KR101313849B1 - 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법 - Google Patents

진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101313849B1
KR101313849B1 KR1020130026770A KR20130026770A KR101313849B1 KR 101313849 B1 KR101313849 B1 KR 101313849B1 KR 1020130026770 A KR1020130026770 A KR 1020130026770A KR 20130026770 A KR20130026770 A KR 20130026770A KR 101313849 B1 KR101313849 B1 KR 101313849B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pipe
opening
blocking
chamber
cleaning gas
Prior art date
Application number
KR1020130026770A
Other languages
English (en)
Inventor
조한중
김상호
Original Assignee
주식회사 엠에스티엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엠에스티엔지니어링 filed Critical 주식회사 엠에스티엔지니어링
Priority to KR1020130026770A priority Critical patent/KR101313849B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101313849B1 publication Critical patent/KR101313849B1/ko
Priority to US14/140,655 priority patent/US9328848B2/en
Priority to CN201410061946.9A priority patent/CN104048103B/zh
Priority to TW103106358A priority patent/TWI535961B/zh

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/006—Details of gas supplies, e.g. in an ion source, to a beam line, to a specimen or to a workpiece
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/02—Details
    • H01J2237/022—Avoiding or removing foreign or contaminating particles, debris or deposits on sample or tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
    • H01J37/32853—Hygiene
    • H01J37/32862—In situ cleaning of vessels and/or internal parts
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/4238—With cleaner, lubrication added to fluid or liquid sealing at valve interface
    • Y10T137/4245—Cleaning or steam sterilizing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Pipeline Systems (AREA)
  • Valve Housings (AREA)

Abstract

본 발명은 진공 차단 밸브에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 밸브는 챔버와 챔버세정가스 공급부의 사이에 설치되며, 챔버와 챔버세정가스 공급부가 연통하도록 연결하는 배관이 형성되는 하우징부와, 배관의 소정위치에 형성되어 배관을 선택적으로 차단하기 위한 배관차단부와, 하우징부에 설치되며, 제 1 방향으로 이동되어 배관차단부의 개방된 제 1 면을 선택적으로 차단하여 챔버와 챔버세정가스 공급부가 연통되도록 유지하는 제 1 차단부와, 하우징부에 설치되며, 제 1 차단부가 제 1 방향으로 이동한 경우, 제 2 방향으로 이동하여 제 1 차단부를 가압함으로써 챔버와 챔버세정가스 공급부가 연통되도록 유지하고, 제 1 차단부가 제 1 방향과 반대 방향으로 이동한 경우, 제 2 방향으로 이동하여 제 1 면을 통과하여 배관차단부에 삽입되고 제 1 면에 대향하는 면에 밀착되어 배관을 차단함으로써 챔버와 챔버세정가스 공급부의 연통을 차단하는 제 2 차단부를 포함한다.

