KR100640559B1 - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

평판표시소자 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버 하부로 반입하거나 반출할 수 있는 반송 로봇이 구비되어, 반송 로봇의 설치 및 보수 작업이 용이한 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
본 발명은, 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 이루어지는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 반송 챔버는,
상벽 소정 부분 및 하벽 소정 부분에 각각 상측 개구부와 하측 개구부가 형성되는 챔버 본체;
수직 및 수평 방향을 따라 이동 가능하게 마련되어 상기 상측 개구부를 개폐하는 상부커버;
상기 챔버 본체 내부 중 상기 하측 개구부 상부에 마련되며, 그 상부에 기판을 올려놓고 이송하는 이송암;
상기 하측 개구부 하부영역에 마련되어 상기 이송암과 결합되어 상기 이송암을 구동시키는 구동부;
상기 구동부와 상기 챔버 본체 하부 사이의 접촉 영역에 배치되어 상기 챔버 내부를 외부와 차단시키는 밀봉부재;를
포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.
평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 반송 챔버, 반송 로봇

Description

평판표시소자 제조장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING FPD}
도 1은 평판표시소자 제조장치의 개념도이다.
도 2는 종래의 반송 챔버의 구조를 나타내는 단면도이다 .
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반송 챔버의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 경로부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 경로부의 구조를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 반송 로봇을 설치하는 모습을 나타내는 도면이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
10 : 로드락 챔버 20, 120 : 반송 챔버
30 : 공정 챔버 40, 140 : 반송 로봇
122 : 챔버 본체 24, 124 : 상부 커버
42, 142 : 반송암 44, 144 : 구동부
145 : 수직 이동부 147 : 수평 이동부
148 : 경로부 S : 기판
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버 하부로 반입하거나 반출할 수 있는 반송 로봇이 구비되어, 반송 로봇의 설치 및 보수 작업이 용이한 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시소자(Flat Panel Display ; FPD)를 제조하는 장치로는 도 1에 도시된 바와 같이, 로드락 챔버(10), 반송 챔버(20), 공정 챔버(30)가 순차적으로 연결되어 이루어지는 평판표시소자 제조장치(1)가 많이 사용된다.
이때 로드락 챔버(10)는 외부와 연결되며, 외부에서 공정이 처리될 새로운 기판을 반입하거나 평판표시소자 제조장치 내에서 공정 처리가 완료된 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 그 내부는 진공 상태와 대기압 상태를 반복적으로 유지하면서 외부와 접촉된다.
또한 반송챔버(20)는 로드락 챔버(10) 및 공정챔버(30)와 연결되며, 도 2에 도시된 바와 같이 내부에 반송로봇(40)이 구비되어 있어서, 로드락 챔버(10)와 공정 챔버(30) 간에 기판을 반입하거나 반출하는 중간 통로로 기능하며, 항상 진공분위기로 유지되어 공정챔버(30) 내의 기판을 반출하거나 공정챔버(30) 내로 기판을 반입하는 때에도 공정챔버(30) 내부의 분위기가 진공분위기로 유지될 수 있도록 한다.
또한 상기 공정챔버(30)는 소정의 처리장치(도면에 미도시)가 구비되어 있어서 기판 상에 소정의 처리를 실시하는 공간으로서 진공분위기하에서 식각 등의 처리를 한다.
한편 반송 챔버(20) 내부에는 전술한 바와 같이 반송 로봇(40)이 마련된다. 이 반송 로봇(40)은 도 2에 도시된 바와 같이, 기판을 탑재 시킬 수 있는 반송암(42)과 반송암(42)을 구동시키는 구동부(44)로 이루어진다. 이때 구동부(44)는 반송암(42)을 회전시키거나, 상하 방향으로 이동시키는 역할을 하는 것이다. 그리고 반송 챔버(20) 중 반송 로봇(40)이 설치되는 부분은 외부와의 기밀이 유지되어야 한다. 따라서 반송 로봇(40)과 반송 챔버(20)의 하벽이 접촉되는 부분에는 밀봉 부재(21)가 마련된다.
