KR102519677B1 - 슬릿밸브 - Google Patents

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KR102519677B1 KR1020220137336A KR20220137336A KR102519677B1 KR 102519677 B1 KR102519677 B1 KR 102519677B1 KR 1020220137336 A KR1020220137336 A KR 1020220137336A KR 20220137336 A KR20220137336 A KR 20220137336A KR 102519677 B1 KR102519677 B1 KR 102519677B1
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한정렬
박종하
박도령
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(주)사이언스프로버
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Abstract

본 발명은 주로 반도체나 디스플레이 제조설비용으로 사용되는 슬릿밸브에 관한 것으로서, 게이트를 갖는 밸브 바디부; 상기 밸브 바디부의 하부에 결합되는 본체 바디부; 상기 밸브 바디부의 내측에 위치되고, 위치 이동에 의해 게이트를 개폐하는 개폐블레이드; 상기 본체 바디부의 내측에 구비되고, 상기 개폐블레이드를 승강 이동시킴에 의해 게이트를 개폐하도록 결합되는 구동유닛부;를 포함하며, 상기 구동유닛부는, 중앙에 1개의 작동링크부재를 수직 배치하고 좌우측 방향으로의 스윙에 의한 회전운동이 가능하게 설치하되, 1개의 작동링크부재에 대한 좌우측 스윙 회전시 수직LM가이드의 안내를 통해 승강 이동이 병행되게 설치함으로써 결합되는 개폐블레이드가 개폐기능을 수행하도록 구동 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 밸브 측 게이트의 개폐를 위해 개폐블레이드를 구동하는 구동유닛에 대해 1개의 작동링크부재와 수직LM가이드를 활용함으로써 간단한 구성으로 이루어지고, 특히 밸브 측 게이트의 개폐에 따른 구동유닛 측 오작동 확률을 낮출 수 있어 기존에 비해 슬릿밸브의 개페 동작에 따른 정확성 및 신뢰성을 제고할 수 있다.

Description

슬릿밸브{SLIT VALVE}
본 발명은 주로 반도체나 디스플레이 제조설비용으로 사용되는 슬릿밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 밸브 측 게이트의 개폐를 위해 개폐블레이드를 구동하는 구동유닛에 대해 간단한 구성으로 이루어질 수 있게 함으로써 밸브 측 게이트의 개폐에 따른 구동유닛 측 오작동 확률을 낮출 수 있도록 하며 제품 정확성 및 신뢰성을 제고할 수 있도록 한 슬릿밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체나 디스플레이 등의 제조공정에 있어서는 공정상의 정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 더불어 특수한 제조기술이 요구되고 있다.
이러한 이유로 다수의 공정들은 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 차단하기 위해 진공상태에서 수행되는데, 이때 제조설비에 있어서는 진공 작업구역과 대기와의 밀폐처리기술 또한 생산되는 제품의 품질에 지대한 영향을 주게 된다.
한편, 반도체나 디스플레이 등을 위한 제조공정을 수행함에 있어, 공정가스 등의 투입 및 차단 등을 위해 개폐기능을 담당하는 슬릿밸브 등을 비롯한 각종 밸브가 설치되어 사용되고 있다.
상기 슬릿밸브는 반도체 필수공정인 식각 공정이나 증착 공정 등에 있어 공정수가 증가되고 있고, 이로 인해 높은 라디칼 및 독성 분위기 가스의 사용이 함께 증가하고 있는데, 높은 성능과 내구성이 요구되고 있다.
특히, 상기 슬릿밸브는 제조공정상 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)나 프로세스 챔버(process chamber)의 사이에 위치하는 밸브로서, 적용 위치에서의 특성상 높은 성능과 내구성이 더욱 요구되고 있다.
이와 같은 상기 슬릿밸브는 종래기술에 있어, 밸브 측 개폐 동작을 위한 구조로서 작동링크부재를 다수 접목하는 구동타입이 활용되고 있으나, 앞서 기술한 바와 같이 식각 공정이나 증착 공정의 공정수가 증가되고 있고, 높은 라디칼 및 독성 분위기 가스의 사용이 함께 증가하고 시점에서 다수의 작동링크부재에 의한 구동 구조를 갖는 종래 슬릿밸브는 3개 내지 6개 등 다수의 링크 수 및 이들의 결합관계에 따른 복잡한 구조를 이루고 있어 밸브의 개폐동작시 오작동 확률이 높은 문제점이 있었다.
