TWI535961B - 真空截止閥 - Google Patents

Description

真空截止閥

本發明有關於真空截止閥。更具體地，有關於能夠對供給腔中吹掃氣體的管子進行選擇性的阻隔，藉由最大限度地減少安裝在用於阻隔管道的阻隔部的密封部件的磨損，藉以有效地維持腔內部的真空狀態的真空截止閥。

一般而言，半導體或液晶顯示裝置(LCD)製作步驟等，需要精密作業的步驟通常在如腔等與外部阻隔並始終保持一定溫度的空間內實施。當在腔的內部完成處理步驟時，將在腔的內部殘留因處理氣體導致的異物，藉由將腔中吹掃氣體注入到腔的內部，去除殘留在腔的內部的異物。此時，腔藉由管道等獨立的連接機構與吹掃氣體電離模組相連接，藉以獲得在吹掃氣體電離模組中實現電離的腔中吹掃氣體。

在吹掃氣體電離模組中實現電離的腔中吹掃氣體，為了加強步驟的處理量並提高吹掃率，被使用三氟化氮(NF3)。但，當吹掃氣體電離模組在對三氟化氮實施電離的過程中，因三氟化氮的氮(N)和氟(F)的離子，將發生腐蝕及故障等。因此，應定期或不定期地更換吹掃氣體電離模組。

腔為了確保步驟的效率化，腔內部的狀態需要維持步驟進行狀態，因此，在更換吹掃氣體電離模組期間內，也應保持與外部阻隔的狀態。即，腔應保持內部的真空並且防止內部的空氣和熱量外泄。在更換吹 掃氣體電離模組期間內，如果腔內部的空氣及熱量外泄，則腔內部的真空狀態及溫度將發生變化，藉以導致腔內部的步驟進行狀態發生改變。當腔內部的步驟進行狀態發生變化時，應重新提升腔內部的溫度，使其達到適合內部腔內部吹掃、真空及步驟的溫度。這將導致步驟時間的延遲，藉以明顯地降低整體步驟的產率。

但，根據以往的方式，不存在獨立的裝備能夠做到藉由安裝於腔和吹掃氣體電離模組相連接的管道並選擇性地阻隔管道，藉以保持腔與外部阻隔的狀態，因此，在更換吹掃氣體電離模組的情況下，存在著腔將無法保持與外部阻隔的狀態的問題。

為了解決上述技術問題，本發明的目的在於提供一種對腔和腔中吹掃氣體供給部相連接的管道進行選擇性地阻隔，藉以能夠易於保持腔與外部阻隔的狀態的真空截止閥。

本發明的目的不受限於上述提及的內容，本領域具通常知識者具通常知識者能夠藉由下述記載明確瞭解未提及的其他目的。

為了解決上述問題，根據本發明的實施例的真空截止閥，包括：外罩部，設置於腔和腔中吹掃氣體供給部之間，形成用於連接腔和腔中吹掃氣體供給部使其相連通的管道；管道阻隔部，形成於管道的預定位置，用於選擇性地阻隔管道；第一阻隔部，設置於外罩部，移動到第一方向並選擇性地阻隔管道阻隔部的開放的第一面，確保腔和腔中吹掃氣體供給部保持相連通的狀態；第二阻隔部，設置於外罩部，在第一阻隔部移動到第一方向的情況下，移動到第二方向並施壓於第一阻隔部，確保腔和腔 中吹掃氣體供給部保持相連通的狀態，而在第一阻隔部移動到第一方向的相反方向的情況下，移動到第二方向並通過第一面來插入到管道阻隔部，緊貼於第一面的對置面並阻隔管道，藉以阻隔腔和腔中吹掃氣體供給部的連通。

並且，第一方向和第二方向能夠相互直角交叉。

並且，在配置於管道阻隔部的第一面的對置方向的管道阻隔部的第二面，能夠形成有第一開口部用於通過從腔中吹掃氣體供給部所供給的腔中吹掃氣體，在與第二面相鄰的腔中吹掃氣體的第三面，能夠形成有第二開口部用於通過腔中吹掃氣體。

