀门，包括
一个具有一个阀孔和一个阀座的阀壳体，该阀孔具有一个纵轴线；
一个阀盘，它可以在一个打开位置与一个关闭位置之间在一个滑移方向上直线滑移，在打开位置该阀盘释放阀孔，在关闭位置该阀盘顶靠在阀壳体的阀座上并关闭和密封阀孔，并且所述阀盘安置在至少一个阀杆上，它为了使阀盘滑移可以轴向滑移；
一个弹性密封环，它设置在阀盘的一个正面上或者阀壳体的阀座上；
一个密封面，它设置在阀壳体的阀座或阀盘的正面上，并且所述密封环在阀盘的关闭位置顶靠在该密封面上，其中该密封面和密封环设置在平行的平面里面，它们相对于阀盘的滑移方向分别围绕一个与滑移方向成直角的以及与阀孔的纵轴线成直角的轴线倾斜；和
至少一个滑动和间隔部件，它设置在密封环旁边的阀盘的正面上或者设置在密封面或密封环旁边的阀座上并且在阀门关闭时在阀盘关闭行程的最后一段上直到达到阀盘的关闭位置构成一个用于阀盘相对于阀壳体的滑动支承并且该滑动和间隔部件在阀盘的关闭位置使阀盘与阀壳体间隔距离并由此限制挤压密封环。
本发明基于这样的认识，通过存在至少一个滑动和间隔部件可以以有利的方式构成一个“楔角-滑板阀”作为真空阀门，该滑动和间隔部件在阀门关闭时在最后一段上构成一个用于阀盘相对于阀壳体的滑动支承并且在阀盘的关闭位置使这个阀盘与阀壳体间隔距离并因此限制挤压密封环。由此除了那些需要非常频繁地执行打开和关闭阀门的场合以外，实现对于许多应用场合足以微少的密封环磨损以及在关闭阀门时以足够微小的水平产生颗粒。在此可以根据结构部件、尤其是至少一个滑动和间隔部件和阀壳体的弹性以及根据阀盘偏离其中心的位置或多或少地缩短关闭运动的最后阶段，在该阶段至少一个滑动和间隔部件在阀壳体上滑动。
对于密封环在此最好可以使用一个装进一个槽里面的0形环，因此能够以简单的方式更换该密封环。尽管可以设想和能够使用一个硫化的密封环，但是较少选用。
所述密封面和密封环的平面相对于阀盘滑移方向的倾角尤其位于1°至45°之间。特别优选一个4°至10°范围的数值。
总之，按照本发明的阀门可以方便并因此经济地构成。也能够实现方便地维护。在优选的本发明实施例中，存在至少两个在密封环或密封面圆周方向上相互间隔的滑动和间隔部件。在此它们分别具有一个长度，该长度远短于密封环的周长。在此有利的是，所有这些滑动和间隔部件在其从一个平行于滑移方向延伸的且中心地通过阀盘或通过阀门体和阀孔延伸的轴线的整个延展上比密封环在其最远离这个轴线的位置更远离。由此可以在打开和关闭阀门时不会由于滑动和间隔部件产生在密封面或密封环上延伸的摩擦痕迹(如果阀盘偏离其中心位置的时候)。
在一个有利的实施例中所述滑动和间隔部件通过锁定连接锁定在阀盘或阀壳体的凹处里面并因此可以通过简单的方式更换。
下面借助于在附图中所示的优选的本发明实施例描述本发明的其它优点和细节，由此也可以引出本发明的其它目的。
附图说明
在附图中
图1以斜视图示出一个按照本发明的真空阀门在局部打开的状态，
图2以正视图示出真空阀门在关闭的状态，
图3示出沿着图2中A-A的截面图，
图4示出阀盘正视图，
图5示出沿着图4中C-C的截面图，
图6示出图5中E的细节，
图7示出阀盘的后视图，
图8示出沿着图7中D-D的截面图，
图9以斜视图按照分解图的形式示出阀门部件相互分开的状态，
图10以放大图示出图9中阀盘边缘部位的局部，
图11以俯视图(在图2中的观察方向F上)示出真空阀门，其中不可见的阀盘线用虚线表示，
图12示出沿着图11中B-B的截面图，
图13以沿着图2中A-A的截面图示出阀壳体的局部视图，
图14示出对应于图13的一个按照本发明的变化的实施例的视图，
图15，16和17以对应的位置示出一个优选的用于密封环的槽(图15)与常见的槽(图16和17)
