DE102007023339A1

DE102007023339A1 - Ventil mit einem Verschlussorgan

Info

Publication number: DE102007023339A1
Application number: DE102007023339A
Authority: DE
Inventors: Urs Gantner; Bernhard Litscher
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 2007-05-16
Filing date: 2007-05-16
Publication date: 2008-11-20
Also published as: JP2010526974A; CN101680553A; WO2008138452A1; US8002238B2; US20100117018A1; KR20100016508A; CN101680553B

Abstract

Ventil mit einem Verschlussorgan (3) zum, insbesondere gasdichten, Verschließen einer Ventilöffnung (1) in einer Schließstellung des Verschlussorgans, wobei das Verschlussorgan (3) bei einem Schließvorgang von zumindest einem Aktuator (4), ausgehend von einer ersten Stellung maximaler Öffnung, zumindest auf einer Teilstrecke mit einer linearen Bewegungskomponente (22) in Richtung seiner Schließstellung bewegbar ist und der Aktuator (4) für eine Bewegung des Verschlussorgans (3) mit dieser Bewegungskomponente (22) einen Schließhub mit linearer Hubrichtung (23) ausführt, wobei der Aktuator (4) in Relation zum Verschlussorgan (3) so angeordnet ist, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente (22) des Verschlussorgans (3) und der linearen Hubrichtung (23) des Aktuators (4) ein von 0° und 180° abweichender Winkel vorgesehen ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Ventil mit einem Verschlussorgan zum, insbesondere gasdichten, Verschließen einer Ventilöffnung in einer Schließstellung des Verschlussorgans, wobei das Verschlussorgan bei einem Schließvorgang von zumindest einem Aktuator ausgehend von einer ersten Stellung maximaler Öffnung zumindest auf einer Teilstrecke mit einer linearen Bewegungskomponente in Richtung seiner Schließstellung bewegbar ist und der Aktuator für eine Bewegung des Verschlussorgans mit dieser Bewegungskomponente einen Schließhub mit linearer Hubrichtung ausführt.
Gattungsgemäße Ventile werden zum Beispiel bei der Halbleiterherstellung oder -bearbeitung dazu verwendet, einzelne Bearbeitungsschritte gasdicht in weitgehend luftentleerten, also vakuumierten, abgeschlossenen Bereichen vornehmen zu können. Häufig wird bei diesen Ventilen auch von sogenannten Vakuumventilen gesprochen. Auch die Bezeichnung Schieberventil wird häufiger verwendet, da das Verschlussorgan des Ventils auf seinem Weg von der Stellung maximaler Öffnung zur Schließstellung zumindest bereichsweise linear verschoben wird. Grundsätzlich ist bei solchen Ventilen darauf bedacht zu nehmen, dass eine üblicherweise am Verschlussorgan oder an der damit korrespondierenden Sitzfläche des Ventils angeordnete Dichtung nicht ab dem Augenblick, ab dem das Verschlussorgan die Dichtfläche berührt, quer zu ihrer Längsrichtung beansprucht wird. Derartige Scherbeanspruchungen der Dichtungen werden gemeinhin als sehr nachteilig für die Lebensdauer der Dichtung angesehen. Um dies zu vermeiden, haben sich verschiedene Typen von Verschlussorganen beim Stand der Technik herausgebildet, die jeweils zumindest teilweise in einer Linearbewegung von der maximal geöffneten Stellung in die Schließstellung bewegbar sind. Eine erste Gruppe von Verschlussorganen ist im Wesentlichen keilförmig ausgebildet, sodass aufgrund der Keilwirkung eine Kraftkomponente senkrecht zur Sitzfläche am Ende der Schließbewegung das Verschlussorgan an die Sitzfläche anpresst. Solche Ausgestaltungsformen von Verschlussorangen sind z. B. in der US 4,921,213 und der US 7,011,294 gezeigt. Bei anderen gattungsgemäßen Ventilen ist