並且，在第一阻隔部移動到第一方向的相反方向的情況下，第二阻隔部移動到第二方向，通過第一面插入到管道阻隔部並緊貼於第二面，藉以能夠封堵第一開口部。

並且，外罩部具有從第一面延伸而形成的第一安裝孔和從第一安裝孔分支而形成的第二安裝孔，第一安裝孔和第二安裝孔能夠相互垂直地形成於外罩部。

並且，第一阻隔部能夠具有主體部，從第二安裝孔的一端部延伸，固定地設置於外罩部；第一移動部，設置於主體部的內部，可移動到第一方向；關節部件，與第一移動部的一側相結合，可移動到第一方向；第一開閉部，藉由與關節部件的一側相結合而移動到第一方向，選擇性地阻隔管道阻隔部的第一面。

並且，主體部的內部能夠以空心形狀形成，確保與第二安裝孔相連通。

並且，第一移動部能夠具有手柄部，可旋轉地設置於主體部的一側；旋轉軸，固定地設置於手柄部的中央，收容於主體部的內部；垂直移動部件，收容於主體部的內部，一側與關節部件相結合，另一側與旋轉軸進行螺紋結合，藉以可移動到第一方向。

並且，第一阻隔部更能夠具有第一波紋管部，用於連接主體部內部的一面和第一開閉部的一面，內部收容有垂直移動部件及關節部件。

並且，第一開閉部的截面能夠是“T”形狀。

並且，第一開閉部能夠在第一面的對置面設置有第一密封部件。

並且，第一密封部件能夠是O環。

並且，第二阻隔部能夠具有蓋部，固定地設置於第一安裝孔，在中央形成有耦合孔；第二移動部，與耦合孔進行螺紋結合，可移動到第二方向；第二開閉部，藉由與第二移動部的一側相結合而移動到第二方向，藉以施壓於第一阻隔部或選擇性地阻隔管道阻隔部。

並且，第二移動部在一側形成有緊固部，在第二開閉部的一面形成有收容部用於收容緊固部，緊固部能夠可旋轉地設於收容部內。

並且，第二阻隔部更能夠具有第二波紋管部，用於連接蓋部的一面和第二開閉部的一面，內部收容有第二移動部。

並且，第二開閉部能夠在緊貼於第二面的一面設置有第二密封部件。

並且，第二密封部件能夠是O環。

根據本發明的真空截止閥，藉由由第二阻隔部對形成於管道阻隔部的第二面的第一開口部進行選擇性的阻隔，藉以斷開腔和腔中吹掃氣體供給部相連通的狀態，能夠易於保持腔和外部相阻隔的狀態。

並且，根據本發明的真空截止閥，由第一阻隔部對管道阻隔部的開放的第一面進行阻隔，腔中吹掃氣體藉由外罩部從腔中吹掃氣體供給部供給到腔的期間內，能夠防止第二阻隔部處於腔中吹掃氣體中。即，藉由第一阻隔部防止第二阻隔部處於腔中吹掃氣體中，防止在第二阻隔部的一面上安裝的密封部件處於腔中吹掃氣體之中，藉以能夠防止第二阻隔部的密封部件因腔中吹掃氣體而導致被磨損。