Description

진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법{VACUUM ISOLATION VALVE AND METHOD FOR CONTROLLING A PIPE USING THE SAME}
본 발명은 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 챔버세정가스가 공급되는 관을 선택적으로 차단할 수 있고, 배관을 차단하는 차단부에 설치되는 실링부재의 마모를 최소화함으로써 챔버 내부의 진공상태를 효과적으로 유지시킬 수 있는 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 또는 액정 표시 장치(LCD) 제작 공정과 같은 세밀한 작업이 요구되는 공정은 챔버와 같이 외부와 차단되고 항상 일정한 온도로 유지되는 공간에서 진행된다. 챔버의 내부에서 처리공정이 완료되면 챔버의 내부에는 처리 가스로 인한 이물질이 남게 되고, 챔버의 내부에 챔버세정가스가 주입되어 챔버의 내부에 잔류하는 이물질이 제거된다. 이때, 챔버는 세정가스이온화모듈과 배관 등의 별도의 연결수단을 통해 연결되어 세정가스이온화모듈로부터 이온화된 챔버세정가스를 공급받는다.
세정가스이온화모듈에서 이온화되는 챔버세정가스는 공정의 처리량을 확대시키고 세정률을 높이기 위하여 삼불화질소(NF3)가 사용된다. 하지만, 세정가스이온화모듈은 삼불화질소를 이온화하는 과정에서 삼불화질소의 질소(N)와 플루오르(F)의 이온에 의해 부식 및 고장 등이 발생될 수 있다. 따라서, 세정가스이온화모듈이 주기적 또는 비주기적으로 교체되어야 한다.
챔버는 공정의 효율화를 위하여 챔버 내부의 상태가 공정진행상태를 유지하여야하기 때문에, 세정가스이온화모듈이 교체되는 동안에도 외부와 차단된 상태가 유지되어야 한다. 즉, 챔버는 내부의 진공유지 및 내부의 공기와 열이 외부로 방출되는 것이 방지되어야 한다. 만약 세정가스이온화모듈이 교체되는 동안 챔버 내부의 공기 및 열이 외부로 방출되면, 챔버 내부의 진공상태 및 온도가 변화되어 챔버 내부의 공정진행상태가 변화하게 된다. 챔버 내부의 공정진행상태가 변화되면 챔버는 내부에 세정, 재진공 및 공정에 적합한 온도로 챔버 내부의 온도를 재상승시켜야 한다. 이는 공정 시간의 지연을 초래하여 전체 공정의 수율을 현저히 떨어트리게 된다.
하지만, 종래에는 챔버와 세정가스이온화모듈을 연결하는 배관에 설치되어 배관을 선택적으로 차단함으로써 챔버가 외부와 차단된 상태를 유지시킬 수 있는 별도의 장비가 없어 세정가스이온화모듈이 교체되는 경우 챔버가 외부와 차단된 상태를 유지시키지 못한다는 문제점이 있었다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 챔버와 챔버세정가스 공급부가 연결된 배관을 선택적으로 차단 챔버가 외부와 차단된 상태를 용이하게 유지시킬 수 있는 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 밸브는 챔버와 챔버세정가스 공급부의 사이에 설치되며, 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통하도록 연결하는 배관이 형성되는 하우징부와, 상기 배관의 소정위치에 형성되어 배관을 선택적으로 차단하기 위한 배관차단부와, 상기 하우징부에 설치되며, 제 1 방향으로 이동되어 상기 배관차단부의 개방된 제 1 면을 선택적으로 차단하여 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통되도록 유지하는 제 1 차단부와, 상기 하우징부에 설치되며, 상기 제 1 차단부가 상기 제 1 방향으로 이동한 경우, 제 2 방향으로 이동하여 상기 제 1 차단부를 가압함으로써 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통되도록 유지하고, 상기 제 1 차단부가 상기 제 1 방향과 반대 방향으로 이동한 경우, 상기 제 2 방향으로 이동하여 상기 제 1 면을 통과하여 상기 배관차단부에 삽입되고 상기 제 1 면에 대향하는 면에 밀착되어 상기 배관을 차단함으로써 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부의 연통을 차단하는 제 2 차단부를 포함한다.
또한, 상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향은 서로 직교할 수 있다.
또한, 상기 배관차단부 상기 제 1 면에 대향하는 방향에 배치되는 상기 배관차단부의 제 2 면에는 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 1 개구부가 형성되고, 상기 제 2 면에 인접한 상기 챔버세정가스의 제 3 면에는 상기 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 2 개구부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 차단부가 상기 제 1 방향과 반대방향으로 이동한 경우, 상기 제 2 차단부가 상기 제 2 방향으로 이동하고 상기 제 1 면을 통해 상기 배관차단부에 삽입되어 상기 제 2 면에 밀착됨으로써 상기 제 1 개구부를 폐쇄할 수 있다.
또한, 상기 하우징부는 상기 제 1 면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 설치홀과, 상기 제 1 설치홀로부터 분지되도록 형성되는 제 2 설치홀을 구비하고, 상기 제 1 설치홀과 상기 제 2 설치홀은 서로 수직하도록 상기 하우징부에 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 차단부는 상기 제 2 설치홀의 일단부로부터 연장되되, 상기 하우징부에 고정설치되는 몸체부와, 상기 몸체부의 내부에 설치되며 상기 제 1 방향으로 이동가능한 제 1 이동부와, 제 1 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동가능한 관절부재와, 상기 관절부재의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동됨으로써 상기 배관차단부의 상기 제 1 면을 선택적으로 차단하는 제 1 개폐부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 몸체부는 상기 제 2 설치홀과 연통되도록 내부가 중공형상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 이동부는 상기 몸체부의 일측에 회전가능하도록 설치되는 손잡이부와, 상기 손잡이부의 중앙에 고정설치되며, 상기 몸체부의 내부에 수용되는 회전축과, 상기 몸체부의 내부에 수용되되, 일측에는 상기 관절부재가 결합되고 타측에는 상기 회전축에 나사결합됨으로써 상기 제 1 방향으로 이동가능한 수직이동부재를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 1 차단부는 상기 몸체부 내부의 일면과 상기 제 1 개폐부의 일면을 연결하도록 설치되며, 내부에 상기 수직이동부재 및 상기 관절부재가 수용되는 제 1 벨로우즈부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 1 개폐부는 단면이 'T'형상일 수 있다.
또한, 상기 제 1 개폐부는 상기 제 1 면에 대향하는 면에 제 1 실링부재가 설치될 수 있다.
또한, 상기 제 1 실링부재는 O-링일 수 있다.
또한, 상기 제 2 차단부는 상기 제 1 설치홀에 고정설치되며 중앙에 결합홀이 형성되는 덮개부와, 상기 결합홀에 나사결합됨으로써 상기 제 2 방향으로 이동가능한 제 2 이동부와, 상기 제 2 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 2 방향으로 이동됨으로써 상기 제 1 차단부를 가압하거나 상기 배관차단부를 선택적으로 차단하는 제 2 개폐부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 2 이동부는 일측에 체결부가 형성되며, 상기 제 2 개폐부의 일면에는 상기 체결부를 수용하기 위한 수용부가 형성되며, 상기 체결부는 상기 수용부 내에서 회전가능할 수 있다.
또한, 상기 제 2 차단부는 상기 덮개부의 일면과 상기 제 2 개폐부의 일면을 연결하도록 설치되며, 내부에 제 2 이동부가 수용되는 제 2 벨로우즈부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 2 개폐부는 상기 제 2 면에 밀착되는 일면에 제 2 실링부재가 설치될 수 있다.
또한, 상기 제 2 실링부재는 O-링일 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법은 제 1 차단부의 제 1 개폐부가 제 1 방향으로 이동되어 챔버와 챔버세정가스 공급부를 연결하는 하우징부의 내부에 형성되는 배관차단부의 개방된 제 1 면의 상부에 배치되는 단계, 제 2 차단부의 제 2 개폐부가 제 2 방향으로 이동되어 상기 제 1 개폐부의 일면을 가압하는 단계 및 일면을 가압하는 상기 제 2 개폐부에 의해 상기 제 1 개폐부가 상기 제 2 방향으로 이동되어 상기 배관차단부의 상기 제 1 면을 차단하여 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부의 연통된 상태가 유지되는 단계를 포함한다.
