KR100606566B1 - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클린룸 내에서 많은 공간을 차지하지 않으면서 공정 챔버의 상부 커버를 개폐할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 공정챔버는 상부커버가 하부와 분리되어 개폐가능한 구조이며, 상부커버를 지지할 수 있는 별도의 지지대가 더 구비되고, 공정챔버의 상부를 들어올린 후 상기 지지대로 이동시킬 수 있는 이동기구가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.

평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 공정 챔버, 이동기구

Description

평판표시소자 제조장치{Apparatus for manufacturing FPD}

도 1은 일반적인 평판표시소자 제조장치의 구조를 나타내는 단면도이다.

도 2a 내지 2e는 종래의 상부커버 개폐 과정을 나타내는 과정도이다.

도 3은 본 발명의 지지대의 구조를 나타내는 사시도이다.

도 4는 공정챔버의 상부커버의 구조를 나타내는 사시도이다.

도 5는 본 발명에 따른 이동기구의 제2 실시예의 구조를 나타내는 평면도이다.

도 6은 본 발명에 따른 이동기구의 제2 실시예의 구조를 나타내는 정면도이다.

도 7a 내지 7d는 본 발명에 따른 상부커버 개폐방법을 설명하는 과정도이다.

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 클린룸 내에서 많은 공간을 차지하지 않으면서 공정 챔버의 상부 커버를 개폐할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

일반적으로 LCD, PDP, EL 등의 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 로드락(Loadlock) 챔버(100), 반송 챔버(200) 및 공정챔버(300) 등의 진공 챔버가 연결되어 구성된다. 물론 경우에 따라서는 도 3에 도시된 바와 같이, 하나의 반송챔버(200)에 다수개의 공정챔버(300)가 연결될 수도 있다.

이때, 로드락 챔버(100)는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 챔버(200)는 그 내부에 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버(100)에서 공정챔버(300)로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버(300)에서 로드락 챔버(100)로 전달하는 역할을 하며, 공정 챔버(300)는 진공 중에서 플라즈마나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.

이때, 공정 챔버(300) 내에서는 여러가지 가스나 플라즈마를 이용하므로, 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 공정 챔버(300) 내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서 공정 챔버(300)는 공정 챔버(300)의 내부를 유지 보수할 수 있도록 공정챔버(300)의 상부 커버(310)를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다.

종래에 상부 커버(310)를 개폐하기 위해서는 도 2a에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(300)의 외부에 상부커버(310)를 개폐할 수 있는 개폐수단(10)을 구비하고, 그 개폐수단(10)에 의하여 공정챔버의 상부커버(310)를 개폐한다.

상부커버(310)의 개폐 과정을 살펴보면, 먼저 개폐수단(10)에 구비되어 있는 수직 방향 구동기구(도면에 미도시)에 의하여 상부커버(310)를 소정 간격 만큼 수직 방향으로 들어 올린 후(도 2b 참조), 상부커버(310)가 들어 올려진 상태에서 수평 이동 가이드(20)를 이용하여 수평방향으로 이동한다(도 2c 참조). 그리고 상부커버(310)가 수평방향으로 끝까지 이동한 후 상부커버(310)를 회전 기구(도면에 미도시)에 의하여 180°회전시킨다(도 2d, 도 2e). 이렇게 하여 공정 챔버(300)의 하부와 상부를 모두 개방시켜 공정 챔버(300) 내부의 각 장비를 교환하거나 보수하는 작업을 한다.

그러나, 상술한 종래의 상부커버 개폐장치(10)는 그 구성이 복잡하며, 상기 상부커버(310)의 개폐에 매우 오랜 시간이 소요되는 문제점이 있다. 또한 공정 챔버에 인접하게 상부커버를 개폐할 수 있는 공간을 남겨 두어야 하므로 상부커버의 개폐를 위하여 매우 넓은 공간이 필요하다. 따라서 평판표시소자 제조장치가 대형화 되면서 공간 활용의 효율성이 떨어지는 문제점이 있다.

더구나 클러스터 타입의 경우 각 장치마다 별도의 상부 커버 개폐장치를 하여야 하므로, 상술한 공간 활용의 문제점은 평판표시소자를 클러스터(cluster) 타입으로 설치하는 경우 더욱 심각하게 대두된다. 따라서 평판표시소자 제조장치의 제조단가가 상승하는 문제점도 있다.