並且，根據本發明的真空截止閥，由第二阻隔部對腔和腔中吹掃氣體供給部的連通狀態進行阻隔，藉以實現第一阻隔部的分離，因此，對包含密封部件的第一阻隔部易於進行維修。

本發明的效果不受限於上述提及的內容，本領域具通常知識者具通常知識者能夠藉由下述記載明確瞭解未提及的其他效果。

100‧‧‧真空截止閥

110‧‧‧外罩部

111‧‧‧管道

112‧‧‧第一安裝孔

113‧‧‧第二安裝孔

120‧‧‧管道阻隔部

130‧‧‧第一阻隔部

131‧‧‧主體部

132‧‧‧第一移動部

133‧‧‧手柄部

134‧‧‧旋轉軸

135‧‧‧垂直移動部件

136‧‧‧關節部件

137‧‧‧第一開閉部

138‧‧‧第一密封部件

139‧‧‧第一波紋管部

140‧‧‧第二阻隔部

141‧‧‧蓋部

142‧‧‧第二移動部

143‧‧‧緊固部

144‧‧‧第二開閉部

145‧‧‧收容部

146‧‧‧第二密封部件

147‧‧‧第二波紋管部

a‧‧‧第一方向

b‧‧‧第二方向

S110至S130、S210至S230‧‧‧步驟

第1圖是表示根據本發明的實施例的真空截止閥的立體圖。

第2圖是表示根據本發明的實施例的真空截止閥的內部的剖視圖。

第3圖是表示由本發明的第一阻隔部對管道阻隔部的第一面進行阻隔的順序的流程圖。

第4圖是表示本發明的真空截止閥的第一運行狀態的運行狀態圖。

第5圖是表示本發明的真空截止閥的第二運行狀態的運行狀態圖。

第6圖是表示由本發明的第二阻隔部對形成於管道阻隔部的第二面的第一開口部進行阻隔的順序的流程圖。

第7圖是表示本發明的真空截止閥的第三運行狀態的運行狀態圖。

第8圖是表示本發明的真空截止閥的第四運行狀態的運行狀態圖。

第9圖是表示本發明的真空截止閥的第五運行狀態的運行狀態圖。

本發明的目的及效果、並且，為了達到上述目的及效果的技術結構，將參照圖式和後述的實施方式得以進一步明確。在對本發明進行說明的過程中，如認為公開功能或結構相關具體說明可能對本發明的要旨造成不必要的混淆，則將省略相關具體說明。並且，下面所使用的術語是考慮到本發明的結構、作用及功能等而定義的術語，根據使用者、應用者的意圖或慣例等，能夠有所差異。

但，本發明並不限定於下述揭示的實施例，能夠以相互不同的各種形態呈現。提供本實施例僅僅是為了確保本發明的揭示更加全面，確保本領域具通常知識者更加完整地理解本發明的範疇，本發明僅由記載於本發明的保護範圍的技術手段的範圍所定義。因此，上述定義應基於本說明書的全部內容。

在說明書全文中，當表示某部分“包括、包含”或“具有”某結構要素時，除非另行特別相反的記載，表示不排除其他結構要素，而是能夠更包含其他結構要素。

以下，將參照圖式對根據本發明的實施例的真空截止閥進行詳細說明。

第1圖是表示根據本發明的實施例的真空截止閥100的立體圖。第2圖是表示根據本發明的實施例的真空截止閥100的內部的剖視圖。

參照第1圖及第2圖，真空截止閥100包括：外罩部110，設置於腔(未圖示)和腔中吹掃氣體供給部(未圖示)的之間，形成管道111用於連接腔和腔中吹掃氣體供給部使其相連通；管道阻隔部120，形成於管道111的預定位置，用於選擇性地阻隔管道111；第一阻隔部130，設置於外罩部110，移動到第一方向a並選擇性地阻隔管道阻隔部120的開放的第一面，確保腔和腔中吹掃氣體供給部保持相連通的狀態。並且，管道阻隔部120能夠包括並組成第二阻隔部140，設置於外罩部110，在第一阻隔部130移動到第一方向a的情況下，移動到第二方向b並施壓於第一阻隔部130，確保腔和腔中吹掃氣體供給部保持相連通的狀態，而在第一阻隔部130移動到第一方向a的相反方向的情況下，移動到第二方向b並通過第一面來插入到管道阻隔部120，緊貼於第一面的對置面並阻隔管道111，藉以阻隔腔和腔中吹掃氣體供給部的連通。

外罩部110在一面能夠與腔相結合。並且，外罩部110在另一面能夠與腔中吹掃氣體供給部相結合。外罩部110能夠通過在內部形成的管道111將由腔中吹掃氣體供給部所供給的腔中吹掃氣體輸送到腔。

外罩部110能夠形成有從管道阻隔部120的開放的第一面延伸而形成的第一安裝孔112。並且，外罩部110能夠具有從第一安裝孔112分支而形成的第二安裝孔113。此時，第一安裝孔112和第二安裝孔113能夠相互垂直地形成於外罩部110。

管道阻隔部120能夠形成於管道111的預定位置。管道阻隔部120能夠以預定形狀形成於管道111的預定位置。例如，管道阻隔部120能夠以六面體形狀形成於管道111的預定位置，但不限於上述例。

以下，為了方便說明，按照管道阻隔部120以六面體形狀形成的情況，將外罩部110的用於與第一安裝孔112相連通的開放的面定義為第一面，將與第一面相對置的面定義為第二面，將第一面和第二面相連接的面定義為第三面。

