KR100740451B1 - 진공처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 그 내부를 진공분위기로 형성시키고 기판에 소정의 처리를 실시할 수 있는 진공처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버를 챔버 본체와 상부 커버로 분리시켜 구비시키고, 상부 커버를 챔버본체로부터 용이하게 개폐할 수 있는 진공처리장치에 관한 것이다.
본 발명은, 기판의 유출입이 가능하도록 게이트 밸브가 구비된 챔버 본체, 상기 챔버 본체의 상부에 탈부착 가능하게 마련된 상부커버를 구비한 처리장치에 있어서, 상기 상부 커버의 상측에 상기 상부 커버와 탈착가능하도록 배치되며, 상기 상부 커버를 상하 방향으로 승강시키는 상부 커버 승강부; 상기 상부 커버를 사이에 두고, 상부 커버의 양측에 배치되며, 상기 상부 커버 승강부에 의하여 상승된 상부 커버를 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부;를 포함하는 진공처리장치를 제공한다.
진공처리장치, 평판표시소자 제조장치, 상부커버, 챔버 본체

Description

진공처리장치{APPARATUS FOR VACUUM PROCESSING}
도 1은 종래의 진공처리장치의 각 챔버의 레이아웃을 도시하는 도면이다.
도 2는 진공처리장치의 내부 구조를 설명하는 모식 단면도이다.
도 3은 종래의 상부커버 개폐장치의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공처리장치의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 커버 승강부의 구조를 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동방지부재의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 지지프레임의 구조를 도시하는 측면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공처리장치에서 상부커버를 개폐하는 과정을 도시하는 도면들이다.
본 발명은 그 내부를 진공분위기로 형성시키고 기판에 소정의 처리를 실시할 수 있는 진공처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버를 챔버 본체와 상부 커버로 분리시켜 구비시키고, 상부 커버를 챔버본체로부터 용이하게 개폐할 수 있는 진공처리장치에 관한 것이다.
진공처리장치는 대부분 반도체 제조장치와 평판표시소자 제조장치에 사용된다. 반도체 제조장치 또는 평판표시소자(FPD Flat Panel Display) 제조장치는 내부에 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는 데 사용된다. 이때 평판표시소자는, LCD, PDP, OLED 등을 말하며, 이러한 진공처리용 장치는 일반적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 로드락(Loadlock) 챔버(R), 반송 챔버(T) 및 공정챔버(P)의 3개의 진공 챔버로 구성된다.
여기서 로드락 챔버(R)는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 챔버(T)는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 한다. 그리고 공정 챔버(P)에는 챔버내에서 기판을 지지하기 위한 지지부재와, 상기 챔버 내에 처리 가스를 공급하기 위한 처리가스 공급계와, 챔버 내부를 배기함과 동시에 챔버 내부를 진공으로 설정하기 위한 배기계 등이 구비되어, 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
이때, 공정 챔버 내에서는 여러가지 공정가스나 플라즈마를 이용하므로 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 상기 공정 챔버 내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서, 공정 챔버는 도 2에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(1)의 내부를 유지 보수할 수 있도록 챔버 본체(10)와 상부 커버(20)로 이루어지고, 공정챔버(1)의 상부 커버(20)를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다. 이때 상부 커버(20)를 개폐시키는 방식으로는 공정 챔버(1)가 설치된 클린룸의 천장에 크레인을 마련하고, 그 크레인을 이용하여 상부 커버를 개폐하는 방식과, 공정 챔버에 개폐수단을 구비시키고, 그 개폐수단에 의하여 상부 커버를 개폐하는 방식이 있다.
종래에 상부 커버(20)를 개폐하기 위한 일례로는 도 3에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(1)의 외부에 상부 커버(20)를 개폐할 수 있는 개폐수단(50)을 구비하고, 그 개폐수단(50)에 의하여 상부커버(20)를 개폐한다. 이때 이 개폐수단(50)에는 상부 커버(20)를 수직방향으로 들어 올릴 수 있는 수작방향 구동기구와, 상부 커버(20)를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 수평방향 구동기구와, 상부 커버(20)를 회전시킬 수 있는 회전기구가 마련되고, 이와 별도로 수평방향 구동기구의 이동 경로를 제공하는 수평이동 가이드(60)가 마련된다.
