KR102250008B1 - 가요성 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스들, 환경 제어형 장비 프론트 엔드 모듈들, 및 조립 방법들 - Google Patents

가요성 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스들, 환경 제어형 장비 프론트 엔드 모듈들, 및 조립 방법들 Download PDF

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딘 씨. 휴지크
비자야바스카르 소운다라잔
판두 마데라
아담 제이. 와이어트
로버트 엠. 맥캔드류
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Abstract

환경 제어들을 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈의 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스. 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스는 로드 락 조립체에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재, 및 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부를 포함한다. 가요성 밀봉부는 장비 프론트 엔드 모듈과 로드 락 조립체 사이의 밀봉을 제공하고, 또한, 조립 동안, 로드 락 조립체와 장비 프론트 엔드 모듈 사이의 축 방향 오정렬 및 다른 오정렬을 수용한다. 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈들, 및 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스를 사용하여 장비 프론트 엔드 모듈에 로드 락 조립체를 조립하는 방법들 뿐만 아니라 다른 양상들이 제공된다.

Description

가요성 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스들, 환경 제어형 장비 프론트 엔드 모듈들, 및 조립 방법들
[0001] 본 출원은, 발명의 명칭이 "FLEXIBLE EQUIPMENT FRONT END MODULE INTERFACES ENVIRONMENTALLY-CONTROLLED EQUIPMENT FRONT END MODULES, AND ASSEMBLY METHODS"인 2016년 10월 27일자로 출원된 미국 정식 특허 출원 번호 제15/336,279호(대리인 도켓 번호 제24308/USA호)로부터 우선권을 주장하며, 이로써, 그 미국 정식 특허 출원은 모든 목적들에 대해 그 전체가 인용에 의해 본원에 포함된다.
[0002] 실시예들은 전자 디바이스 제조에 관한 것으로, 더 구체적으로, 환경 제어를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈(equipment front end module; EFEM)들에 관한 것이다.
[0003] 전자 디바이스 프로세싱 시스템들은, 하나 이상의 로드 락들 및 이송 챔버를 포함하는 메인프레임 바디 주위에 배열된 다수의 프로세스 챔버들을 포함할 수 있으며, 그 하나 이상의 로드 락들은 EFEM으로부터 이송 챔버 내로 기판들을 전달하도록 구성된다. 이들 시스템들은, 예컨대, 이송 챔버에 상주할 수 있는 이송 로봇을 채용할 수 있다. 이송 로봇은 프로세스 챔버로부터 프로세스 챔버로, 로드 락으로부터 프로세스 챔버로, 그리고 그 반대로 기판들을 운송할 수 있다.
[0004] 게다가, 반도체 컴포넌트 제조에서의 기판들의 프로세싱은 다수의 툴들에서 수행될 수 있으며, 여기서, 기판들은 기판 캐리어들(예컨대, 전면 개방 통합 포드들 또는 FOUP들)에서 툴들 간에 이동한다. FOUP들은 EFEM("팩토리 인터페이스"라고 종종 지칭됨)에 도킹될 수 있으며, 그 EFEM은 내부에 로드/언로드 로봇을 포함하고, 그리고 툴의 하나 이상의 로드 락들과 FOUP들 사이에서 기판들을 이송하도록 동작가능하다.
[0005] 그러나, 그러한 EFEM들은 일부 측면들에서 그리고 조립의 용이성이 부족할 수 있다.
[0006] 일 실시예에서, 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스가 제공된다. 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스는 로드 락 조립체에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재, 및 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부를 포함하며, 가요성 밀봉부는 장비 프론트 엔드 모듈 내의 인터페이스 개구 주위를 밀봉하도록 구성된 밀봉 플랜지(flange)를 포함한다.
[0007] 다른 실시예에서, 장비 프론트 엔드 모듈이 제공된다. 장비 프론트 엔드 모듈은, 환경 제어들을 받는 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 포함하는 캐비닛 ― 캐비닛은 벽 및 인터페이스 개구를 포함함 ―, 및 벽에 커플링된 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스를 포함하며, 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스는, 로드 락 조립체에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재, 및 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부를 포함하고, 가요성 밀봉부는 인터페이스 개구 주위에서 밀봉된 밀봉 플랜지를 포함한다.
[0008] 또 다른 실시예에서, 장비 프론트 엔드 모듈에 로드 락 조립체를 조립하는 방법이 제공된다. 방법은, 로드 락 조립체를 제공하는 단계, 환경 제어들을 받는 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 갖는 캐비닛을 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈을 제공하는 단계 ― 장비 프론트 엔드 모듈 캐비닛은 벽, 및 벽 내의 인터페이스 개구를 포함함 ―, 제1 탑재 부재, 및 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스를 제공하는 단계 ― 가요성 밀봉부는 밀봉 플랜지를 포함함 ―, 인터페이스 개구 주위에 밀봉 플랜지를 커플링시키고 밀봉하고, 로드 락 조립체에 제1 탑재 부재를 커플링시켜서, 로드 락 조립체와 장비 프론트 엔드 모듈 캐비닛의 벽 사이를 밀봉하는 단계, 및 가요성 밀봉부를 이용하여, 로드 락 조립체와 장비 프론트 엔드 모듈 사이에 존재하는 임의의 오정렬을 수용하는 단계를 포함한다.
[0009] 본 개시내용의 이들 및 다른 실시예들에 따라, 다수의 다른 특징들 및 양상들이 제공된다. 실시예들의 다른 특징들 및 양상들은 다음의 상세한 설명, 첨부 청구항들, 및 첨부 도면들로부터 더 완전히 명백하게 될 것이다.
[00010] 아래에서 설명되는 도면들은 예시적인 목적들을 위한 것이고, 반드시 실척대로 도시된 것은 아니다. 도면들은 어떠한 방식으로도 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 의도되지 않는다. 동일한 번호들이 동일한 엘리먼트들을 표시하기 위해 본 명세서 및 도면들 전체에 걸쳐 사용된다.
[00011] 도 1a는 하나 이상의 실시예들에 따른 EFEM 인터페이스의 등각 투영도를 예시한다.
[00012] 도 1b는 하나 이상의 실시예들에 따른, 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 로드 락 및 EFEM에 커플링된 EFEM 인터페이스의 부분적인 측단면도를 예시한다.
