KR101338387B1 - 진공 공정용 게이트 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브는, 챔버의 개구를 덮을 수 있게 형성된 게이트 플레이트; 상기 게이트 플레이트에 연결되며, 상기 게이트 플레이트를 수직방향으로 이동시키는 제1실린더; 상기 제1실린더를 이동 가능하게 지지하는 고정 프레임; 상기 고정 프레임에 지지되고, 상기 게이트 플레이트를 수평으로 이동시켜 상기 개구를 개폐시킬 수 있게 연결되는 제2실린더; 상기 게이트 플레이트의 위치를 감지하는 센서; 및 상기 센서의 감지 결과에 의하여, 상기 게이트 플레이트의 이동방향을 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

진공 공정용 게이트 밸브{GATE VALVE FOR VACCUUM PROCESS}
본 발명은 반도체 제조 공정 등에서 챔버와 챔버를 구분하는 게이트 밸브에 관한 것이다.
웨이퍼 등의 반도체 제조, 박막의 제조, LCD의 제조 등에 있어서는 고진공의 클린 환경하에서 이온 도금(ion plating), 플라즈마 에칭(plasma etching) 등의 가공 또는 처리 공정이 행해진다.
이러한 제조 장치는 예비실에 일단 가공물(work)을 반입하고, 예비실을 일차의 진공도로 한 뒤, 가공실과 처리실 등에 가공물을 순차적으로 반입하여 가공, 처리할 수 있게 구성되어 있다. 이러한 예비실과, 가공실, 처리실 등의 사이에는, 높은 밀봉성을 가지는 게이트 밸브(gate valve)가 마련되어 있고, 가공실, 처리실의 진공도, 클린 조건이 일정하게 유지하도록 되어 있다.
진공 게이트 밸브는 공정의 안정성을 위해 밀폐성· 내화학성·내플라즈마성이 높아야 하며, 정밀한 공정작업에 부응하기 위해 구동 중 미세먼지 생성이 억제되어야 한다.
종래의 게이트 밸브의 일 예로서, 닫힘 에어가 공급되면 두 개의 실린더가 수직으로 상승하면서 캠 구조에 의하여 게이트 플레이트 어셈블리가 클로즈되도록 하고, 반대로 열림 에어가 공급되면 실린더 블록에 장착되어 있는 스프링이 게이트 플레이트 어셈블리를 뒤로 후퇴시키면서 동시에 다운되는 구조로 되어 있다.
그러나, 이 구조에 의하면 게이트 플레이트 어셈블리의 상승운동 중에 전진운동이 수반되므로, 챔버간 구분을 해주는 게이트 플레이트에 설치되는 오링(O-ring)이 상대물인 게이트 도어 어댑터에 부딪히는 문제가 발생할 수 있다. 이에 의하여 도어 어댑터에 충격을 가하게 되어 챔버에서 파티클이 발생하게 될 뿐만 아니라 게이트 도어가 실링(sealing)이 제대로 되지 않아 리크(leak)가 발생하게 된다. 또한, 상승시 도어 게이트에 설치되는 오링에 스크래치나 흠을 유발할 수 있는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 점을 감안한 것으로, 게이트 플레이트의 개폐 메카니즘을 개선함으로써, 개폐 동작시 도어 게이트 플레이트에 설치되는 오링의 충격에 의한 결함 및 리크의 발생을 억제하고, 공정 중 파티클이 발생하는 것을 최소화하는데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 해결하기 위해, 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브는, 챔버의 개구를 덮을 수 있게 형성된 게이트 플레이트; 상기 게이트 플레이트에 연결되며, 상기 게이트 플레이트를 수직방향으로 이동시키는 제1실린더; 상기 제1실린더를 이동 가능하게 지지하는 고정 프레임; 상기 고정 프레임에 지지되고, 상기 게이트 플레이트를 수평으로 이동시켜 상기 개구를 개폐시킬 수 있게 연결되는 제2실린더; 상기 게이트 플레이트의 위치를 감지하는 센서; 및 상기 센서의 감지 결과에 의하여, 상기 게이트 플레이트의 이동방향을 제어하는 제어부를 포함한다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 진공 공정용 게이트 밸브는, 상기 제1실린더가 상기 고정 프레임에 제1축을 중심으로 틸팅 가능하게 지지되도록 상기 제1실린더와 상기 고정 프레임을 연결하는 