管道阻隔部120能夠以六面體形狀形成於管道111的預定位置。管道阻隔部120的內部能夠是空心。管道阻隔部120能夠將第一面處於開放狀態，以使下述的第二阻隔部140的第二開閉部144能夠插入其中。並且，管道阻隔部120能夠在佈置於第一面的對置方向的第二面形成有第一開口部(未圖示)，第一開口部能夠與外罩部110的管道相連接。並且，管道阻隔部120能夠在與第二面相鄰的第三面形成有第二開口部(未圖示)，第二開口部能夠與外罩部110的管道相連接。管道阻隔部120能夠藉由第一開口部及第二開口部輸送由腔中吹掃氣體供給部所供給的腔中吹掃氣體。

例如，當將腔中吹掃氣體從腔中吹掃氣體供給部供給到外罩部110的管道111時，管道阻隔部120藉由第一開口部實現腔中吹掃氣體的流入，所流入的腔中吹掃氣體排放到與第二開口部相連接的管道111，藉以能夠將腔中吹掃氣體供給到腔。

第一阻隔部130設置於外罩部110的第二安裝孔113，移動到第一方向a，藉以能夠對管道阻隔部120的第一面進行選擇性地阻隔。

第一阻隔部130具有主體部131。主體部131能夠固定地設置於外罩部110，以使從第二安裝孔113的一端部延伸。主體部131能夠利用獨立的耦合裝置與外罩部110相結合並固定其位置。獨立的耦合裝置，例如，能夠是螺絲等，但不局限於上述例。

主體部131的內部能夠是空心形狀，以使與第二安裝孔113相連通。並且，主體部131在與外罩部110相接觸的一面能夠設置獨立的防洩漏部件。因此，第一阻隔部130能夠防止腔中吹掃氣體洩漏到外罩部110的外部。

第一阻隔部130具有第一移動部132。第一移動部132設置於主體部131的內部，可移動到第一方向a。

第一移動部132能夠具有手柄部133，可旋轉地設置於主體部131的一側；旋轉軸134，固定地設置於手柄部133的中央，收容於主體部131的內部；以及，垂直移動部件135，收容於主體部131的內部，一側與下述的第一阻隔部130的關節部件136相結合，另一側與旋轉軸134進行螺紋結合，藉以可移動到第一方向a。第一移動部132在手柄部133沿著一側方向旋轉時，螺紋結合到旋轉軸134的垂直移動部件135能夠移動到第一方向a。

第一阻隔部130具有關節部件136。關節部件136的一側能夠與第一移動部132相結合。關節部件136的一側能夠與第一移動部132的垂直移動部件135相結合。因此，關節部件136能夠藉由垂直移動部件135移動到第一方向a。

關節部件136由多個關節所形成，能夠沿著一側方向彎曲，預定部分能夠旋轉。藉由關節部件136沿著一側方向彎曲，下述的第一阻隔部130的第一開閉部137能夠緊密緊貼於管道阻隔部120的第一面。並且，藉由關節部件136的預定部分的旋轉，第一阻隔部130的第一開閉部137，即便在垂直移動部件135一邊旋轉一邊沿著第一方向a或者第一方向a的相反方向移動的情況下，也能夠不旋轉。

第一阻隔部130具有第一開閉部137。第一開閉部137能夠與關節部件136的一側相結合。第一開閉部137藉由與關節部件136相結合，能夠移動到第一方向a。第一開閉部137移動到第一方向a並能夠配置於管道阻隔部120的第一面。第一開閉部137的一面由下述的第二阻隔部140的第二開閉部144進行施壓，藉以覆蓋第一面，進而能夠選擇性地對第一面進行阻隔。

第一開閉部137的截面能夠以“T”形狀所形成。在第一阻隔部130的一側形成的突出部分能夠卡止於外罩部110的一面。因此，在第一阻隔部130插入到外罩部110的內部的情況下，能夠防止第一阻隔部130的端部觸碰外罩部110的內側壁而受損。

第一開閉部137能夠在與管道阻隔部120的第一面對置的面設置第一密封部件138。第一密封部件138能夠呈O-環並設置於第一開閉部137的一面。此時，第一密封部件138的直徑能夠大於管道阻隔部120的第一面的對角線的長度。因此，第一開閉部137能夠藉由第一面有效地防止腔中吹掃氣體洩漏。