[00013] 도 1c는 하나 이상의 실시예들에 따른, 로드 락과 EFEM 사이의 축 방향 오정렬을 수용하는 상태로 도시된 EFEM 인터페이스의 부분적인 측단면도를 예시한다.
[00014] 도 1d는 하나 이상의 실시예들에 따른, 로드 락과 EFEM 사이의 오정렬을 수용하는 상태로 도시된 EFEM 인터페이스를 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 개략적인 측단면도를 예시한다.
[00015] 도 2는 하나 이상의 실시예들에 따른, EFEM의 인터페이스 패널에 커플링된 다수의 EFEM 인터페이스들을 포함하는 EFEM의 등각 투영도를 예시한다.
[00016] 도 3은 하나 이상의 실시예들에 따른, 인터페이스 패널에 커플링된 복수의 EFEM 인터페이스들을 포함하는 인터페이스 패널의 후방 등각 투영도를 예시한다.
[00017] 도 4는 하나 이상의 실시예들에 따른, 로드 락에 EFEM을 설치하는 방법을 도시하는 흐름도를 예시한다.
[00018] 이제, 본 개시내용의 예시적인 실시예들이 상세히 참조될 것이며, 그 실시예들은 첨부 도면들에 예시된다. 본원에서 설명되는 다양한 실시예들의 특징들은, 달리 구체적으로 기재되어 있지 않는 한, 서로 조합될 수 있다.
[00019] 일부 실시예들에서, 전자 디바이스 프로세싱은 EFEM의 EFEM 챔버 내의 수분, 온도, 산소 레벨들, 및/또는 다른 환경 인자들을 제어하는 것을 수반할 수 있다. 본원에서 사용되는 바와 같이, EFEM 챔버 내의 수분, 온도, 산소, 또는 다른 가스 레벨들 중 하나 이상의 제어를 포함하는 이들 전자 디바이스 프로세싱 시스템들은 "환경 제어들"을 갖는 것으로 지칭된다. 일부 실시예들에서, 환경 제어들을 포함하지 않는 EFEM들은 그러한 환경 제어들을 포함하는 EFEM들로 대체될 수 있거나 또는 다른 방식으로 개장될 수 있다. 그러한 대체들 또는 개장들에서, 누설이 고려될 뿐만 아니라, 메인프레임에 커플링된 하나 이상의 로드 락들과 EFEM 사이의 포지션 변화들을 수용하는 능력, 즉 오정렬을 수용하는 능력이 고려된다. 오정렬은, 제조 차이들, 비-환경 제어형 EFEM들에 대한 환경 제어형 EFEM들의 전체 사이즈 차이들, 및/또는 EFEM을 개장할 때 기존의 탑재 위치들을 사용하려는 시도로 인한 것일 수 있다.
[00020] 위의 문제들을 해소하기 위해, 본원에서 제공되는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따르면, 가요성 밀봉부를 포함하는 EFEM 인터페이스가 제공된다. EFEM 인터페이스는 환경 제어형 EFEM의 일부일 수 있다. 특히, 하나 이상의 실시예들에서, EFEM 인터페이스는 로드 락 조립체에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재, 및 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부를 포함한다. 가요성 밀봉부는, 이를테면 환경 제어형 EFEM의 전방 벽 상의 인터페이스 개구 주위를 밀봉하도록 구성된 밀봉 플랜지를 포함할 수 있다. 따라서, 하나의 이점은, 본 개시내용의 실시예들에 따라 제공되는 EFEM 인터페이스가 로드 락 조립체와 EFEM의 캐비닛 사이에 가스-밀폐 밀봉을 생성하고, 그에 따라, EFEM 챔버 내의 환경을 한정함으로써, 그리고 EFEM 외부의 팩토리 환경에 존재하는 오염물들로부터 EFEM 챔버를 격리시킴으로써, EFEM 챔버 내에서 효과적인 환경 제어가 수행될 수 있다는 점이다.
[00021] 다른 이점에서, EFEM 인터페이스는 EFEM과 로드 락 조립체 사이의 오정렬 보정 능력을 가능하게 하고, 그에 따라, 로드 락 조립체에 EFEM을 조립할 때, 로드 락 조립체와 EFEM 사이의 임의의 오정렬(예컨대, 축 방향 오정렬)이 쉽게 수용될 수 있다. 연결된 컴포넌트들에 가해지는 응력들이 또한 최소화될 수 있다. 측 방향 및/또는 수직 방향 오정렬이 또한 수용될 수 있다. EFEM과 로드 락 조립체 사이의 틸팅(tilting)이 또한 수용될 수 있다.
[00022] 본 개시내용의 다른 실시예에서, 하나 이상의 EFEM 인터페이스들을 포함하는 EFEM, 뿐만 아니라 로드 락 조립체에 EFEM을 조립하는 방법들이 제공된다.
[00023] 예시적인 장치, 시스템들, 및 방법 실시예들의 추가적인 세부사항들은 본원에서 도 1a 내지 도 4를 참조하여 설명된다.
[00024] 도 1a 및 도 1b는 각각, 본 개시내용에 따른 EFEM 인터페이스(100)의 예시적인 실시예의 등각 투영도 및 단면도를 예시한다. EFEM 인터페이스(100)는 기판들을 프로세싱하도록 구성된 전자 디바이스 프로세싱 시스템(101)(도 1d 참조)에서 EFEM(103)과 로드 락 조립체(105) 사이의 인터페이싱에 사용가능하고 유용하다. 본원에서 사용되는 바와 같은 기판들은, 전자 디바이스들 또는 전자 회로 컴포넌트들(예컨대, 컴퓨터 칩들)을 제조하는 데 사용되는 물건(article)들, 이를테면 실리콘-함유 웨이퍼들(예컨대, 300 mm 또는 450 mm 웨이퍼들), 패터닝된 또는 패터닝되지 않은 웨이퍼들, 또는 마스킹된 웨이퍼들 등을 의미한다.