제1힌지축; 및 상기 제2실린더가 상기 고정 프레임에 제2축을 중심으로 틸팅 가능하게 지지되도록 상기 제2실린더와 상기 고정 프레임을 연결하는 제2힌지축을 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 진공 공정용 게이트 밸브는, 상기 제1실린더를 공압제어할 수 있게 설치되는 제1솔레노이드밸브; 및 상기 제2실린더를 공압제어할 수 있게 설치되는 제2솔레노이드밸브를 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 제어부는, 상기 게이트 플레이트를 수직으로 상승시킨 후 수평으로 접근시켜 상기 개구가 폐쇄(close)되도록 하고, 상기 게이트 플레이트를 수평으로 이동시켜 상기 개구가 개방(open)된 후 수직으로 하강시킬 수 있게 상기 제1솔레노이드밸브 및 제2솔레노이드밸브를 제어할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 센서는, 상기 게이트 플레이트의 하강 도착 여부를 감지하는 제1센서; 상기 게이트 플레이트의 상승 도착 여부를 감지하는 제2센서; 상기 게이트 플레이트의 전진 도착 여부를 감지하는 제3센서; 및 상기 게이트 플레이트의 후진 도착 여부를 감지하는 제4센서를 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 제1실린더는 공압에 의해 이동 가능하게 설치되는 제1피스톤을 포함하고, 상기 제1센서 및 제2센서는 상기 제2실린더의 측면에 상하 방향으로 각각 배치될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 진공 공정용 게이트 밸브는, 상기 제1피스톤의 이동에 따라 상하 이동됨으로써 상기 제1센서 또는 제2센서에 의해 감지될 수 있게 형성된 이동탭을 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 제1피스톤은 영구자석에 의해 형성되는 자석링을 포함하고, 상기 이동탭은 상기 자석링에 의해 인력을 받을 수 있는 재질에 의해 형성될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 진공 공정용 게이트 밸브는, 상기 제1실린더의 측면에 형성되고, 상기 이동탭의 수직이동을 가이드할 수 있게 형성된 안내레일을 더 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 이동탭은, 상기 안내레일에 구속되어 상기 안내레일을 따라 가이드되는 블럭 부분; 및 상기 블럭 부분으로부터 돌출된 날개 부분을 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 제1센서 및 제2센서는 광(光)에 의해 상기 이동탭을 감지하는 광센서를 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 제3센서는 상기 고정 프레임의 전방에 위치되고, 상기 제4센서는 상기 고정 프레임의 후방에 위치될 수 있다.
본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 진공 공정용 게이트 밸브는, 상기 제2실린더의 전면에 위치되며, 상기 제3센서에 의해 감지될 수 있게 형성되는 제1감지탭; 및 상기 제2실린더의 후면에 위치되며, 상기 제4센서에 의해 감지될 수 있게 형성된 제2감지탭을 더 포함할 수 있다.
상기 진공 공정용 게이트 밸브는, 상기 제3센서는 광에 의해 상기 제1감지탭을 감지하는 광센서를 포함하고, 상기 제4센서는 광에 의해 상기 제2감지탭을 감지하는 광센서를 포함할 수 있다.
본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브에 의하면, 게이트 플레이트의 수평운동과 수직운동이 독립적이면서도 순차적으로 일어나게 되므로 오링의 마찰 또는 충격에 의한 손상 및 이로 인한 리크가 억제되며, 장치의 내구성과 신뢰성이 개선된다. 또한, 게이트 플레이트의 수평운동이 제2실린더의 제어에 의하여 속도를 제어될 수 있으므로 챔버에 미칠 수 있는 충격의 발생 및 파티클의 발생이 최소화된다.