또한, 종래 슬릿밸브는 부품 사용이 많으므로 가격 절감에 어려움이 있고, 수명이 짧으며, 개폐 구동을 위한 응답속도 및 누설율을 줄이는데 기술적인 한계가 있었다.
한편, 슬릿밸브 관련, 국내 선행기술로서는 국내등록특허 제10-2228429호에서 개시하는 것으로서, 전면에 이동로가 형성되는 상부하우징; 상기 상부하우징의 하부에 결합되는 본체하우징; 상기 상부하우징의 내측에 위치되어 상기 이동로를 개폐하는 개폐블레이드; 상기 개폐블레이드의 하부에 결합되는 메인샤프트; 상기 본체하우징의 내측에 위치되어 상기 메인샤프트를 상, 하 방향으로 이동시키는 승강샤프트가 포함된 한 쌍의 승강실린더; 상기 본체하우징의 내측에 위치되어 상기 메인샤프트를 전, 후 방향으로 이동시키는 푸쉬피스톤이 포함된 한 쌍의 푸쉬실린더; 상기 승강실린더 및 상기 푸쉬실린더에 연결되어 상기 승강실린더에 의해 상기 메인샤프트가 상승한 후 상기 푸쉬실린더에 의해 상기 승강실린더와 별개로 상기 메인샤프트의 전진 또는 후진 이동을 가이드하는 수평이동가이드블럭부; 및 상기 본체하우징의 내측에 구비되어 상기 승강실린더 및 상기 푸쉬실린더에 에어를 공급하고 배기하여 공압을 조절하는 에어블럭;을 포함하는 슬릿밸브"를 참조할 수 있다.
또한, 국내등록특허 제10-1846005호에서 개시하는 것으로서, "챔버를 밀폐시키는 실플레이트부와, 상기 실플레이트부를 이동시키는 미들블럭부, 상기 미들블럭부의 상부에 탈부착 가능하게 결합하여 압력을 조절하는 에어라인부 및 상기 미들블럭부의 하부에 탈부착 가능하게 결합하는 벤트라인부를 포함하고 챔버를 밀폐시키는 플레이트유닛; 상기 플레이트유닛을 수용하고 측면에 상기 챔버와 연통되는 게이트를 포함하는 하우징; 상기 하우징의 하부와 결합하며 상기 플레이트유닛을 상하로 이동시키는 구동유닛; 및 상기 플레이트유닛과 구동유닛을 제어하는 제어부;를 포함하는 슬릿밸브"를 참조할 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-2228429호 대한민국 등록특허공보 제10-1846005호
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해소 및 이를 감안하여 안출된 것으로서, 밸브 측 게이트의 개폐를 위해 개폐블레이드를 구동하는 구동유닛에 대해 간단한 구성으로 이루어질 수 있게 함으로써 밸브 측 게이트의 개폐에 따른 구동유닛 측 오작동 확률을 낮출 수 있도록 하며 제품의 정확성 및 신뢰성을 제고할 수 있도록 한 슬릿밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 사용시 높은 성능과 내구성을 확보할 수 있도록 하며 안정된 동작 특성을 발휘할 수 있도록 한 슬릿밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 기존에 비해 부품의 사용수를 절감하여 제작비용을 절감할 수 있도록 하면서도 사용 수명을 연장할 수 있도록 하며, 개폐 구동시 응답속도는 보다 신속하게 제어하면서 누설율은 극소화하는 등 공정가스의 누설발생을 방지할 수 있도록 한 슬릿밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 슬릿밸브는, 게이트를 갖는 밸브 바디부; 상기 밸브 바디부의 하부에 결합되는 본체 바디부; 상기 밸브 바디부의 내측에 배치되고, 위치 이동에 의해 게이트를 개폐하는 개폐블레이드; 상기 본체 바디부의 내측에 구비되고, 상기 개폐블레이드를 승강 이동시킴에 의해 게이트를 개폐하도록 결합되는 구동유닛부;를 포함하며, 상기 구동유닛부는, 중앙에 1개의 작동링크부재를 수직 배치하고 좌우측 방향으로의 스윙에 의한 회전운동이 가능하게 설치하되, 1개의 작동링크부재에 대한 좌우측 스윙 회전시 수직LM가이드의 안내를 통해 승강 이동이 병행되게 설치함으로써 결합되는 개폐블레이드가 개폐기능을 수행하도록 구동 제어하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 구동유닛부는, 상기 본체 바디부의 내측 하부에 위치되어 공압의 공급 또는 배기시 좌우측 방향으로 위치 이동하게 설치되는 좌우이동체; 상기 본체 바디부의 내측 중간부의 좌우측에 각각 위치되어 한쌍 구조로 구비 및 수직 배치되는 수직LM가이드; 상기 한쌍 구조를 갖는 수직LM가이드에 양측단부가 지지 결합되어 상하 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 구비되는 승강브래킷; 상기 좌우이동체의 일측단부에 하단부가 힌지 결합되고 상단부가 승강브래킷에 힌지 결합되어 회동(回動) 가능하게 구비되는 작동링크부재; 상기 승강브래킷의 좌우 양측부에 위치되어 하단부가 결합되고 상단부가 개폐블레이드에 결합되는 연결샤프트;를 포함하는 구성일 수 있다.