vorgesehen, dass das Verschlussorgan zum Schließen des Ventils von einem Aktuator zunächst in eine Verschieberichtung linear verschoben wird, bis sich das Verschlussorgan in einer der Ventilöffnung gegenüberliegenden aber vom Ventilsitz noch abgehobenen Position befindet. Im Anschluss erfolgt dann eine Bewegung mit einer weiteren, üblicherweise senkrecht zur Sitzfläche ausgerichteten Bewegungskomponente, wodurch das Verschlussorgan an die Sitzfläche des Ventilgehäuses angepresst wird. Der zweite Abschnitt der Schließbewegung wird bei solchen Schieberventilen auf unterschiedliche Arten erreicht. Die US 6,629,682 zeigt z. B. ein gattungsgemäßes Ventil, bei dem das Verschlussorgan über eine Kippbewegung mittels eines weiteren Aktuators an die Sitzfläche des Ventilgehäuses angepresst wird. Bei dieser Art von Ventilen, bei denen das Verschlussorgan insgesamt eine L- oder J-förmige Bewegung vollzieht, ist es in anderen Varianten auch bekannt, dass Anpressen des Verschlussorgans an die Sitzfläche über Kippelemente zu realisieren. Eine derartige Konstruktion ist z. B. in der DE 32 24 387 gezeigt.
Weitere beim Stand der Technik bekannte Varianten von Verschlussorganen werden bei Ihrer Bewegung von der maximal geöffneten Stellung in die Schließstellung ausschließlich in einer Richtung linear bewegt. Bei diesen ist vorgesehen, dass die Sitzfläche des Ventilkörpers entsprechend senkrecht zur Bewegungsrichtung des Verschlussorgans angeordnet ist. Als Beispiel hierfür ist die US 6,685,163 zu nennen.
Beim Stand der Technik ist es üblich, die Linearbewegung des Verschlussorgans mittels einer meist pneumatischen Kolben-Zylinder-Einheit zu realisieren. Die Kolbenstange dieser Einheit wirkt dabei in der Regel unmittelbar auf das Verschlussorgan. Dies hat zwei Nachteile. Zum Einen ist die mittels dieser pneumatischen Aktuatoren realisierbare Schließ- und Öffnungsgeschwindigkeit vor allem in der ersten Bewegungsphase nicht so hoch, wie dies zu wünschen wäre. Zum Anderen müssen diese Aktuatoren sehr groß dimensioniert und ausgelegt werden, um die gewünschten Schließdrücke in der Schließstellung des Verschlussorgans bereitstellen zu können.
Aus der JP 6-241344 ist eine Lösung bekannt, bei der der Schließhub des ebenfalls als Kolben-Zylinder-Einheit ausgebildeten Aktuators parallel zur linearen Schließbewegung des Ventilkörpers erfolgt. Um eine Verbesserung bezüglich der Geschwindigkeit und der zur Verfügung stehenden Anpressdrücke zu erreichen, ist gemäß dieser Schrift vorgesehen, den Aktuator über zahnstangengetriebene Zahnräder und daran exzentrisch angelenkte Arme mit dem Verschlussorgan zu verbinden. Die in dieser Schrift gezeigte Konstruktion ist jedoch relativ aufwändig und benötigt viele Teile.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine einfache Konstruktion mit möglichst wenig bewegten Teilen für ein gattungsgemäßes Ventil zur Verfügung zu stellen, bei der der Schließhub möglichst rasch realisierbar ist und in der Schließstellung mit relativ gering dimensionierten Aktuatoren hohe Schließdrücke erreichbar sind.
Dies wird durch ein Ventil mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 erreicht.
Durch die Anordnung des Aktuators in erfindungsgemäßer Relation zum Verschlussorgan können relativ einfache, aber effektive Übertragungsmechanismen realisiert werden, die sowohl eine hohe Schließgeschwindigkeit des Verschlussorgans als auch ausreichend große Schließkräfte in der Schließstellung mit vergleichsweise kleinen Aktuatoren realisierbar machen.
