JP6882467B2 - 可撓性機器フロントエンドモジュールインターフェース、環境制御された機器フロントエンドモジュール、及び組み付け方法 - Google Patents
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Description
本出願は、あらゆる目的のために全体が参照により本明細書に組み込まれている、2016年10月27日に出願された、「FLEXIBLE EQUIPMENT FRONT END MODULE INTERFACES ENVIRONMENTALLY-CONTROLLED EQUIPMENT FRONT END MODULES, AND ASSEMBLY METHODS」(代理人整理番号24308/USA)という名称の米国特許出願第15/336,279号に基づく優先権を主張する。
Claims (14)
- ロードロックアセンブリに連結するように構成された第1の取付け部材、及び
前記第1の取付け部材に連結された可撓性密封材を備え、
前記可撓性密封材が、機器フロントエンドモジュール内のインターフェース開口部の周りを密封するように構成された密封フランジを含み、
前記第1の取付け部材が基板開口部を含む矩形状プレートを備え、前記第1の取付け部材が前記基板開口部の周りで前記ロードロックアセンブリを受け入れ且つ前記ロードロックアセンブリを連結するように構成され、前記基板開口部が前記矩形状プレートの上半分に位置付けられている、機器フロントエンドモジュールインターフェース。 - 前記密封フランジが、複数の取付け孔を含む外側ガスケット部分を備える、請求項1に記載の機器フロントエンドモジュールインターフェース。
- 前記複数の取付け孔の少なくとも一部が、細長くなっている、請求項2に記載の機器フロントエンドモジュールインターフェース。
- ロードロックアセンブリに連結するように構成された第1の取付け部材、及び
前記第1の取付け部材に連結された可撓性密封材を備え、
前記可撓性密封材が、機器フロントエンドモジュール内のインターフェース開口部の周りを密封するように構成された密封フランジを含み、
前記密封フランジが、前記第1の取付け部材を取り囲む複数の突起部を備える、機器フロントエンドモジュールインターフェース。 - 前記複数の突起部は、前記第1の取付け部材を取り囲む蛇腹構造を形成するために、軸方向延在部分と側方延在及び/又は垂直延在部分を備える、請求項4に記載の機器フロントエンドモジュールインターフェース。
- 前記可撓性密封材が撓んでいない状態にあるときに、前記第1の取付け部材の密封面の第1の平面と前記可撓性密封材の密封面の第2の平面が、互いから軸方向にオフセットされている、請求項1に記載の機器フロントエンドモジュールインターフェース。
- 前記可撓性密封材が、撓んでいない状態から撓み、+/−10mmを超える軸方向のずれを可能にするように構成されている、請求項1に記載の機器フロントエンドモジュールインターフェース。
- 前記可撓性密封材が、撓んでいない状態から撓み、側方のずれ、垂直のずれ、又は傾きのずれのうちの1以上を可能にするように構成されている、請求項1に記載の機器フロントエンドモジュールインターフェース。
- 環境制御の対象となる機器フロントエンドモジュールチャンバを含むキャビネットであって、インターフェース開口部を有する壁を含むキャビネット、並びに
前記壁に連結された機器フロントエンドモジュールインターフェースを備え、
前記機器フロントエンドモジュールインターフェースが、
ロードロックアセンブリに連結するように構成された第1の取付け部材、及び
前記第1の取付け部材に連結された可撓性密封材を備え、前記可撓性密封材が、前記インターフェース開口部の周りで密封された密封フランジを含み、
前記第1の取付け部材が、基板開口部を含む矩形状プレートを備え、前記第1の取付け部材が前記基板開口部の周りで前記ロードロックアセンブリを受け入れ且つ前記ロードロックアセンブリを連結するように構成され、前記基板開口部が前記矩形状プレートの上半分に位置付けられている、機器フロントエンドモジュール。 - 前記壁が、前記インターフェース開口部を含むインターフェースパネルを含み、前記機器フロントエンドモジュールインターフェースが、前記インターフェース開口部内に取付けられている、請求項9に記載の機器フロントエンドモジュール。
- 環境制御の対象となる機器フロントエンドモジュールチャンバを含むキャビネットであって、インターフェース開口部を有する壁を含むキャビネット、並びに
前記壁に連結された機器フロントエンドモジュールインターフェースを備え、
前記機器フロントエンドモジュールインターフェースが、
ロードロックアセンブリに連結するように構成された第1の取付け部材、及び
前記第1の取付け部材に連結された可撓性密封材を備え、前記可撓性密封材が、前記インターフェース開口部の周りで密封された密封フランジを含み、
前記壁が、前記インターフェース開口部を含むインターフェースパネルを含み、前記機器フロントエンドモジュールインターフェースが、前記インターフェース開口部内に取付けられており、
前記機器フロントエンドモジュールが、前記インターフェースパネル内に形成された少なくとも2つのインターフェース開口部を更に備え、前記機器フロントエンドモジュールインターフェースが、前記少なくとも2つのインターフェース開口部のうちの第1のインターフェース開口部の内側に取付けられ、第2の機器フロントエンドモジュールインターフェースが、前記少なくとも2つのインターフェース開口部のうちの第2のインターフェース開口部の内側に取り付けられている、機器フロントエンドモジュール。 - 前記壁内の前記インターフェース開口部の周りで密封された前記密封フランジが、クランプによって前記壁の密封面上に圧縮されている、請求項9に記載の機器フロントエンドモジュール。
- メインフレーム
前記メインフレームに連結されたロードロックアセンブリ、及び
前記ロードロックアセンブリに連結された可撓性密封材を備える請求項9に記載の機器フロントエンドモジュールを備える、電子デバイス処理装置。 - ロードロックアセンブリを機器フロントエンドモジュールに組み付ける方法であって、
ロードロックアセンブリを提供すること、
環境制御の対象となる機器フロントエンドモジュールチャンバを有し且つ壁と前記壁内のインターフェース開口部を含むキャビネットを含む機器フロントエンドモジュールを提供すること、
第1の取付け部材と、前記第1の取付け部材に連結され且つ密封フランジを含む可撓性密封材と、を含む機器フロントエンドモジュールインターフェースを提供すること、
前記ロードロックアセンブリと前記キャビネットの前記壁との間を密封するために、前記インターフェース開口部の周りに前記密封フランジを連結して前記インターフェース開口部の周りで前記密封フランジを密封し、且つ、前記第1の取付け部材を前記ロードロックアセンブリに連結すること、及び
前記ロードロックアセンブリと前記機器フロントエンドモジュールとの間に存在する任意のずれに、前記可撓性密封材を用いて対応することを含み、
前記第1の取付け部材が基板開口部を含む矩形状プレートを備え、前記第1の取付け部材が前記基板開口部の周りで前記ロードロックアセンブリを受け入れ且つ前記ロードロックアセンブリを連結するように構成され、前記基板開口部が前記矩形状プレートの上半分に位置付けられている、方法。
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