附图具有不同的比例尺。
具体实施方式
在图1至13中示出一个按照本发明的真空阀门的实施例。该真空阀门包括一个阀壳体1，它具有一个具有一个纵轴线3的阀孔2。在阀壳体1中直线滑移地支承一个阀盘4。为此将该阀盘安置在一个阀杆5上，该阀杆由一个只简示出的操纵装置6在其纵轴线方向上直线地滑移。该操纵装置(＝激励装置)6例如可以由一个气动的活塞-缸体单元构成。例如也可以使用一个具有电动机的操纵装置。已知适用于使阀杆5轴向移动的操纵装置并且不必在该文献中详细描述。
由操纵装置只能将阀杆5和阀盘4的运动在一个唯一的直线滑移方向7上传递。这个滑移方向7在图3中通过一个双箭头表示。
在阀盘4上安置一个由一个弹性塑料(＝弹性体)制成的密封环8。一种适用于密封环的材料例如是Viton。为此在阀盘4中加入一个环绕的槽9，在其中装进一个以O形环形式构成的密封环8。该阀盘4的侧面在本文献中称之为阀盘4的正面，在其上设置密封环8。该阀盘的对置的侧面称之为其背面。相应地将与阀盘4的正面和背面对置的阀壳体1的壁体10，11称之为正面壁体和背面壁体10，11。
所述阀壳体1围成一个腔室12，在其中设置阀盘4。该腔室12向着正面并向着背面由壁体10，11并侧面由另一壁体13，14限定。在壁体10，11中构成相互对中的开孔，它们一起构成阀孔。在壁体10，11上还设置只简示的法兰15，16，通过它们使所述真空阀门可以连接到真空系统的其它部件上，例如连接到一个真空室和一个泵上。
所述阀盘4在所示的实施例中由一个金属环构成，其内孔由一个薄板17封闭。该阀盘4也可以实心地和一体地构成。
在所示实施例中所述阀盘4在阀杆5上的安置通过一个连接螺栓18实现，它穿过阀盘4的环中的一个开孔并旋进阀杆5端部上的一个内螺纹里面。在连接螺栓18与阀盘4之间设置一个密封件44(参见图9)，用于使连接螺栓18相对于阀盘4密封。所述阀杆5从真空部位引出来。为此作为真空密封的直线通孔具有一个折叠波纹管或薄膜波纹管，它在其一个端部上通过一个密封件20真空密封地与阀盘4连接并且在其另一端部上焊接或钎焊在一个连接盘21上，它通过一个密封件22真空密封地与阀壳体1的一个连接法兰23连接。为此螺栓24穿过在一个固定盘25和在连接板21中的开孔并旋进连接法兰23的螺纹孔里面，由此使连接板21顶靠嵌入在连接法兰23的一个容纳槽里面的密封件22。这些密封件20，22和44以O形环的形式由弹性体构成。在固定盘25上还固定操纵装置6。
所述密封件20，22和44也可以以金属密封的形式构成。
用于阀杆5的直线通孔也可以以其它方式构成，例如通过一个或多个滑动地顶靠在阀杆5的外圆周上的密封环，它们支承在阀壳体的相应容纳槽里面。在不同的实施例中已知直线通孔。
图1示出真空阀门的局部打开的状态。为了占据完全打开的状态所述阀盘可以继续在操纵装置6的方向上拉回到从阀孔2开始截取的阀壳体腔室12的部位里面，其中阀盘占据其打开位置，在该位置它完全释放阀孔2。
在图2，3以及11和12中示出阀门的关闭状态，在该状态阀盘4位于其关闭位置。该阀盘4在其关闭位置上顶靠在阀壳体1的一个阀座26上。该阀座由一个包围壁体10中的开孔的壁体10部位构成。在阀座26上设置一个密封面27，密封环8在阀盘4的关闭位置顶靠在该密封面上。
所述密封环8和密封面27设置在平行的平面28，29里面，参见图13。它们对于滑移方向7以一个角度30倾斜或倾翻。所述平面28，29分别相对于滑移方向围绕一个与滑移方向7成直角的以及与阀孔的轴线3成直角的轴线31倾斜，如同在图2中由虚线表示的那样。所述平面28，29相对于滑移方向7的倾角或角度30位于1°至45°之间。特别优选一个4°至10°范围的数值。