또한, 상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향은 서로 직교할 수 있다.
또한, 상기 배관차단부는 상기 하우징부에 형성되는 배관을 선택적으로 차단하기 위하여 상기 배관의 소정위치에 형성될 수 있다.
또한, 상기 배관차단부는 상기 제 1 면에 대향하는 방향에 배치되는 상기 배관차단부의 제 2 면에는 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 1 개구부가 형성되고, 상기 제 2 면에 인접한 상기 배관차단부의 제 3 면에는 상기 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 2 개구부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 하우징부는 상기 제 1 면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 설치홀과, 상기 제 1 설치홀로부터 분지되도록 형성되는 제 2 설치홀을 구비하고, 상기 제 1 설치홀과 상기 제 2 설치홀은 서로 수직하도록 상기 하우징부에 형성될 수 있다.
또한, 제 1 차단부는 상기 제 2 설치홀의 일단부로부터 연장되되, 상기 하우징부에 고정설치되는 몸체부와, 상기 몸체부의 내부에 설치되며 상기 제 1 방향으로 이동가능한 제 1 이동부와, 상기 제 1 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동가능한 관절부재와, 상기 관절부재의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동됨으로써 상기 배관차단부의 상기 제 1 면을 선택적으로 차단하는 제 1 개폐부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 1 이동부는 상기 몸체부의 일측에 회전가능하도록 설치되는 손잡이부와, 상기 손잡이부의 중앙에 고정설치되며, 상기 몸체부의 내부에 수용되는 회전축과, 상기 몸체부의 내부에 수용되되, 일측에는 상기 관절부재가 결합되고 타측에는 상기 회전축에 나사결합됨으로써 상기 제 1 방향으로 이동가능한 수직이동부재를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 1 개폐부는 상기 제 1 면에 대향하는 면에 제 1 실링부재가 설치될 수 있다.
또한, 상기 제 2 차단부는 상기 제 1 설치홀에 고정설치되며 중앙에 결합홀이 형성되는 덮개부와, 상기 결합홀에 나사결합됨으로써 상기 제 2 방향으로 이동가능한 제 2 이동부와, 상기 제 2 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 2 방향으로 이동됨으로써 상기 제 1 차단부를 가압하거나 상기 제 2 면에 밀착되어 상기 제 2 면에 형성되는 상기 제 1 개구부를 선택적으로 차단하는 제 2 개폐부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 2 개폐부는 상기 제 2 면에 밀착되는 일면에 제 2 실링부재가 설치될 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법은 챔버와 챔버세정가스 공급부를 연결하는 하우징부의 내부에 형성되는 배관차단부의 개방된 제 1 면을 차단하고 있는 제 1 차단부의 제 1 개폐부를 가압하는 제 2 차단부의 제 2 개폐부가 제 1 방향으로 이동하는 단계, 상기 제 1 개폐부가 제 2 방향으로 이동하는 단계 및 상기 제 2 개폐부가 상기 제 2 방향의 반대 방향으로 이동되어 상기 배관차단부의 상기 제 1 면에 대향하는 면에 밀착되어 상기 하우징부에 형성되는 배관을 차단함으로써 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부의 연통이 차단되는 단계를 포함한다.
또한, 상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향은 서로 직교할 수 있다.
또한, 상기 배관차단부는 상기 하우징부에 형성되는 배관을 선택적으로 차단하기 위하여 상기 배관의 소정위치에 형성될 수 있다.
또한, 상기 배관차단부는 상기 제 1 면에 대향하는 방향에 배치되는 상기 배관차단부의 제 2 면에는 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 1 개구부가 형성되고, 상기 제 2 면에 인접한 상기 배관차단부의 제 3 면에는 상기 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 2 개구부가 형성될 수 있다.
또한, 상기 하우징부는 상기 제 1 면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 설치홀과, 상기 제 1 설치홀로부터 분지되도록 형성되는 제 2 설치홀을 구비하고, 상기 제 1 설치홀과 상기 제 2 설치홀은 서로 수직하도록 상기 하우징부에 형성될 수 있다.
또한, 제 1 차단부는 상기 제 2 설치홀의 일단부로부터 연장되되, 상기 하우징부에 고정설치되는 몸체부와, 상기 몸체부의 내부에 설치되며 상기 제 1 방향으로 이동가능한 제 1 이동부와, 상기 제 1 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동가능한 관절부재와, 상기 관절부재의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동됨으로써 상기 배관차단부의 상기 제 1 면을 선택적으로 차단하는 제 1 개폐부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 1 이동부는 상기 몸체부의 일측에 회전가능하도록 설치되는 손잡이부와, 상기 손잡이부의 중앙에 고정설치되며, 상기 몸체부의 내부에 수용되는 회전축과, 상기 몸체부의 내부에 수용되되, 일측에는 상기 관절부재가 결합되고 타측에는 상기 회전축에 나사결합됨으로써 상기 제 1 방향으로 이동가능한 수직이동부재를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 1 개폐부는 상기 제 1 면에 대향하는 면에 제 1 실링부재가 설치될 수 있다.
또한, 상기 제 2 차단부는 상기 제 1 설치홀에 고정설치되며 중앙에 결합홀이 형성되는 덮개부와, 상기 결합홀에 나사결합됨으로써 상기 제 2 방향으로 이동가능한 제 2 이동부와, 상기 제 2 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 2 방향으로 이동됨으로써 상기 제 1 차단부를 가압하거나 상기 제 2 면에 밀착되어 상기 제 2 면에 형성되는 상기 제 1 개구부를 선택적으로 차단하는 제 2 개폐부를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제 2 개폐부는 상기 제 2 면에 밀착되는 일면에 제 2 실링부재가 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법에 의하면, 제 2 차단부가 배관차단부의 제 2 면에 형성되는 제 1 개구부를 선택적으로 차단하여 챔버와 챔버세정가스공급부가 연통된 상태가 차단됨으로써, 챔버가 외부와 차단된 상태를 용이하게 유지시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법에 의하면, 제 1 차단부는 배관차단부의 개방된 제 1 면을 차단하여 하우징부를 통해 챔버세정가스가 챔버세정가스 공급부로부터 챔버에 공급되는 동안 제 2 차단부가 챔버세정가스에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 제 1 차단부에 의해 제 2 차단부가 챔버세정가스에 노출되는 것이 방지되어 제 2 차단부의 일면에 설치되는 실링부재가 챔버세정가스에 노출되는 것을 방지됨으로써 제 2 차단부의 실링부재가 챔버세정가스에 의해 마모되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법에 의하면, 제 2 차단부가 챔버와 챔버세정가스공급부와의 연통을 차단하여 제 1 차단부의 분리가 가능하기 때문에, 실링부재를 포함한 제 1 차단부의 수리가 용이하다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 밸브를 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 밸브의 내부를 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 차단부가 배관차단부의 제 1 면을 차단하는 순서를 보여주는 순서도이다.
도 4는 본 발명의 진공 차단 밸브의 제 1 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 5는 본 발명의 진공 차단 밸브의 제 2 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 차단부가 배관차단부의 제 2 면에 형성된 제 1 개구부를 차단하는 순서를 보여주는 순서도이다.