이러한 개폐수단(50)을 사용하여 상부 커버(20)를 개폐하는 상부커버(20)의 개폐 과정을 살펴보면 다음과 같다. 먼저 개폐수단(50)에 구비되어 있는 수직 방향 구동기구에 의하여 상기 상부커버(20)를 소정 간격 만큼 수직 방향으로 들어 올린 후, 상부커버(20)가 들어 올려진 상태에서 수평 이동 가이드(60)를 이용하여 상부 커버를 수평방향으로 이동시킨다. 그리고 상부커버(20)가 완전히 수평방향으로 이 동되면 상부커버(20)를 회전 기구에 의하여 180°회전시킨다. 이렇게 하여 공정 챔버(1)의 하부와 상부를 모두 개방시켜 공정 챔버(1) 내부의 각 장비를 교환하거나 보수하는 작업을 한다.
그러나 최근 평판표시소자 제조장치에 의하여 처리되는 기판이 대형화되면서 평판표시소자 제조장치의 진공챔버의 크기고 급격하게 대형화되고 있다. 따라서 최근의 진공 챔버에 있어서, 그 상부 커버(20)는 그 크기가 가로, 세로 3, 4m에 이를 뿐만아니라, 그 무게도 3, 4 톤이 넘는 상황이다. 그러므로 이렇게 무거운 대형 진공 챔버의 상부 커버를 상하 방향으로 들어올리기 위해서는 상하 방향 구동기구에 매우 큰 용량의 에어 실린더 등이 필요하고, 부피가 큰 대형 챔버의 상부 커버를 들어 올릴때 그 불안정성이 증가하여 진공 챔버 내부의 유지, 보수 작업이 매우 어려워지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상부 커버를 용이하게 개폐할 수 있는 대형 진공처리장치를 제공함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판의 유출입이 가능하도록 게이트 밸브가 구비된 챔버 본체, 상기 챔버 본체의 상부에 탈부착 가능하게 마련된 상부커버를 구비한 처리장치에 있어서, 상기 상부 커버의 상측에 상기 상부 커버와 탈착가능하도록 배치되며, 상기 상부 커버를 상하 방향으로 승강시키는 상부 커버 승강부; 상기 상부 커버를 사이에 두고, 상부 커버의 양측에 배치되며, 상기 상부 커버 승강부에 의하여 상승된 상부 커버를 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부;를 포함하는 진공처리장치를 제공한다.
본 발명에서 상기 상부커버 승강부는, 상기 상부 커버의 상면과 결합하여 상기 상부커버를 들어올리는 다수개의 호이스트 크레인; 상기 상부커버의 상측에 상부 커버의 상면과 평행하게 소정간격 이격되어 배치되며, 상기 다수개의 호이스트 크레인이 결합되어 지지되는 크레인 지지 프레임;을 포함하도록 구성되는 것이, 고중량 대형 상부 커버를 안정적으로 들어올릴 수 있어서 바람직하다.
그리고 상기 상부커버 승강부에는, 상기 크레인 지지 프레임과 상기 상부 커버 사이에 개재되어 마련되며, 상기 상부커버의 상승시 상부 커버의 진동을 방지하는 진동방지부재가 더 마련되는 것이, 상부 커버의 상승 또는 하강 중에 상부 커버가 좌우로 흔들리는 것을 방지하여 작업의 안전성을 향상시키므로 바람직하다.
이때 상기 진동방지부재는, 탄성력을 가지는 탄성체로 구비될 수도 있고,
상기 상부 커버의 테두리 영역과 대응되는 형상이며, 상기 상부 커버의 상면에 형성되는 진동방지구와 결합하여 상부 커버의 진동을 방지하는 진동방지 지그로 마련될 수도 있다.
그리고 상기 진동방지 지그에는, 상기 진동방지 지그와 진동방지구 사이에 마련되며, 상기 상부 커버의 상승 높이를 감지하는 상부 커버 높이 감지부가 더 마련되는 것이, 상부 커버의 상승 높이를 감지하여 과도한 동력의 낭비를 막을 있으므로 바람직하다.
또한 본 발명의 수평 구동부는, 상기 상부커버를 수평 방향으로 안내하는 한 쌍의 가이드 레일을 포함하는 것이, 상부커버의 신속하고 정확한 수평 이동을 수행할 수 있어서 바람직하며,
상기 가이드 레일은, 상기 상부 커버에 대향하는 1차 부분과, 상기 상부 커버를 지나서 수평 방향으로 연장하는 2차 부분을 포함하고, 상기 2차 부분은 상기 상부 커버의 측면을 향해 접힐 수 있는 것이, 진공처리장치의 풋프린트를 줄일 수 있어서 바람직하다.