所述真空阀门在这个意义上可以称之为“楔角-滑板阀”。所述阀盘4的正面具有与密封环8相同的倾角，即平行于平面28，29。在所示实施例中该阀盘4的背面和与阀盘4背面对置的阀壳体1的壁体11也具有与阀盘4的正面和密封面27反向倾斜的阀壳体1的壁体10(分别围绕一个平行于轴线31的轴线)。该角度可以位于在角度30给定的范围里面。它最好对应于角度30的数值。因此在侧视图(图13)以及在对应于直线A-A的纵向截面图中给出阀盘4以及阀壳体1的壁体10，11的楔角形状。
在阀盘的正面上除了密封环8以外还设置滑动和间隔部件32。在阀盘的打开位置这个部件在阀盘4的表面上比密封环8向前凸出更少，参见图6。这个间隔在图6中以d表示。该滑动和间隔部件32在所示实施例中由与阀盘4独立的置入部件构成，它装进阀盘4中的槽形凹处33里面并固定在这个凹处里面。该凹处33在此在其侧壁中具有回凹，它们由倒切构成，它们反扣滑动和间隔部件32的锁定凸起34。为了构成锁定凸起34的弹性该滑动和间隔部件32配有从其底部开始的凹口35。通过这种方法使滑动和间隔部件通过锁定连接锁定在凹处33里面。也可以设想和能够实现其它形式的由独立的部件构成的滑动和间隔部件32与阀盘4的连接，如螺栓连接。
所述滑动和间隔部件32在阀门关闭时在阀盘滑移行程的最后一段上直到达到阀盘的关闭位置构成一个用于阀盘4相对于阀壳体1的滑动支承，其中它们可以在壁体10的一个内表面上滑动。在阀盘的关闭位置所述滑动和间隔部件32通过其在壁体10上的顶靠使阀盘4与阀壳体1间隔。由此限定在阀盘4的关闭状态对密封环8的挤压。因为滑动和间隔部件32在垂直于阀盘4表面的方向上是基本无弹性的，因此其在阀盘关闭位置相对于其未变形状态的变形远小于间隔d，因此基本以一个对应于间隔d的变形行程(见图6)挤压密封环8。
在所示实施例中存在两个设置在阀盘4对置侧面上的滑动和间隔部件，它们分别径向位于密封环以外。在此所述滑动和间隔部件在其平行于滑移方向7延伸的并且中间或中心地穿过阀盘4延伸的轴线36的的整个延展上看去比密封环8在其最远离轴线36的位置37更远离(参见图4)。由此排除在密封面上与滑动和间隔部件32接触的摩擦轨迹，因为在滑动和间隔部件与壁体10之间的可能的接触部位位于密封面27侧面。
在阀壳体1的壁体10内表面上设置凸起38。这些凸起位于从滑动和间隔部件32开始在到达关闭位置之前驶过的壁体10部位上。如果阀盘4在阀门关闭时偏离其在阀孔2纵轴线3方向看去的中心位置并且在壁体10方向上相对于这个中心位置滑移，例如在阀门平放安装时，其中阀门的正面向下指向，则滑动和间隔部件32可以在阀门关闭时在凸起38上滑动。由此使阀盘4与阀壳体1的壁体10间隔距离。由此防止密封环8在壁体10中的开孔边缘上移动。所述凸起38具有相应的用于滑动和间隔部件32移动的滑动斜面。在阀门关闭状态所述凸起38被阀盘4正面上的凹处39容纳，它们在滑移方向7上看去设置在滑动和间隔部件32旁边。
在壁体11上在与凸起38对置的位置上设置凸起40，它们与凸起38相同。由此实现一个对称的阀门结构，因此在组装阀门时不必考虑阀盘在阀壳体中的取向(能够实现两个以180°旋转的安装位置)。
在阀盘4的背面上设置滑动部件41。这些滑动部件与滑动和间隔部件32一样突出于阀盘4的表面并在阀门关闭时在阀盘滑移行程的最后一段上直到达到其关闭位置构成一个用于阀盘4相对于阀壳体1的滑动支承。所述滑动部件41最好与滑动和间隔部件32相同地构成并且卡入到阀盘4背面上与凹处39相同构成的凹处42里面。在所示实施例中以与平行于滑移方向的对称布置且以通过阀盘4延伸的轴线36为中心设置四个滑动部件41。其与轴线36的间隔在此小于滑动和间隔部件32的间隔。因此它们不越过凸起40，而是在其旁边滑过，即凸起40对于滑动部件41无效。