본 발명의 목적은 평판표시소자 제조장치가 설치되는 공간의 활용 효율을 극대화할 수 있는 공정챔버의 개폐 방법을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 평판표시소자 제조장치가 설치되는 공간의 활용 효율 을 극대화하면서 공정챔버를 개폐할 수 있는 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는, 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버를 포함하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 공정챔버는 상부커버가 하부와 분리되어 개폐가능한 구조이며, 상부커버를 지지할 수 있는 별도의 지지대가 더 구비되고, 공정챔버의 상부를 들어올린 후 상기 지지대로 이동시킬 수 있는 이동기구가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 공정챔버 개폐방법은, 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 구성되는 평판표시소자 제조장치 중 공정 챔버의 상부커버를 개폐하는 방법에 있어서, 상기 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버와 분리되어 독립적으로 이동가능한 지지대를 공정챔버와 인접한 위치에 위치시키는 단계; 상기 이동기구를 이동시켜서 상기 공정챔버의 상부에 위치시키고, 상기 상부커버의 상부면에 구비되어 있는 이동기구 체결부와 이동기구를 결합시키는 단계; 상기 이동기구를 이동시켜서 상부커버를 지지대 상부로 이동시킨 후, 하강시켜서 재치부에 위치시키는 단계; 를 포함한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성, 작용 및 실시예를 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치는 로드락 챔버(100), 반송챔버(200), 공정챔버(300)로 구성되며, 별도의 지지대(400)와 이동기구(500)가 더 구비된다.

공정챔버(300)는 상부와 하부가 분리될 수 있어서, 상부커버(310)를 개폐할 수 있도록 구비된다. 또한 상부커버(310)의 측면에는 걸림부(312)가 돌출 형성되어 있어서 상부커버(310)를 지지대(400)에 용이하게 재치할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 그리고 상부커버(310)의 상부면 소정 부분에는 이동기구(500)와 결합할 수 있는 이동기구 체결부(314)가 구비되는 것이 바람직하다. 이때 이동기구 체결부(314)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상부커버(310)의 상부면 중앙부에 하나가 구비될 수도 있고, 상부면 각 모서리 부분에 하나씩 다수개가 구비될 수도 있다.

그리고 본 발명에서 지지대라 함은 공정챔버(300)에서 분리된 상부커버(310)를 그 위에 위치시키고, 지지할 수 있는 구조물을 말하는 것으로서, 로드락 챔버(100), 반송 챔버(200), 공정 챔버(300)가 서로 결합되어 구비되는 반면에, 지지대(400)는 각 챔버와 분리되어 독립적으로 이동가능하도록 구비된다. 따라서 본 발명에 따른 지지대(400)는 지지대(400)를 설치하기 위한 별도의 공간이 필요하지 않으며 평판표시소자 제조장치를 설치하는 환경에 따라 적당한 공간에 지지대(400)를 이동시켜서 위치시킨 후 상부 커버(310)를 개폐하는 것이 가능하다. 그러므로 평판표시소자 제조장치가 설치되는 클린룸의 공간 이용 효율이 극대화되는 장점이 있다.

이때 지지대(400)는 도 3에 도시된 바와 같이, 재치부(410)와 회전부(420)로 구성되는데, 재치부(410)는 공정챔버(300)에서 분리된 상부커버(310)가 위치되는 부분이며, 회전부(420)는 재치부(410)에 위치된 상부커버(310)를 회전시키는 역할을 하는 구성요소이다. 재치부(410)는 상부커버(310)에 구비되어 있는 걸림부(312)가 걸릴 수 있도록 걸림홈(412)이 형성되어 있고, 상부커버(310)보다 넓게 형성되어서 재치부(410)에 위치된 상부커버(310)가 회전할 수 있는 구조로 구비되는 것이 바람직하다.

또한 회전부(420)는 재치부(410)의 양 측면에 구비되며, 상부커버(310)에 구비되어 있는 걸림부(312)와 결합하여 걸림부(312)를 회전시킴으로써 상부커버(310)를 회전시키는 역할을 한다. 이때 회전부(420)는 외측과 내측 방향으로 이동할 수 있도록 구비되어, 상부커버(310)를 재치부(410)에 위치시키는 동안에는 외측에 위치되어 있어서, 상부커버(310)를 재치시키는데 방해되지 않도록 하고, 상부커버(310)가 재치부(410)에 완전히 위치되면, 내측으로 이동하여 걸림부(312)와 결합한다.

그리고 지지대(400)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 재치부(410)에 위치된 상부커버(310)에서 작업을 수행하는 동안 상부 커버(310)가 재치부(410)에서 이격되거나 흔들리는 등 불안정한 문제점을 해결하기 위하여 고정부(430)가 더 구비될 수도 있다. 이때 고정부(430)는 외측과 내측으로 이동할 수 있는 구조로 구비되어 있어서, 상부커버(310)를 재치부(410)에 안착시키거나 회전시키는 동안에는 외측에 위치되어 있다가, 상부커버(310)가 재치부(410)에 완전히 위치된 후 또는 회전된 후에 내측으로 이동하면서 상부커버(310)와 강하게 결합하여 상부커버(310)를 지지 하는 구조인 것이 바람직하다.