여기에서, 상기 좌우이동체가 내재된 채로 일측단부가 관통에 의해 노출 배치되게 하고 좌우이동체를 지지하며 좌우측 이동에 따른 위치를 제한하는 실린더공간부; 상기 실린더공간부의 반대쪽에 위치되고, 수평 배치되는 수평LM가이드; 상기 수평LM가이드 상에 슬라이드 이동 가능하도록 지지 결합되는 수평LM블록; 상기 수평LM블록의 상면에 체결 조립되는 것으로서, 작동링크부재를 힌지 결합하기 위한 작동링크부재 체결부와 좌우이동체의 관통 노출부분 측 끝단부를 지지 고정하는 좌우이동체 체결부를 상하부에 위치시켜 일체로 갖는 체결브래킷;을 포함하며, 상기 좌우이동체의 좌우측 위치 이동과 더불어 작동링크부재의 스윙 회전을 동시에 가이드 및 원활하면서도 안정된 동작 수행이 이루어지도록 하는 구성일 수 있다.
여기에서, 상기 연결샤프트에는 외면에 벨로우즈관이 삽입 배치되고, 상기 벨로우즈관의 하단면을 지지하도록 삽입 배치되는 스페이서, 상기 스페이서와 벨로우즈관의 하단부를 커버하도록 삽입 배치되는 지지파이프, 상기 스페이서와 연결샤프트의 사이에 개재되는 제1오링, 상기 스페이서와 지지파이프의 사이에 개재되는 제2오링, 상기 지지파이프의 상면에 삽입 배치되는 제3오링을 포함하는 구성일 수 있다.
여기에서, 상기 개폐블레이드의 위치 감지를 통해 현재 게이트가 개방상태인지 또는 폐쇄상태인지를 체크하는 위치감지부; 상기 위치감지부에서의 개폐블레이드 측 위치 감지신호에 따라 현재 게이트가 개방상태인지 또는 폐쇄상태인지를 표시하는 LED표시부;를 포함하는 구성일 수 있다.
여기에서, 상기 슬릿밸브는 1.4 bar의 기압에서 1×10-9 mbar의 압력범위, 허용온도 230℃ 이하, 누설율 1×10-9 Pa·㎥/sec 미만, 개폐시 응답속도 0.5 sec 이하의 성능을 만족하는 구성일 수 있다.
본 발명에 따르면, 밸브 측 게이트의 개폐를 위해 개폐블레이드를 구동하는 구동유닛에 대해 1개의 작동링크부재와 수직LM가이드를 활용함으로써 간단한 구성으로 이루어지고, 특히 밸브 측 게이트의 개폐에 따른 구동유닛 측 오작동 확률을 낮출 수 있어 기존에 비해 슬릿밸브의 개페 동작에 따른 정확성 및 신뢰성을 제고할 수 있는 유용함을 달성할 수 있다.
본 발명에 따르면, 밸브의 사용시 높은 성능과 내구성을 확보할 수 있으며, 안정된 동작 특성을 발휘할 수 있는 유용함을 달성할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기존 제품에 비해 부품의 사용수를 절감하여 제작비용을 절감할 수 있으면서도 사용 수명을 연장할 수 있고, 개폐 구동시 응답속도는 보다 신속하게 제어하면서 누설율은 극소화하는 등 공정가스의 누설발생을 방지할 수 있는 유용함을 달성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿밸브를 나타낸 외관 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿밸브에 있어 구동유닛부를 갖는 본체 바디부를 나타낸 요부 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿밸브에 있어 개폐블레이드를 구동하는 구동유닛부를 나타낸 요부 단면도이다.