도 1은 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)와 챔버와의 관계를 도시한 개념도
도 2는 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)를 제1방향에서 바라본 모습을 도시한 사시도
도 3은 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)를 제2방향에서 바라 본 모습을 도시한 사시도
도 4는 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)가 닫혀진 상태를 보인 사시도
도 5는 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 평면도
도 6은 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)가 열려 있는 상태를 보인 측면 투시도
도 7은 도 6의 진공 공정용 게이트 밸브(100)가 닫혀 있는 상태를 보인 측면 투시도
도 8은 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 일 제어방법을 설명하기 위한 블럭도
이하, 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브에 대하여 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)와 챔버와의 관계를 도시한 개념도이다. 도 1과 같이, 진공 시스템은 반도체나 LCD 또는 태양광패널 등의 주요 생산 공정인 식각이나 증착 등이 이루어지는 프로세스 챔버(P)와, 제품을 반송하기 위한 트랜스퍼 챔버(T)를 갖추고 있다. 프로세스 챔버(P)와 트랜스퍼 챔버(T) 사이에는 프로세스 챔버(P)와 트랜스퍼 챔버(T) 사이를 구분하고, 프로세스 챔버(P)의 개구(A)를 밀폐시키기 위한 진공 공정용 게이트 밸브(100)가 설치된다. 공정 전후나 유지 또는 보수를 위하여 게이트 밸브(100)는 빈번하게 개폐된다. 이러한 게이트 밸브(100)는 밀폐력을 보장할 수 있으며, 구동요소가 열림과 닫힘 상태 사이를 이동하는 동안 밀폐를 내부에서 파티클의 발생 및 오링에 가하는 충격을 최소화시킨다.
도 2는 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)를 제1방향에서 바라본 모습을 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)를 제2방향에서 바라 본 모습을 도시한 사시도이며, 도 4는 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)가 닫혀진 상태를 보인 사시도이고, 도 5는 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 평면도이고, 도 6은 도 2의 진공 공정용 게이트 밸브(100)가 열려 있는 상태를 보인 측면 투시도이며, 도 7은 도 6의 진공 공정용 게이트 밸브(100)가 닫혀 있는 상태를 보인 측면 투시도이다.
이들 도면에 도시된 것과 같이, 진공 공정용 게이트 밸브(100)는 앞에서 설명한 프로세스 챔버(P)의 일측에 형성된 개구(A)를 덮을 수 있게 형성된 게이트 플레이트(101)를 가지고 있다. 밀폐를 위하여 게이트 플레이트(101)의 전면 가장자리에는 프로세스 챔버(P)의 개구의 밀폐를 위한 오링(도시되지 않음)이 구비될 수 있다.
게이트 플레이트(101)의 동작을 위하여 진공 공정용 게이트 밸브(100)는 고정 프레임(110), 제1실린더(120), 제2실린더(130) 및 센서장치를 구비한다.
고정 프레임(110)은 게이트 플레이트(101), 제1실린더(120) 및 제2실린더(130)를 지지하기 위한 요소로서, 제1실린더(120)와 제2실린더(130)의 양측에 평행하게 배치된 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 고정 프레임(110)의 측면에는 제1실린더(120), 제2실린더(130) 및 센서장치의 제어를 위한 커넥터 또는 부속장치가 체결될 수 있는 브래킷(107, 108)이 구비될 수 있다.
제1실린더(120)는 게이트 플레이트(101)에 결합되어 있는 제1피스톤(121)을 포함하고 있으며, 제1피스톤(121)은 게이트 플레이트(101)를 수직방향으로 이동시킨다. 제1실린더(120)는 공압에 의해 구동될 수 있는 형태로서, 클로즈(close) 에어가 공급되면 신장에 의하여 게이트 플레이트(101)를 상승시키며, 오픈(open) 에어가 공급되면 오픈에어 공급의 전 단계에 의하여 수평방향으로 후퇴되어 있는 게이트 플레이트(101)를 하강시킨다.
제1실린더(120)의 상부는 게이트 플레이트(101)가 열려있는 상태에 있을 때 부식성 가스 또는 이온이 제1피스톤(121)에 부착되는 것을 방지할 수 있게 벨로우즈(105)가 구비될 수 있다.
제1실린더(120)는 고정 프레임(110)에 제1힌지축(102)에 의하여 제1축을 중심으로 틸팅 가능하게 지지된다. 이를 위하여, 도 7과 같이 제1실린더(120)는 제1힌지축(102)에 연결되어 있는 별도의 틸팅프레임(109)에 고정된 형태를 가질 수 있다. 제1힌지축(102)의 이러한 틸팅은 게이트 플레이트(101)가 일정 각도 범위 내에서 회동될 수 있다는 뜻으로서, 제1피스톤(121)의 끝에 연결된 게이트 플레이트(101)는 작은 회동 각도에 의하여 수평으로 전진 또는 후진된다.