所述滑动部件41最好具有与滑动和间隔部件32相同的相对微小的弹性。所述滑动和间隔部件32在壁体10上和滑动部件41在壁体11的内表面上滑动的距离一方面通过各自给定的弹性确定，另一方面通过部件的现有弹性和间隙确定。这个距离也可以是非常短的，例如短于3毫米。
所述滑动和间隔部件32和/或滑动部件41的外表面，通过它这些部件在壁体10以及11上滑动，最好具有一个良好的滑动性。这个滑动性可以由滑动和间隔部件32以及滑动部件41的材料给定或者可以存在一个相应的滑动覆层。例如所述滑动和间隔部件32和/或滑动部件41由一种具有相对微小弹性的热塑性塑料制成，例如一种滑动改性的PEEK。例如也可以设想和实现一个金属结构，尤其是具有一个塑料滑动覆层，为此例如特富龙是适合的。
所述滑动和间隔部件32和/或滑动部件41的摩擦系数μ最好在0.05至0.40之间。
所述真空阀门从其打开位置开始的关闭通过阀杆5借助于操纵装置6的轴向滑移实现。在阀盘4快达到其关闭位置之前，首先使密封环8顶靠在密封面27上并且在阀盘4继续关闭时可以在这个密封面上滑动。紧接着使滑动和间隔部件32和滑动部件41顶靠在壁体10，11上，由此使阀盘4对中并通过一个滑动导引移动到其关闭位置。在关闭位置对密封环8的挤压通过由滑动和间隔部件32给出的阀盘4与阀壳体1的距离限定在一个给定的数值上。
如上所述最好存在至少两个滑动和间隔部件32，它们分别具有一个长度，该长度远短于密封环8的周长，其中所述滑动和间隔部件32的长度最好短于密封环8长度的1/10。也可以设想和实现只有一个唯一的滑动和间隔部件，尽管很少选用，它以大于密封环周长一半的长度在密封环旁边延伸。也可以设想只有一个唯一的滑动部件41。
在所示实施例中所述滑动和间隔部件32设置在阀盘4上。原则上也可以设想和能够使这些部件设置在阀壳体1上，其中它们在阀门关闭时顶靠在密封环8旁边部位的阀盘4的表面上。所述凸起38在这种情况下设置在阀盘4上并且在阀盘关闭位置容纳凸起38的凹处39设置在阀壳体1上。
所述滑动部件41同样可以设置在阀壳体1上，其中它们在阀门关闭时顶靠在阀盘4背面的表面上。
在所示实施例中所述密封环8设置在阀盘4上并且从属的密封面27设置在阀壳体1的阀座26上。代替这一点也可以将密封环设置在阀座上并将密封面设置在阀盘上。对于滑动和间隔部件不仅可以设想和能够安置在阀盘上而且可以安置在阀壳体上。这一点对于滑动部件41同样有效。
在所示实施例中所述滑动和间隔部件32是独立的部件，它们固定在阀盘4(或阀壳体1)上。代替这一点也可以设想和能够实现与阀盘4或阀壳体1一体的结构，尽管较少这样选用。对于滑动部件41也是同样。
在所示实施例中所述阀盘41由金属制成。也可以设想和实现由塑料、例如Peek制成的结构或一个塑料覆层。
在图14中示出本发明的一个变化的实施例。与按照图1至13的实施例的不同之处在于，在阀盘4的背面上不设置滑动部件41并且这个背面也没有楔角形状。在阀盘4的背面上可旋转地支承滚子43，它们在阀门关闭时在阀盘关闭行程的最后一段上直到达到其关闭位置顶靠在阀壳体1的壁体11上，其中它们在壁体上滚动。所述壁体11在这个部位具有一个在壁体10方向上倾斜延伸的截段。在阀盘4上最好在阀孔2的两侧分别可旋转地支承一个这样的滚子43。
图15，16和17示出在一个按照本发明的真空阀门中优选使用的用于密封环8的槽9(图15)与常见的公知槽45，46(图16和17)相比的对应位置。图17以横截面图示出一个常见的称之为“燕尾槽”的槽46和位于其中的密封环8。可以看出，该密封环挤压在槽的外边界棱边47，48上。当密封环8在阀门关闭时由于起作用的剪切力例如在槽46中旋转，因此由于挤压在边界棱边47，48之间使密封环8不再能够完全松弛。