그리고 본 발명에 따른 진공처리장치에는, 상기 챔버 본체의 측방에 마련되며, 상기 가이드 레일에 의하여 수평 이동되는 상부 커버를 수취하는 지지프레임이 더 마련되는 것이, 고중량의 상부 커버를 안정적으로 지지한 상태에서 유지 보수 작업을 진행할 수 있어서 바람직하다.
이때 본 발명에서, 상기 지지프레임은, 상기 가이드 레일과 동일한 높이에 배치되며, 상기 가이드 레일이 연장되는 방향에서 상기 상부 커버의 수평 이동을 안내하는 수평프레임; 상기 수평프레임을 상기 가이드 레일과 동일한 높이로 지지하는 수직프레임; 상기 수평프레임의 챔버 측 일단에 마련되며, 상기 지지프레임을 상기 가이드 레일에 접근시킬 때 상기 수평프레임과 가이드 레일 사이의 간극을 메우는 간극 메움수단;을 포함하여 구성되는 것이, 상부 커버를 용이하게 지지할 수 있으며, 가이드 레일과 간극없이 밀착하여 상부커버를 수취할 수 있어서 바람직하다.
그리고 상기 간극 메움수단은, 상기 수평프레임에 힌지 결합하여 회동가능한 구조를 가지며,
상기 간극 메움수단을 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동부가 더 마련되는 것이, 가이드 레일과 수평프레임 사이의 간극을 용이하게 메우면서도 가이드 레일과 수평프레임 사이의 높이차를 용이하게 극복할 수 있어서 바람직하다.
그리고 본 발명에서는, 상기 지지프레임에, 상기 수직프레임의 하단에 마련되며, 상기 수직프레임과 바닥면 사이의 마찰력을 감소시켜 수직프레임의 수평이동을 돕는 바퀴부가 더 마련되는 것이, 다양한 위치로 이동하면서 다수개의 진공처리장치의 유지 보수 작업을 진행할 수 있어서 바람직하다.
그리고 상기 지지프레임에는, 상기 수평 이동부에 의하여 수평 이동된 상부커버를 회전시키는 회전구동부가 더 마련되는 것이, 상부 커버를 회전시켜 유지 보 수 작업의 능률을 높일 수 있어서 바람직하다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 일 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 진공처리장치도 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 이루어진다. 다만, 여기에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 공정 챔버를 가지고 설명한다. 본 실시예에 따른 진공처리장치(100)는 도 4에 도시된 바와 같이, 챔버 본체(110); 상부 커버(120); 상부 커버 승강부(130); 수평 구동부(140);를 포함하여 구성된다.
먼저 본 실시예에 따른 진공처리장치(100)에는, 전체적으로 직육면체 형상인 챔버 본체(110)와 상기 챔버 본체(110) 상에 탈착가능하게 배치되는 상부 커버(120)로 구성되는 진공 챔버가 구비된다. 이 진공 챔버 내부에서는 대면적의 평판표시소자 기판이 처리되므로, 일반적으로 직사각형 기판과 호응되는 직육면체 형상을 가진다. 이 진공 챔버에는 챔버 내부를 진공상태로 만들기 위한 배기계(도면에 미도시)가 마련된다. 이 배기계의 동작에 의하여 챔버 내부를 진공으로 만든 상태에서 기판에 대한 처리공정이 진행된다.
그리고 상기 챔버 본체(110)에는 챔버 내부로 기판을 반입하거나 챔버 내부의 기판을 외부로 반출하는 통로 역할을 하는 기판 출입구가 형성된다. 일반적으로 기판이 수평으로 누운 상태에서 횡방향으로 이동하여 반입되거나 반출되므로, 상기 기판 출입구는 상기 챔버 본체의 일 측벽을 관통하여 형성된다. 그리고 이 기판 출입구를 개폐하는 게이트 밸브가 마련된다. 기판 출입구는 기판의 반출입과정에서는 열린 상태를 유지하지만, 기판의 반입이 완료되고 처리공정이 진행되는 동안에는 차단되어야 한다. 따라서 상기 게이트 밸브가 상하로 이동하면서 상기 기판 출입구를 개폐하는 것이다.