제2실린더(130)는 제1실린더(120)의 하부에 설치되어 있다. 제2실린더(130)는 게이트 플레이트(101)를 수평으로 이동시켜 프로세스 챔버(P)의 개구를 개폐시킬 수 있게 되어 있다. 제2실린더(130)는 고정 프레임(110)에 제2힌지축(103)에 의하여 제2축을 중심으로 틸팅 가능하게 지지된다. 제2실린더(130)의 일단은 틸팅프레임(109)에 연결되어 있고, 타단은 제2힌지축(103)에 연결되어 있다. 제2실린더(130) 역시 제1실린더(120)와 같이 공압에 의해 구동될 수 있는 형태로서, 오픈에어가 공급되면 수축됨으로써 제1실린더(120)를 틸팅시켜 게이트 플레이트(101)가 개구로부터 후퇴시킬 수 있도록 하고, 클로즈 에어가 공급되면 신장됨으로써 제1실린더(120)를 반대방향으로 틸팅시켜 게이트 플레이트(101)가 개구 쪽으로 전진될 수 있도록 한다.
센서장치는 제1실린더(120) 및 제2실린더(130)의 위치를 감지할 수 있게 되어 있다. 센서장치는 제1실린더(120)의 하강 도착 여부를 감지하는 제1센서(141), 제1실린더(120)의 상승 도착 여부를 감지하는 제2센서(145), 제2실린더(130)의 전진 도착 여부를 감지하는 제3센서(151) 및, 제2실린더(130)의 후진 도착 여부를 감지하는 제4센서(155)를 갖는다.
제1센서(141) 및 제2센서(145)는 제1실린더(120)의 측면에 상하 방향으로 배치되어 있다. 제1센서(141)와 제2센서(145) 사이의 거리는 개폐시 제1피스톤(121)의 이동 거리에 대응된다. 제1실린더(120)에는 제1피스톤(121)의 이동시 제1피스톤(121)과 함께 이동하며 제1센서(141) 또는 제2센서(145)에 의하여 감지될 수 있는 이동탭(143)을 갖추고 있다.
이동탭(143)의 이동을 위하여 제1피스톤(121)에는 자석링(123)이 설치된다. 자석링(123)은 이동탭(143)을 상하로 이동시키기 위한 인력(자력)을 제공하게 되며, 이동탭(143)은 자석링(123)과 직접 접촉하지 않고도 자력에 의하여 제1피스톤(121)의 이동에 구속된다. 이동탭(143)이 수직방향으로 이동이 원활하게 이루어질 수 있도록 제1실린더(120)의 측면에는 안내레일(144)이 포함될 수 있다. 형상면에 있어서, 이동탭(143)은 안내레일(144)에 구속되는 블럭 부분(143a)과 블럭 부분(143a)으로부터 돌출된 날개 부분(143b)을 가질 수 있다. 날개 부분(143b)이 제1센서(141) 또는 제2센서(145)에 의해 감지된다.
제1센서(141)는 안내레일(144)의 하단에 설치되어 있으며, 제2센서(145)는 안내레일(144)의 상단에 배치된다. 제1센서(141)와 제2센서(145)의 설치를 위하여 고정 프레임(110)에 지지되어 있는 센서가이드(142, 146)가 각각 설치될 수 있다.
제1센서(141) 또는 제2센서(145)는 이동탭(143)의 날개 부분이 도착하는 경우 이를 감지한다. 이러한 제1센서(141) 및 제2센서(145)는 광(光)에 의해 이동탭(143)을 감지하는 광센서 형태로 형성될 수 있다.
제3센서(151)는 고정 프레임(110)의 전방에 위치되어 있으며, 제4센서(155)는 고정 프레임(110)의 후방에 위치된다. 제3센서(151)과 제4센서(155)의 감지를 위하여, 제2실린더(130)의 전면에는 제1감지탭(153)이 설치되고 제2실린더(130)의 후면에는 제2감지탭(154)이 설치된다. 이러한 제1감지탭(153)과 제2감지탭(154)은 빛을 차단할 수 있는 판 형태로 형성될 수 있다. 제1센서(141) 및 제2센서(145)와 같이, 제3센서(151) 및 제4센서(155) 역시 제1감지탭(153) 또는 제2감지탭(154)을 광에 의해 각각 감지할 수 있는 광센서 형태로 형성될 수 있다.
이와 같은 구성에 의하여, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 진공 공정용 게이트 밸브(100)는 게이트 플레이트(101)의 효과적인 이동 메카니즘을 제공한다.