이러한 반송 로봇(40)은 최초에 반송 챔버(20)에 설치되는 과정 또는 반송 로봇(40)의 보수 작업을 실시하는 과정에서는 반송 챔버(20)의 상부 커버(24)를 개방한 후, 평판표시소자 제조장치(1)가 설치된 클림 룸의 천정에 마련되어 있는 크레인을 이용하여 반송 로봇(40)을 상측으로 들어올려서 반입하거나 반출한다.
그런데 최근 평판표시소자 제조장치가 대형화되면서, 평판표시소자 제조장치가 설치되는 클린 룸도 그 내부에 장치 및 시설을 설치하기 위하여 대형화되고 있다. 그러나 이러한 클린 룸의 경우 그 천장 높이가 5.5 m 이상으로 높아지는 것이 구조적으로 곤란한 상황이며, 그 이상의 높이로 클린 룸을 제작하기 위해서는 그 비용이 천문학적으로 소요된다. 따라서 클린 룸의 높이는 더 이상 높이기 어려운 상황이다.
그런데 최근 대형화된 평판표시소자 제조장치에 있어서, 반송 챔버(20)의 높이는 3.5 m 에 이르고 있으며, 반송 로봇(40) 자체의 높이가 1.5m 에 이른다. 따라서 반송 로봇(40)을 반송 챔버(20) 상측 방향으로 설치하거나 반출하기 위해서는 최소 5 m의 높이가 필요하고, 크레인 및 연결부재의 길이를 더 고려하면 5.5m 의 클린 룸 높이로는 반송 로봇의 설치 및 반출이 불가능한 상황이다.
본 발명의 목적은 구동부를 반송 챔버 하측으로 반입하거나 반출할 수 있는 반송 로봇이 마련된 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 이루어지는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 반송 챔버는,
상벽 소정 부분 및 하벽 소정 부분에 각각 상측 개구부와 하측 개구부가 형성되는 챔버 본체;
수직 및 수평 방향을 따라 이동 가능하게 마련되어 상기 상측 개구부를 개폐하는 상부커버;
상기 챔버 본체 내부 중 상기 하측 개구부 상부에 마련되며, 그 상부에 기판을 올려놓고 이송하는 이송암;
상기 하측 개구부 하부영역에 마련되어 상기 이송암과 결합되어 상기 이송암을 구동시키는 구동부;
상기 구동부와 상기 챔버 본체 하부 사이의 접촉 영역에 배치되어 상기 챔버 내부를 외부와 차단시키는 밀봉부재;를
포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.
또한 본 발명은, 구동부와 결합되어 마련되며, 구동부를 상하 방향으로 이동시키는 수직 이동부가 더 마련되도록 함으로써, 구동부를 반송 챔버의 하면에 설치하거나 분리하는 작업이 용이하게 한다.
또한 본 발명은, 구동부 하단에 결합되어 마련되며, 구동부를 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부가 더 마련되도록 함으로써, 구동부를 외부에서 반송 챔버 하측으로 반입하거나, 반송 챔버 하측으로 부터 외부로 반출하는 작업이 용이하게 한다.
또한 본 발명은, 반송 챔버 하측에 마련되며, 수평 이동부의 이동 경로를 제공하는 경로부가 더 마련함으로써, 구동부가 이동하는 경로를 최단화시키고, 구동부의 수평이동을 용이하게 한다.
또한 본 발명은, 경로부 중 반송 챔버의 외측으로 돌출되는 부분이, 반송 챔버의 내측에 마련된 부분으로 삽입될 수 있도록 함으로써, 구동부를 설치하거나 보수하는 작업을 수행하지 않는 평상시에는 내측으로 삽입되어 평판표시소자 제조장치가 차지하는 면적을 줄인다.
이때, 경로부는, 반송 챔버의 외측으로 돌출되는 부분이, 반송 챔버의 내측에 마련된 부분과 힌지에 의하여 연결되어, 수평 방향으로 회동될 수 있는 구조로 마련될 수도 있다.
또한 본 발명은, 수평 이동부의 소정 부분에 마련되며, 수평 이동부가 움직이지 않도록 고정시키는 고정부가 더 마련되도록 함으로써 구동부가 반송 챔버에 결합된 후에는 움직이지 않도록 하여 평판표시소자 제조장치의 구조적인 안정성을 높인다.