도 7은 본 발명의 진공 차단 밸브의 제 3 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 8은 본 발명의 진공 차단 밸브의 제 4 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 9는 본 발명의 진공 차단 밸브의 제 5 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
본 발명의 목적 및 효과, 그리고 그것들을 달성하기 위한 기술적 구성들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 뒤에 설명이 되는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐를 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 뒤에 설명되는 용어들은 본 발명에서의 구조, 역할 및 기능 등을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다.
그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 오로지 특허청구범위에 기재된 청구항의 범주에 의하여 정의될 뿐이다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 또는 "구비" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 밸브에 대하여 첨부한 도면을 참고하여 구체적으로 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 밸브(100)를 보여주는 사시도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공 차단 밸브(100)의 내부를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 진공 차단 밸브(100)는 챔버(미도시)와 챔버세정가스 공급부(미도시)의 사이에 설치되며, 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통하도록 연결하는 배관(111)이 형성되는 하우징부(110)와 배관(111)의 소정위치에 형성되어 배관(111)을 선택적으로 차단하기 위한 배관차단부(120)와 하우징부(110)에 설치되며, 제 1 방향(a)으로 이동되어 배관차단부(120)의 개방된 제 1 면을 선택적으로 차단하여 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통되도록 유지하는 제 1 차단부(130)를 포함한다. 또한 상기 배관차단부(120)는 하우징부(110)에 설치되며, 제 1 차단부(130)가 제 1 방향(a)으로 이동한 경우, 제 2 방향(b)으로 이동하여 제 1 차단부(130)를 가압함으로써 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통되도록 유지하고, 제 1 차단부(130)가 제 1 방향(a)과 반대 방향으로 이동하는 경우, 제 2 방향(b)으로 이동하여 상기 제 1 면을 통과하여 배관차단부(120)에 삽입되고 상기 제 1 면에 대향하는 면에 밀착되어 배관(111)을 차단함으로써 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부의 연통을 차단하는 제 2 차단부(140)를 포함하여 구성될 수 있다.
하우징부(110)는 일면에 상기 챔버가 결합될 수 있다. 또한, 하우징부(110)는 타면에 상기 챔버세정가스 공급부가 결합될 수 있다. 하우징부(110)는 내부에 형성되는 배관(111)을 통해 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 챔버세정가스를 상기 챔버로 전달할 수 있다.
하우징부(111)는 배관차단부(120)의 개방된 상기 제 1 면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 설치홀(112)이 형성될 수 있다. 또한, 하우징부(110)는 제 1 설치홀(112)로부터 분지되도록 형성되는 제 2 설치홀(113)을 구비할 수 있다. 이때, 제 1 설치홀(112)과 제 2 설치홀(113)은 서로 수직하도록 하우징부(110)에 형성될 수 있다.
배관차단부(120)는 배관(111)의 소정위치에 형성될 수 있다. 배관차단부(120)는 소정형상으로 배관(111)의 소정위치에 형성될 수 있다. 예를 들어, 배관차단부(120)는 육면체 형상으로 배관(111)의 소정위치에 형성될 수 있으며, 상기 예에 국한되는 것은 아니다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 배관차단부(120)가 육면체 형상으로 형성되어 하우징부(110)의 제 1 설치홀(112)과 연통되도록 개방되는 면이 상기 제 1 면이고 제 1 면에 대향하는 면이 제 2 면이며 제 1 면과 제 2 면을 연결하는 면이 제 3 면으로 정의하기로 한다.
배관차단부(120)는 육면체 형상으로 배관(111)의 소정위치에 형성될 수 있다. 배관차단부(120)는 내부가 중공으로 형성될 수 있다. 배관차단부(120)는 하기에서 설명할 제 2 차단부(140)의 제 2 개폐부(144)가 삽입될 수 있도록 상기 제 1 면이 개방되도록 형성될 수 있다. 또한, 배관차단부(120)는 상기 제 1 면에 대향하는 방향에 배치되는 상기 제 2 면에 제 1 개구부(미표시)가 형성될 수 있으며, 상기 제 1 개구부는 하우징부(110)의 배관에 연결될 수 있다. 또한, 배관차단부(120)는 상기 제 2 면에 인접한 상기 제 3 면에 제 2 개구부(미표시)가 형성될 수 있으며, 상기 제 2 개구부는 하우징부(110)의 배관에 연결될 수 있다. 배관차단부(120)는 상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부를 통해 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 상기 챔버세정가스를 통과시킬 수 있다.
예를 들어, 상기 챔버세정가스 공급부로부터 하우징부(110)의 배관(111)으로 상기 챔버세정가스가 공급되면, 배관차단부(120)는 상기 제 1 개구부를 통해 상기 챔버세정가스가 유입되고, 유입된 상기 챔버세정가스는 상기 제 2 개구부에 연결된 배관(111)으로 배출됨으로써 상기 챔버에 상기 챔버세정가스가 공급될 수 있다.
제 1 차단부(130)는 하우징부(110)의 제 2 설치홀(113)에 설치되어 제 1 방향(a)으로 이동되어 배관차단부(120)의 상기 제 1 면을 선택적으로 차단할 수 있다.
제 1 차단부(130)는 몸체부(131)를 구비한다. 몸체부(131)는 제 2 설치홀(113)의 일단부로부터 연장되도록 하우징부(110)에 고정설치될 수 있다. 몸체부(131)는 별도의 결합수단에 의해 하우징부(110)에 결합되어 위치가 고정될 수 있다. 상기 별도의 결합수단은 예를 들어, 나사 등이 될 수 있으나, 상기 예에 국한되는 것은 아니다.
몸체부(131)는 제 2 설치홀(113)과 연통되도록 내부가 중공형상으로 형성될 수 있다. 또한, 몸체부(131)는 하우징부(110)에 접촉되는 일면에 별도의 누설방지부재가 설치될 수 있다. 따라서, 제 1 차단부(130)는 하우징부(110)의 외부로 상기 챔버세정가스가 누출되는 것을 방지할 수 있다.
제 1 차단부(130)는 제 1 이동부(132)를 구비한다. 제 1 이동부(130)는 몸체부(131)의 내부에 설치되어 제 1 방향(a)으로 이동 가능하다.
제 1 이동부(132)는 몸체부(131)의 일측에 회전가능하도록 설치되는 손잡이부(133), 손잡이부(133)의 중앙에 고정설치되며 몸체부(131)의 내부에 수용되는 회전축(134) 및 몸체부(131)의 내부에 수용되되 일측에는 하기에서 설명할 제 1 차단부(130)의 관절부재(136)가 결합되고 타측에는 회전축(134)에 나사결합됨으로써 제 1 방향(a)으로 이동가능한 수직이동부재(135)를 구비할 수 있다. 제 1 이동부(132)는 손잡이부(133)가 일측방향으로 회전되면, 회전축(134)에 나사결합된 수직이동부재(135)가 제 1 방향(a)으로 이동될 수 있다.
제 1 차단부(130)는 관절부재(136)를 구비한다. 관절부재(136)는 일측이 제 1 이동부(132)에 결합될 수 있다. 관절부재(136)는 일측이 제 1 이동부(132)의 수직이동부재(135)에 결합될 수 있다. 따라서, 관절부재(136)는 수직이동부재(135)에 의해 제 1 방향(a)으로 이동될 수 있다.
관절부재(136)는 복수개의 관절로 형성되어 일측방향으로 구부러질 수 있으며, 소정부분이 회전가능할 수 있다. 관절부재(136)가 일측방향으로 구부러짐으로써 하기에서 설명할 제 1 차단부(130)의 제 1 개폐부(137)는 배관차단부(120)의 상기 제 1 면에 완전히 밀착될 수 있다. 또한, 관절부재(136)의 소정부분이 회전됨으로써 제 1 차단부(130)의 제 1 개폐부(137)는 수직이동부재(135)가 회전되면서 제 1 방향(a) 또는 제 1 방향(a)의 반대방향으로 이동되더라도 회전되지 않을 수 있다.