Im Sinne einer optimalen Kraftausbeute ist günstigerweise vorgesehen, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente des Verschlussorgans und der linearen Hubrichtung des Aktuators ein Winkel zwischen 45° und 135°, vorzugsweise zwischen 80° und 100°, vorgesehen ist.
Besonders bevorzugte Ausführungsvarianten sehen vor, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente des Verschlussorgans und der linearen Hubrichtung des Aktuators ein Winkel von 90°, also ein senkrechter Winkel vorgesehen ist.
Die Richtungen der linearen Bewegungskomponente und die lineare Hubrichtung werden günstigerweise durch jeweils entsprechend ausgeformte Führungen vorgegeben.
Bevorzugte Varianten zur Übersetzung der linearen Hubbewegung des Aktuators in eine Schließbewegung mit einer linearen Bewegungskomponente sehen vor, dass zumindest ein Arm zur Übertragung des Schließhubes des Aktuators auf das Verschlussorgan mit dem Aktuator über einen ersten Anlenkpunkt drehbar und mit dem Verschlussorgan über einen zweiten Anlenkpunkt drehbar verbunden ist.
Das Verschlussorgan kann dabei direkt mit dem entsprechenden Arm drehbar verbunden sein. Insbesondere bei gasdichten Ventilen sehen bevorzugtere Ausführungsvarianten jedoch ein indirektes Anlenken des Arms am Verschlussorgan vor, indem letzteres mit mindestens einer Ventilstange vorzugsweise starr verbunden ist und der Arm im zweiten Anlenkpunkt drehbar mit der Ventilstange verbunden ist. Hierdurch ist es möglich, das Verschlussorgan im Bereich der Ventilstange linear zu führen und gegen das Ventilgehäuse vorzugsweise gasdicht abzudichten. Um eine entsprechende Hebelwirkung mit einer hohen Anfangsgeschwindigkeit bei der Schließbewegung und großen Kräften am Ende der Schließbewegung zu erreichen, sollten der erste Anlenkpunkt und der zweite Anlenkpunkt voneinander beabstandet sein.
Die Erfindung ist grundsätzlich mit allen oben beim Stand der Technik genannten Formen von Verschlussorganen realisierbar. Diesen ist gemeinsam, dass das Verschlussorgan beim Schließvorgang ausgehend von der ersten Stellung maximaler Öffnung als erstes entlang der Teilstrecke mit linearer Bewegungskomponente bewegbar ist. Ob das Verschlussorgan beim Schließvorgang ausschließlich linear in dieser Richtung bewegt wird oder nicht, hängt von der Ausgestaltungsform des Verschlussorgans und der korrespondierenden Form der Sitzfläche ab. Die Erfindung ist auch mit Verschlussorganen realisierbar, die dazu ausgelegt sind, im Anschluss an die Teilstrecke mit linearer Bewegungskomponente zum vollständigen Erreichen der Schließstellung mit einer, in einem von 0° und 180° abweichenden Winkel zur linearen Bewegungskomponente ausgerichteten, weiteren Bewegungskomponente an zumindest eine abdichtende Sitzfläche anpressbar zu sein. Darüber hinaus ist es auch denkbar, dass das Verschlussorgan im Bereich der oben genannten, vorzugsweise ersten, Teilstrecke mit linearer Bewegungskomponente zusätzlich eine dazu senkrecht gerichtete weitere Bewegungskomponente erfährt. Einfacher zu gestalten und besser abzudichten sind jedoch Verschlussorgane, die entlang der vorzugsweise ersten Teilstrecke ausschließlich mit linearer Bewegungskomponente in eine Richtung bewegbar sind.
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Figurenbeschreibung. Dabei zeigen:
Die 1 bis 6 ein bevorzugtes erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung und
die 7 bis 10 schematisch verschiedene ebenfalls erfindungsgemäße Abwandlungsformen.