第一開閉部137能夠藉由引入預定深度而形成能夠設置第一密封部件138的密封槽(未圖示)。藉由將第一密封部件138的一部分插入到密封槽而能夠設置於第一開閉部137。因此，第一密封部件138在由第一開閉部137對管道阻隔部120的第一面進行阻隔期間內，減少與腔中吹掃氣體接觸的面積，藉以能夠減少因腔中吹掃氣體導致受損的部分。

第一阻隔部130更能夠具有可伸縮長度的第一波紋管部139。第一波紋管部139能夠設置成與主體部131的內部的一面和第一開閉部137的一面相連接。第一波紋管部139在內部收容有垂直移動部件135及關節部件136，藉以能夠防止垂直移動部件135及關節部件136外露。因此，即便由於第一開閉部137未徹底阻隔管道阻隔部120的第一面而導致腔中吹掃氣體洩漏，也能夠防止垂直移動部件135及關節部件136與腔中吹掃氣體相接觸。

並且，第一波紋管部139在設置於主體部131的部分能夠設置獨立的防洩漏部件。因此，能夠防止腔中吹掃氣體向主體部131的外部洩漏。

第二阻隔部140藉由設置在外罩部110的第一安裝孔112，移動到第二方向b並施壓於第一阻隔部130的第一開閉部137，或者通過管道阻隔部120的第一面並插入到管道阻隔部120的內部，緊貼於管道阻隔部120的第二面，藉以能夠封閉第二面上形成的第一開口部。即，本發明的真空截止閥100藉由第二阻隔部140對第一開口部進行封閉並對與腔或腔中吹掃氣體供給部相連接的管道進行阻隔，藉以能夠保持腔內部的封閉性。第二阻隔部140具有蓋部141。蓋部141固定地設置於第一安裝孔112， 在中央能夠形成耦合孔(未圖示)。蓋部141能夠藉由獨立的耦合裝置與外罩部110相結合並固定位置。獨立的耦合裝置能夠是螺絲等，但不局限於上述例。蓋部141在與外罩部110相接觸的一面能夠設置獨立的防洩漏部件。因此，第二阻隔部140能夠防止腔中吹掃氣體洩漏到外罩部110的外部。

第二阻隔部140具有第二移動部142。第二移動部142藉由與蓋部141的耦合孔進行螺紋結合，能夠移動到第二方向b。此時，第二方向b能夠和第一方向a相互直角交叉。

第二阻隔部140具有第二開閉部144。第二開閉部144能夠與第二移動部142的一側相結合。第二開閉部144藉由與第二移動部142相結合，能夠移動到第二方向b。此時，第二開閉部144能夠形成有收容部145，用於收容在第二移動部142的一側所形成的緊固部143。緊固部143能夠在收容部145內進行旋轉。即，即便第二移動部142旋轉的情況下，第二開閉部144也可能不會旋轉。

第二開閉部144在緊貼於管道阻隔部120的第二面的一面能夠設置第二密封部件146。第二密封部件146能夠呈O-環並設置於第二開閉部144。此時，第二密封部件146的直徑能夠大於第二面的第一開口部的直徑。因此，第二密封部件146能夠藉由第一開口部有效地阻隔腔內部和外部。

第二阻隔部140更能夠具有長度可伸縮的第二波紋管部147。第二波紋管部147能夠設置成與蓋部141的一面和第二開閉部144的一面相連接。第二波紋管部147內部收容著第二移動部142，能夠防止第二移動部142外露。因此，第二波紋管部147能夠保護第二移動部142防止受 到外部衝擊，即便由於第一開閉部137未能徹底阻隔管道阻隔部120的第一面而導致腔中吹掃氣體洩漏，第二移動部142也能夠防止腔中吹掃氣體的洩漏。

並且，第二波紋管部147能夠在設置於蓋部141的部分設置獨立的防洩漏部件。因此，能夠防止腔中吹掃氣體或腔內部的空氣洩漏到蓋部141的外部。

以下，將參照圖式對本發明的利用真空截止閥100的管道控制方法進行說明。

並且，以下為了方便說明，為了將第一開閉部137移動到第一方向a並為了將第二開閉部144移動到第二方向b而將手柄部133及第二移動部142所旋轉的方向作為順時針方向，為了將第一開閉部137移動到第一方向a的相反方向並為了將第二開閉部144移動到第二方向b的相反方向而將手柄部133及第二移動部142所旋轉的方向作為逆時針方向進行說明。