도 4는 도 3에 있어 A부분을 나타낸 상세도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿밸브를 나타낸 일 측면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿밸브에 있어 개폐블레이드를 구동하는 구동유닛부를 나타낸 요부 상세 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿밸브에 있어 개폐블레이드를 구동하는 구동유닛부를 나타낸 요부 상세 사시도이다.
본 발명에 대해 첨부한 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같으며, 이와 같은 상세한 설명을 통해서 본 발명의 목적과 구성 및 그에 따른 특징들을 보다 잘 이해할 수 있게 될 것이다.
도 1 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿밸브를 설명하기 위해 나타낸 도면들이다.
본 발명의 실시예에 따른 슬릿밸브(100)는 도 1 내지 도 7에 나타낸 바와 같이, 개방된 구조의 게이트(111)를 갖는 밸브 바디부(110)와, 상기 밸브 바디부(110)의 하부에 결합되는 본체 바디부(120)와, 상기 밸브 바디부(110)의 내측에 배치되고 위치 이동에 의해 게이트(111)를 개폐하는 개폐블레이드(130)와, 상기 본체 바디부(120)의 내측에 구비되고 상기 개폐블레이드(130)를 승강 이동시킴에 의해 밸브 바디부(110) 측 게이트(111)를 개폐하도록 결합되는 구동유닛부(140)를 포함하는 구성으로 이루어진다.
상기 밸브 바디부(110)의 게이트(111)는 보통 챔버 등 반도체나 디스플레이 제조공정에 사용되는 공정장비와 연통되게 배치되며, 개구와 같이 개방된 공간으로 구비된다.
상기 밸브 바디부(110)는 판형의 하우징 구조로 구비된다.
상기 본체 바디부(120)는 상기 구동유닛부(140)를 내측에 설치하기 위한 판형의 하우징 구조로서, 상기 구동유닛부(140)의 각 구성요소에 대한 고정 및 지지를 위한 프레임 등을 포함한다.
상기 개폐블레이드(130)는 플레이트 타입의 구조체로 구비되며, 상기 밸브 바디부(110)의 게이트(111) 영역을 개폐하기 위한 구성요소이다.
상기 구동유닛부(140)는 중앙에 1개의 작동링크부재(144)를 수직 배치하고 좌우측 방향으로의 스윙에 의한 회전운동이 가능하게 설치하되, 1개의 작동링크부재에 대한 좌우측 스윙 회전시 수직LM가이드(142)의 안내를 통해 승강 이동이 병행되게 설치함으로써 결합되는 개폐블레이드(130)가 안정적으로 개폐기능을 수행하도록 구동 제어하기 위한 구성요소이다.
이를 위해, 상기 구동유닛부(140)는 좌우이동체(141), 수직LM가이드(142), 승강브래킷(143), 작동링크부재(144), 및 연결샤프트(145)를 포함한다.
상기 좌우이동체(141)는 상기 본체 바디부(110)의 내측 하부에 위치되어 공압의 공급 또는 배기시 좌우측 방향으로 위치 이동하게 설치되는 구성요소이다.
상기 좌우이동체(141)는 실린더부재라 할 수 있으며, 원판형 몸체의 실린더부와 샤프트형 몸체의 로드부로 이루어진다.
이때, 상기 좌우이동체(141)는 일반적인 실린더 몸체를 사용하여도 무방하나, 판형의 하우징 구조인 본체 바디부(120) 측 슬림 구조 및 효과적인 구조배치설계를 위해 도시한 바와 같은 좌우이동체(141)로 구성함이 더욱 바람직하다.
상기 수직LM가이드(142)는 승강을 가이드하는 승강 가이드레일로서, 상기 본체 바디부(120)의 내측 중간부의 좌우측에 각각 위치되어 한쌍 구조로 구비 및 수직 배치된다.
상기 수직LM가이드(142)는 상기 본체 바디부(120)의 내측 하단부에 구비되는 실린더공간부의 상측에 위치된다.
상기 승강브래킷(143)은 상기 한쌍의 배치 구조를 갖는 수직LM가이드(142)에 양측단부가 지지 결합되어 상하 방향으로 슬라이드 이동이 가능하게 구비되는 승강이동체이다.