다음으로 상기 상부 커버 승강부(130)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 상부 커버(120)의 상측에 상기 상부 커버와 탈착 가능하도록 배치되며, 상기 상부 커버(120)를 상하 방향으로 승강시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상부 커버의 개방을 위하여 상부 커버를 상측으로 소정 간격 들어 올린 후, 수평 이동시키게 되는데, 이 과정에서 상부 커버(120)를 들어올리는 공정을 상기 상부 커버 승강부(130)가 담당한다.
본 실시예에서는 이 상부 커버 승강부(130)를, 호이스트 크레인(132)와 크레인 지지 프레임(134)으로 구성한다. 여기에서 호이스트 크레인(132)은, 상기 크레인 지지 프레임(134)의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 상부 커버(120)의 상면과 결합하여 상기 상부커버를 들어올리는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 호이스트 크레인(132)을 다수개로 마련하여, 상부 커버(120)의 다수 지점과 각각 결합하게 하며, 하나의 호이스트 크레인에 부담되는 하중을 감소시킨다. 이렇게 다수개의 호이스트 크레인(132)으로 상부 커버의 다수 지점과 결합하여 상부 커버(120)를 들어올리면, 하중이 분산될 뿐만아니라, 다수 지점을 지지하므로, 상부 커버의 상승 및 하강 과정에서 상부 커버가 흔들리는 것을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
그리고 크레인 지지 프레임(134)은, 상기 상부커버(120)의 상측에 상부 커버의 상면과 평행하게 소정간격 이격되어 배치되며, 상기 상부 커버의 테두리 부분과 대응되는 형상을 가진다. 이 크레인 지지 프레임(134)에는 상기 호이스트 크레인(132)이 결합되어 지지된다. 상기 크레인 지지 프레임(134)은 도 5에 도시된 바와 같이, 전체적으로 4각 링 형상을 가지며, 상기 상부 커버(120)의 테두리부에 대응되되, 상기 상부 커버보다 넓은 폭을 가진다. 그리고 이 크레인 지지 프레임(134)에는 호이스트 크레인(132)의 배치 지점을 다양하게 하기 위하여 보조 프레임(133)이 도 5에 도시된 바와 같이, 마련된다. 이 보조 프레임(133)은 크레인 지지 프레임(134)의 내부에 이 크레인 지지 프레임을 가로 질러서 배치된다. 상기 호이스트 크레인(132)은 도 5에 도시된 바와 같이, 이 보조 프레임(133)이 겹치는 부분에 배치된다.
또한 본 실시예에 따른 상부 커버 승강부(130)는, 진공처리장치가 설치되는 클린룸의 천장에 마련되는 메인 크레인(도면에 미도시)에 의하여 다른 장소로 이동가능한 구조를 가진다. 즉, 메인 크레인에 의하여 상승되어 다른 진공처리장치로 이동되어 상부 커버를 개방하는 작업을 진행할 수 있는 것이다. 따라서 상기 크레인 지지 프레임의 상부에는 상기 메인 크레인과 결합할 수 있는 결합부(도면에 미도시)가 별도로 마련되는 것이 바람직하다. 이렇게 상부 커버 승강부(130)를 이동가능하게 구성하면, 진공처리장치의 모든 공정챔버에 대하여 상부커버 승강부를 구비할 필요가 없어서, 장치의 제조단가가 낮아지며 장치의 구조가 단순해지는 장점 이 있다.
그리고 본 실시예에 따른 상부 커버 승강부(130)에는, 진동방지부재(136)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 진동방지부재(136)는, 상기 크레인 지지 프레임(134)과 상기 상부 커버(120) 사이에 개재되어 마련되며, 상기 상부커버의 상승 또는 하강시에 상부 커버의 흔들림을 방지하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 진동방지부재(136)를 도 4에 도시된 바와 같이, 탄성력을 가지는 탄성체로 마련할 수 있다. 이때 상기 진동방지부재(136)는 상기 상부 커버 상면 중 모서리 부분 또는 테두리 부분과 결합하며 마련되는 것이, 흔들림을 효과적으로 방지할 수 있어서 바람직하다. 이렇게 탄성체로 진동방지부재를 구성하는 경우에는 상부 커버의 흔들림을 탄성체가 흡수하고, 상부 커버를 탄성력으로 가압하여 흔들림을 효과적으로 방지할 수 있다.