제 1 차단부(130)는 제 1 개폐부(137)를 구비한다. 제 1 계패부(137)는 관절부재(136)의 일측에 결합될 수 있다. 제 1 개폐부(137)는 관절부재(136)에 결합됨으로써 제 1 방향(a)으로 이동될 수 있다. 제 1 개폐부(137)는 제 1 방향(a)으로 이동되어 배관차단부(120)의 상기 제 1 면의 상부에 배치될 수 있다. 제 1 개폐부(137)는 하기에서 설명할 제 2 차단부(140)의 제 2 개폐부(144)에 의해 일면이 가압됨으로써 상기 제 1 면을 덮음으로써 상기 제 1 면을 선택적으로 차단할 수 있다.
제 1 개폐부(137)는 단면이 'T'형상으로 형성될 수 있다. 제 1 차단부(137)는 일측에 형성된 돌출부분이 하우징부(110)의 일면에 걸릴 수 있다. 따라서, 제 1 차단부(137)가 하우징부(110)의 내부에 삽입되는 경우, 상기 차단부(137)의 단부가 하우징부(110)의 내부벽에 부딪혀서 손상되는 것이 방지될 수 있다.
제 1 개폐부(137)는 배관차단부(120)의 상기 제 1 면에 대향하는 면에 제 1 실링부재(138)가 설치될 수 있다. 제 1 실링부재(138)는 O-링으로 형성되어 제 1 개폐부(137)의 일면에 설치될 수 있다. 이때, 제 1 실링부재(138)의 지름은 배관차단부(120)의 상기 제 1 면의 대각선 길이보다 길도록 형성될 수 있다. 따라서, 제 1 개폐부(137)는 상기 제 1 면을 통해 상기 챔버세정가스가 누출되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
제 1 개폐부(137)는 제 1 실링부재(138)가 설치될 수 있는 실링홈(미표시)이 소정깊이 인입되어 형성될 수 있다. 제 1 실링부재(138)는 상기 실링홈에 일부분이 삽입되어 제 1 개폐부(137)에 설치될 수 있다. 따라서, 제 1 실링부재(138)는 제 1 개폐부(137)가 배관차단부(120)의 상기 제 1 면을 차단하는 동안 상기 챔버세정가스에 노출되는 면적이 감소되어 상기 챔버세정가스에 의해 손상되는 부분이 감소될 수 있다.
제 1 차단부(130)는 길이가 신장가능한 제 1 벨로우즈부(139)를 더 구비할 수 있다. 제 1 벨로우즈부(139)는 몸체부(131) 내부의 일면과 제 1 개폐부(137)의 일면에 연결하도록 설치될 수 있다. 제 1 벨로우즈부(139)는 내부에 수직이동부재(135) 및 관절부재(136)가 수용되어 수직이동부재(135) 및 관절부재(136)가 외부로 노출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제 1 개폐부(137)가 배관차단부(120)의 상기 제 1 면을 완전히 차단하지 못하여 상기 챔버세정가스가 누출되더라도 수직이동부재(135) 및 관절부재(136)가 상기 챔버세정가스에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제 1 벨로우즈부(139)는 몸체부(131)에 설치되는 부분에 별도의 누설방지부재가 설치될 수 있다. 따라서, 몸체부(131)의 외부로 상기 챔버세정가스가 누출되는 것을 방지할 수 있다.
제 2 차단부(140)는 하우징부(110)의 제 1 설치홀(112)에 설치되고 제 2 방향(b)으로 이동되어 제 1 차단부(130)의 제 1 개폐부(137)를 가압하거나, 배관차단부(120)의 상기 제 1 면을 통과하여 배관차단부(120)의 내부에 삽입되어 배관차단부(120)의 상기 제 2 면에 밀착됨으로써 상기 제 2 면에 형성되는 상기 제 1 개구부를 폐쇄할 수 있다. 즉, 본 발명의 진공 차단 밸브(100)는 제 2 차단부(140)에 의해 상기 제 1 개구부를 폐쇄하여 상기 챔버 또는 상기 챔버세정가스 공급부에 연결된 배관을 차단함으로써 상기 챔버 내부를 기밀하게 유지할 수 있다. 제 2 차단부(140)는 덮개부(141)를 구비한다. 덮개부(141)는 제 1 설치홀(112)에 고정설치되며 중앙에 결합홀(미표시)이 형성될 수 있다. 덮개부(141)는 별도의 결합수단에 의해 하우징부(110)에 결합되어 위치가 고정될 수 있다. 상기의 별도의 결합수단은 나사 등이 될 수 있으며, 상기 예에 국한되는 것은 아니다. 덮개부(141)는 하우징부(110)에 접촉되는 일면에 별도의 누설방지부재가 설치될 수 있다. 따라서, 제 2 차단부(140)는 하우징부(110)의 외부로 챔버세정가스가 누출되는 것을 방지할 수 있다.
제 2 차단부(140)는 제 2 이동부(142)를 구비한다. 제 2 이동부(142)는 덮개부(141)의 상기 결합홀에 나사결합됨으로써 제 2 방향(b)으로 이동될 수 있다. 이때, 제 2 방향(b)은 제 1 방향(a)과 서로 직교할 수 있다.
제 2 차단부(140)는 제 2 개폐부(144)를 구비한다. 제 2 개폐부(144)는 제 2 이동부(142)의 일측에 결합될 수 있다. 제 2 개폐부(144)는 제 2 이동부(142)에 결합됨으로써 제 2 방향(b)으로 이동될 수 있다. 이때, 제 2 개폐부(144)는 제 2 이동부(142)의 일측에 형성되는 체결부(143)가 수용되는 수용부(142)가 형성될 수 있다. 체결부(143)는 수용부(145) 내에서 회전될 수 있다. 즉, 제 2 이동부(142)가 회전되더라도 제 2 개폐부(144)는 회전되지 않을 수 있다.
제 2 개폐부(144)는 배관차단부(120)의 상기 제 2 면에 밀착되는 일면에 제 2 실링부재(146)가 설치될 수 있다. 제 2 실링부재(146)는 O-링으로 형성되어 제 2 개폐부(144)에 설치될 수 있다. 이때, 제 2 실링부재(146)의 지름은 상기 제 2 면의 상기 제 1 개구부의 지름보다 길도록 형성될 수 있다. 따라서, 제 2 실링부재(146)는 상기 제 1 개구부를 통해 상기 챔버 내부와 외부를 기밀하게 격리시킬 수 있다.
제 2 차단부(140)는 길이가 신장가능한 제 2 벨로우즈부(147)를 더 구비할 수 있다. 제 2 벨로우즈부(147)는 덮개부(141)의 일면과 제 2 개폐부(144)의 일면을 연결하도록 설치될 수 있다. 제 2 벨로우즈부(147)는 내부에 제 2 이동부(142)가 수용되어 제 2 이동부(142)가 외부로 노출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제 2 벨로우즈부(142)는 외부의 충격으로부터 제 2 이동부(142)를 보호할 수 있으며, 제 1 개폐부(137)가 배관차단부(120)의 상기 제 1 면을 완전히 차단하지 못하여 상기 챔버세정가스가 누출되더라도 제 2 이동부(142)가 상기 챔버세정가스에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제 2 벨로우즈부(147)는 덮개부(141)에 설치되는 부분에 별도의 누설방지부재가 설치될 수 있다. 따라서, 덮개부(141)의 외부로 상기 챔버세정가스 또는 챔버 내부의 공기가 누출되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 진공 차단 밸브(100)를 이용한 배관 제어방법을 도면을 참고하여 설명하기로 한다.
또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여, 제 1 개폐부(137)를 제 1 방향(a)으로 이동시키고 제 2 개폐부(144)를 제 2 방향(b)으로 이동시키기 위하여 손잡이부(133) 및 제 2 이동부(142)가 회전되는 방향을 시계방향으로 하고, 제 1 개폐부(137)를 제 1 방향(a)의 반대방향으로 이동시키고 제 2 개폐부(144)를 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동시키기 위하여 손잡이부(133) 및 제 2 이동부(142)가 회전되는 방향을 반시계방향으로 하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 제 1 차단부가 배관차단부의 제 1 면을 차단하는 순서를 보여주는 순서도이다. 도 4는 본 발명의 진공 차단 밸브(100)의 제 1 작동상태를 보여주는 작동상태도이다. 도 5는 본 발명의 진공 차단 밸브(100)의 제 2 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 3 내지 도 5를 참고 하면, 제 1 차단부(130)의 제 1 개폐부(137)가 제 1 방향(a)으로 이동되어 배관차단부(120)의 상기 제 1 면의 상부에 배치된다(S110, 도 4 참고). 이때, 제 1 개폐부(137)는 제 1 이동부(132)에 의해 제 1 방향(a)으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 제 1 이동부(132)의 손잡이부(133)가 시계방향으로 회전되면, 손잡이부(133)의 중앙에 고정설치된 회전축(134)이 시계방향으로 회전될 수 있다. 이때, 손잡이부(133)는 작업자에 의해 회전되거나, 별도의 회전부재가 결합되어 자동으로 회전될 수 있으며, 상기 예에 국한되는 것은 아니며, 본 발명은 손잡이부(133)를 수동 또는 자동으로 회전시킬 수 있는 모든 구성 및 구조를 포함할 수 있다. 손잡이부(133)는 회전되는 동안 몸체부(131)에 위치가 고정되어 있으므로, 회전축(134)에 나사결합된 수직이동부재(135)는 회전축(134)의 나사산을 따라 제 1 방향(a)으로 이동될 수 있다. 수직이동부재(135)가 제 1 방향(a)으로 이동되면, 수직이동부재(135)에 결합되는 관절부재(136)와 관절부재(136)에 결합된 제 1 개폐부(137)가 제 1 방향(a)으로 이동될 수 있다. 따라서, 제 1 개폐부(137)는 배관차단부(120)의 상기 제 1 면의 상부에 배치될 수 있다.