Im ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel ist das Verschlussorgan 3 in Form einer Ventilplatte 15 ausgebildet. Diese führt bei der Bewegung von der in 1 dargestellten Stellung maximaler Öffnung in die in den 2 und 3 dargestellte Schließstellung ausschließlich eine lineare Bewegung mit der Bewegungskomponente in Richtung 22 aus. Der Öffnungshub erfolgt entsprechend in Gegenrichtung des Pfeils 22. Die Sitzfläche 14 ist in diesem Ausführungsbeispiel am Ventilgehäuse 2 angeordnet. Sie ist derart ausgebildet, wie dies in der US 6,685,163 ausführlich beschrieben und dargestellt ist, sodass diesbezüglich auf diese Schrift verwiesen wird. Insofern ist die US 6,685,163 als Teil der Offenbarung dieser Anmeldung anzusehen.
In der maximal geöffneten Stellung gemäß 1 ist die Ventilöffnung 1 zu sehen, die es mittels des Verschlussorgans 3 zu verschließen gilt. Das Verschlussorgan 3 bzw. die Ventilplatte 15 ist in diesem Ausführungsbeispiel starr mit zwei Ventilstangen 8 verbunden. Diese sind hier in einer an sich bekannten gasdichten Ventilstangenführung 9 linear geführt. Am dem Verschlussorgan 3 entgegengesetzten Ende der Ventilstangen 8 ist jeweils ein Arm bzw. Hebel 5 über den zweiten Anlenkpunkt 7 drehbar angelenkt. Die ersten Anlenkpunkte 6 befinden sich an den jeweils zum Anlenkpunkt 7 entgegengesetzten Enden der Arme 5. Über diese Anlenkpunkte 6 sind die Arme 5 drehbar mit dem Aktuator 4 verbunden. Diese Verbindung ist bei dieser Variante über einen Schlitten 16 realisiert, welcher vom Aktuator 4 zwischen der in 1 gezeigten Stellung und der in 3 gezeigten Hubrichtung 23 und beim öffnen entgegengesetzt bewegt werden kann. Der Aktuator 4 ist in der hier gezeigten bevorzugten Ausgestaltungsform als elektromagnetischer Linearantrieb 13 ausgeführt. Solche Antriebe sind an sich bekannt. Zur Abstützung der über die Arme 5 in Richtung 22 zu übertragenden Kräfte ist die Aktuatorführung 12 vorgesehen, welche parallel zur Bewegungsrichtung 23 des Linearantriebs 13 verläuft. Die Drehachsen der ersten Anlenkpunkte 6 und der zweiten Anlenkpunkte 7 stehen bevorzugt jeweils vertikal zu den Richtungen 22 und/oder 23. Die in 4 dargestellte Längsachse 26 der Ventilöffnung 1 steht bevorzugt ebenfalls senkrecht zu den Richtungen 22 und/oder 23.
Ausgehend von der Stellung der maximalen Öffnung gemäß 1 wird das Verschlussorgan 3 durch Verschieben des Schlittens 16 in die in 2 gestellte Schließstellung verschoben. Dabei drücken die Arme 5 die Ventilstangen 8 und damit die Ventilplatte 15 nach unten auf die Sitzflächen 14 des Ventilgehäuses 2. Zur Aufnahme der Schließkräfte ist der Schlitten 16 dabei über die Aktuatorenführung 12 am Führungsabschnitt 17 des Ventilgehäuses 2 abgestützt. 3 zeigt eine Stellung, die bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung realisiert wird. In dieser Schließstellung ist das Verschlussorgan 3 selbsthemmend gehalten. Gemäß der gezeigten Variante wird dies erreicht, indem die Arme 5 bzw. die ersten Anlenkpunkte 6 in Hubrichtung 23 über ihre jeweiligen Totpunkte hinwegbewegt werden. Der Totpunkt liegt dabei in einer Stellung, in der die Verbindungen der Mittelpunkte der ersten Anlenkpunkte 6 mit den Mittelpunkten der jeweils darunterliegenden zweiten Anlenkpunkte 7 exakt auf den auf sie einwirkenden Kraftvektoren liegen. Diese Linien sind in 3 gestrichelt eingezeichnet und mit dem Bezugszeichen 11 versehen. In der in 3 gezeigten selbstarretierenden Stellung sind die Mittelpunkte der ersten Anlenkpunkte 6 über die auf den Linien 11 liegenden Totpunkte hinweggefahren.