[00025] 더 상세하게, EFEM 인터페이스(100)는 로드 락 조립체(105)의 제1 측면에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재(102)를 포함할 수 있다. 제1 탑재 부재(102)는 기판 개구(102A)를 포함하는 직사각형 플레이트일 수 있으며, 기판 개구(102A)는 그 기판 개구(102A)를 통해 기판들을 수용하도록 구성된다. 제1 탑재 부재(102)는 또한, 기판 개구(102A) 주위에서 로드 락 조립체(105)에 커플링되도록 구성된다. 도 3을 참조하여 설명될 바와 같이, 기판 개구(102A)는 직사각형 플레이트의 상반부 상에 위치될 수 있다. 기판 개구(102A)는 로드 락 조립체(105)에 제1 탑재 부재(102)를 고정시키기 위한 홀(102H)(몇몇만 표기됨)을 그 기판 개구(102A)의 주변부 주위에 포함할 수 있다. 더 구체적으로, 제1 탑재 부재(102)는, 이를테면 제1 파스너들(102F)에 의해, 로드 락 조립체(105)의 일부를 구성하는 제1 슬릿 밸브 조립체(105S1)에 부착될 수 있다. 제1 O-링 밀봉부(102O)는 제1 탑재 부재(102)와 제1 슬릿 밸브 조립체(105S1) 사이의 가스-밀폐 밀봉을 제공할 수 있다. 제1 탑재 부재(102)는 제1 슬릿 밸브 조립체(105S1)에 부착될 수 있으며, 그 제1 슬릿 밸브 조립체(105S1)는 제2 파스너들(105F)에 의해 로드 락 바디(105B)에 커플링될 수 있다. 제2 O-링 밀봉부(105O)는 제1 슬릿 밸브 조립체(105S1)와 로드 락 바디(105B) 사이를 밀봉할 수 있다.
[00026] EFEM 인터페이스(100)는 제1 탑재 부재(102)에 커플링된 가요성 밀봉부(104)를 더 포함한다. 가요성 밀봉부(104)는 임의의 적합한 가요성 엘라스토머 재료, 이를테면 니트릴(Nitrile), 플루오로카본(Fluorocarbon), 또는 네오프렌(Neoprene) 등으로 제조될 수 있다. 제1 탑재 부재(102)에 대한 커플링은 임의의 적합한 수단, 이를테면 접합 조인트(bonded joint)에 의해 제공될 수 있으며, 여기서, 가요성 밀봉부(104)는 제1 탑재 부재(102)의 제1 밀봉 표면(102S)(예컨대, 전방 표면)에 일체로 접합된다. 예컨대, 접합은 냉간-성형 또는 열간-성형 접합일 수 있다.
[00027] 하나 이상의 예들에서, 가요성 밀봉부(104)의 형상은 몰드(mold)(예컨대, 압축 또는 사출 몰드)에서 형성될 수 있다. 가요성 밀봉부(104)의 형상은 제1 탑재 부재(102)의 외측 주변부 주위로 연장되는 일련의 리지(ridge)들(104R)을 포함할 수 있다. 리지들(104R)은, 제1 탑재 부재(102)를 둘러싸는 벨로즈 구조를 형성하기 위해, 축 방향-연장 부분들(104A) 각각과 측 방향-연장 및 수직 방향-연장 부분들(104LV) 각각을 연결할 수 있다. 일부 실시예들에서, 축 방향-연장 부분들(104A)은 순수 축 방향으로부터 기울어질 수 있다. 일부 실시예들에서, 측 방향-연장 또는 수직 방향-연장 부분들(104LV)은 순수 수직 방향 및/또는 순수 측 방향으로부터 기울어질 수 있다.
[00028] 가요성 밀봉부(104)는 EFEM(103)에 대하여 밀봉하도록 구성된 외측 개스킷 부분을 포함하는 밀봉 플랜지(106)를 포함할 수 있다. 밀봉 플랜지(106)는 상호연결된 플랜지 부분들(106A 내지 106D)을 포함할 수 있으며, 그 상호연결된 플랜지 부분들(106A 내지 106D)은 EFEM(103)의 벽(109)(예컨대, 전방 벽(도 1d))에 형성된 인터페이스 개구(108) 주위로 연장되어 그 인터페이스 개구(108)를 밀봉하도록 구성된다. 플랜지 부분들(106A 내지 106D) 각각은 인터페이스 개구(108)의 각각의 주변 에지를 따라 위치되어 그 각각의 주변 에지를 오버래핑(overlap)하도록 형성될 수 있다. 예컨대, 밀봉 플랜지(106)는 두께가 약 1 mm 내지 3 mm일 수 있고, 폭이 약 10 mm 내지 20 mm일 수 있다. EFEM 내의 O2 레벨, 상대 습도 레벨, 및 다른 오염물 레벨들에 따라, 다른 치수들이 사용될 수 있다. 밀봉 플랜지(106)는 그 밀봉 플랜지(106)에 형성된 복수의 탑재 애퍼처(aperture)들(118)(몇몇만 표기됨)을 포함할 수 있다. 복수의 탑재 애퍼처들(118) 중 적어도 일부 또는 전부는 신장형(elongated)일 수 있다. 예컨대, 복수의 탑재 애퍼처들(118)은, 예컨대 이들의 폭이 약 10 mm일 수 있고 길이가 18 mm일 수 있도록, 신장될 수 있다. 신장은 제조 허용오차들을 위해 제공된다. 상이한 사이즈의 EFEM들 및 로드 락들에 대해 다른 치수들이 사용될 수 있다. 일부 실시예들에서, 모든 복수의 탑재 애퍼처들(118)은 동일한 방향으로, 이를테면 도시된 바와 같이 수직 방향으로 신장될 수 있다.
[00029] 예컨대, 인터페이스 개구(108)는 형상이 직사각형일 수 있다. 다른 형상들이 사용될 수 있다. 도 1b에 도시된 바와 같이, 밀봉 플랜지(106)는 인터페이스 패널(112)의 밀봉 표면(110)에 대하여 밀봉하도록 구성될 수 있다. 도시된 바와 같이, 밀봉 표면(110)은 EFEM(103)의 인터페이스 개구(108) 주위에 위치된다. 밀봉 표면(110)은 인터페이스 개구(108)를 둘러싸면서 폭이 약 10 mm 내지 20 mm일 수 있고, 그리고 예컨대 프로파일미터를 사용할 때 약 64 μin 미만(약 1.6 μm 미만)의 Ra를 갖는 평활한 표면을 포함할 수 있다. EFEM 및/또는 로드 락 사이즈 및 요구되는 밀봉 레벨들에 따라, 다른 사이즈들 및 표면 거칠기가 사용될 수 있다.