图16以一个常见的“圆槽”形式示出一个用于密封环8的槽45，它在横截面上为圆扇段形，其中圆直径大于密封环8的直径。因此该密封环8在外边界棱边47，48处空出并因此可以在阀门打开时仍然完全松弛。但是这个槽的缺陷是，密封环8可能不完全被压入槽里面，而是槽45已经事先完全充满，由此阻止继续顶压密封环8。因此在结合本发明使用这种槽45时必需非常准确地考虑不同的误差，由此可以使滑动和间隔部件32有效。
在结合本发明优选使用的对应于图15的槽中所述密封环8在无应力状态具有一个相对于外边界棱边47，48的间隙。当密封环8中心地设置在槽9里面时，如图15所示，则侧壁49，50在其直到槽底51的整个曲线上与密封环8具有一个距离，该距离在外边界棱边47，48附近具有其最小值并且向着槽底增加。在一个以这种方式构成的槽中所述密封环8可以完全压入槽9里面(因此使密封环不再突出于阀盘4的外表面)。此外该密封环8在阀盘4打开时又完全松弛。
除了已经描述过的本发明优点以外，本发明还具有下列有利的特性：可以避免金属-金属接触，其中尤其可以避免接触的金属部件的相对运动。位于真空中的部件表面可以整体上保持相对较小。该真空阀门在1巴的满压差时可以打开地构成。该真空阀门不局限于小的额定宽度并且例如也可以用于400毫米和更大的额定宽度。
上面借助于在横截面上圆形的阀盘描述了本发明。本发明也可以用于具有其它外轮廓的阀盘，例如在视图上看去正方形或矩形的阀盘。在阀盘上可以安置一个或多个阀杆5。如上所述，本发明的范围不局限于所示的实施例，而是应该以后附的权利要求为基础结合其全部可能实现的变化范围确定。
对于一个普通技术人员明显的是，上面用于表示本发明的描述和附图可以实现不同的变化，而不脱离本发明的基本构思和范围。
附图标记清单
1     阀壳体
2     阀孔
3     纵轴线
4     阀盘
5     阀杆
6     操纵装置
7     滑移方向
8     密封环
9     槽
10    壁体
11    壁体
12    腔室
13    壁体
14    壁体
15    法兰
16    法兰
17    板
18    连接螺栓
19    薄膜波纹管
20    密封件
21    连接盘
22    密封件
23    连接法兰
24    螺栓
25    固定盘
26    阀座
27    密封面
28    平面
29    平面
30    角度
31    轴线
32    滑动和间隔部件
33    凹处
34    锁定凸起
35    凹口
36    轴线
37    位置
38    凸起
39    凹处
40    凸起
41    滑动部件
42    处
43    滚子
44    密封件
45    槽
46    槽
47    外部的限制棱边
48    外部的限制棱边
49    侧壁
50    侧壁
51    槽底

Claims (31)

1.一种真空阀门，包括
一个具有一个阀孔(2)和一个阀座(26)的阀壳体(1)，该阀孔具有一个纵轴线(3)；
一个阀盘(4)，它可以在一个打开位置与一个关闭位置之间在一个滑移方向(7)上直线滑移，在打开位置该阀盘释放阀孔(2)，在关闭位置该阀盘顶靠在阀壳体的阀座上并关闭和密封阀孔，并且所述阀盘安置在至少一个阀杆(5)上，它为了使阀盘滑移可以轴向滑移；
一个弹性密封环(8)，它设置在阀盘(4)的一个正面上或者阀壳体(1)的阀座(26)上；