또한 지지대(400)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 지지대(400)를 상하로 구동시킬 수 있는 상하 구동부(440)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 즉, 재치부(410) 및 회전부(420)를 지지하는 각 기둥을 상하로 신장이 가능한 구조로 구비시키는 것이다. 이렇게 지지대(400)에 상하 구동부(440)가 구비되면 상부커버(310)를 회전부(420)로 180°회전시킨 후에 상부 커버(310)를 가장 낮은 위치로 위치시켜서 상부커버(310)의 내부에 대한 보수 작업을 진행할 수 있다. 따라서 높은 위치에서 작업을 수행하여야 하는 불편함이 해소되고, 평판표시소자 제조장치의 대형화에 따라 엄청난 중량을 가지는 상부커버(310)를 낮은 위치로 위치시킴으로써 위치에너지를 낮추어 안전상의 문제점도 해결할 수 있는 장점이 있다.

다음으로 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치에는 상부커버(310)를 지지대(400)에 이동시키고, 보수 작업이 완료된 상부커버(310)를 지지대(400)에서 공정챔버(300)로 이동시키는 역할을 하는 이동기구(500)가 구비된다. 본 발명에 따른 이동기구(500)는 상부커버(310)를 소정 높이로 들어올린 후 지지대(400)로 이동시키는데, 상부커버(310)를 소정 높이로 들어 올린 후 이동시키는 이유는, 상부커버(310)가 공정챔버(300)의 하부와 밀착, 결합되어 있고, 챔버 내부에 형성되어 있는 부품 등이 이동 과정에서 다른 부분과 부딪쳐서 손상될 수 있으므로 걸리지 않는 높이로 상승시킨 후 이동시키는 것이다. 본 발명에서는 이동기구를 두가지 실시예로 개시한다.

먼저 이동기구의 제1 실시예에 의하면 이동기구(도면에 미도시)는 공정챔버의 상부에 구비된 이동레일에 결합되어 구비될 수 있다. 이 경우 이동기구는 이동레일을 따라서 이동하게 된다. 따라서 이동레일을 각 공정챔버의 상부를 지나도록 설치한 후 그 이동레일 따라서 이동하는 이동기구를 보수 작업이 필요한 공정챔버 상에 위치시킨 후 이동기구를 이용하여 그 공정챔버의 상부커버(310)를 열어서 지지대(400)로 이동시키는 것이다.

다음으로 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 이동기구에 대한 제2 실시예에 의하면 이동기구(500)는 진공 챔버의 상부에 고정되어 구비되는데, 특히 반송챔버(200) 상부에 고정되어 구비되는 것이 바람직하다. 이 경우 이동기구(500)는 반송챔버(200)의 상부에 일단이 고정, 결합되며, 타단이 상부커버(310)에 형성되어 있는 이동기구 체결부(314)와 결합하여 상부커버(310)를 이동시키게 된다.

이때 이동기구(500)는 수평 회전부(510), 제1 관절부(520), 제2 관절부(530)로 구성된다. 수평 회전부(510)는 반송챔버(200)의 상부면에 고정 결합되며, 이동기구(500)를 수평방향으로 회전시키는 역할을 한다.

그리고 제1 관절부(520)는 수평 회전부(510)에 그 일단이 결합되고, 타단은 제2 관절부(530)와 결합되며, 수평 회전부(510)에 결합된 일단을 중심으로 타단을 연직방향으로 회전시킬 수 있도록 구비된다. 또한 제2 관절부(530)는 그 일단이 제1 관절부(520)의 타단에 결합되고, 타단은 다른 부분과 결합되지 않는 구조로 구비된다. 이때 제2 관절부(530)는 제1 관절부(520)의 타단에 결합된 일단을 중심으 로 타단을 연직방향으로 회전시킬 수 있도록 구비된다. 또한 제2 관절부(530)의 타단은 그 말단에 상부커버(310)의 상부면에 형성되어 있는 이동기구 체결부(314)와 결합할 수 있는 상부커버 체결부(532)가 형성된다. 상부커버 체결부(532)는 이동기구 체결부(314)와 견고하게 결합되어 상부커버(310)를 들어 올리고, 지지대(400)로 이동시키는 과정에서 상부커버(310)가 이동기구(500)에서 이탈되거나, 흔들리는 것을 방지하게 된다.

다음으로는 본 발명에 따른 공정챔버의 상부 커버 개폐 방법을 설명한다.