[00030] 도 1d 및 도 2에 가장 잘 도시되어 있는 바와 같이, 인터페이스 패널(112)은 EFEM(103)의 벽(109)(예컨대, 전방 벽)의 일부 또는 전부를 구성하는 평탄한 플레이트일 수 있다. 인터페이스 패널(112)은 또한, 벽(109)의 다른 부분들에 커플링되어 그 다른 부분들에 대해 밀봉된 평면 패널일 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 벽(109)의 나머지 부분에 인터페이스 패널(112)을 부착하고 밀봉하기 위한 임의의 적합한 수단, 이를테면, 인터페이스 패널(112)의 주변부 주위의 파스너들 및 개스킷들 등이 사용될 수 있다.
[00031] 다시 도 1b를 참조하면, 인터페이스 패널(112)의 밀봉 표면(110)과 밀봉 플랜지(106) 사이의 밀봉은 클램프(114)를 사용하여 형성될 수 있다. 클램프(114)는 가요성 밀봉부(104)의 최외측 주변부 주위에서 밀봉 플랜지(106)의 외측 표면에 맞대어 고정될 수 있다. 도 1b 및 도 2에 도시된 바와 같이, 다수의 클램핑 스트립들(114A 내지 114D)이 클램프(114)를 구성할 수 있다. 선택적으로, 클램프(114)는 하나의 일체형 후프-형 피스(hoop-like piece) 또는 다른 다중-피스 클램프 구성들일 수 있다. 클램프(114)는 밀봉 플랜지(106)의 외측(전방) 표면에 대하여 압축성 밀봉력을 가한다. 특히, 제3 파스너들(116)이, 클램핑 스트립들(114A 내지 114D) 내의 보어들(117)을 통과하고, 밀봉 플랜지(106)에 형성된 복수의 탑재 애퍼처들(118)을 통과하여 수용되어, 인터페이스 패널(112)에 형성된 나사산 보어들(120) 내로 나사 결합될 수 있다. 제3 파스너들(116)을 조이면, 인터페이스 패널(112)의 밀봉 표면(110)과 밀봉 플랜지(106)의 제2 밀봉 표면(106S) 사이에 가스-밀폐 밀봉을 형성하도록, 제2 파스너들(116)이 밀봉 플랜지(106)를 축 방향으로 압축시킨다.
[00032] 도시된 실시예들에서, 클램핑 스트립들(114A 내지 114D)은 인터페이스 개구(108)의 각각의 상단측, 우측, 하단측, 및 좌측을 따라 연장되는 선형 스트립들일 수 있다. 클램핑 스트립들(114A 내지 114D)은 단부 리브들(114R)을 구성하는 휘어진 부분들을 포함하는 금속 스트립들일 수 있다. 제3 파스너들(116) 중 다수의 제3 파스너들은, 클램핑 스트립들(114A 내지 114D) 내의 보어들(117)을 통해 수용되어 나사산 보어들(120) 내에 나사 결합됨으로써, 클램핑 스트립들(114A 내지 114D) 각각과 연관될 수 있고, 클램핑 스트립들(114A 내지 114D) 각각을 고정시킬 수 있다.
[00033] 가요성 밀봉부(104)는 인터페이스 패널(112) 뿐만 아니라 제1 탑재 부재(102)와 가요성 밀봉부(104)의 인터페이스에서 가스-밀폐 밀봉을 제공한다. 부가적으로, 아래에서 설명되는 바와 같이, 가요성 밀봉부(104)는 (예컨대, 메인 프레임(122)(도 1d)에 부착된 바와 같은) 로드 락 조립체(105)의 설치 위치와 EFEM(103)의 설치 위치 사이의 축방향 오정렬을 가능하게 한다.
[00034] 다시 도 1b를 참조하면, 인터페이스 패널(112)의 전방 표면(107)(및 가요성 밀봉부(104)의 제2 밀봉 표면(106S))에 대한 로드 락 조립체(105)의 후방 표면(105R)(및 제1 탑재 부재(102)의 제1 밀봉 표면(102S))의 위치는 공칭 포지션에 있는 것으로 도시되며, 가요성 밀봉부(104)는 휘어지지 않은 상태로 도시된다. 휘어지지 않은 상태에서, 제1 탑재 부재(102)의 제1 밀봉 표면(102S)의 제1 평면과 가요성 밀봉부(104)의 제2 밀봉 표면(106S)의 제2 평면은 서로 축 방향으로 오프셋된다. 일부 실시예들에서, 공칭(예컨대, 몰딩) 축 방향 오프셋(A)은 약 10 mm 초과, 또는 심지어 약 25 mm 초과, 예컨대 약 10 mm 내지 35 mm일 수 있다. EFEM의 사이즈에 따라, 다른 축 방향 오프셋(A)이 제공될 수 있다.
[00035] 도 1c는 공칭 포지션(도 1b에 도시됨)에 대한, EFEM(103)의 인터페이스 패널(112)의 전방 표면(107)의 오프셋 포지션을 예시한다. 도 1c는, EFEM(103)이 공칭 포지션으로부터 축 방향 오프셋 거리(D)만큼 로드 락 조립체(105) 쪽으로 축 방향 오프셋되어 있는 상태로 설치된 EFEM 인터페이스(100)를 예시한다. 여기서, 가요성 밀봉부(104)는 축 방향 오정렬을 수용하기 위해 축 방향으로 휘어지고 신장된다. 로드 락 조립체(105)로부터 멀어지는 축 방향 정렬이 또한 수용될 수 있다. 측 방향 오정렬 및 수직 방향 오정렬 뿐만 아니라 틸팅(tilting) 오정렬이 또한 수용될 수 있다. 예컨대, +/- 10 mm 초과의 축 방향 오정렬(D), 이를테면 +/- 15 mm, +/- 20 mm, +/- 25 mm, 또는 심지어 그 초과의 축 방향 오정렬(D)이 수용될 수 있다. 게다가, +/- 10 mm 초과의 측 방향 및/또는 수직 방향 오정렬이 수용될 수 있다. 게다가, +/- 2도 초과의 틸팅 오정렬 또는 심지어 +/- 3도 초과의 틸팅 오정렬이 수용될 수 있다. EFEM의 사이즈에 따라, 다른 양들의 오정렬이 수용될 수 있다.