4 zeigt die Schnittlinie A-A in einer Seitenansicht auf das erste Ausführungsbeispiel. 5 zeigt den der Linie A-A zugeordneten Schnitt durch das Ausführungsbeispiel. Im Bereich des elektromagnetischen Linearantriebs 13 sind dessen hülsenförmiger Abschnitt 18 und die davon umfasste Kernstange 19 gezeigt. Günstigerweise sind die hier nicht explizit dargestellten elektromagnetischen Spulen des Linearantriebs 13 im hülsenförmigen Abschnitt 18 angeordnet, während in der Kernstange 19, wie an sich bekannt, Permanentmagneten vorgesehen sind. Dies vereinfacht die elektrische Anbindung der im hülsenförmigen Abschnitt angeordneten Elektromagneten. Im Bereich der Aktuatorführung 12 sind die in der Hülse 25 vorgesehenen Kugellager 20 angedeutet, welche dafür sorgen, dass beim Verschieben des Schlittens 16 möglichst geringe Verluste durch Reibungskräfte auftreten.
6 zeigt zusätzlich noch eine perspektivische Ansicht auf die vom Verschlussorgan 3 abgewandte Rückseite des Ausführungsbeispiels.
Neben anderen Ausgestaltungsformen wäre es in Abwandlung des besprochenen Ausführungsbeispiels möglich, die Zahl der vorgesehenen Arme 5 und Ventilstangen 8 zu variieren. Es ist sowohl möglich, nur eine Ventilstange und nur einen Arm 5, als auch jeweils mehrere dieser Bauteile vorzusehen. Die Erfindung muss auch nicht zwingend mit dem bevorzugten elektromagnetischen Linearmotor 13 realisiert werden. Anstelle dessen können auch pneumatische oder hydraulische Kolben-Zylinder-Einheiten oder eine Drehbewegung ausführende Elektromotoren vorgesehen sein. Zur Umsetzung der Drehbewegung des Elektromotors sind dann beim Stand der Technik bekannte Einrichtungen zur Umwandlung einer Drehbewegung in die lineare Hubbewegung 23 vorzusehen. Dies können z. B. an sich bekannte Spindelgetriebe oder Zahnstangengetriebe sein, wobei dann die Spindeln oder Zahnstangen entsprechend eine Linearbewegung in Richtung 23 relativ zum Elektromotor und zum Rest des Getriebes ausführen. Als Elektromotoren kommen bei diesen Varianten bevorzugt Schrittmotoren zum Einsatz.
7 zeigt schematisch, wie unter Verwendung von zusätzlichen Armen 5 sogenannte Kniehebel im Sinne der Erfindung realisierbar sind. Diese haben den Vorteil, dass die in Gegenrichtung zu Richtung 22 wirkenden Kräfte nicht mehr vom Linearantrieb 13 oder einer in 7 nicht dargestellten linearen Aktuatorführung 12 aufgenommen werden müssen, sondern an Fixpunkten 10 eingeleitet werden können. Diese Fixpunkte 10 könnten z. B. am Ventilgehäuse 2 oder anderen entsprechend statisch festen Bauteilen angeordnet sein. Wie in 7 gezeigt, ist die in Richtung 23 und in Gegenrichtung mittels des Linearantriebs 13 verschiebbare Schubstange 21 an den ersten Anlenkpunkten 6 der beiden Kniehebel drehbar angelenkt. Von diesen Punkten 6 führt jeweils ein Arm 5 der Kniehebel zum jeweils zweiten drehbaren Anlenkpunkt 7 an den Ventilstangen 8. Nach oben hin sind die ersten Anlenkpunkte 6 über die oberen Arme 5 an den Fixpunkten 10 abgestützt. Die Fixpunkte 10 sowie die ersten und zweiten Anlenkpunkte 6 und 7 sind jeweils drehbar ausgeführt.