제 2 차단부(140)의 제 2 개폐부(144)가 제 2 방향(b)으로 이동되어 제 1 차단부(130)의 제 1 개폐부(137)의 일면을 가압한다(S120, 도 5 참고). 이때, 제 2 개폐부(144)는 제 2 이동부(142)에 의해 제 2 방향(b)으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 제 2 이동부(142)는 덮개부(141)에 나사결합된 상태에서 시계방향으로 회전될 수 있다. 이때, 제 2 이동부(142)는 작업자에 의해 회전되거나, 별도의 회전부재가 결합되어 자동으로 회전될 수 있으며, 상기 예에 국한되는 것은 아니며, 본 발명은 제 2 이동부(142)를 수동 또는 자동으로 회전시킬 수 있는 모든 구성 및 구조를 포함할 수 있다. 제 2 이동부(142)가 회전되는 동안 덮개부(141)는 하우징부(110)에 위치가 고정되어 있으므로, 덮개부(141)에 나사결합된 제 2 이동부(142)는 제 2 방향(b)으로 이동될 수 있다. 제 2 이동부(142)가 제 2 방향(b)으로 이동되면, 제 2 이동부(142)에 결합된 제 2 개폐부(144)도 제 2 방향(b)으로 이동될 수 있다. 따라서, 제 2 개폐부(144)는 제 1 개폐부(137)의 일면을 가압할 수 있다.
제 2 개폐부(144)가 제 2 방향(b)으로 이동되어 제 1 개폐부(137)의 일면을 가압하면, 제 1 개폐부(137)는 제 2 방향(b)으로 이동되어 배관차단부(120)의 상기 제 1 면을 차단한다(S13, 도 5 참고). 이때, 제 1 개폐부(137)의 일측에는 일방향으로 구부러질 수 있는 관절부재(136)가 결합되어 있으므로, 제 1 개폐부(137)는 배관차단부(120)의 상기 제 1 면의 상부에 배치된 위치에서 수평이 유지된 상태로 제 2 방향(b)으로 이동되어 상기 제 1 면을 덮을 수 있다. 제 1 개폐부(137)가 상기 제 1 면을 덮으면, 배관차단부(120)의 상기 제 2 면에 형성된 상기 제 1 개구부 및 상기 제 3 면에 형성된 상기 제 2 개구부는 개구된 상태가 유지되어 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부는 연통된 상태가 유지될 수 있다. 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통된 상태가 유지되면, 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 상기 챔버세정가스가 본 발명의 진공 차단 밸브(100)를 통과하여 상기 챔버로 용이하게 공급될 수 있다.
한편, 제 2 개폐부(144)는 제 1 개폐부(137)가 배관차단부(120)의 상기 제 1 면을 덮는 동안 위치가 고정되어, 제 1 개폐부(137)가 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 제 1 개폐부(137)는 상기 제 1 면에 밀착된 상태가 유지됨으로써, 상기 제 1 면으로 상기 챔버세정가스가 누출되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 제 1 개폐부(137)에 의해 상기 제 1 면이 차단되어 하우징부(110)의 내부로 상기 챔버세정가스가 유입되지 않음으로써, 제 2 개폐부(144)는 상기 챔버세정가스에 노출되지 않을 수 있다. 따라서, 제 2 개폐부(144)와 제 2 개폐부(144)의 일면에 설치되는 제 2 실링부재(146)는 상기 챔버세정가스에 의해 손상되는 것이 방지될 수 있다.
도 6은 본 발명의 제 2 차단부(140)가 배관차단부(120)의 제 2 면에 형성된 제 1 개구부를 차단하는 순서를 보여주는 순서도이다. 도 7은 본 발명의 진공 차단 밸브(100)의 제 3 작동상태를 보여주는 작동상태도이다. 도 8은 본 발명의 진공 차단 밸브(100)의 제 4 작동상태를 보여주는 작동상태도이다. 도 9는 본 발명의 진공 차단 밸브(100)의 제 5 작동상태를 보여주는 작동상태도이다.
도 6 내지 도 9를 참고 하면, 제 2 차단부(140)의 제 2 개폐부(144)가 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동된다(S210, 도 7 참고). 이때, 제 2 개폐부(144)는 제 2 이동부(142)에 의해 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 제 2 이동부(142)는 덮개부(141)에 나사결합된 상태에서 반시계방향으로 회전될 수 있다. 제 2 이동부(142)가 회전되는 동안 덮개부(141)는 하우징부(110)에 위치가 고정되어 있으므로, 덮개부(141)에 나사결합된 제 2 이동부(142)는 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동될 수 있다. 제 2 이동부(142)가 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동되면, 제 2 이동부(142)에 결합된 제 2 개폐부(144)도 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동될 수 있다. 제 2 개폐부(144)가 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동되면, 제 1 개폐부(137)는 가압해제될 수 있다.
제 1 개폐부(137)는 가압해제되면, 제 2 방향(b)의 반대방향으로 이동되어 배관차단부(120)의 상기 제 1 면으로부터 소정간격 이격된 위치로 이동될 수 있다.
제 1 개폐부(137)가 배관차단부(120)의 상기 제 1 면으로부터 소장간격 이격된 위치로 이동되면, 제 1 개폐부(137)가 제 1 방향(a)의 반대방향으로 이동된다(S210, 도 8 참고). 이때, 제 1 개폐부(137)는 제 1 이동부(132)에 의해 제 1 방향(a)의 반대방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 제 1 이동부(132)의 손잡이부(133)가 반시계방향으로 회전되면, 회전축(134)이 반시계방향으로 회전되고, 회전축(134)에 나사결합된 수직이동부재(135)가 회전축(134)의 나사산을 따라 제 1 방향(a)의 반대방향으로 이동됨으로써 제 1 개폐부(137)가 제 1 방향(a)의 반대방향으로 이동될 수 있다.
제 1 개폐부(137)가 제 1 방향(a)의 반대방향으로 이동되어 배관차단부(120)의 상기 제 1 면의 상부로부터 제거되면, 제 2 개폐부(144)가 제 2 방향(b)으로 이동되어 배관차단부(120)의 상기 제 2 면에 밀착된다(S230, 도 9 참고). 이때, 제 2 개폐부(144)는 제 2 이동부(142)가 시계방향으로 회전됨으로써 제 2 방향(b)으로 이동될 수 있다. 제 2 개폐부(144)가 배관차단부(120)의 상기 제 2 면에 밀착되면, 상기 제 2 면에 형성된 상기 제 1 개구부는 폐쇄될 수 있다(S230, 도 9 참고). 상기 제 1 개구부가 가 제 2 개폐부(144)에 의해 폐쇄됨으로써, 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부는 연통된 상태가 차단될 수 있다. 즉, 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 상기 챔버세정가스는 상기 챔버로 공급되지 않으며, 상기 챔버 내부의 공기는 외부로 누출되지 않을 수 있다.
또한, 상기에서 설명한 것과 같이, 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통되어 상기 챔버세정가스 공급부로부터 상기 챔버세정가스가 상기 챔버에 공급되는 동안 제 1 개폐부(137)가 배관차단부(120)의 상기 제 1 면을 차단하여 제 2 개폐부(144)는 상기 챔버세정가스에 노출되지 않아 제 2 개폐부(144)의 일면에 설치되는 제 2 실링부재(146)가 마모되지 않을 상태일 수 있다. 따라서, 제 2 개폐부(144)는 마모되지 않은 제 2 실링부재(146)에 의해 상기 제 1 개구부를 효과적으로 폐쇄하여 상기 챔버 내부의 공기가 외부로 누출되는 것이 방지되어 상기 챔버가 외부와 차단된 상태를 효과적으로 유지시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
100: 진공 차단 밸브
110: 하우징부
120: 배관차단부
130: 제 1 차단부
140: 제 2 차단부