즉, 도 6과 같이 게이트 플레이트(101)가 열려 있는 위치로부터 제1실린더(120)에 클로즈에어가 공급되면 제1피스톤(121)은 상승하여 게이트 플레이트(101)를 상승시킨다. 제1피스톤(121)이 상승하면 자석링(123)의 자력에 의하여 이동탭(143)도 함께 상승되며, 제2센서(145)의 위치까지 올라가게 되면 제2센서(145)는 이동탭(143)의 도착을 감지하게 된다. 그렇게 되면 제1피스톤(121)의 상승 운동이 정지되고, 제2실린더(130)에 클로즈에어가 공급된다. 제2실린더(130)는 팽창하게 되고, 제1실린더(120)를 틸팅시켜 게이트 플레이트(101)가 수평방향으로 이동하여 챔버의 개구를 밀폐시킨다. 도 7은 이와 같이 게이트 플레이트(101)가 수직이동 및 수평이동을 순차적으로 거쳐 닫힘 위치에 있는 것을 보인다. 이와 같이 전체적으로 게이트 플레이트(101)는 역 'L'자 형태의 이동 궤적을 그림으로써 수평운동과 수직운동이 분리되는 것이다. 따라서, 게이트 플레이트(101)가 상승하는 동안 챔버의 개구와는 접촉하는 일이 없으며, 상승운동이 종료된 후에 수평으로 이동하는 것이므로 게이트 플레이트(101)의 오링의 마찰접촉에 의한 손상이 원천적으로 발생하지 않게 된다.
또한, 제2실린더(130)의 속도를 제어함으로써 게이트 플레이트(101)의 수평이동이 천천히 이루어지도록 할 수 있으므로 닫힘시 게이트 플레이트(101)의 충격에 의한 파티클의 발생이 최소화된다.
도 7의 닫힘 상태에서 열림 상태를 구현하기 위해서는, 우선, 제2실린더(130)에 오픈에어가 공급된다. 이에 따라, 제1실린더(120)는 반대 방향으로 틸팅하게 되고 게이트 플레이트(101)는 챔버의 개구로부터 수평으로 후퇴된다. 제2실린더(130)의 전방에 부착되어 있는 제1감지탭(153)이 제3센서(151)에 도착하게 되면 제3센서(151)는 이를 감지하게 되고 제어 신호에 의하여 제1실린더(120)에 다운에어를 공급한다. 게이트 플레이트(101) 및 제1피스톤(121)이 하강하면 이동탭(143)도 하강하게 되고 제1센서(141)의 감지에 의하여 개방 동작을 완성한다.
도 8은 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)의 일 제어방법을 설명하기 위한 블럭도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명과 관련된 진공 공정용 게이트 밸브(100)는 앞에서 설명한 제1센서(141) 내지 제4센서(155) 외에도 제1실린더(120)를 구동하는 제1솔레노이드밸브(181), 제2실린더(130)를 구동하는 제2솔레노이드밸브(182), 동작상태를 표시하는 인디케이터(183), 전원공급부(184) 및 이들 요소들을 제어하는 제어부(180)를 갖는다.
제어부(180)는 게이트 플레이트(101)를 수직으로 상승시킨 후 수평으로 접근시켜 개구가 폐쇄(close)되도록 하고, 게이트 플레이트(101)를 수평으로 이동시켜 개구가 개방(open)된 후 수직으로 하강시킬 수 있게 제1솔레노이드밸브(181) 및 제2솔레노이드밸브(182)를 제어한다. 제1솔레노이드밸브(181)와 제2솔레노이드밸브(182)를 제어함으로써 제1실린더(120)와 제2실린더(130)의 위치를 조절한다. 제어부(180)의 제어 과정은 앞의 도 6 및 도 7에 대한 도면설명과 같이 제1솔레노이드밸브(181) 및 제2솔레노이드밸브(182)에 공급되는 전원을 제어함으로써 궁극적으로 게이트 플레이트(101)의 수평운동과 수직운동이 순차적으로 일어나면서 닫힘 상태 또는 개방 상태를 구현하도록 하는 것이다. 제1실린더(120)와 제2실린더(130)의 상태는 제어부(180)의 제어 신호에 따라 인디케이터(184)를 통하여 제공될 수 있다. 인디케이터(184)는 표시램프 등의 형태로 구현될 수 있다.
이상에서 설명한 진공 공정용 게이트 밸브는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되지 않는다. 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수 있다.
