KR101020154B1 - 측면개방형 진공챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버본체의 일측면을 개방함과 동시에 챔버 내부에 구비되는 기판지지부를 챔버 밖으로 이동시킬 수 있는 측면개방형 진공챔버에 관한 것이다.
본 발명에 의한 측면개방형 진공챔버는 기판출입구가 형성되고, 일측면이 개구된 챔버본체; 상기 챔버본체 내부에 구비되는 기판지지부; 및 상기 챔버본체의 개구된 일측면에 결합되는 리드;를 포함한다.
진공챔버. 리드. 개방.

Description

측면개방형 진공챔버{VACUUM CHAMBER OF SIDE OPEN TYPE}
본 발명은 진공챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버본체의 일측면을 개방함과 동시에 챔버 내부에 구비되는 기판지지부를 챔버 밖으로 이동시킬 수 있는 측면개방형 진공챔버에 관한 것이다.
일반적으로 진공챔버는 반도체 또는 평판디스플레이 패널을 제조하는데 이용된다.
도 1을 참조하여 일반적인 진공챔버(100)의 구성을 살펴보면, 상부면이 개구된 챔버본체(110)와, 상기 챔버본체(110)의 개구된 상부면에 결합되어 챔버본체(110)를 밀폐하는 리드(120)를 포함한다.
또한 챔버본체(110)의 내부에는 기판(웨이퍼 또는 유리)을 재치하는 기판지지부(미도시)가 구비되는데, 이러한 기판지지부에 재치된 기판 상에 성막을 하거나 특정 박막을 식각한다.
한편, 성막 또는 식각 등의 공정을 다수회 수행하면 부품의 교체나 챔버 내부의 세정 등의 유지보수작업이 요구된다.
이 경우, 종래에는 리드를 들어올려 챔버본체를 개방한 후 유지보수작업을 하여왔다. 이를 위해 리드를 들어올리고 이동시키는 호이스트 등의 장치가 요구된다.
그러나 기판의 면적이 커짐에 따라 챔버본체의 면적 또한 커지고, 이를 밀폐하는 리드의 면적과 중량이 증가하고 있어 고중량의 리드를 들어올리는 작업 자체가 용이하지 않다는 문제점이 있다.
또한 경우에 따라 상기 챔버본체를 개방한 후에 기판을 재치하는 기판지지부도 챔버 밖으로 이동시켜야 하는 경우도 있는데, 이러한 작업이 상당히 난해하고 많은 시간이 소요되는 문제점도 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 챔버본체의 일측면을 개방함과 동시에 챔버 내부에 구비되는 기판지지부를 챔버 밖으로 이동시킬 수 있는 측면개방형 진공챔버를 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 측면개방형 진공챔버는 기판출입구가 형성되고, 일측면이 개구된 챔버본체; 상기 챔버본체 내부에 구비되는 기판지지부; 및 상기 챔버본체의 개구된 일측면에 결합되는 리드;를 포함한다.
또한 상기 챔버본체의 내측 바닥면에는 상기 기판지지부를 개구된 상기 챔버본체의 일측면 방향으로 수평이동을 안내하는 제1가이드부가 더 구비되는 것이 더욱 바람직하다.
또한 상기 리드의 개방시 상기 제1가이드부를 따라 상기 기판지지부를 수평이동시키는 이동수단이 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 이동수단은 상기 제1가이드부를 따라 수평이동되는 연결부; 상기 고정부와 기판지지부를 연결하는 제1링크; 및 상기 고정부와 리드를 연결하는 제2링크;를 포함하는 것이 바람직하다.
또는 상기 이동수단은 이와 다른 링크구조나 리니어 가이드를 포함할 수 있다.
또한 상기 리드의 내측벽에는 상기 기판지지부의 수평이동을 안내하는 제2가이드부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 챔버본체는 다각기둥 형태이고, 상기 리드는 상기 챔버본체의 일측면 중 상기 기판출입구가 형성되지 않은 측면 중 어느 하나에 결합되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 챔버본체의 일측면을 개방함으로써 진공챔버 내부의 유지보수작업을 용이하게 할 수 있다.
특히, 챔버본체의 일측면을 개방함과 동시에 챔버 내부에 구비되는 기판지지부를 챔버 밖으로 이동시켜 유지보수 작업을 보다 용이하게 할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 설명한다.
도 2 및 도 3a를 참조하면, 본 발명에 의한 일 실시예(1)는 일측면이 개구된 챔버본체(10)와, 상기 챔버본체(10)의 개구된 일측면에 결합되는 리드(20)를 포함한다. 상기 챔버본체(10)의 다른 측면에는 기판이 출입하는 기판출입구(미도시)가 형성되며, 기판출입구 상에는 기판출입구를 개폐하는 게이트밸브(미도시)가 설치된다. 다만, 본 실시예와 달리, 기판출입구와 리드(20)는 챔버 본체(10)의 동일한 측면에 형성될 수 있으며, 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 기판출입구로 사용할 수 있다. 또한, 게이트밸브를 대신하여 리드(20)를 사용할 수 있다. 즉, 기판출입구인 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 리드(20)를 이용하여 개폐할 수 있다.
상기 리드(20)는 상기 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 밀폐하도록 기밀하게 결합되되, 연결부재(30)에 의해 회동가능하게 결합된다.
또한 상기 챔버본체(10)의 내부에는 기판을 재치하는 기판지지부(40)가 구비된다. 상기 기판지지부(40)는 기판을 재치하는 스테이지(41)와, 상기 스테이지(41)를 지지하는 지지대(42)로 이루어진다.
또한 상기 기판지지부(40)를 챔버 밖으로 용이하게 이동시키기 위하여 챔버본체(10)의 내측 바닥면에는 제1가이드부(11)가 구비됨을 알 수 있다.
또한 상기 리드(20)의 내측벽에도 상기 제1가이드부(11)와 연장선상에서 제2가이드부(21)가 구비되어 있다.
한편, 상기 제1가이드부(11)에 연결되어 수평이동되는 제1연결부(53)와, 상기 제2가이드부(21)에 연결되어 수평이동되는 제2연결부(55)가 더 구비되며, 상기 지지대(42)의 일측의 고정부(51)와 제1연결부(53)를 연결하는 제1링크(52)와, 상기 제1연결부(53)와 제2연결부(55)를 연결하는 제2링크(54)가 구비된다.
이하에서는 도 3a 내지 도 3c를 참조하여 본 실시예의 작동상태를 설명한다.
챔버본체(10)의 유지보수가 요구되는 경우, 도 3a와 같이 챔버본체(10)를 밀폐하도록 결합된 리드(20)를 연결부재(30)에 의해 회동함으로써 용이하게 상기 챔버본체(10)의 일측면을 개방할 수 있다(도 3b참조).
그런데, 이와 같이 리드(20)를 회동하여 챔버본체(10)를 개방하게 되면, 이와 동시에 제2링크(54)에 연결된 제1연결부(53)가 제1가이드부(11)를 따라 개구된 일측면 방향으로 이동하게 되고, 또한 상기 제1연결부(53)에 연결된 제1링크(52)에 의해 기판지지부(40)도 개구된 일측면 방향으로 이동하게 되는 것이다.
다음으로, 상기 제2연결부(55)를 리드(20)에 구비된 제2가이드부(21)를 따라 수평이동시키면, 제1,2링크(52,54)에 의해 기판지지부(40)도 챔버본체(10) 밖으로 이동되는 것이다(도 3c 참조).
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공챔버를 개략적으로 나타내는 도면이다. 앞서 설명한 실시예의 경우, 리드(20)는 챔버본체(10)의 개구된 일측면 상에 위치하며 챔버본체(10)의 바닥면과 대체로 나란한 회전축(R1)을 기준으로 회전한다(도 2 내지 도 3b 참고). 반면에, 도 4에 도시한 진공챔버의 경우, 회전축(R2)은 챔버본체(10)의 개구된 일측면 상에 위치하나, 챔버본체(10)의 바닥면과 대체로 수직하다. 도 4에 도시한 바와 같이, 리드(20)는 회전축(R2)을 기준으로 회전하여 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 개폐한다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공챔버를 개략적으로 나타내는 도면이다. 앞서 설명한 실시예의 경우, 리드(20)는 회전운동에 의해 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 개폐하였으나, 이와 달리, 리드(20)는 병진운동에 의해 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 개폐할 수 있다. 리드(20)는 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 따라 수직으로 승강하여 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 개폐한다. 또한, 리드(20)는 챔버본체(10)의 개구된 일측면을 따라 수평으로 좌우이동하여 챔버본 체(10)의 개구된 일측면을 개폐할 수 있다.
본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.
도 1은 일반적인 진공챔버를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 의한 진공챔버를 도시한 것이다.
도 3a 내지 도 3c는 도 2에 도시된 실시예의 작동상태를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공챔버를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공챔버를 개략적으로 나타내는 도면이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
1: 진공챔버 10: 챔버본체
11: 제1가이드부 20: 리드
21: 제2가이드부 30: 연결부재
40: 기판지지부 41: 스테이지
42: 지지대 51: 고정부
52: 제1링크 53: 제1연결부
54: 제2링크 55: 제2연결부