一个密封面(27)，它设置在阀壳体(1)的阀座(26)或阀盘(4)的正面上，并且所述密封环(8)在阀盘(4)的关闭位置顶靠在该密封面上，其中该密封面(27)和密封环(8)设置在平行的平面(28，29)里面，它们相对于阀盘(4)的滑移方向(7)分别围绕一个与滑移方向成直角的以及与阀孔(2)的纵轴线(3)成直角的轴线(31)倾斜；和
至少一个滑动和间隔部件(32)，它设置在密封环(8)旁边的阀盘(4)的正面上或者设置在密封面(27)或密封环旁边的阀座(26)上并且在阀门关闭时在阀盘关闭行程的最后一段上直到达到阀盘的关闭位置构成一个用于阀盘相对于阀壳体的滑动支承并且该滑动和间隔部件在阀盘的关闭位置使阀盘与阀壳体间隔距离并由此限制挤压密封环。
2.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，存在至少两个在密封环或密封面圆周方向上相互间隔的滑动和间隔部件(32)。
3.如权利要求2所述的真空阀门，其特征在于，所述滑动和间隔部件分别具有一个长度，该长度远短于密封环的周长。
4.如权利要求3所述的真空阀门，其特征在于，所述滑动和间隔部件的长度为密封环周长的1/10。
5.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动和间隔部件设置在一个径向位于密封环和密封面外部的阀盘(4)或阀座(26)的部位里面。
6.如权利要求2所述的真空阀门，其特征在于，所述滑动和间隔部件在其平行于阀盘滑移方向(7)的且中心地通过阀盘(4)延伸的轴线(36)的整个延展上比密封环(8)在其最远离这个轴线(36)的位置更远离。
7.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动和间隔部件设置在阀盘(4)的正面上并且在阀盘(4)的关闭位置顶靠在阀壳体的内表面上。
8.如权利要求7所述的真空阀门，其特征在于，在阀壳体(1)的一个内表面上在一个越过滑动和间隔部件达到阀盘关闭位置之前的部位里设置一个对应于这个滑动和间隔部件的凸起(38)用于使阀盘相对于阀座(26)间隔距离，其中所述凸起(38)在阀盘的关闭位置位于滑动和间隔部件旁边。
9.如权利要求8所述的真空阀门，其特征在于，所述凸起(38)在阀盘的关闭位置位于一个在阀盘中构成的凹处(39)里面。
10.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动和间隔部件(32)设置在阀壳体(1)的阀座(26)上并且在阀盘的关闭位置顶靠在阀盘的正面上。
11.如权利要求10所述的真空阀门，其特征在于，在阀盘的正面上在一个越过滑动和间隔部件达到关闭位置之前的部位里设置一个对应于滑动和间隔部件的凸起用于使阀盘相对于阀座间隔距离，其中所述凸起在阀盘的关闭位置位于滑动和间隔部件的旁边。
12.如权利要求11所述的真空阀门，其特征在于，所述阀盘的凸起在阀盘的关闭位置位于阀座的一个凹处里面。
13.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动和间隔部件由独立的部件构成，它设置在一个在阀盘的正面或阀座里面构成的凹处(33)里面。
14.如权利要求13所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动和间隔部件通过锁定连接锁定在凹处(33)里面。
15.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动和间隔部件具有一个外表面，它具有良好的滑动性。