[00036] 도 1d에 도시된 바와 같이, EFEM(103) 및 커플링된 EFEM 인터페이스(100)를 포함하는 전자 디바이스 프로세싱 시스템(101)의 하나의 구성이 도시된다. 제1 탑재 부재(102)가 로드 락 조립체(105)의 제1 슬릿 밸브 조립체(105S1)의 외측 부재에 커플링된 것으로 도시된다. 연결은, 이를테면 제1 O-링 밀봉부(102O)에 의해, 또는 선택적으로는 개스킷, 또는 밀봉 화합물 등에 의해 밀봉될 수 있다. 제1 슬릿 밸브 조립체(105S1)는 제1 측면 상에서 로드 락 바디(105B)에 커플링될 수 있으며, 로드 락 바디(105B)의 제2 측면 상에 제2 슬릿 밸브 조립체(105S2)가 커플링될 수 있다. 제1 및 제2 슬릿 밸브 조립체들(105S1, 105S2)은 각각, 외측 부재, 액추에이터, 및 액추에이터에 의해 동작가능한 슬릿 밸브 도어를 포함한다. 제2 슬릿 밸브 조립체(105S2)는 메인프레임(122)의 메인프레임 바디(132)에 커플링될 수 있다. 로드 락 바디(105B)와 제2 슬릿 밸브 조립체(105S2) 사이 그리고 제2 슬릿 밸브 조립체(105S2)와 메인프레임 바디(132) 사이의 이들 연결들이 또한 밀봉될 수 있다. 메인프레임(122)은 이송 챔버(130), 및 메인프레임 바디(132)를 둘러싸는 복수의 프로세스 챔버들(134)(단일 프로세스 챔버가 도시됨)을 포함할 수 있다. 복수의 프로세스 챔버들(134)은 이송 챔버(130)로부터 접근가능할 수 있다. 이송 챔버(130)와 EFEM(103) 사이의 기판들의 이송을 가능하게 하는 임의의 적합한 구성의 로드 락 조립체(105)가 사용될 수 있다.
[00037] 이송 로봇(136)이 프로세싱을 위해 복수의 프로세싱 챔버들(134)로 기판들을 전달할 수 있다. 프로세싱은 증착, 에칭, 세정, 및/또는 코팅(예컨대, 질화물 코팅) 등을 포함할 수 있다. 다른 프로세스들이 메인프레임(122) 및 프로세싱 챔버들(134)에서 수행될 수 있다. 프로세싱 후에, 기판들은 이송 로봇(136)에 의해 다시 로드 락 조립체(105)로 전달될 수 있고, 이어서, EFEM(103)을 통해 이송될 수 있다.
[00038] 로드 락 조립체(105)로부터 EFEM(103)을 통하는 이송은 EFEM(103)의 다른 벽(예컨대, 후방 벽(140))에 도킹될 수 있는 하나 이상의 기판 캐리어들(138)로 기판들을 전달할 수 있다. 예컨대, 이송은 EFEM 챔버(142)에 위치된 로드/언로드 로봇(137)에 의해 달성될 수 있다. 이송 로봇(136) 및 로드/언로드 로봇(137)에 대해 임의의 적합한 로봇 타입이 사용될 수 있다. 예컨대, 다중-암 로봇들, 이를테면 SCARA(selective compliance articulated robot arm) 로봇들 등이 사용될 수 있다. EFEM 챔버(142)는 캐비닛(103C)의 벽들(벽(109)(전방 벽), 후방 벽(140), 측벽들(141S), 상단 벽(147T), 및 하단 벽들(147B)을 포함함)에 의해 형성된다.
[00039] EFEM(103)을 통하는 기판 이송 동안, EFEM 챔버(142)의 환경이 제어될 수 있다. 환경은 기판이 짧은 시간 동안이라도 상당한 양의 원하지 않는 성분에 노출되지 않도록 제어될 수 있다. 예컨대, 도시된 실시예에서, EFEM 챔버(142)는 EFEM 챔버(142)에 환경 제어된 분위기를 제공하도록 구성된 환경 제어부들(144)과 커플링될 수 있다. 특히, 환경 제어부들(144)은 제어기, 하나 이상의 밸브들, 및 하나 이상의 도관들을 포함할 수 있다. 환경 제어부들(144)은 EFEM 챔버(142)에 커플링될 수 있고, 그리고 EFEM 챔버(142) 내의 환경 상태들을 모니터링 및/또는 제어하도록 동작할 수 있다. 제어기는, 하나 이상의 센서(들)(146)로부터 입력들을 수신하고 하나 이상의 밸브들을 제어하기 위해 적합한 프로세서, 메모리, 및 전자 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서 그리고 특정 시간들에서, EFEM 챔버(142)는 유입구(143)를 통해 비활성 가스를 수용할 수 있다. 비활성 가스는 아르곤, 질소 가스(N2), 헬륨, 또는 이들의 혼합물들일 수 있다. 건조 질소 가스(N2)의 공급이 상당히 효과적일 수 있다. 다른 실시예들에서, 환경 제어부들(144)을 사용하여, 특정 시간들에서, 기판 캐리어(138)의 가스 퍼지(purge)가 또한 이루어질 수 있다.
[00040] 더 상세하게, 환경 제어부들(144)은, EFEM 챔버(142) 내의, 1) 상대 습도(RH), 2) 온도(T), 3) O2의 양, 또는 4) 비활성 가스의 양 중 적어도 하나를 제어할 수 있다. EFEM(103)의 다른 환경 상태들, 이를테면 가스 유량 또는 챔버 압력 또는 이들 둘 모두가 모니터링 및/또는 제어될 수 있다. 유량 및 챔버 압력은, EFEM(103)과 로드 락 조립체(105) 사이의 가스-밀폐 밀봉의 가요성 밀봉부(104)의 고장 및/또는 누설을 결정하기 위해 모니터링될 수 있다.