Claims (37)

  1. 챔버와 챔버세정가스 공급부의 사이에 설치되며, 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통하도록 연결하는 배관이 형성되는 하우징부와,
    상기 배관의 소정위치에 형성되어 배관을 선택적으로 차단하기 위한 배관차단부와,
    상기 하우징부에 설치되며, 제 1 방향으로 이동되어 상기 배관차단부의 개방된 제 1 면을 선택적으로 차단하여 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통되도록 유지하는 제 1 차단부와,
    상기 하우징부에 설치되며, 상기 제 1 차단부가 상기 제 1 방향으로 이동되어 상기 제 1 면을 차단한 경우, 상기 제 1 방향과 직교하는 방향인 제 2 방향으로 이동하여 상기 제 1 차단부를 가압함으로써 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부가 연통되도록 유지하고, 상기 제 1 차단부가 상기 제 1 방향과 반대 방향으로 이동한 경우, 상기 제 2 방향으로 이동하여 상기 제 1 면을 통과하여 상기 배관차단부에 삽입되고 상기 제 1 면에 대향하는 면에 밀착되어 상기 배관을 차단함으로써 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부의 연통을 차단하는 제 2 차단부를 포함하는,
    진공 차단 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향은 서로 직교하는,
    진공 차단 밸브.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 배관차단부 상기 제 1 면에 대향하는 방향에 배치되는 상기 배관차단부의 제 2 면에는 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 1 개구부가 형성되고, 상기 제 2 면에 인접한 상기 챔버세정가스의 제 3 면에는 상기 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 2 개구부가 형성되는,
    진공 차단 밸브.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 차단부가 상기 제 1 방향과 반대방향으로 이동한 경우, 상기 제 2 차단부가 상기 제 2 방향으로 이동하고 상기 제 1 면을 통해 상기 배관차단부에 삽입되어 상기 제 2 면에 밀착됨으로써 상기 제 1 개구부를 폐쇄하는,
    진공 차단 밸브.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 하우징부는,
    상기 제 1 면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 설치홀과,
    상기 제 1 설치홀로부터 분지되도록 형성되는 제 2 설치홀을 구비하고,
    상기 제 1 설치홀과 상기 제 2 설치홀은 서로 수직하도록 상기 하우징부에 형성되는,
    진공 차단 밸브.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 차단부는,
    상기 제 2 설치홀의 일단부로부터 연장되되, 상기 하우징부에 고정설치되는 몸체부와,
    상기 몸체부의 내부에 설치되며 상기 제 1 방향으로 이동가능한 제 1 이동부와,
    제 1 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동가능한 관절부재와,
    상기 관절부재의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동됨으로써 상기 배관차단부의 상기 제 1 면을 선택적으로 차단하는 제 1 개폐부를 구비하는,
    진공 차단 밸브.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 몸체부는 상기 제 2 설치홀과 연통되도록 내부가 중공형상으로 형성되는,
    진공 차단 밸브.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 이동부는,
    상기 몸체부의 일측에 회전가능하도록 설치되는 손잡이부와,
    상기 손잡이부의 중앙에 고정설치되며, 상기 몸체부의 내부에 수용되는 회전축과,
    상기 몸체부의 내부에 수용되되, 일측에는 상기 관절부재가 결합되고 타측에는 상기 회전축에 나사결합됨으로써 상기 제 1 방향으로 이동가능한 수직이동부재를 구비하는,
    진공 차단 밸브.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 차단부는,
    상기 몸체부 내부의 일면과 상기 제 1 개폐부의 일면을 연결하도록 설치되며, 내부에 상기 수직이동부재 및 상기 관절부재가 수용되는 제 1 벨로우즈부를 더 구비하는,
    진공 차단 밸브.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 개폐부는 단면이 'T'형상인,
    진공 차단 밸브.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 개폐부는 상기 제 1 면에 대향하는 면에 제 1 실링부재가 설치되는,
    진공 차단 밸브.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 실링부재는 O-링인,
    진공 차단 밸브.
  13. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 차단부는,
    상기 제 1 설치홀에 고정설치되며 중앙에 결합홀이 형성되는 덮개부와,
    상기 결합홀에 나사결합됨으로써 상기 제 2 방향으로 이동가능한 제 2 이동부와,
    상기 제 2 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 2 방향으로 이동됨으로써 상기 제 1 차단부를 가압하거나 상기 배관차단부를 선택적으로 차단하는 제 2 개폐부를 구비하는,
    진공 차단 밸브.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 2 이동부는 일측에 체결부가 형성되며, 상기 제 2 개폐부의 일면에는 상기 체결부를 수용하기 위한 수용부가 형성되며, 상기 체결부는 상기 수용부 내에서 회전가능한,
    진공 차단 밸브.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 2 차단부는,
    상기 덮개부의 일면과 상기 제 2 개폐부의 일면을 연결하도록 설치되며, 내부에 제 2 이동부가 수용되는 제 2 벨로우즈부를 더 구비하는,
    진공 차단 밸브.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 2 개폐부는 상기 제 2 면에 밀착되는 일면에 제 2 실링부재가 설치되는,
    진공 차단 밸브.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 2 실링부재는 O-링인,
    진공 차단 밸브.
  18. 제 1 차단부의 제 1 개폐부가 제 1 방향으로 이동되어 챔버와 챔버세정가스 공급부를 연결하는 하우징부의 내부에 형성되는 배관차단부의 개방된 제 1 면의 상부에 배치되는 단계;
    제 2 차단부의 제 2 개폐부가 제 2 방향으로 이동되어 상기 제 1 개폐부의 일면을 가압하는 단계; 및
    일면을 가압하는 상기 제 2 개폐부에 의해 상기 제 1 개폐부가 상기 제 2 방향으로 이동되어 상기 배관차단부의 상기 제 1 면을 차단하여 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부의 연통된 상태가 유지되는 단계;를 포함하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향은 서로 직교하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 배관차단부는,
    상기 하우징부에 형성되는 배관을 선택적으로 차단하기 위하여 상기 배관의 소정위치에 형성되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 배관차단부는 상기 제 1 면에 대향하는 방향에 배치되는 상기 배관차단부의 제 2 면에는 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 1 개구부가 형성되고, 상기 제 2 면에 인접한 상기 배관차단부의 제 3 면에는 상기 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 2 개구부가 형성되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 하우징부는,
    상기 제 1 면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 설치홀과,
    상기 제 1 설치홀로부터 분지되도록 형성되는 제 2 설치홀을 구비하고,
    상기 제 1 설치홀과 상기 제 2 설치홀은 서로 수직하도록 상기 하우징부에 형성되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    제 1 차단부는,
    상기 제 2 설치홀의 일단부로부터 연장되되, 상기 하우징부에 고정설치되는 몸체부와,
    상기 몸체부의 내부에 설치되며 상기 제 1 방향으로 이동가능한 제 1 이동부와,
    상기 제 1 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동가능한 관절부재와,
    상기 관절부재의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동됨으로써 상기 배관차단부의 상기 제 1 면을 선택적으로 차단하는 제 1 개폐부를 구비하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 제 1 이동부는,
    상기 몸체부의 일측에 회전가능하도록 설치되는 손잡이부와,
    상기 손잡이부의 중앙에 고정설치되며, 상기 몸체부의 내부에 수용되는 회전축과,
    상기 몸체부의 내부에 수용되되, 일측에는 상기 관절부재가 결합되고 타측에는 상기 회전축에 나사결합됨으로써 상기 제 1 방향으로 이동가능한 수직이동부재를 구비하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  25. 제 23 항에 있어서,
    상기 제 1 개폐부는 상기 제 1 면에 대향하는 면에 제 1 실링부재가 설치되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  26. 제 22 항에 있어서,
    상기 제 2 차단부는,
    상기 제 1 설치홀에 고정설치되며 중앙에 결합홀이 형성되는 덮개부와,
    상기 결합홀에 나사결합됨으로써 상기 제 2 방향으로 이동가능한 제 2 이동부와,
    상기 제 2 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 2 방향으로 이동됨으로써 상기 제 1 차단부를 가압하거나 상기 제 2 면에 밀착되어 상기 제 2 면에 형성되는 상기 제 1 개구부를 선택적으로 차단하는 제 2 개폐부를 구비하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 제 2 개폐부는 상기 제 2 면에 밀착되는 일면에 제 2 실링부재가 설치되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  28. 챔버와 챔버세정가스 공급부를 연결하는 하우징부의 내부에 형성되는 배관차단부의 개방된 제 1 면을 차단하고 있는 제 1 차단부의 제 1 개폐부를 가압하는 제 2 차단부의 제 2 개폐부가 제 1 방향으로 이동하는 단계;
    상기 제 1 개폐부가 제 2 방향으로 이동하는 단계; 및
    상기 제 2 개폐부가 상기 제 2 방향의 반대 방향으로 이동되어 상기 배관차단부의 상기 제 1 면에 대향하는 면에 밀착되어 상기 하우징부에 형성되는 배관을 차단함으로써 상기 챔버와 상기 챔버세정가스 공급부의 연통이 차단되는 단계;를 포함하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향은 서로 직교하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  30. 제 28 항에 있어서,
    상기 배관차단부는,
    상기 하우징부에 형성되는 배관을 선택적으로 차단하기 위하여 상기 배관의 소정위치에 형성되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  31. 제 28 항에 있어서,
    상기 배관차단부는 상기 제 1 면에 대향하는 방향에 배치되는 상기 배관차단부의 제 2 면에는 상기 챔버세정가스 공급부로부터 공급되는 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 1 개구부가 형성되고, 상기 제 2 면에 인접한 상기 배관차단부의 제 3 면에는 상기 챔버세정가스를 통과시키기 위한 제 2 개구부가 형성되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 하우징부는,
    상기 제 1 면으로부터 연장되어 형성되는 제 1 설치홀과,
    상기 제 1 설치홀로부터 분지되도록 형성되는 제 2 설치홀을 구비하고,
    상기 제 1 설치홀과 상기 제 2 설치홀은 서로 수직하도록 상기 하우징부에 형성되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  33. 제 32 항에 있어서,
    제 1 차단부는,
    상기 제 2 설치홀의 일단부로부터 연장되되, 상기 하우징부에 고정설치되는 몸체부와,
    상기 몸체부의 내부에 설치되며 상기 제 1 방향으로 이동가능한 제 1 이동부와,
    상기 제 1 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동가능한 관절부재와,
    상기 관절부재의 일측에 결합되어 상기 제 1 방향으로 이동됨으로써 상기 배관차단부의 상기 제 1 면을 선택적으로 차단하는 제 1 개폐부를 구비하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 제 1 이동부는,
    상기 몸체부의 일측에 회전가능하도록 설치되는 손잡이부와,
    상기 손잡이부의 중앙에 고정설치되며, 상기 몸체부의 내부에 수용되는 회전축과,
    상기 몸체부의 내부에 수용되되, 일측에는 상기 관절부재가 결합되고 타측에는 상기 회전축에 나사결합됨으로써 상기 제 1 방향으로 이동가능한 수직이동부재를 구비하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  35. 제 33 항에 있어서,
    상기 제 1 개폐부는 상기 제 1 면에 대향하는 면에 제 1 실링부재가 설치되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  36. 제 32 항에 있어서,
    상기 제 2 차단부는,
    상기 제 1 설치홀에 고정설치되며 중앙에 결합홀이 형성되는 덮개부와,
    상기 결합홀에 나사결합됨으로써 상기 제 2 방향으로 이동가능한 제 2 이동부와,
    상기 제 2 이동부의 일측에 결합되어 상기 제 2 방향으로 이동됨으로써 상기 제 1 차단부를 가압하거나 상기 제 2 면에 밀착되어 상기 제 2 면에 형성되는 상기 제 1 개구부를 선택적으로 차단하는 제 2 개폐부를 구비하는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
  37. 제 36 항에 있어서,
    상기 제 2 개폐부는 상기 제 2 면에 밀착되는 일면에 제 2 실링부재가 설치되는,
    진공 차단 밸브를 이용한 배관제어 방법.
KR1020130026770A 2013-03-13 2013-03-13 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법 KR101313849B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130026770A KR101313849B1 (ko) 2013-03-13 2013-03-13 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법
US14/140,655 US9328848B2 (en) 2013-03-13 2013-12-26 Vacuum isolation valve
CN201410061946.9A CN104048103B (zh) 2013-03-13 2014-02-24 真空截止阀
TW103106358A TWI535961B (zh) 2013-03-13 2014-02-25 真空截止閥