Claims (10)

  1. 기판출입구가 형성되고, 일측면이 개구된 챔버본체;
    상기 챔버본체 내부에 구비되는 기판지지부; 및
    상기 챔버본체의 개구된 일측면에 결합되는 리드;를 포함하며,
    상기 챔버본체의 내측 바닥면에는 상기 기판지지부를 개구된 상기 챔버본체의 일측면 방향으로 수평이동을 안내하는 제1가이드부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 측면개방형 진공챔버.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 리드의 개방시 상기 제1가이드부를 따라 상기 기판지지부를 수평이동시키는 이동수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 측면개방형 진공챔버.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 이동수단은 상기 기판지지부와 리드를 연결하는 링크부재인 것을 특징으로 하는 측면개방형 진공챔버.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 링크부재는,
    상기 제1가이드부를 따라 수평이동되는 연결부;
    상기 연결부와 기판지지부를 연결하는 제1링크; 및
    상기 연결부와 리드를 연결하는 제2링크;를 포함하는 것을 특징으로 하는 측면개방형 진공챔버.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 리드의 내측벽에는 상기 기판지지부의 수평이동을 안내하는 제2가이드부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 측면개방형 진공챔버.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 챔버본체는 다각기둥 형태인 것을 특징으로 하는 측면개방형 진공챔버.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 리드는 상기 기판출입구가 형성되지 않은 측면 중 어느 하나에 결합되는 것을 특징으로 하는 측면개방형 진공챔버.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 리드는, 회전축에 의해 회동하여 챔버본체의 바닥면과 수평상태를 이루도록 개폐되는 것을 특징으로 하는 측면개방형 진공챔버.
  10. 삭제
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