Die 8 bis 10 zeigen in einer jeweils stark schematisierten Seitenansicht auf die Ventilöffnung 1 beispielhaft, wie die Verschlussorgane alternativ ausgeformt und bewegt sein können. Bei den Ausführungsvarianten gemäß 8 und 9 sind die Verschlussorgane 3 jeweils keilförmig ausgeführt. Die Schließbewegung mit linearer Komponente in Richtung 22 kann wie im ersten Ausführungsbeispiel gezeigt, gemäß der Erfindung realisiert werden. Durch die Keilform der Verschlussorgane 3 werden diese, wenn sie in die entsprechenden keilförmigen Sitzflächen 14 in Richtung 22 eingeführt werden, an die Sitzfläche gasdichtend angepresst. Die konkrete Form der Verschlussorgane 3 kann sich dabei z. B. an die in den Fig. der US 7,011,294 oder der US 4,921,213 anlehnen. Alternativ zu der Keilform können auch Kippelemente zum Einsatz kommen, wie sie z. B. in der DE 32 24 387 gezeigt sind.
In 10 ist eine Ausführungsvariante schematisch angedeutet, bei der das Verschlussorgan zunächst gemäß der Erfindung in Richtung 22 linear nach unten in den Bereich der Ventilöffnung 1, also in Richtung Schließstellung bewegt wird. Anschließend erfolgt ein Anpressen des Verschlussorgans 3 an die Sitzfläche 14 durch eine Bewegungskomponente 24, deren Richtung senkrecht zur Bewegungskomponente 22 ist. Zur Realisierung dieser Bewegungskomponente 24 kann ein weiterer Aktuator notwendig sein. Dies ist z. B., wie in der US 6,629,682 gezeigt, mittels einer Schwenkachse und einem zusätzlichen Hubkolben realisierbar.
Die verschiedenen hier gezeigten Ausführungsvarianten der Erfindung sind besonders gut als sogenannte Vakuumventile einsetzbar. Diese dienen dazu, eine Ventilöffnung so gasdicht abzudichten, dass im dadurch geschlossenen Hohlraum im Vakuum gearbeitet werden kann. Unter Vakuum ist dabei ein technisch realisierbares Abpumpen der Luft bzw. des Gases aus dem Hohlraum zu verstehen, wie es z. B. bei der Bearbeitung und Herstellung von Halbleiterbauteilen eingesetzt wird.

1: Ventilöffnung
2: Ventilgehäuse
3: Verschlussorgan
4: Aktuator
5: Arm
6: erster Anlenkpunkt
7: zweiter Anlenkpunkt
8: Ventilstange
9: Ventilstangenführung
10: Fixpunkt
11: Linie
12: Aktuatorführung
13: Linearantrieb
14: Sitzfläche
15: Ventilplatte
16: Schlitten
17: Führungsabschnitt
18: hülsenförmiger Abschnitt
19: Kernstange
20: Kugellager
21: Schubstange
22: lineare Bewegungskomponente
23: Hubrichtung
24: weitere Bewegungsrichtung
25: Hülse
26: Längsachse

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- US 4921213 [0002, 0025]
- US 7011294 [0002, 0025]
- US 6629682 [0002, 0026]
- DE 3224387 [0002, 0025]
- US 6685163 [0003, 0018, 0018]
- JP 6-241344 [0005]

Claims

Ventil mit einem Verschlussorgan zum, insbesondere gasdichten, Verschließen einer Ventilöffnung in einer Schließstellung des Verschlussorgans, wobei das Verschlussorgan bei einem Schließvorgang von zumindest einem Aktuator ausgehend von einer ersten Stellung maximaler Öffnung zumindest auf einer Teilstrecke mit einer linearen Bewegungskomponente in Richtung seiner Schließstellung bewegbar ist und der Aktuator für eine Bewegung des Verschlussorgans mit dieser Bewegungskomponente einen Schließhub mit linearer Hubrichtung ausführt, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (4) in Relation zum Verschlussorgan (3) so angeordnet ist, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente (22) des Verschlussorgans (3) und der linearen Hubrichtung (23) des Aktuators (4) ein von 0° und 180° abweichender Winkel vorgesehen ist.
Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente (22) des Verschlussorgans (3) und der linearen Hubrichtung (23) des Aktuators (4) ein Winkel zwischen 45° und 135°, vorzugsweise zwischen 80° und 100°, vorgesehen ist.
Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente (22) des Verschlussorgans (3) und der linearen Hubrichtung (23) des Aktuators (4) ein Winkel von 90° vorgesehen ist.
Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (3) beim Schließvorgang ausgehend von der ersten Stellung maximaler Öffnung als erstes entlang der Teilstrecke mit linearer Bewegungskomponente bewegbar ist.
Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (3) in seiner Schließstellung selbsthemmend gehalten ist.
Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Arm (5) zur Übertragung des Schließhubes des Aktuators (4) auf das Verschlussorgan (3) mit dem Aktuator (3) über einen ersten Anlenkpunkt (6) drehbar und mit dem Verschlussorgan (3) über einen zweiten Anlenkpunkt (7) drehbar verbunden ist.
Ventil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (3) mit mindestens einer Ventilstange (8), vorzugsweise starr, verbunden ist und der Arm (5) im zweiten Anlenkpunkt (7) drehbar mit der Ventilstange (8) verbunden ist.
Ventil nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Anlenkpunkt (6) und der zweite Anlenkpunkt (7) voneinander beabstandet sind.
Ventil nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Ventilstange (8) in einer, vorzugsweise gasdichten, Ventilstangenführung (9) linear geführt ist.
Ventil nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Übertragung des Schließhubes des Aktuators (4) auf das Verschlussorgan (3) mindestens zwei Arme (5) vorgesehen sind, wobei die beiden Arme (5) im ersten Anlenkpunkt (6) drehbar mit dem Aktuator (4) verbunden sind und einer der Arme (5) drehbar im zweiten Anlenkpunkt (7) mit dem Verschlussorgan (3) verbunden ist und der andere Arm (5) drehbar an einem Fixpunkt (10) abgestützt ist.
Ventil nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der (die) Arme (5) in der Schließstellung des Verschlussorgans (3) über einen Totpunkt hinweg bewegbar ist(sind) und in der über den Totpunkt hinweg bewegten Stellung selbsthemmend verharrt (verharren).
Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (4) von einer Aktuatorführung (12) linear geführt ist (sind).
Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (4) einen, vorzugsweise elektromagnetischen, Linearantrieb (13) aufweist.
Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Schiebeventil ist, bei dem das Verschlussorgan (3) mit einer eine lineare Komponente aufweisenden Bewegung vor die Ventilöffnung (1) schiebbar ist.
Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (3) beim Schließvorgang ausschließlich eine lineare Bewegung mit nur einer Bewegungskomponente ausführt.
Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (3) ausgehend von der ersten Stellung maximaler Öffnung auf der Teilstrecke mit einer linearen Bewegungskomponente (22) in Richtung seiner Schließstellung bewegbar ist und zum vollständigen Erreichen der Schließstellung mit einer, in einem von 0° und 180° abweichenden Winkel zur linearen Bewegungskomponente (24) ausgerichteten weiteren Bewegungskomponente (22) an zumindest eine abdichtende Sitzfläche (14) anpressbar ist.