第3圖是表示由本發明的第一阻隔部對管道阻隔部的第一面進行阻隔的順序的流程圖。第4圖是表示本發明的真空截止閥100的第一運行狀態的運行狀態圖。第5圖是表示本發明的真空截止閥100的第二運行狀態的運行狀態圖。

參照第3圖至第5圖，第一阻隔部130的第一開閉部137移動到第一方向a並配置於管道阻隔部120的第一面的上部(S110，參照第4圖)。此時，第一開閉部137能夠藉由第一移動部132移動到第一方向a。例如，當第一移動部132的手柄部133沿著順時針方向旋轉時，固定地設置於手柄部133的中央的旋轉軸134能夠順時針方向旋轉。此時，手柄部133能夠由 工作人員進行旋轉或與獨立的旋轉部件相結合進行旋轉，但不限於上述例，本發明能夠包含可手動或自動旋轉手柄部133的所有構成及結構。手柄部133在旋轉期間內，固定在主體部131，螺紋結合到旋轉軸134的垂直移動部件135能夠沿著旋轉軸134的螺紋而移動到第一方向a。當垂直移動部件135移動到第一方向a時，與垂直移動部件135相結合的關節部件136和與關節部件136相結合的第一開閉部137能夠移動到第一方向a。因此，第一開閉部137能夠配置於管道阻隔部120的第一面的上部。

第二阻隔部140的第二開閉部144移動到第二方向b並施壓於第一阻隔部130的第一開閉部137的一面(S120，參照第5圖)。此時，第二開閉部144能夠藉由第二移動部142移動到第二方向b。例如，第二移動部142在螺紋結合於蓋部141的狀態下，能夠順時針方向旋轉。此時，第二移動部142能夠由工作人員進行旋轉或與獨立的旋轉部件相結合進行自動旋轉，但不限於例，本發明能夠包含可手動或自動旋轉第二移動部142的所有構成及結構。第二移動部142旋轉時，蓋部141固定在外罩部110，因此，螺紋結合到蓋部141的第二移動部142能夠移動到第二方向b。當第二移動部142移動到第二方向b時，與第二移動部142相結合的第二開閉部144也能夠移動到第二方向b。因此，第二開閉部144能夠施壓於第一開閉部137的一面。

當第二開閉部144移動到第二方向b並施壓於第一開閉部137的一面時，第一開閉部137將移動到第二方向b並對管道阻隔部120的第一面進行阻隔(S130，參照第5圖)。此時，在第一開閉部137的一側結合有可沿著一個方向彎曲的關節部件136，因此，第一開閉部137在配置於管道 阻隔部120的第一面的上部的位置上，以保持水準的狀態移動到第二方向b，能夠覆蓋第一面。當第一開閉部137覆蓋第一面時，形成於管道阻隔部120的第二面的第一開口部及形成於第三面的第二開口部將保持開口狀態，藉以能夠保持腔和腔中吹掃氣體供給部相連通的狀態。當腔和腔中吹掃氣體供給部保持相連通的狀態時，由腔中吹掃氣體供給部所供給的腔中吹掃氣體將通過本發明的真空截止閥100，藉以能夠易於供給到腔。

另外，由第一開閉部137覆蓋管道阻隔部120的第一面時，第二開閉部144的位置被固定，藉以能夠防止第一開閉部137移動到第二方向b的相反方向。因此，第一開閉部137藉由保持緊貼於第一面的狀態，藉以能夠防止腔中吹掃氣體洩漏到第一面。

並且，因第一開閉部137導致第一面被阻隔，腔中吹掃氣體無法流入到外罩部110的內部，藉以第二開閉部144不會暴露在腔中吹掃氣體中。因此，能夠防止第二開閉部144和設置於第二開閉部144的一面的第二密封部件146因腔中吹掃氣體而受損。

第6圖是表示由本發明的第二阻隔部140對形成於管道阻隔部120的第二面的第一開口部進行阻隔的順序的流程圖。第7圖是表示本發明的真空截止閥100的第三運行狀態的運行狀態圖。第8圖是表示本發明的真空截止閥100的第四運行狀態的運行狀態圖。第9圖是表示本發明的真空截止閥100的第五運行狀態的運行狀態圖。