상기 승강브래킷(143)에는 상기 수직LM가이드(142)와의 매칭 결합을 위한 LM블록 등의 매칭결합부가 구비된다.
상기 승강브래킷(143)은 블럭체나 프레임 등의 몸체로 다양하게 구성할 수 있으며, 상기 작동링크부재(144)와 힌지핀 체결에 의한 조립이 가능하도록 구비된다.
상기 작동링크부재(144)는 상기 좌우이동체(141)의 일측단부에 하단부가 힌지 결합되고 상단부가 승강브래킷(143)에 힌지 결합되어 회동(回動) 가능하게 구비된다.
상기 작동링크부재(144)는 좌우측 방향으로 스윙 회전 가능하도록 구비된다.
상기 연결샤프트(145)는 상기 승강브래킷(143)의 좌우 양측부에 위치되는 한쌍 구조로 구비 및 수직 배치되는 것으로서, 그 하단부가 승강브래킷에 결합되고 상단부가 개폐블레이드(130)에 결합된다.
이때, 상기 연결샤프트(145)에는 외면에 벨로우즈관(151)이 삽입 배치되고, 스페이서(152)와 지지파이프(153) 및 제1오링(154) 내지 제3오링(156)을 삽입 배치하는 구성일 수 있다.
상기 스페이서(152)는 상기 벨로우즈관(151)의 하단면을 지지하도록 연결샤프트(145) 상에 삽입 배치된다.
상기 지지파이프(153)는 상기 스페이서(152)와 벨로우즈관(151)의 하단부를 커버하도록 삽입 배치된다.
상기 제1오링(154)은 상기 스페이서(152)와 연결샤프트(145)의 사이에 개재되고, 상기 제2오링(155)은 상기 스페이서(152)와 지지파이프(153)의 사이에 개재되며, 상기 제3오링(156)은 상기 지지파이프(153)의 상면에 삽입 배치된다.
또한, 본 발명에서는 상기 좌우이동체(141)가 내재된 채로 일측단부가 관통에 의해 노출 배치되게 하고 좌우이동체(141)를 지지하며, 공압의 공급 또는 배기에 따른 좌우측 이동을 가이드하면서 좌우측 이동에 따른 위치를 제한하도록 하기 위해 본체 바디부(120)의 내측 하단부로 실린더공간부(121)가 구비된다.
그리고, 상기 실린더공간부(121)의 반대쪽에 위치되고 수평 배치되는 수평LM가이드(146)와, 상기 수평LM가이드(146) 상에 슬라이드 이동 가능하도록 지지 결합되는 수평LM블록(147)과, 상기 수평LM블록(147)의 상면에 체결 조립되는 것으로서 상기 작동링크부재(144)를 힌지 결합하기 위한 작동링크부재 체결부(148a)와 좌우이동체(141)의 관통 노출부분 측 끝단부를 지지 고정하는 좌우이동체 체결부(148b)를 상하부에 위치시켜 일체로 갖는 체결브래킷(148)을 포함한다.
이와 같은 구성을 통해, 상기 좌우이동체(141)의 좌우측 위치 이동과 더불어 작동링크부재(144)의 스윙 회전을 동시에 가이드함과 더불어 원활하면서도 안정된 동작 수행이 이루어지게 할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 밸브 바디부(110) 측 게이트(111)가 현재 개방상태 또는 폐쇄상태인지를 체크하는 구성을 포함할 수 있는데, 상기 개폐블레이드(130)의 위치 감지를 통해 현재 게이트(111)가 개방상태인지 또는 폐쇄상태인지를 체크하기 위한 위치감지부(160)와, 상기 위치감지부(160)에서의 개폐블레이드(130) 측 위치 감지신호에 따라 현재 게이트(111)가 개방상태인지 또는 폐쇄상태인지를 표시하는 LED표시부(170)를 포함하는 구성일 수 있다.
상기 위치감지부(160)는 마그넷센서나 리미트센서 등을 비롯한 다양한 센서부재를 활용하여 구성할 수 있으며, 이때 적용하는 센서에 따라 슬릿밸브 내 장착 위치가 달라질 수 있다.