또한 본 발명은, 반송 챔버에 반송 로봇을 설치시키는 반송로봇 설치방법에 있어서,
1) 상기 반송 챔버의 하측 영역에 이송암을 구동시키는 구동부를 위치시키는 단계;
2) 상기 구동부를 하측 개구부에 견고하게 결합시키는 단계;
3) 상기 반송 챔버의 상측 개구부를 개방하고, 상기 상측 개구부를 통하여 이송암을 반송 챔버 내부로 반입시켜 이송암과 구동부 를 결합시키는 단계;를
포함하여 구성되는 반송로봇 설치방법을 제공한다.
또한 본 발명은, 반송 챔버에 설치된 반송 로봇을 분해시키는 반송로봇 분해방법에 있어서,
1) 이송암과 구동부를 분리시키는 단계;
2) 이송암을 반송 챔버 상측에 형성되어 있는 상측 개구부를 통하여 반출하는 단계;
3) 구동부를 하측 개구부로 부터 분리시키고, 수평이동시켜 반송 챔버 외측으로 반출시키는 단계;를
포함하여 구성되는 반송로봇 분해방법을 제공한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치는 기본적으로 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 이루어진다.
이때 로드락 챔버와 공정 챔버가 수행하는 기능 및 구조는 종래의 평판표시소자 제조장치의 그것과 동일하므로 여기에서 반복하지 않는다. 따라서 이하에서는 반송 챔버를 중심으로 설명한다. 도 3은 본 실시예에 따른 반송 챔버의 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
본 실시예에 따른 반송 챔버(120)는 챔버 본체(122)와 상부 커버(124)로 이루어진다. 여기서, 챔버 본체(122)는 그 상벽 소정 부분 및 하벽 소정 부분에 각각 개구부(126, 128)가 형성되어 있으며, 반송 챔버(120)의 전체적인 형태를 형성하는 구성요소이다. 그리고 챔버 본체(122)의 상벽에 형성되는 상측 개구부(126)는, 챔버 상벽 전 면적을 차지할 정도로 넓게 형성되며, 이 상측 개구부(126)를 통해서 반송암(142)을 반송 챔버(120) 내로 반입하거나 반송 챔버(120) 내에서 외부로 반출하게 된다. 또한 챔버 본체(122)의 하벽에 형성되는 하측 개구부(128)는, 하벽 중앙 영역에 형성되되 반송암(142)의 하부인 축이 통과할 수 있는 정도의 크기로 형성된다. 따라서 하측 개구부(128)는, 반송암(142)이 구동부(144)와 결합하는 통로가 된다. 그러므로 본 실시예에 따른 반송 챔버에 형성되는 하측 개구부(128)는 종래의 하측 개구부보다 그 크기가 매우 작아지며, 개구부의 크기가 작아지므로 반송 챔버 내의 기밀 유지도 더 용이해지는 장점이 있다.
그리고 본 실시예에 따른 챔버 본체(122)는 도 3에 도시된 바와 같이, 바닥면으로부터 소정 간격 이격되도록 프레임(125) 상에 탑재되어 설치된다. 이는 반송 챔버(120) 하측으로 구동부(144)를 반입하여 설치할 수 있는 공간을 확보하기 위한 것이다.
한편 상부 커버(124)는 챔버 본체(122)의 상벽에 형성되는 상측 개구부(126)를 개폐하는 역할을 한다. 따라서 상부 커버(124)는 상측 개구부(126)를 모두 덮을 수 있는 면적을 가져야 하며, 개폐될 수 있는 구조로 마련된다. 본 실시예에서는 상부 커버(124)를 반송 챔버(120) 상측에 마련된 크레인을 사용하여 개폐하도록 한다. 그리고 상부 커버(124) 하면의 외주부에는 밀봉 부재(121)가 마련된다. 이 밀봉 부재(121)는 상부 커버(124)와 챔버 본체(122)가 접촉하는 부분에 개재되어, 챔버의 내부와 외부를 격리시키는 역할을 한다.