[00041] 하나 이상의 실시예들에서, 환경 제어부들(144)은 EFEM 챔버(142)에서 또는 그 EFEM 챔버(142)로부터의 출구 도관에서 특정 파라미터들을 모니터링할 수 있다. 예컨대, 일부 실시예들에서, 센서(146), 이를테면 상대 습도 센서를 이용하여, EFEM 챔버(142) 내의 상대 습도(RH)가 모니터링될 수 있다. 일부 실시예들에서, 환경 제어부들(144)은 RH를 모니터링하고, 그리고 측정된 RH 값이, 미리 정의된 RH 임계값을 초과하는 경우, EFEM(103)의 로드 포트들에 커플링된, 하나 이상의 기판 캐리어들(138)의 캐리어 도어들(138D)은, 캐리어 도어 오프너(139)가 동작되지 않음으로써, 개방되지 않게 된다(폐쇄된 상태로 유지됨). 측정된 RF 값이, 미리 정의된 RH 임계값 미만으로 떨어지는 경우, 기판 캐리어들(138)의 캐리어 도어들(138D)이 개방될 수 있다.
[00042] 비활성 가스 공급부(145)로부터 EFEM 챔버(142) 내로 임의의 적합한 양의 비활성 가스를 유동시킴으로써, RH가 낮아질 수 있다. 비교적 낮은 H2O 레벨들(예컨대, 약 5 ppm 미만의 물)을 갖는 압축 건조 벌크 비활성 가스들이 비활성 가스 공급부(145)로부터 공급될 수 있다. 다른 실시예에서, 하나 이상의 로드 락 조립체들(105)은 미리 정의된 기준 값 미만으로 RH가 떨어질 때까지, 폐쇄된 상태로 유지될 수 있다. 하나 이상의 실시예들에서, 미리 정의된 기준 상대 습도 값은, 전자 디바이스 프로세싱 시스템(101)에서 수행되는 특정 프로세스에 대해 허용가능한 수분의 레벨에 따라, 1000 ppm 미만의 수분, 500 ppm 미만의 수분, 또는 심지어 100 ppm 미만의 수분일 수 있다. EFEM 인터페이스(100)는 EFEM(103)과 로드 락 조립체(105) 사이의 연결 포인트를 통한 임의의 오염물들의 진입을 최소화한다.
[00043] 일부 실시예들에서, 환경 제어부들(144)은 EFEM 챔버(142)에 공기(예컨대, 깨끗한 건조 공기)를 공급하기 위해 환경 제어부들(144)에 커플링된 공기 공급부(148)를 포함할 수 있다. 공기 공급부(148)는 적합한 도관들 및 하나 이상의 밸브들에 의해 EFEM 챔버(142)에 커플링될 수 있다. 환경 제어부들(144)은 EFEM 챔버(142) 내의 산소(O2)의 레벨을 감지하도록 구성 및 적응된 센서(146), 이를테면 산소 센서를 포함할 수 있다. 따라서, 오퍼레이터가 EFEM 챔버(142)에 진입하려고 하고, 진입 요청을 개시할 때, 환경 제어부들(144)의 제어기는, 비활성 가스의 일부가 배기되고 공기로 대체되도록, 공기 공급부(148)로부터의 공기의 유동을 개시할 수 있다. EFEM 챔버(142) 내에서 검출된 산소의 레벨이 적합한 미리-정의된 O2 레벨에 도달할 때, 접근 도어(250)(도 2)를 폐쇄된 상태로 유지하는 도어 인터로크가 언래칭(unlatch)되어, 접근 도어(250)가 개방될 수 있게 하고, 그에 따라, 오퍼레이터가 서비스를 위해 EFEM 챔버(142)에 접근할 수 있게 한다.
[00044] 다른 예에서, 예컨대, 센서(146)(예컨대, 산소 센서)에 의해 감지되는 바와 같은, EFEM 챔버(142) 내의 측정된 산소(O2) 레벨이, 미리 정의된 산소 임계 레벨 미만(예컨대, 50 ppm 미만의 O2, 10 ppm 미만의 O2, 5 ppm 미만의 O2, 또는 심지어 3 ppm 미만의 O2, 또는 심지어 그 미만)으로 떨어지는 경우, 환경 전제 조건들이 충족될 수 있다. 프로세싱 챔버들(134)에서 이루어지는 프로세싱에 따라, 다른 적합한 산소 레벨 임계치들이 사용될 수 있다. EFEM 챔버(142) 내의 미리 정의된 산소 임계 레벨이 충족되지 않은 경우, 제어기는, 미리 정의된 산소 임계 레벨이 충족될 때까지, 비활성 가스 공급부(145)로부터 EFEM 챔버(142) 내로 비활성 가스를 방출하도록, 제어 신호를 개시할 것이다. 미리 정의된 산소 임계 레벨이 충족되는 경우, 기판 캐리어(138)의 캐리어 도어(138D) 및/또는 제1 슬릿 밸브 조립체(105S1)의 슬릿 밸브 도어(351)(도 3)가 개방될 수 있다. 이는, 개방된 기판 캐리어들(138) 내의 기판들, 개방된 로드 락 조립체(105)의 로드 락 챔버, 뿐만 아니라, EFEM 챔버(142)를 통과하는 임의의 기판들이 비교적 낮은 (기판들에 유해한 영향을 미칠 수 있는) 산소 레벨들에 노출되는 것을 보장하는 것을 돕는다.
[00045] 다른 예에서, 예컨대, EFEM 챔버(142) 내의 측정된 온도 레벨, 이를테면 센서(146)(예컨대, 온도 센서)에 의해 감지된 바와 같은 온도가 충족되거나 또는 초과되는 경우, 환경 전제 조건들이 충족될 수 있다. 예컨대, 미리 정의된 온도 임계 레벨이 세팅될 수 있다. 미리 정의된 온도 임계 레벨이 충족되면, 비활성 가스 공급부(145)로부터 EFEM 챔버(142)에 비활성 가스 유동이 제공될 수 있다.
[00046] 도 3은, 인터페이스 패널(112) 및 그 인터페이스 패널(112)에 커플링된 2개의 EFEM 인터페이스들(100)을 포함하는 인터페이스 하위조립체(subassembly)(300)를 예시한다. EFEM 인터페이스들(100) 각각은 기판 개구(102A)가 내부에 형성되어 있는 제1 탑재 부재(102)를 포함한다. 도시된 실시예에서, 기판 개구(102A)는 제1 탑재 부재(102) 상에서 수직 방향으로 오프셋되며, 슬릿 밸브 조립체(105S1)의 액추에이터(252)는 축 방향 오프셋(A)에 의해 형성된 리세스(154)에 수용된다(도 2).