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130026770A KR101313849B1 (ko) 2013-03-13 2013-03-13 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101313849B1 true KR101313849B1 (ko) 2013-10-01

Family

ID=49637514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130026770A KR101313849B1 (ko) 2013-03-13 2013-03-13 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9328848B2 (ko)
KR (1) KR101313849B1 (ko)
CN (1) CN104048103B (ko)
TW (1) TWI535961B (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101512734B1 (ko) * 2014-01-15 2015-04-17 피에스케이 주식회사 밸브 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR101895820B1 (ko) * 2017-11-30 2018-09-07 조한중 진공 밸브
CN112514885A (zh) * 2020-12-09 2021-03-19 陈伟 一种自动化风能日用驱鸟装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11125346A (ja) * 1997-10-23 1999-05-11 Koatsu System Kk 低圧遮断弁
KR100740036B1 (ko) 2006-06-08 2007-07-19 (주)지에스티산업 진공 게이트 밸브

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3425938B2 (ja) * 2000-12-14 2003-07-14 入江工研株式会社 ゲート弁
JP3890561B2 (ja) * 2002-07-12 2007-03-07 Ｓｍｃ株式会社 弁開度を調整可能な２ポート真空バルブ
JP4491737B2 (ja) * 2005-05-27 2010-06-30 Ｓｍｃ株式会社 真空バルブ
WO2006132318A1 (ja) * 2005-06-10 2006-12-14 Tokyo Electron Limited 弁体、バルブ、切替えバルブおよびトラップ装置
KR101474786B1 (ko) * 2006-05-05 2014-12-22 배트 홀딩 아게 진공밸브 구동장치
TWI381470B (zh) * 2007-05-08 2013-01-01 Tokyo Electron Ltd And a treatment device provided with the valve
DE102007023339A1 (de) * 2007-05-16 2008-11-20 Vat Holding Ag Ventil mit einem Verschlussorgan
JP5005512B2 (ja) * 2007-11-07 2012-08-22 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置および真空処理装置およびゲートバルブ装置における弁体の開放方法。
JP5342295B2 (ja) * 2009-03-27 2013-11-13 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置
KR101013137B1 (ko) * 2010-11-19 2011-02-10 이동민 진공 공정용 밸브

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11125346A (ja) * 1997-10-23 1999-05-11 Koatsu System Kk 低圧遮断弁
KR100740036B1 (ko) 2006-06-08 2007-07-19 (주)지에스티산업 진공 게이트 밸브

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101512734B1 (ko) * 2014-01-15 2015-04-17 피에스케이 주식회사 밸브 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR101895820B1 (ko) * 2017-11-30 2018-09-07 조한중 진공 밸브
CN112514885A (zh) * 2020-12-09 2021-03-19 陈伟 一种自动化风能日用驱鸟装置
CN112514885B (zh) * 2020-12-09 2022-09-16 河北大唐国际崇礼风电有限责任公司 一种自动化风能日用驱鸟装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20140261756A1 (en) 2014-09-18
CN104048103A (zh) 2014-09-17
TWI535961B (zh) 2016-06-01
TW201435236A (zh) 2014-09-16
US9328848B2 (en) 2016-05-03
CN104048103B (zh) 2017-04-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102250008B1 (ko) 가요성 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스들, 환경 제어형 장비 프론트 엔드 모듈들, 및 조립 방법들
KR101313849B1 (ko) 진공 차단 밸브 및 이를 이용한 배관제어 방법
US7329322B2 (en) Exhaust apparatus, semiconductor device manufacturing system and method for manufacturing semiconductor device
TWM460977U (zh) 液體分閥箱
KR20180004889A (ko) 퍼지 모듈 지그 및 이를 포함한 퍼지 모듈
US10969029B2 (en) Low particle protected flapper valve
KR102267834B1 (ko) 냉각블록 및 격리밸브를 포함하는 멀티스테이션 플라즈마 반응기
KR101891825B1 (ko) 증착공정용 개폐장치
KR101420711B1 (ko) 앵글 밸브
KR200195123Y1 (ko) 반도체용 공정챔버의 진공차단밸브장치
KR102138675B1 (ko) 기판처리장치
KR200484610Y1 (ko) 수도꼭지 연결구
KR101785490B1 (ko) 파이프용 보수장치
KR101997587B1 (ko) 클린룸에 설치되는 밸브의 누설방지용 연결소켓
KR101942629B1 (ko) 반도체 제조용 특수가스 저장 실린더의 냉각 장치
KR101608595B1 (ko) 자성 유체 씰
KR102396369B1 (ko) 기판처리장치
KR100914704B1 (ko) 가스배관용 3-포트형 연결관 및 이를 포함하는가스분석시스템
KR19990076236A (ko) 기판 건조용 에어 나이프
KR102529274B1 (ko) 유체공급장치 및 그 조립방법과 이를 이용한 기판처리시스템
KR200481963Y1 (ko) 칠러용 압력 체크 밸브
KR20190037042A (ko) 파이프용 보수장치
KR20180004517A (ko) 튜브연결용 피팅장치
KR100420764B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러의 냉각유체 공급 제어장치수납박스
KR20050065845A (ko) 미캐니컬밸브

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160920

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180829

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190910

Year of fee payment: 7