그리고 반송 챔버(120)에는 반송 로봇(140)이 마련된다. 반송 로봇(140)은 반송 챔버(120)로 기판을 반입하거나 반출하는 역할을 한다. 이때 본 실시예에 따른 반송 로봇(140)은 반송암(142)과 구동부(144)로 이루어지는데, 반송암(142)과 구동부(144)는 분리될 수 있는 구조이다.
반송암(142)은 반송 챔버(120) 내부에 위치되며, 그 상부에 기판을 올려놓을 수 있는 구조이다. 따라서 반송암(142)은 그 상부에 기판을 올려놓고 기판을 이송한다. 또한 반송암(142)의 하부에는 축이 형성되고, 축 하단에는 구동부와 결합할 수 있는 제1 결합구(도면에 미도시)가 형성된다.
그리고 구동부(144)는 반송 챔버(120)의 하벽 외면에 부착되어 마련되며, 전술한 반송암(142)과 결합되어 반송암(142)을 구동시키는 역할을 한다. 즉, 구동부(144)는 반송암(142)이 기판을 반송하기 위하여 필요한 회전 운동 및 수평 운동을 가능하게 하며, 특정한 경우에는 반송암을 상하 방향으로 구동시키기도 한다. 이러한 구동부(144)의 상부 소정 부분에는 반송암(142)의 축에 형성되는 제1 결합구와 결합할 수 있는 제2 결합구가 마련된다. 따라서 반송암(142)과 구동부(144)는 결합되거나 분리될 수 있는 것이다.
이때 구동부(144)와 챔버 본체(122) 하면이 접촉되는 부분에는 밀봉 부재(121)가 마련된다. 즉, 구동부(144)의 상면 중 챔버 본체(122) 하면과 접촉되는 외주부에 밀봉 부재 삽입홈을 형성시키고 밀봉 부재(121)를 구동부와 챔버 본체 하면 사이에 개재한 후, 구동부(144)를 챔버 본체(122)에 결합시킴으로써 밀봉 부재(121)를 설치하는 것이다. 이 밀봉 부재(121)는 구동부(144)와 챔버 본체(122)가 접촉하는 부분에 미세한 틈이 발생하여 반송 챔버 내부와 외부 사이의 기밀이 해제되는 것을 방지하기 위하여 설치되는 것이다.
그리고 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치에는 수직 이동부(145)가 더 마련된다. 이 수직 이동부(145)는 구동부(144)와 결합되어 마련되며, 구동부(144) 를 상하 방향으로 이동시키는 기능을 한다. 따라사 수직 이동부(145)는 구동부(144)의 외부 소정 부분에 결합되어 마련되며, 바닥면 또는 반송 챔버(120)를 탑재하는 프레임(125)에 그 하부가 결합된다. 그리고 수직 이동부(145)의 소정 부분에는 구동부(144)를 상하 방향으로 구동시키기 위한 동력을 제공하는 모터(146)가 더 마련될 수 있다. 물론 모터 없이 작업자가 다른 기구를 이용하여 구동부를 상하 방향으로 구동시킬 수도 있다. 이 수직 이동부(145)는 구동부(144)를 챔버 본체(122)에 설치하는 과정이나, 구동부(144)의 보수 작업이 요구되어 구동부(144)를 챔버 본체(122)에서 분리하는 과정에서 구동부(144)를 상승시키거나 하강시키는 역할을 하는 것이다.
또한 구동부(144)의 하측에는 수평 이동부(147)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 수평 이동부(147)는 구동부(144) 하단에 결합되어 마련되며, 구동부(144)를 수평 방향으로 이동시키는 기능을 한다. 따라서 수평 이동부(147)는, 구동부(144)를 설치하거나 보수 작업을 위하여 챔버 본체(122)로부터 분리하는 경우에 구동부(144)를 반송 챔버(120) 하측에서 반송 챔버 외측으로 이동시키거나, 반송 챔버의 외측에서 반송 챔버 하측으로 이동시키는 기능을 하는 것이다. 본 실시예에서는 이 수평 이동부(147)를 회전이 가능한 바퀴구조로 형성시킴으로서 적은 힘으로도 구동부(144)를 수평 방향으로 움직일 수 있도록 한다.