參照第6圖至第9圖，第二阻隔部140的第二開閉部144移動到第二方向b的相反方向(S210，參照第7圖)。此時，第二開閉部144藉由第二移動部142能夠移動到第二方向b的相反方向。例如，第二移動部142 能夠在螺紋結合於蓋部141的狀態下逆時針方向旋轉。當第二移動部142旋轉時，蓋部141固定在外罩部110，因此，螺紋結合於蓋部141的第二移動部142能夠移動到第二方向b的相反方向。當第二移動部142移動到第二方向b的相反方向時，與第二移動部142相結合的第二開閉部144也能夠移動到第二方向b的相反方向。當第二開閉部144移動到第二方向b的相反方向時，第一開閉部137能夠被解除施壓。

當第一開閉部137被解除施壓時，能夠移動到第二方向b的相反方向，並移動到從管道阻隔部120的第一面相隔預定間隔的位置。

當第一開閉部137移動到從管道阻隔部120的第一面相隔預定間隔的位置時，第一開閉部137移動到第一方向a的相反方向(S220，參照第8圖)。此時，第一開閉部137藉由第一移動部132能夠移動到第一方向a的相反方向。例如，當第一移動部132的手柄部133沿著逆時針方向旋轉時，旋轉軸134沿著逆時針方向旋轉，螺紋結合於旋轉軸134的垂直移動部件135，沿著旋轉軸134的螺紋，移動到第一方向a的相反方向，第一開閉部137能夠移動到第一方向a的相反方向。

第一開閉部137移動到第一方向a的相反方向並從管道阻隔部120的第一面的上部移開時，第二開閉部144移動到第二方向b並緊貼於管道阻隔部120的第二面(S230，參照第9圖)。此時，隨著第二移動部142進行順時針方向的旋轉，第二開閉部144能夠移動到第二方向b。當第二開閉部144緊貼於管道阻隔部120的第二面時，形成於第二面的第一開口部能夠被封閉(S230，參照第9圖)。隨著第一開口部因第二開閉部144被封閉， 腔和腔中吹掃氣體供給部相連通的狀態能夠被阻隔。即，由腔中吹掃氣體供給部所供給的腔中吹掃氣體不會供給到腔，腔內部的空氣不會外泄。

並且，如上所述，由於腔和腔中吹掃氣體供給部相連通，由腔中吹掃氣體供給部所供給的腔中吹掃氣體供給到腔時，由第一開閉部137阻隔管道阻隔部120的第一面，第二開閉部144不會暴露於腔中吹掃氣體中，藉以設置於第二開閉部144的一面的第二密封部件146將處於不會被磨損的狀態。因此，第二開閉部144藉由不會被磨損的第二密封部件146，有效地封閉第一開口部，防止腔內部的空氣外泄，藉以能夠有效地保持腔與外部阻隔的狀態。

以上，對本發明的實施例進行了說明，但，本領域具通常知識者在記載於技術手段範圍的本發明的技術思想範圍內，藉由結構因素的附加、變更、刪除或補充等，能夠對本發明進行各種修改及變更，上述修改及變更也應納入本發明的保護範圍。

100‧‧‧真空截止閥

110‧‧‧外罩部

111‧‧‧管道

112‧‧‧第一安裝孔

113‧‧‧第二安裝孔

120‧‧‧管道阻隔部

130‧‧‧第一阻隔部

131‧‧‧主體部

132‧‧‧第一移動部

133‧‧‧手柄部

134‧‧‧旋轉軸

135‧‧‧垂直移動部件

136‧‧‧關節部件

137‧‧‧第一開閉部

138‧‧‧第一密封部件

139‧‧‧第一波紋管部

140‧‧‧第二阻隔部

141‧‧‧蓋部

142‧‧‧第二移動部

143‧‧‧緊固部

144‧‧‧第二開閉部

145‧‧‧收容部

146‧‧‧第二密封部件

147‧‧‧第二波紋管部

a‧‧‧第一方向

b‧‧‧第二方向

Claims (17)