일 예로서, 상기 위치감지부(160)는 상기 승강브래킷(143)의 좌우측 어느 일측단부에 장착되는 마그넷(161)과, 상기 본체 바디부(120)의 외측에 위치되고 상기 마그넷(161)의 위치 상태를 감지하도록 구비되는 마그넷감지센서(162)를 포함하는 구성을 갖게 할 수 있다.
즉, 상기 승강브래킷(143)에 장착된 마그넷(161)의 위치 감지에 따라 현재 게이트(111)가 개방상태 또는 폐쇄상태인지를 체크하도록 구성할 수 있다.
상기 LED표시부(170)는 2개의 LED를 상기 본체 바디부(120)의 외면에 장착하되 상호 간격 배치하고, 육안으로 확인 가능하도록 배치함이 바람직하다.
여기에서, 상기 위치감지부(160)를 통해서는 동작 신호에 따라 게이트(111)의 개폐 상태를 모니터링하여 원격 제어 또는 프로그래밍 제어할 수 있고, 상기 LED표시부(170)를 통해서도 구동상태를 확인 및 제어할 수 있는 장점을 제공할 수 있다.
즉, 본 발명에서는 구동유닛부(140) 측 동작 오류 또는 비정상적인 동작시 바로 대응하여 제어할 수 있는 장점을 제공할 수 있다.
이와 같은 상술한 구성으로 이루어지는 본 발명에 따른 슬릿밸브(100)의 동작 및 작용을 설명하면 다음과 같다.
[개방상태]
본체 바디부(120)의 실린더공간부(121) 내부로 공압을 공급하면, 구동유닛부(140)를 구성하는 좌우이동체(141)가 실린더공간부(121) 내 좌측방향에 위치된 상태에서 우측방향으로 위치 이동하게 되며, 작동링크부재(144)를 스윙 회전시킴에 의해 아래로 당기는 힘을 작용시키고 수직LM가이드(142)의 직선 이동에 따른 하강(下降) 가이드를 통해 게이트(111) 상에 위치되어 폐쇄상태를 유지하고 있던 개폐블레이드(130)를 하강 구동시킴으로써 게이트(111)를 개방상태로 전환하게 된다.
[폐쇄상태]
상술한 게이트(111)의 개방상태에서, 본체 바디부(120)의 실린더공간부(121) 내부로 공급된 공압을 배기 처리하면, 구동유닛부(140)를 구성하는 좌우이동체(141)가 실린더공간부(121) 내 우측방향에 위치된 상태에서 좌측방향으로 위치 이동하게 되며, 작동링크부재(144)를 스윙 회전시킴에 의해 위로 밀어주는 힘을 작용시키고 수직LM가이드(142)의 직선 이동에 따른 상승(上昇) 가이드를 통해 밸브 바디부(110)의 하부에 위치되어 개방상태를 유지하고 있던 개폐블레이드(130)를 상승 구동시킴으로써 게이트(111)를 막아 폐쇄상태로 전환하게 된다.
이와 같은 동작 제어는 반대 형태로 구동을 제어함으로써 개방과 폐쇄를 제어할 수 있는 등 구성요소의 배치 위치에 따라 구동을 위한 동작에 있어 수정이나 변형 또는 전환이 이루어질 수 있다 할 것이다.
한편, 상술한 구성으로 이루어지는 본 발명에 따른 슬릿밸브(100)는 구동유닛부(140)의 구조 개선을 통해 1.4 bar의 기압에서 1×10-9 mbar의 압력범위, 허용온도 230℃ 이하, 누설율 1×10-9 Pa·㎥/sec 미만, 개폐시 응답속도 0.5 sec 이하의 성능을 만족하는 특성을 발휘할 수 있다.
이에 따라, 본 발명을 통해서는 기존 제품들에 비해 높은 성능과 내구성을 확보할 수 있고 안정된 동작 특성을 발휘할 수 있으며, 간단한 구성으로 밸브 측 게이트의 개폐에 따른 구동유닛 측 오작동 확률을 낮출 수 있고 기존에 비해 슬릿밸브의 개페 동작에 따른 정확성 및 신뢰성을 제고할 수 있는 장점을 제공할 수 있다.
이상에서 설명한 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고 이러한 실시예에 극히 한정되지 않는다 할 것이며, 본 발명의 기술적 사상과 청구범위 내에서 이 기술분야의 당해업자에 의하여 다양한 수정과 변형 등이 이루어질 수 있다 할 것이며, 이는 본 발명의 기술적 권리범위 내에 속한다 할 것이다.