100: 진공 공정용 게이트 밸브 101: 게이트 플레이트
102: 제1힌지축 103: 제2힌지축
105: 벨로우즈 107: 브래킷
110: 고정 프레임 120: 제1실린더
121: 제1피스톤 123: 자석링
130: 제2실린더 131: 제2피스톤
141: 제1센서 143: 이동탭
143a: 블럭 부분 143b: 날개 부분
145: 제2센서 151: 제3센서
153: 제1감지탭 154: 제2감지탭
155: 제4센서 180: 제어부
181: 제1솔레노이드밸브 182: 제2솔레노이드밸브
183: 인디케이터

Claims (14)

  1. 챔버의 개구를 덮을 수 있게 형성된 게이트 플레이트;
    상기 게이트 플레이트에 연결되며, 상기 게이트 플레이트를 수직방향으로 이동시키는 제1실린더;
    상기 제1실린더를 이동 가능하게 지지하는 고정 프레임;
    상기 고정 프레임에 지지되고, 상기 게이트 플레이트를 수평으로 이동시켜 상기 개구를 개폐시킬 수 있게 연결되는 제2실린더;
    상기 게이트 플레이트의 위치를 감지하는 센서;
    상기 센서의 감지 결과에 의하여, 상기 게이트 플레이트의 이동방향을 제어하는 제어부;
    상기 제1실린더를 공압제어할 수 있게 설치되는 제1솔레노이드밸브; 및
    상기 제2실린더를 공압제어할 수 있게 설치되는 제2솔레노이드밸브를 더 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 게이트 플레이트를 수직으로 상승시킨 후 수평으로 접근시켜 상기 개구가 폐쇄(close)되도록 하고, 상기 게이트 플레이트를 수평으로 이동시켜 상기 개구가 개방(open)된 후 수직으로 하강시킬 수 있게 상기 제1솔레노이드밸브 및 제2솔레노이드밸브를 제어하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1실린더가 상기 고정 프레임에 제1축을 중심으로 틸팅 가능하게 지지되도록 상기 제1실린더와 상기 고정 프레임을 연결하는 제1힌지축; 및
    상기 제2실린더가 상기 고정 프레임에 제2축을 중심으로 틸팅 가능하게 지지되도록 상기 제2실린더와 상기 고정 프레임을 연결하는 제2힌지축을 더 포함하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 센서는,
    상기 게이트 플레이트의 하강 도착 여부를 감지하는 제1센서;
    상기 게이트 플레이트의 상승 도착 여부를 감지하는 제2센서;
    상기 게이트 플레이트의 전진 도착 여부를 감지하는 제3센서; 및
    상기 게이트 플레이트의 후진 도착 여부를 감지하는 제4센서를 포함하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1실린더는 공압에 의해 이동 가능하게 설치되는 제1피스톤을 포함하고,
    상기 제1센서 및 제2센서는 상기 제2실린더의 측면에 상하 방향으로 각각 배치되어 있는, 진공 공정용 게이트 밸브
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1피스톤의 이동에 따라 상하 이동됨으로써 상기 제1센서 또는 제2센서에 의해 감지될 수 있게 형성된 이동탭을 더 포함하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1피스톤은 영구자석에 의해 형성되는 자석링을 포함하고,
    상기 이동탭은 상기 자석링에 의해 인력을 받을 수 있는 재질에 의해 형성된, 진공 공정용 게이트 밸브.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1실린더의 측면에 형성되고, 상기 이동탭의 수직이동을 가이드할 수 있게 형성된 안내레일을 더 포함하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 이동탭은 상기 안내레일에 구속되어 상기 안내레일을 따라 가이드되는 블럭 부분; 및
    상기 블럭 부분으로부터 돌출된 날개 부분을 포함하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제1센서 및 제2센서는 광(光)에 의해 상기 이동탭을 감지하는 광센서를 포함하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
  12. 제5항에 있어서,
    상기 제3센서는 상기 고정 프레임의 전방에 위치되고, 상기 제4센서는 상기 고정 프레임의 후방에 위치된, 진공 공정용 게이트 밸브.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제2실린더의 전면에 위치되며, 상기 제3센서에 의해 감지될 수 있게 형성되는 제1감지탭; 및
    상기 제2실린더의 후면에 위치되며, 상기 제4센서에 의해 감지될 수 있게 형성된 제2감지탭을 더 포함하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제3센서는 광에 의해 상기 제1감지탭을 감지하는 광센서를 포함하고,
    상기 제4센서는 광에 의해 상기 제2감지탭을 감지하는 광센서를 포함하는, 진공 공정용 게이트 밸브.
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