먼저 도 7a에 도시된 바와 같이, 로드락 챔버(100), 반송 챔버(200), 공정 챔버(300)와 분리되어 독립적으로 이동가능한 지지대(400)를 공정챔버(300)와 인접한 위치에 이동시킨다. 이때 지지대(400)가 위치되는 위치는 특정하게 준비되어 있는 것이 아니라, 공정 챔버(300)에 인접하면서, 가용한 공간이면 충분하다. 예를 들어 도 5에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(300)가 반송 챔버(200)에 3개가 결합되는 경우에는 공정 챔버와 공정챔버 사이에 공간(A)이 생기게 되는데, 이러한 공간(A)을 이용하여 지지대(400)를 위치시키면 되는 것이다.

그리고 이동기구(500)를 이동시켜서 보수 작업이 요청되는 공정챔버(300)의 상부에 위치시키고, 공정 챔버의 상부면에 구비되어 있는 이동기구 체결부(314)와 이동기구의 말단에 구비되어 있는 상부커버 체결부(532)를 견고하게 결합시킨다.

이동기구 체결부(314)와 상부커버 체결부(532)가 견고하게 결합되면, 도 7에 도시된 바와 같이, 이동기구(500)를 구동시켜서 상부커버(310)를 소정 높이까지 상 승시킨 후 지지대(400)의 상부로 이동시킨다. 지지대(400) 상부로 정확하게 상부커버(310)가 이동되면 상부커버(310)를 하강시켜서 상부커버(310)를 재치부(410)에 위치시킨다.

상부커버(310)가 재치부(410)에 완전하게 위치되면 지지대(400)에 구비되어 있는 회전부(420)를 내측으로 이동시켜서 상부커버(310)를 단단하게 고정시킨다.

그리고 도 7c에 도시된 바와 같이, 회전부(420)를 구동시켜서 상부커버(310)를 180°회전시킴으로써 상부커버의 내부가 천장을 향하도록 한다. 상부커버(310)를 이러한 상태로 위치시켜야 보수작업이 용이하기 때문이다. 물론 고정부(430)가 더 구비되어 있는 경우에는 상부커버(310)가 회전된 후에 고정부(430)도 내측으로 이동시켜서 상부커버(310)를 견고하게 고정시킨다.

또한 도 7d에 도시된 바와 같이, 작업자의 보수 작업의 용이 또는 안전상의 문제를 해결하기 위하여 상하 구동부(440)를 구동시켜 상부커버(310)를 가장 낮은 위치로 하강시킨다.

본 발명의 평판표시소자 제조장치에 의하면 많은 공간을 차지하지 않으면서도 공정 챔버의 상부커버를 용이하게 개폐할 수 있는 장점이 있다.

Claims (15)

1. 로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버의 진공챔버를 포함하는 평판표시소자 제조장치에 있어서,

   상기 공정챔버는 상부커버가 하부와 분리되어 개폐가능한 구조이며,

   상부커버를 지지할 수 있는 별도의 지지대 및 상부커버를 들어올린 후 상기 지지대로 이동시킬 수 있는 이동기구가 더 구비되되,

   상기 지지대는,

   상부커버의 양단과 결합하여 상부커버를 지지하는 재치부;

   상기 재치부의 양 단에 내측으로 돌출되어 마련되며, 상기 재치부에 재치된 상부커버의 하측을 지지하여 고정시키는 고정부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 지지대는,

   로드락 챔버, 반송챔버, 공정챔버와 분리되어 독립적으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 지지대에는,

   상기 재치부의 중앙 영역에 마련되며, 상기 재치부에 재치된 상부 커버의 중앙 영역과 결합하여 상부커버를 회전시키는 회전부;가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 지지대에는,

   상기 지지대를 상하로 구동시킬 수 있는 상하 구동부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
5. 제4항에 있어서,

   상부커버의 중앙 부분에는 상부커버를 지지대에 재치시킬 때 재치부에 걸리는 걸림부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
6. 제1항에 있어서,

   상부커버의 상부면 모서리 부분에는 이동기구와 결합할 수 있는 이동기구 체결부가 하나 이상 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 이동기구는,

   공정 챔버의 상부에 구비된 이동레일에 결합되고, 그 이동레일을 따라서 이동하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 이동기구는,

   진공 챔버의 상부에 일단이 고정, 결합되며, 타단이 상기 이동기구 체결부와 결합하여 상부커버를 이동시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 이동기구는,

   진공 챔버의 상부에 일단이 결합되어 있으며, 타단을 상하로 구동시킬 수 있는 제1 관절부;

   상기 제1 관절부의 타단에 일단이 결합되고, 타단을 상하로 구동시킬 수 있는 제2 관절부;

   를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 이동기구에는,

    상기 이동기구를 수평방향으로 회전시킬 수 있는 수평회전부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
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