16.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动和间隔部件在一个垂直于阀盘(4)表面的方向上无弹性。
17.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动和间隔部件由一个热塑性塑料制成。
18.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述真空阀门具有至少一个滑动部件(41)，它设置在一个背离阀座(26)的阀盘(4)背面上或者设置在阀门体的一个壁体(11)上，该壁体在阀盘关闭位置位于阀盘(4)这个背面的对面并且该滑动部件在阀门关闭时在阀盘关闭行程的最后一段上构成一个用于阀盘相对于阀壳体的滑动支承直到达到其关闭位置。
19.如权利要求18所述的真空阀门，其特征在于，存在至少两个在阀盘或壁体(11)中一个开孔的圆周方向上相互间隔的滑动部件(41)。
20.如权利要求19所述的真空阀门，其特征在于，所述滑动部件(41)分别具有一个长度，该长度远短于密封环的周长。
21.如权利要求18所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动部件(41)由独立的部件构成，它设置在一个在阀盘背面或在阀壳体(1)的壁体(11)中构成的凹处(42)里面。
22.如权利要求21所述的真空阀门，其特征在于，所述滑动部件(41)通过锁定连接锁定在凹处(42)里面。
23.如权利要求18所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个滑动部件(41)由一种热塑性塑料制成。
24.如权利要求18所述的真空阀门，其特征在于，所述阀盘的背面在阀盘的滑移方向(7)上围绕一个与滑移方向成直角的以及与阀孔的纵轴线成直角的轴线倾斜。
25.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，在阀盘的背面上可旋转地支承至少一个滚子(43)，它在阀盘关闭时在阀盘关闭行程的最后一段上在阀壳体上滚动直到达到阀盘的关闭位置。
26.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述阀壳体(1)具有正面的和背面的壁体(10，11)，它们具有对中的开孔，它们共同构成阀孔(2)，其中所述阀盘(4)设置在一个位于这两个壁体(10，11)之间的腔室(12)里面。
27.如权利要求26所述的真空阀门，其特征在于，所述至少一个阀杆(5)穿过一个直线通孔从腔室(12)中引出来。
28.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述密封环(8)由一个O形环构成，它设置在一个环绕的槽(9)里面，该槽安置在阀盘(4)的正面或阀座里面。
29.如权利要求28所述的真空阀门，其特征在于，所述密封环(8)在横截面上看去在其中心地布置在槽里面时与槽的侧壁(49，50)在其直到槽底(51)的整个曲线上间隔距离，其中这个距离从一个在槽(9)外边界棱边(47，48)上或在其附近呈现的最小值向着槽底(51)增加。
30.如权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，在平面(28，29)中设置密封面(27)和密封环(28)，这些平面相对于阀盘(4)的滑移方向(7)的倾角为1°至45°。
31.如权利要求30所述的真空阀门，其特征在于，所述倾角在4°至10°之间。
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