100: 슬릿밸브 110: 밸브 바디부
111: 게이트 120: 본체 바디부
121: 실린더공간부 130: 개폐블레이드
140: 구동유닛부 141: 좌우이동체
142: 수직LM가이드 143: 승강브래킷
144: 작동링크부재 145: 연결샤프트
146: 수평LM가이드 147: 수평LM블록
148: 체결브래킷

Claims (6)

  1. 게이트를 갖는 밸브 바디부; 상기 밸브 바디부의 하부에 결합되는 본체 바디부; 상기 밸브 바디부의 내측에 배치되고, 위치 이동에 의해 게이트를 개폐하는 개폐블레이드; 상기 본체 바디부의 내측에 구비되고, 상기 개폐블레이드를 승강 이동시킴에 의해 게이트를 개폐하도록 결합되는 구동유닛부; 를 포함하며,
    상기 구동유닛부는, 중앙에 1개의 작동링크부재를 수직 배치하고 좌우측 방향으로의 스윙에 의한 회전운동이 가능하게 설치하되, 1개의 작동링크부재에 대한 좌우측 스윙 회전시 수직LM가이드의 안내를 통해 승강 이동이 병행되게 설치함으로써 결합되는 개폐블레이드가 개폐기능을 수행하도록 구동 제어하는 것으로서,
    상기 구동유닛부는, 상기 본체 바디부의 내측 하부에 위치되어 공압의 공급 또는 배기시 좌우측 방향으로 위치 이동하게 설치되는 좌우이동체; 상기 본체 바디부의 내측 중간부의 좌우측에 각각 위치되어 한쌍 구조로 구비 및 수직 배치되는 수직LM가이드; 상기 한쌍 구조를 갖는 수직LM가이드에 양측단부가 지지 결합되어 상하 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 구비되는 승강브래킷; 상기 좌우이동체의 일측단부에 하단부가 힌지 결합되고 상단부가 승강브래킷에 힌지 결합되어 회동(回動) 가능하게 구비되는 작동링크부재; 상기 승강브래킷의 좌우 양측부에 위치되어 하단부가 결합되고 상단부가 개폐블레이드에 결합되는 연결샤프트; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 좌우이동체가 내재된 채로 일측단부가 관통에 의해 노출 배치되게 하고 좌우이동체를 지지하며 좌우측 이동에 따른 위치를 제한하는 실린더공간부;
    상기 실린더공간부의 반대쪽에 위치되고, 수평 배치되는 수평LM가이드;
    상기 수평LM가이드 상에 슬라이드 이동 가능하도록 지지 결합되는 수평LM블록;
    상기 수평LM블록의 상면에 체결 조립되는 것으로서, 작동링크부재를 힌지 결합하기 위한 작동링크부재 체결부와 좌우이동체의 관통 노출부분 측 끝단부를 지지 고정하는 좌우이동체 체결부를 상하부에 위치시켜 일체로 갖는 체결브래킷; 을 포함하며,
    상기 좌우이동체의 좌우측 위치 이동과 더불어 작동링크부재의 스윙 회전을 동시에 가이드 및 원활하면서도 안정된 동작 수행이 이루어지도록 구성하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 연결샤프트에는 외면에 벨로우즈관이 삽입 배치되고,
    상기 벨로우즈관의 하단면을 지지하도록 삽입 배치되는 스페이서와,
    상기 스페이서와 벨로우즈관의 하단부를 커버하도록 삽입 배치되는 지지파이프;
    상기 스페이서와 연결샤프트의 사이에 개재되는 제1오링과,
    상기 스페이서와 지지파이프의 사이에 개재되는 제2오링과,
    상기 지지파이프의 상면에 삽입 배치되는 제3오링을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 개폐블레이드의 위치 감지를 통해 현재 게이트가 개방상태인지 또는 폐쇄상태인지를 체크하는 위치감지부;
    상기 위치감지부에서의 개폐블레이드 측 위치 감지신호에 따라 현재 게이트가 개방상태인지 또는 폐쇄상태인지를 표시하는 LED표시부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 슬릿밸브는,
    1.4 bar의 기압에서 1×10-9 mbar의 압력범위, 허용온도 230℃ 이하, 누설율 1×10-9 Pa·㎥/sec 미만, 개폐시 응답속도 0.5 sec 이하의 성능을 만족하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
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