JPH1089482A - 真空チャンバ用蓋開閉構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】真空チャンバの蓋を開閉するがチャンバの上部
及び、後部にスペースが多く必要、またチャンバの蓋が
閉まる直前には、Ｏリングのシール面に対し、蓋の接触
面は斜めに加圧し蓋が閉じ、シール材の寿命が問題とな
る。 【解決手段】真空チャンバ１の蓋駆動構造に於いて、蓋
２を開閉する駆動部のリンクアームのうち蓋に直結した
左右，前後、４本のリンクアームに於いて開き始め側を
前部とすると前部の左右アームを長いアーム３とし、後
部の左右アームを短いアーム４とし、長短のアーム３，
４と、蓋２がシリンダ軸２４により同時に直線的に移動
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は高清浄が要求される
部品の真空処理装置に於いて、真空チャンバのシール面
に斜め方向の負荷が全く掛らなく、また、蓋の開閉スペ
ースが少ない蓋開閉構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来の自動洗浄装置に採用されて
いる真空乾燥槽構造で蓋の上部中央を支点に支持したア
ームを有する蓋開閉駆動式の真空乾燥槽構造を示す。

【０００３】図より、槽台２６上に真空乾燥チャンバ１
があり、蓋２を開閉させる駆動アーム２７を介して蓋２
が設置されている、また、蓋２とチャンバ１の間はＯリ
ングで気密を保持するものとなっている、尚、駆動アー
ム２７は駆動源のシリンダ２３のシリンダ軸２４により
動作が伝達される。

【０００４】以上の槽構造による蓋の開閉動作では、図
より、蓋が開いた状態（１７）のときチャンバ上面のス
ペースＨは、蓋２の長さＤ以上の範囲（Ｄ＜Ｈ）が必要
となる。

【０００５】また、シリンダ２３の駆動により駆動アー
ム２７を介して蓋２が閉じるときは、蓋２の接触面は、
まずＯリング１４部に接触し、Ｏリングの上面を斜めに
滑りながら加圧し、次第にＯリング１５にも、接触し気
密閉止される、しかし、Ｏリング１４部付近は、蓋２の
面により、無理な力が掛かり易い状態となっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】真空チャンバの蓋を開
閉するがチャンバの上部及び、後部にスペースが多く必
要、またチャンバの蓋が閉まる直前には、Ｏリングのシ
ール面に対し、蓋の接触面は斜めに加圧し蓋が閉まるこ
ととなり、シール材の寿命が問題となる。

【０００７】

【課題を解決するための手段】蓋部の動作範囲を小さく
するためには、チャンバの周囲に沿って蓋があまり離れ
ないように動作させるよう、リンクアーム機構に改良を
加えた機構とする。

【０００８】また、Ｏリング（シール面）に対しては、
蓋が閉まる直前の位置より水平に降下する動作機構を採
用する。

【０００９】蓋を開閉するリンクアーム機構に於いて、
蓋を開閉する駆動部のリンクアームのうち蓋に直結した
左右，前後、４本のリンクアームに於いて開き始め側を
前部とすると前部の左右アームを長いアームとし、後部
の左右アームを短いアームとすると、図１に仮想線で示
すように蓋の開く範囲の動作がチャンバから余り遠ざか
ることがなくチャンバの上部及び後部の動作スペースが
少ない状態と成っている、また、その長短リンクアーム
部と、蓋部がシリンダ駆動により同時に直線的に移動す
る機構とすることにより閉まる直前の蓋がチャンバ接面
と平行状態に成った時点で、シリンダ２３の吸引により
蓋がチャンバのシール面に水平に降下密着することと成
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１及び、図２は、真空チャンバ
蓋部の駆動アームに長短２種のアームを採用した開発の
アームリンク機構を有し、またそれらリンク機構部と蓋
部を同時に降下移動させるシリンダ駆動部を有する真空
チャンバ用蓋開閉構造の側面視図と、チャンバ後面視図
を示す。

【００１１】図１より、真空チャンバ１の蓋２部は蓋ア
ーム（長）３と、蓋アーム（短）４によるリンク機構に
より支持されその開閉の駆動は、図２より、モータ駆動
板７上のモータ８よりウオームギヤー９，ウオームホイ
ル１０，駆動ワイヤ１２，傘歯車１４，１５を介して伝
達される。

【００１２】また、蓋を開閉する駆動機構は全てモータ
駆動板７、及び、左右のアーム支持ベース１６上にあ
り、スライド軸受１８，スライド軸受１９，シリンダ支
持金具２２に支えられたスライドベアリング２０により
上下に移動出来る状態にある、それらを上下に摺動させ
るシリンダ２３は、チャンバ１に固定のシリンダ支持金
具２２に取付けられている。

【００１３】以上の様な蓋開閉構造に於ける蓋の開閉動
作は図１より開放時の蓋１７状態の時、モータ８が駆動
するとその回転をウオームホイル部９，１０により減速
し、その回転を左右に分割し各々の駆動ワイヤ１２と傘
歯車１４，１５により、左右の蓋アーム（長）３に回転
を与えると、蓋アーム（短）４も倣って回転するが、蓋
は長，短アーム機構によりチヤンバ１からあまり離れず
に移動し、次第に閉じて蓋の接面がチャンバ上面と平行
な隙間に成るまで動作すると、次に、シリンダ２３の吸
引によりモータ駆動板７上と左右のアーム支持ベース１
６上の蓋駆動機構部全体とそれにより連結された蓋２部
が降下し均一な加圧力により蓋が閉じられる。

【００１４】

【発明の効果】

(1）蓋の開閉動作で閉まる直前に昇降するためシール面
に無理な力が掛らずシール面の寿命が長くなる、また、
シール性も向上する。

【００１５】(2）蓋の開閉動作がチャンバより余り離れ
ない為、特にチャンバの上部や後部分のスペースが少な
くてすむ。

【図面の簡単な説明】

【図１】真空チャンバ蓋部の駆動アームに長短２種類の
アームを採用して、動作させた時の蓋の開閉状況で、槽
構造の側面図。

【図２】真空チャンバ蓋部の駆動アームを回転させ、且
つ、それらアーム部と蓋部を同時に垂直昇降させる駆動
機構で槽の後方図。

【図３】従来の自動洗浄装置に採用されている真空乾燥
槽構造で蓋の上部中央を支点に支持したアームを有する
蓋開閉駆動式の真空乾燥槽構造の説明図。

【符号の説明】

１…真空チャンバ、２…蓋、３…蓋アーム（長）、４…
蓋アーム（短）、２４…シリンダ軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空処理装置などに使われる真空チャンバ
   の蓋駆動構造に於いて、蓋を開閉する駆動部のリンクア
   ームのうち蓋に直結した左右，前後、４本の前記リンク
   アームで開き始め側を前部とすると前部の左右アームを
   長いアームとし、後部の左右アームを短いアームとし、
   更に、その長短リンクアーム部と、前記蓋がシリンダ駆
   動により同時に直線的に移動する機構とすることにより
   前記蓋が前記リンクアームの駆動により閉まる動作上
   で、閉まる直前の蓋がチャンバ接面と平行状態で停止
   し、その後、前記蓋がチャンバのシール面に水平に降下
   密着することを特徴とする真空チャンバ用蓋。