한편 상기 진동방지부재(136)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 상부 커버(120)의 테두리 영역과 대응되는 형상이며, 상기 상부 커버의 상면에 형성되는 진동방지구(122)와 결합하여 상부 커버의 진동을 방지하는 진동방지 지그(136a)로 마련될 수도 있다. 이 경우에는 상기 진동 방지구(122)와 진동방지 지그(136a)가 정확하게 일치하는 형상을 가져야 진동 방지구(122)와 진동방지지그(136a)가 밀착되어 흔들림을 효과적으로 방지할 수 있다. 본 실시예에서는 상기 진동방지구(122)와 진동방지 지그(136a)의 접촉면이 도 6에 도시된 바와 같이, 외측 방향의 빗면을 가지도록 하여 상부 커버의 상승 과정에서 진동방지구의 접촉면이 진동방지 지그의 접촉면과 자연스럽게 접촉되고, 슬라이딩되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 진동방지 지그(136a)에는, 상기 진동방지 지그(136a)와 진동방지구(122) 사이에 마련되며, 상기 상부 커버(120)의 상승 높이를 감지하는 상부 커버 높이 감지부(138)가 더 마련되는 것이 상부커버의 상승정도를 정확하게 측정할 수 있어서 바람직하다. 상부 커버의 상승 정도를 정확하게 측정하지 못하는 경우에는 상부 커버가 완전히 상승한 후에도 계속하여 호이스트 크레인에 동력을 가하여 상부 커버가 손상되거나 크레인에 무리가 갈 수 있다. 또한 상부 커버를 너무 낮게 들어올리는 경우에는 상부 커버의 수평 이동과정에서 오링 등이 손상될 가능성이 있다. 따라서 본 실시예에서는 상기 상부 커버 높이 감지부(138)로 접촉식 센서를 상기 진동방지 지그의 접촉면에 마련하여 상부 커버가 상승하여 상기 센서에 접촉되면 호이스트 크레인의 동작을 중지시키도록 하는 것이다.
다음으로 수평 구동부(140)는, 상기 상부 커버(120)를 사이에 두고, 상부 커버의 양측에 배치되며, 상기 상부 커버 승강부에 의하여 상승된 상부 커버를 수평 방향으로 이동시키는 구성요소이다. 이 수평 구동부(140)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 크레인 지지 프레임(134)의 양 측부를 지지하여 이 크레인 지지 프레임을 수평이동시키며, 이 크레인 지지 프레임에 결합되어 상승된 상부 커버(120)가 함께 수평이동되는 것이다. 따라서 본 실시예에서는 이 수평 구동부(140)를, 가이드 레일(142)과 구동 모터(도면에 미도시)로 구성한다. 먼저 가이드 레일(142)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 크레인 지지 프레임(134)의 측부와 접촉하여 크레인 지지 프레임을 수평 방향으로 안내하는 구성요소이다. 그리고 구동 모터는 상기 크레인 지지 프레임을 수평 방향으로 이동시키는 동력을 제공하는 구성요소이다. 따라서 이 구동모터는 상기 크레인 프레임 및 가이드 레일과 결합하여 크레인 지지 프레임을 수평 이동시킨다.
한편 본 실시예에 따른 진공처리장치(100)에는, 상기 챔버 본체(110)의 측방에 마련되며, 상기 수평 프레임(140)에 의하여 수평 이동되는 상부 커버(120)를 수취하는 지지프레임(170)이 더 마련될 수도 있다. 이렇게 별도로 지지프레임이 마련되는 경우에는 하나의 진공처리장치에 마련되는 다수개의 진공 챔버에 대하여 하나의 지지프레임을 가지고 대응할 수 있는 장점이 있다. 즉, 각 진공 챔버 마다 별도의 지지프레임을 구비하는 것이 아니라, 이동가능한 구조의 지지프레임을 사용하여 다수개의 진공 챔버에 대하여 하나의 지지프레임을 사용하는 것이다.
본 실시예에서는 이 지지프레임(170)을, 도 7에 도시된 바와 같이, 수평프레임(172); 수직프레임(174); 간극 메움수단(176); 및 회전부(177);를 포함하도록 구성한다. 먼저 수평프레임(172)은, 상기 가이드 레일(140)과 동일한 높이에 배치되며, 상기 가이드 레일이 연장되는 방향에서 상기 상부 커버의 수평 이동을 안내하는 구성요소이다. 다음으로 수직프레임(174)은, 상기 수평프레임(172)을 상기 가이드 레일(140)과 동일한 높이로 지지하는 구성요소이다. 이 수직프레임(174)은 상기 수평프레임의 높이를 상하 방향으로 조정할 수 있는 구조를 가지는 것이, 상기 가이드 레일과의 높이 차에 적응할 수 있어서 바람직하다.