[00047] 이제 도 4를 참조하면, 장비 프론트 엔드 모듈에 로드 락 조립체를 조립하는 방법이 설명될 것이다. 방법(400)은, 402에서, 로드 락 조립체(예컨대, 로드 락 조립체(105))를 제공하는 단계, 및 404에서, 환경 제어들을 받는 장비 프론트 엔드 모듈 챔버(예컨대, EFEM 챔버(142))를 갖는 캐비닛(예컨대, 캐비닛(103C))을 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈(예컨대, EFEM(103))을 제공하는 단계를 포함하며, 장비 프론트 엔드 모듈 캐비닛은 벽(예컨대, 벽(109)), 및 벽 내의 인터페이스 개구(예컨대, 인터페이스 개구(108))를 포함한다.
[00048] 방법(400)은, 406에서, 제1 탑재 부재(예컨대, 제1 탑재 부재(102)), 및 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부(예컨대, 가요성 밀봉부(104))를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스(예컨대, EFEM 인터페이스(100))를 제공하는 단계를 더 포함하며, 가요성 밀봉부는 밀봉 플랜지(예컨대, 밀봉 플랜지(106))를 포함한다.
[00049] 방법은, 406에서, 인터페이스 개구(예컨대, 인터페이스 개구(108)) 주위에 밀봉 플랜지(예컨대, 밀봉 플랜지(106))를 커플링시키고 밀봉하고, 로드 락 조립체(예컨대, 로드 락 조립체(105))에 제1 탑재 부재(예컨대, 제1 탑재 부재(102))를 커플링시켜서, 캐비닛(예컨대, 캐비닛(103C))의 벽(예컨대, 벽(109))과 로드 락 조립체 사이를 밀봉하는 단계, 및 408에서, 가요성 밀봉부(예컨대, 가요성 밀봉부(104))를 이용하여, 로드 락 조립체(예컨대, 로드 락 조립체(105))와 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM(103)) 사이에 존재하는 임의의 오정렬을 수용하는 단계를 더 포함한다.
[00050] 방법의 다양한 부분들은 임의의 적합한 순서로 달성될 수 있다. 예컨대, 일부 실시예들에서, 인터페이스 개구(108) 주위에 밀봉 플랜지(106)를 커플링시키고 밀봉하는 것이 먼저 이루어질 수 있고, 로드 락 조립체(105)에 제1 탑재 부재(102)를 커플링시키는 것이 다음으로 이루어질 수 있다. 하나의 설치 방법에서, 메인프레임(122)은 그 메인프레임(122)에 탑재된 로드 락 조립체(105)를 포함하며, 메인프레임(122)은 알려져 있는 포지션에서 플로어에 고정적으로 탑재된다. 이어서, EFEM 인터페이스(100)가 상부에 탑재되어 있는 EFEM(103)이 로드 락 조립체(105) 쪽으로 이동될 수 있고, 그리고 EFEM(103)이 기존의 플로어 연결들에 대해 적절한 포지션에 있을 때, EFEM 인터페이스(100)의 제1 탑재 부재(102)가 로드 락 조립체(105)에 커플링된다. 축 방향 오정렬, 수직 방향 오정렬, 측 방향 오정렬, 및 틸팅 오정렬을 포함하는, 로드 락 조립체(105)와 EFEM(103) 사이의 임의의 오정렬이, 가요성 밀봉부(104)를 이용하여, EFEM 인터페이스(100)에 의해 수용된다.
[00051] 본 개시내용의 실시예들은 다음의 이점들 중 하나 이상을 포함할 수 있다. EFEM 인터페이스(100)는 로드 락 조립체(105)와 EFEM(103) 사이의 연결이 더 효율적으로 이루어질 수 있게 하는데, 이는 EFEM(103) 및 로드 락 조립체(105)의 위치들이 덜 정확하게 정렬될 수 있기 때문이다. 더욱이, EFEM 인터페이스(100)의 가요성 밀봉부(104)는 로드 락 조립체(105)의 위치와 EFEM(103)의 벽(109) 사이의 비교적 큰 축 방향 오정렬을 허용한다. 유리하게, 틸팅, 측 방향, 및/또는 수직 방향 오정렬이 또한 수용될 수 있다. 일부 실시예들에서, EFEM 인터페이스(100)의 가요성 밀봉부(104)의 휨은 설치 시 로드 락 조립체(105)에 가해지는 응력들을 감소시킬 수 있다. 비-환경 제어형 EFEM을 약간 더 클 수 있는 환경 제어형 EFEM(103)으로 개장하는 경우들에서, 이들 둘 모두에 대해 플로어에서 동일한 탑재 위치들이 사용될 수 있다. 게다가, EFEM 인터페이스(100)의 사용은, EFEM(103)이 환경 제어부들(144)을 포함하는 경우, EFEM(103)과 로드 락 조립체(105) 사이의 공기-밀폐 밀봉을 제공한다.
[00052] 전술된 설명은 본 개시내용의 예시적인 실시예들을 개시한다. 본 개시내용의 범위 내에 속하는, 위에서 개시된 장치, 시스템들, 및 방법들의 변형들은 쉽게 자명하게 될 것이다. 따라서, 본 개시내용이 특정 예시적인 실시예들을 포함하고 있지만, 첨부 청구항들에 의해 정의되는 바와 같은, 본 개시내용의 범위 내에 다른 실시예들이 속할 수 있음이 이해되어야 한다.

Claims (15)

  1. 로드 락 조립체에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재; 및
    상기 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부;를 포함하며,
    상기 가요성 밀봉부는 장비 프론트 엔드 모듈 내의 인터페이스 개구 주위를 밀봉하도록 구성된 밀봉 플랜지(flange)를 포함하고,
    상기 제1 탑재 부재는 기판 개구를 포함하는 직사각형 플레이트를 포함하며,
    상기 제1 탑재 부재는, 상기 로드 락 조립체를 수용하고 상기 기판 개구 주위에 커플링시키도록 구성되고,
    상기 기판 개구는 상기 직사각형 플레이트의 상반부 상에 위치되는,
    장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 밀봉 플랜지는 복수의 탑재 홀들을 포함하는 외측 개스킷 부분을 포함하는,
    장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 복수의 탑재 홀들의 적어도 일부는 신장형(elongated)인,
    장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스.