1. 一種真空截止閥，其包括：外罩部，設置於腔和腔中吹掃氣體供給部之間，形成用於連接該腔和該腔中吹掃氣體供給部使其相連通的管道；管道阻隔部，形成於該管道的預定位置，用於選擇性地阻隔該管道；第一阻隔部，設置於該外罩部，移動到第一方向並選擇性地阻隔該管道阻隔部的開放的第一面，確保該腔和該腔中吹掃氣體供給部保持相連通的狀態；第二阻隔部，設置於該外罩部，在該第一阻隔部移動到該第一方向的情況下，移動到第二方向並施壓於該第一阻隔部，確保該腔和該腔中吹掃氣體供給部保持相連通的狀態，而在該第一阻隔部移動到該第一方向的相反方向的情況下，移動到該第二方向並通過該第一面來插入到該管道阻隔部，緊貼於該第一面的對置面並阻隔該管道，藉以阻隔該腔和該腔中吹掃氣體供給部的連通。
2. 如申請專利範圍第1項所述之真空截止閥，其中該第一方向和該第二方向相互直角交叉。
3. 如申請專利範圍第1項所述之真空截止閥，其中在配置於該管道阻隔部的該第一面的對置方向的該管道阻隔部的第二面，形成有第一開口部用於通過從該腔中吹掃氣體供給部所供給的腔中吹掃氣體，在與該第二面相鄰的該腔中吹掃氣體的第三面，形成有第二開口部用於通過該腔中吹掃氣體。
4. 如申請專利範圍第3項所述之真空截止閥，其中在該第一阻隔 部移動到該第一方向的相反方向的情況下，該第二阻隔部移動到該第二方向，通過該第一面插入到該管道阻隔部並緊貼於該第二面，藉以封堵該第一開口部。
5. 如申請專利範圍第3項所述之真空截止閥，其中該外罩部具有從該第一面延伸而形成的第一安裝孔和從該第一安裝孔分支而形成的第二安裝孔，該第一安裝孔和該第二安裝孔相互垂直地形成於該外罩部。
6. 如申請專利範圍第5項所述之真空截止閥，其中該第一阻隔部具有主體部，從該第二安裝孔的一端部延伸，固定地設置於該外罩部；第一移動部，設置於該主體部的內部，可移動到該第一方向；關節部件，與該第一移動部的一側相結合，可移動到該第一方向；第一開閉部，藉由與該關節部件的一側相結合而移動到該第一方向，藉以選擇性地阻隔該管道阻隔部的該第一面。
7. 如申請專利範圍第6項所述之真空截止閥，其中該主體部的內部以空心形狀形成，以確保與該第二安裝孔相連通。
8. 如申請專利範圍第6項所述之真空截止閥，其中該第一移動部具有手柄部，可旋轉地設置於該主體部的一側；旋轉軸，固定地設置於該手柄部的中央，收容於該主體部的內部；垂直移動部件，收容於該主體部的內部，一側與該關節部件相結合，另一側與該旋轉軸進行螺紋結合，藉以可移動到該第一方向。
9. 如申請專利範圍第8項所述之真空截止閥，其中該第一阻隔部更具有第一波紋管部，用於連接該主體部內部的一面和該第一開閉部的一面，內部收容有該垂直移動部件及該關節部件。
10. 如申請專利範圍第6項所述之真空截止閥，其中該第一開閉部的截面為“T”形狀。
11. 如申請專利範圍第6項所述之真空截止閥，其中該第一開閉部在該第一面的對置面設置有第一密封部件。
12. 如申請專利範圍第11項所述之真空截止閥，其中該第一密封部件為O環。
13. 如申請專利範圍第5項所述之真空截止閥，其中該第二阻隔部具有蓋部，固定地設置於該第一安裝孔，在中央形成有耦合孔；第二移動部，與該耦合孔進行螺紋結合，可移動到該第二方向；第二開閉部，藉由與該第二移動部的一側相結合而移動到該第二方向，藉以施壓於該第一阻隔部或選擇性地阻隔該管道阻隔部。
14. 如申請專利範圍第13項所述之真空截止閥，其中該第二移動部在一側形成有緊固部，在該第二開閉部的一面形成有收容部用於收容該緊固部，該緊固部可旋轉地設於該收容部內。
15. 如申請專利範圍第13項所述之真空截止閥，其中該第二阻隔部更具有第二波紋管部，用於連接該蓋部的一面和該第二開閉部的一面，內部收容有該第二移動部。
16. 如申請專利範圍第13項所述之真空截止閥，其中該第二開閉部在緊貼於該第二面的一面設置有第二密封部件。
17. 如申請專利範圍第16項所述之真空截止閥，其中該第二密封部件為O環。