또한 본 실시예에 따른 반송 챔버(120)가 설치된 곳의 바닥면 또는 프레임(125) 하단에는 경로부(148)가 더 형성되는 것이 바람직하다. 이 경로부(148)는 수평 이동부(147)와 결합할 수 있는 구조를 가지며, 구동부(144)가 수평 이동하는 경로를 제공한다. 이때 경로부(148)는 구동부(144)가 이동하는 경로를 최단으로 하며, 구동부(144)가 챔버 본체(122)에 결합하기 위하여 이동되어야 하는 위치에 형성된다. 본 실시예에서는 전술한 수평 이동부(147)의 바퀴 구조와 결합할 수 있는 레일구조로 경로부(148)를 형성시킨다.
반송 챔버(120) 하측 뿐만 아니라 반송 챔버(120)의 외주를 벗어나는 위치까지 구동부(144)를 이동시킬 수 있어야 구동부(144)의 보수 및 이동 작업이 용이하기 때문에, 경로부(148)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 반송 챔버 하부를 벗어나는 외측으로 돌출되게 마련된다. 다만, 반송 챔버 외측으로 돌출되는 부분(148a)은 구동부(144)를 이동시키는 경우를 제외하고는 필요하지 않다. 따라서 구동부(144)를, 도 4에 도시된 바와 같이, 이동시키지 않는 평상시에는 경로부 중 돌출된 부분(148a)이 반송 챔버(120) 하측으로 삽입될 수 있는 삽입식으로 형성시키는 것이 바람직하다. 또한 도 5에 도시된 바와 같이, 돌출된 부분(148a)이 챔버 하측으로 접혀 들어갈 수 있는 접이식으로 마련될 수도 있다.
그리고 전술한 수평 이동부(147)의 소정 부분에는 고정부(도면에 미도시)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 본 실시예에 따른 구동부(144)는 상하 방향으로는 물론이며, 수평 방향으로도 이동가능한 구조이지만, 구동부(144)가 챔버 본체(122)에 결합된 후에는 움직이지 않아야 한다. 따라서 고정부는 구동부(144)가 챔버 본체(122)에 결합된 후에는 더 이상 움직이지 않도록 구동부(144)를 그 위치에 고정시키는 역할을 한다.
이하에서는 본 실시예에 따른 반송 로봇을 반송 챔버에 설치하는 과정 및 분리하는 과정을 설명한다.
먼저 반송 로봇을 설치하는 과정을 살펴본다.
우선 구동부(144)를 경로부(148) 중 외측으로 돌출된 부분(148a)에 탑재시킨다. 그리고 구동부(144)를 수평방향으로 이동시켜서 반송 챔버(120) 하측에 위치시킨다. 이때 구동부(144)는 자신이 결합될 챔버 본체(122) 하부 중앙 영역에 정확하게 위치되어야 한다. 다만, 본 실시예에서는 경로부(148) 자체가, 구동부(144)가 설치될 곳의 하부에 정확하게 설치되어 있으므로, 경로부(148)를 따라서 구동부(144)를 이동시키면 구동부(144)가 설치될 위치에 위치된다.
그 후에는 수직 이동부(145)를 구동시켜서 구동부(144)를 상승시킨다. 구동부(144)가 챔버 본체(122) 하벽에 접촉할 정도로 상승되면 수직 이동부(145)의 구동을 정지시키고, 구동부(144)를 챔버 하벽에 견고하게 고정시킨다. 그리고 나서 고정부를 이용하여 수평 이동부(147) 및 구동부(144)가 수평 방향으로 움직이지 않도록 고정시킨다.
이렇게 구동부(144)의 설치가 완료되면 반송 챔버(120)의 상측에 마련된 크레인을 이용하여 반송암(142)을 상측 개구부(126)를 통하여 챔버 내부로 반입한다. 그리고 반송암(142)을 계속하여 하강시켜서 반송암(142)의 하부에 형성되어 있는 제1 결합구와 구동부(144)의 상부에 마련되어 있는 제2 결합구를 견고하게 결합시킨다.
반송암(142)이 구동부(144)에 결합되면 반송 로봇(140)의 설치과정은 마무리 된 것이며, 크레인을 이용하여 상부 커버(124)를 다시 이동시켜 챔버 본체(122) 상부에 형성된 상측 개구부(126)를 막는다.