  4. 로드 락 조립체에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재; 및
    상기 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부;를 포함하며,
    상기 가요성 밀봉부는 장비 프론트 엔드 모듈 내의 인터페이스 개구 주위를 밀봉하도록 구성된 밀봉 플랜지(flange)를 포함하고,
    상기 밀봉 플랜지는 상기 제1 탑재 부재를 둘러싸는 복수의 리지(ridge)들을 포함하고,
    상기 복수의 리지들은 제1 탑재 부재를 둘러싸는 벨로즈 구조를 형성하는 축 방향-연장 부분들과 그리고 측 방향-연장 부분 또는 수직 방향-연장 부분 중 적어도 하나의 부분을 포함하는,
    장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 축 방향-연장 부분들은 축 방향으로부터 기울어질 수 있거나, 또는
    상기 측 방향-연장 부분 또는 수직 방향-연장 부분 중 적어도 하나의 부분은 수직 방향 또는 측 방향 중 적어도 하나로부터 기울어질 수 있는,
    장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스.
  6. 삭제
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 탑재 부재의 밀봉 표면의 제1 평면과 상기 가요성 밀봉부의 밀봉 표면의 제2 평면은, 상기 가요성 밀봉부가 휘어지지 않은 상태에 있을 때, 서로 축 방향으로 오프셋되는,
    장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 가요성 밀봉부는, 휘어지지 않은 상태로부터 휘어지고, +/- 10 mm 초과의 축 방향 오정렬을 허용하도록 구성되는,
    장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 가요성 밀봉부는, 휘어지지 않은 상태로부터 휘어지고, 측 방향 오정렬, 수직 방향 오정렬, 또는 틸팅(tilting) 오정렬 중 하나 이상을 허용하도록 구성되는,
    장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스.
  10. 환경 제어들을 받는 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 포함하는 캐비닛 ― 상기 캐비닛은 인터페이스 개구를 구비한 벽을 포함함 ―; 및
    상기 벽에 커플링된 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스;를 포함하며,
    상기 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스는,
    로드 락 조립체에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재; 및
    상기 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부;를 포함하고,
    상기 가요성 밀봉부는 상기 인터페이스 개구 주위에서 밀봉된 밀봉 플랜지를 포함하고,
    상기 제1 탑재 부재는 기판 개구를 포함하는 직사각형 플레이트를 포함하며,
    상기 제1 탑재 부재는, 상기 로드 락 조립체를 수용하고 상기 기판 개구 주위에 커플링시키도록 구성되고,
    상기 기판 개구는 상기 직사각형 플레이트의 상반부 상에 위치되는,
    장비 프론트 엔드 모듈.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 벽은 상기 인터페이스 개구를 포함하는 인터페이스 패널을 포함하며,
    상기 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스는 상기 인터페이스 개구에 탑재되는,
    장비 프론트 엔드 모듈.
  12. 장비 프론트 엔드 모듈로서,
    환경 제어들을 받는 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 포함하는 캐비닛 ― 상기 캐비닛은 인터페이스 개구를 구비한 벽을 포함함 ―; 및
    상기 벽에 커플링된 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스;를 포함하며,
    상기 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스는,
    로드 락 조립체에 커플링되도록 구성된 제1 탑재 부재; 및
    상기 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부;를 포함하고,
    상기 가요성 밀봉부는 상기 인터페이스 개구 주위에서 밀봉된 밀봉 플랜지를 포함하고,
    상기 벽은 상기 인터페이스 개구를 포함하는 인터페이스 패널을 포함하며,
    상기 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스는 상기 인터페이스 개구에 탑재되고,
    상기 장비 프론트 엔드 모듈은 상기 인터페이스 패널에 형성된 적어도 2개의 인터페이스 개구들을 더 포함하고,
    상기 적어도 2개의 인터페이스 개구들 중 제1 인터페이스 개구에 상기 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스가 탑재되고, 상기 적어도 2개의 인터페이스 개구들 중 제2 인터페이스 개구에 제2 장비 프론트 엔드 모듈이 탑재되는,
    장비 프론트 엔드 모듈.
  13. 제10 항에 있어서,
    상기 벽 내의 상기 인터페이스 개구 주위에서 밀봉된 상기 밀봉 플랜지는 클램프에 의해 상기 벽의 밀봉 표면 상으로 압축되는,
    장비 프론트 엔드 모듈.
  14. 메인프레임;
    상기 메인프레임에 커플링된 로드 락 조립체; 및
    상기 로드 락 조립체에 커플링된 가요성 밀봉부를 포함하는, 제10 항에 기재된 장비 프론트 엔드 모듈;을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 장치.
  15. 로드 락 조립체를 제공하는 단계;
    환경 제어들을 받는 장비 프론트 엔드 모듈 챔버를 갖는 캐비닛을 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈을 제공하는 단계 ― 상기 캐비닛은 벽, 및 상기 벽 내의 인터페이스 개구를 포함함 ―;
    제1 탑재 부재, 및 상기 제1 탑재 부재에 커플링된 가요성 밀봉부를 포함하는 장비 프론트 엔드 모듈 인터페이스를 제공하는 단계 ― 상기 가요성 밀봉부는 밀봉 플랜지를 포함함 ―;
    상기 인터페이스 개구 주위에 상기 밀봉 플랜지를 커플링시키고 밀봉하고, 상기 로드 락 조립체에 상기 제1 탑재 부재를 커플링시켜서, 상기 로드 락 조립체와 상기 캐비닛의 벽 사이를 밀봉하는 단계; 및
    가요성 밀봉부를 이용하여, 상기 로드 락 조립체와 상기 장비 프론트 엔드 모듈 사이에 존재하는 임의의 오정렬을 수용하는 단계;를 포함하고,
    상기 제1 탑재 부재는 기판 개구를 포함하는 직사각형 플레이트를 포함하며,
    상기 제1 탑재 부재는, 상기 로드 락 조립체를 수용하고 상기 기판 개구 주위에 커플링시키도록 구성되고,
    상기 기판 개구는 상기 직사각형 플레이트의 상반부 상에 위치되는,
    장비 프론트 엔드 모듈에 로드 락 조립체를 조립하는 방법.
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