그리고 상기 간극 메움수단(176)은, 상기 수평프레임(172)의 챔버 측 일단에 마련되며, 상기 지지프레임(170)을 상기 가이드 레일(140)에 접근시킬 때 상기 수평프레임(172)과 가이드 레일(140) 사이의 간극을 메우는 구성요소이다. 상기 수평프레임을 가이드 레일에 완전히 밀착시키는 것은 챔버의 외부에 마련된 여러가지 구성요소와 지지프레임 구조상 매우 어렵다. 따라서 도 7에 도시된 바와 같이, 별도의 간극 메움수단(176)을 이용하여 수평프레임(172)과 가이드 레일(140) 사이의 간극을 메우는 것이다. 본 실시예에서는 이 간극 메움수단(176)이, 상기 수평프레임에 힌지 결합하여 회동가능한 구조를 가지도록 하여, 이동과정에서는 접혀 있다가, 사용과정에서는 회동하여 수평프레임과 가이드 레일 사이의 간극을 메우도록 한다.
그리고 상기 간극 메움수단(176)을 상하 방향으로 구동시킬 수 있는 상하 구동부가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 상하 구동부는 도시되지는 않았지만, 볼 스크류와 같은 형태로 구비되어 상기 간극 메움수단의 높이를 미세하게 조정할 수 있는 것이 바람직하다.
그리고 회전부(177)는 지지프레임으로 이동된 상부 커버(120)를 회전시키는 구성요소이다. 이 회전부(177)는 상기 수평프레임(172)의 중앙 영역에 배치되며, 상부 커버의 탈착 가능한 구조를 가진다. 즉, 상부 커버를 사이에 두고 양 측에 배치되어, 상부 커버의 양 측벽에 형성된 결합부(124)와 결합할 수 있도록 수평 방향으로 이동가능한 구조를 가진다. 따라서 상부 커버가 회전위치에 도달하면 수평 이동하여 결합부와 결합한 후 상부 커버를 180°회전시킨다.
또한 상기 간극 메움수단(176)에는, 상기 간극 메움수단을 상하 방향으로 이 동시키는 상하 구동부가 더 마련되는 것이 바람직하다.
그리고 본 실시예에 따른 지지프레임(170)에는, 상기 수직프레임의 하단에 마련되며, 상기 수직프레임과 바닥면 사이의 마찰력을 감소시켜 수직프레임의 수평이동을 돕는 바퀴부(178)가 더 마련되는 것이, 지지프레임를 용이하게 이동시킬 수 있어서 바람직하다.
또한 본 실시예에 따른 지지프레임(170)에는 지지프레임(170)을 챔버 본체(110)에 고정시키는 고정부(179)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 고정부(179)는 상부 커버(120)의 수평 이동 및 회전 과정에서 지지프레임(170)이 챔버 본체(110)로부터 이격되는 것을 방지한다. 본 실시예에서는 이 고정부(179)를 고정 블럭(179a)과 고정핀(179b)로 구성한다. 따라서 한 쌍의 고정 블럭(179a)를 잘 맞춘 후, 고정핀(179b)를 고정블럭에 삽입하여 지지프레임을 고정시키는 것이다.
이하에서는 본 실시예에 따른 진공처리장치(100)에서 상부 커버(120)를 개폐하는 과정을 설명한다.
먼저 8a에 도시된 바와 같이, 다수개의 호이스트 크레인(132)을 동시에 구동시켜서 상부 커버(120)를 약 10 ~ 1mm 정도 들어올린다. 그러면 상부 커버(120)가 상승되어 챔버 내부의 진공이 해제된다. 그러면 도 8b에 도시된 바와 같이, 수평 구동부(140)를 구동시켜 크레인 지지 프레임(134) 및 상부 커버(120)를 수평 이동시킨다. 이때 지지프레임(170)을 사용하는 경우에는, 이 지지프레임(170)을 상기 가이드 레일(142)에 밀착되도록 배치하여야 한다. 상부 커버(120)가 회전할 수 있을 정도로 수평이동한 후에는, 도 8c에 도시된 바와 같이, 회전부(177)를 구동시켜 상부커버(120)를 180°회전시킨다. 그리고 상부커버의 유지보수 작업을 진행한다. 유지 보수 작업이 완료되면, 전술한 상부커버 개방 과정의 역순으로 상부커버를 다시 닫는다.