그리고 반송 로봇(140)의 보수 작업을 위하여 반송 로봇을 반송 챔버(120)로 부터 분리시켜 반출하는 과정은 기본적으로 전술한 설치과정의 역순으로 이루어진다. 즉, 상부 커버(124)를 개방시키고, 반송암(142)을 구동부(144)와 분리시켜 크레인을 사용하여 챔버 상부로 반출한다. 그리고 구동부(144)는 수직 이동부(145) 및 수평 이동부(147)를 이용하여 챔버 외측으로 이동시켜 반출한다.
본 발명에 따르면, 반송 로봇이 반송암과 구동부로 분리, 결합될 수 있는 구조이며, 구동부는 반송 챔버의 하측으로 설치 또는 분리될 수 있어서, 반송 로봇의 설치 및 보수 작업이 매우 용이해지는 장점이 있다.
특히, 최근 대형화되는 평판표시소자 제조장치에 있어서는 모든 구성 요소의 높이가 높아져서 반송 챔버의 상측으로 반송 로봇을 설치하거나 반출할 수 없는 경우에 적용될 수 있는 장점이 있다.

Claims (9)

  1. 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 이루어지는 평판표시소자 제조장치에 있어서,
    상기 반송 챔버는,
    상벽 소정 부분 및 하벽 소정 부분에 각각 상측 개구부와 하측 개구부가 형성되는 챔버 본체 ;
    수직 및 수평 방향을 따라 이동 가능하게 마련되어 상기 상측 개구부를 개폐하는 상부 커버 ;
    상기 챔버 본체 내부 중 상기 하측 개구부의 상부에 마련되며, 그 상부에 기판을 올려놓고 이송하는 이송암 ;
    상기 하측 개구부 하부 영역에 마련되어 상기 이송암과 결합되어 상기 이송암을 구동시키는 구동부 ;
    상기 구동부 하단에 결합되어 마련되며, 상기 구동부를 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부 ;
    상기 구동부와 상기 챔버 본체 하부 사이의 접촉 영역에 배치되어 상기 챔버 내부를 외부와 차단시키는 밀봉부재 ;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 평판표시소자 제조장치에는,
    상기 구동부와 결합되어 마련되며, 상기 구동부를 상하 방향으로 이동시키는 수직 이동부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 평판표시소자 제조장치에는,
    반송 챔버 하측에 마련되며, 상기 수평 이동부의 이동 경로를 제공하는 경로부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 경로부는,
    상기 반송 챔버의 외측으로 돌출되는 부분이, 상기 반송 챔버의 내측에 마련된 부분으로 삽입될 수 있는 구조인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 경로부는,
    상기 반송 챔버의 외측으로 돌출되는 부분이, 상기 반송 챔버의 내측에 마련된 부분과 힌지에 의하여 연결되어, 수평 방향으로 회동될 수 있는 구조인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 평판표시소자 제조장치에는,
    상기 수평 이동부의 소정 부분에 마련되며, 상기 수평 이동부가 움직이지 않 도록 고정시키는 고정부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  8. 반송 챔버에 반송 로봇을 설치시키는 반송로봇 설치방법에 있어서,
    1) 상기 반송 챔버의 하측 영역에 이송암을 구동시키는 구동부를 위치시키는 단계;
    2) 상기 구동부를 하측 개구부에 견고하게 결합시키는 단계;
    3) 상기 반송 챔버의 상측 개구부를 개방하고, 상기 상측 개구부를 통하여 이송암을 반송 챔버 내부로 반입시켜 이송암과 구동부 를 결합시키는 단계;를
    포함하여 구성되는 반송로봇 설치방법.
  9. 반송 챔버에 설치된 반송 로봇을 분해시키는 반송로봇 분해방법에 있어서,
    1) 이송암과 구동부를 분리시키는 단계;
    2) 이송암을 반송 챔버 상측에 형성되어 있는 상측 개구부를 통하여 반출하는 단계;
    3) 구동부를 하측 개구부로 부터 분리시키고, 수평이동시켜 반송 챔버 외측으로 반출시키는 단계;를
    포함하여 구성되는 반송로봇 분해방법.
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