본 발명에 따르면 대면적 기판을 처리하는 대형 진공처리장치에 있어서, 각 공정 챔버에는 수평 이동부만 구비하고, 상부 커버의 승강을 위한 상부커버 승강부는 이동가능하게 마련되므로, 장치 전체의 제조단가가 낮아지고, 장치의 구조가 간단해진다. 그리고 메인 크레인은 저중량의 상부커버 승강부만 이동시키므로 과동한 하중이 발생하지 않으며, 상부커버 승강부에 마련되는 호이스트 크레인은 다수개가 마련되므로 고중량의 상부커버에 대하여 용이하게 대응할 수 있는 장점이 있다.

Claims (15)

  1. 기판의 유출입이 가능하도록 게이트 밸브가 구비된 챔버 본체, 상기 챔버 본체의 상부에 탈부착 가능하게 마련된 상부커버를 구비한 처리장치에 있어서,
    상기 상부 커버의 상측에 상기 상부 커버와 탈착가능하도록 배치되며, 상기 상부 커버를 상하 방향으로 승강시키는 상부 커버 승강부;
    상기 상부 커버를 사이에 두고, 상부 커버의 양측에 배치되며, 상기 상부 커버 승강부에 의하여 상승된 상부 커버를 수평 방향으로 이동시키는 수평 구동부;를 포함하여 이루어지며,
    상기 상부커버 승강부는,
    상기 상부 커버의 상면과 결합하여 상기 상부커버를 들어올리는 다수개의 호이스트 크레인;
    상기 상부커버의 상측에 상부 커버의 상면과 평행하게 소정간격 이격되어 배치되며, 상기 다수개의 호이스트 크레인이 결합되어 지지되는 크레인 지지 프레임;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 상부커버 승강부에는,
    상기 크레인 지지 프레임과 상기 상부 커버 사이에 개재되어 마련되며, 상기 상부커버의 상승시 상부 커버의 진동을 방지하는 진동방지부재가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 진동방지부재는,
    탄성력을 가지는 탄성체인 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 진동방지부재는,
    상기 상부 커버의 테두리 영역과 대응되는 형상이며, 상기 상부 커버의 상면에 형성되는 진동방지구와 결합하여 상부 커버의 진동을 방지하는 진동방지 지그인 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 진동방지 지그에는,
    상기 진동방지 지그와 진동방지구 사이에 마련되며, 상기 상부 커버의 상승 높이를 감지하는 상부 커버 높이 감지부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 상부커버 높이 감지부는,
    접촉식 센서인 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 수평 구동부는,
    상기 상부커버를 수평 방향으로 안내하는 한 쌍의 가이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 처리용 진공처리장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 가이드 레일은,
    상기 상부 커버에 대향하는 1차 부분과, 상기 상부 커버를 지나서 수평 방향으로 연장하는 2차 부분을 포함하고, 상기 2차 부분은 상기 상부 커버의 측면을 향해 접힐 수 있는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 챔버 본체의 측방에 마련되며, 상기 가이드 레일에 의하여 수평 이동되는 상부 커버를 수취하는 지지프레임이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 지지프레임은,
    상기 가이드 레일과 동일한 높이에 배치되며, 상기 가이드 레일이 연장되는 방향에서 상기 상부 커버의 수평 이동을 안내하는 수평프레임;
    상기 수평프레임을 상기 가이드 레일과 동일한 높이로 지지하는 수직프레임;
    상기 수평프레임의 챔버 측 일단에 마련되며, 상기 지지프레임을 상기 가이드 레일에 접근시킬 때 상기 수평프레임과 가일드 레일 사이의 간극을 메우는 간극 메움수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 간극 메움수단은,
    상기 수평프레임에 힌지 결합하여 회동가능한 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 간극 메움수단에는,
    상기 간극 메움수단을 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 수직프레임의 하단에 마련되며, 상기 수직프레임과 바닥면 사이의 마찰력을 감소시켜 수직프레임의 수평이동을 돕는 바퀴부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  15. 제11항에 있어서, 상기 지지프레임에는,
    상기 수평 이동부에 의하여 수평 이동된 상부커버를 회전시키는 회전구동부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
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