TWI582883B - The upper opening mechanism of the reaction chamber and the reaction chamber - Google Patents

Description

反應腔室的上蓋開啟機構及反應腔室

本發明涉及半導體裝置製造領域，具體地，涉及一種反應腔室的上蓋開啟機構及反應腔室。

導體加工裝置的反應腔室用於對被加工工件進行蝕刻、沉積等製程，其主要包括腔體、上蓋和上蓋驅動裝置，其中，上蓋與腔體之間一般設有密封圈，用於將二者密封，從而可以在反應腔室內形成真空的製程環境；上蓋驅動裝置用於驅動上蓋開啟或關閉，以便在外界與反應腔室之間傳輸被加工工件，以及對反應腔室內部的裝置進行維護。

第1圖為現有的反應腔室的結構示意圖。如第1圖所示，反應腔室包括腔體1、上蓋2、密封圈3和上蓋驅動裝置。上蓋驅動裝置包括多個驅動單元，每個驅動單元包括導柱4、滑塊5、翻轉桿6、驅動桿7、氣缸8和支撐桿9，其中，導柱4沿豎直方向設置，其下端固定在腔體1上；滑塊5套設於導柱4上，其可沿導柱4作升降運動；翻轉桿6通過第一鉸鏈10與滑塊5鉸接，且上蓋2固定於翻轉桿6上；氣缸8固定於腔體1上；驅動桿7的一端通過第一鉸鏈10與滑塊5和翻轉桿6鉸接，另一端通過另設的鉸鏈與氣缸8的活塞桿鉸接；支撐桿9的兩端分別通過另設的鉸鏈與腔體1和驅動桿7鉸接。

在上蓋2開啟的過程中，驅動桿7在氣缸8的驅動下，帶動支 撐桿9轉動，進而帶動翻轉桿6、滑塊5以及固定於翻轉桿6上的上蓋2沿導柱4向上滑動；在支撐桿9轉動至其最大角度後，其停止轉動，並使翻轉桿6、滑塊5和上蓋2停止滑動；而驅動桿7則繼續在氣缸8的驅動下，驅動翻轉桿6和上蓋2繞第一鉸鏈10轉動，直至轉動至預設開啟角度，從而完成上蓋2的開啟。上蓋2的關閉過程與上述上蓋2的開啟過程類似，在此不再贅述。

在上述反應腔室中，上蓋2的開閉過程包括沿導柱4升降和繞第一鉸鏈10轉動兩個步驟，其中，上蓋2沿導柱4的升降可以在上蓋2轉動時避免與密封圈3產生摩擦，以及避免由此導致的密封圈3(尤其是密封圈3的靠近第一鉸鏈10的部分)的磨損，進而可以使密封圈3在製程過程中具有良好的密封效果。此外，上蓋2沿導柱4的升降還可以對密封圈3因反應腔室內外之間的氣壓差而產生的變形進行補償，從而使密封圈3可以實現對反應腔室的良好密封。但上述上蓋驅動裝置在實際應用中不可避免地存在下述問題：首先，上蓋驅動裝置的每個驅動單元包括有導柱4、滑塊5組成的導柱-滑塊機構和由翻轉桿6、驅動桿7和支撐桿9組成的多連桿鉸鏈機構，上述導柱-滑塊機構和多連桿鉸鏈機構二者相互配合實現上蓋2的升降和轉動，這要求上述各部件具有較高的加工精度及裝配精度。

其次，上蓋驅動裝置的結構較為複雜，且其各部件的受力情況複雜，各部件受力較為不均勻，如支撐桿9不僅要承受上蓋2的重力，還需承擔驅動桿7的作用力；又如導柱4不僅要承受驅動桿7的作用力，還需承受來自支撐桿9的作用力；在實際應用中，上述上蓋驅動裝置僅具有有限的承載能力，以防止上述部件因受力過大而變形，導致機構卡滯，這使其不適用於負載較重的場合。此外，受限於導柱-滑塊機構的高度和多連桿鉸鏈 機構的運動角度，上述上蓋驅動裝置驅動上蓋開啟的最大角度較小，其一般小於60度，這使其不適合對最大開蓋角度有要求較高的場合。

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種反應腔室的上蓋開啟機構及反應腔室，其具有更大的承載能力，更簡單的結構，並使上蓋具有更大的開啟角度。

為實現本發明的目的而提供一種反應腔室的上蓋開啟機構，用於驅動反應腔室的上蓋開啟或關閉，該上蓋開啟機構位於該反應腔室的一側，其包括至少一個驅動單元；每個驅動單元包括第一固定件、第二固定件、第一連接件和驅動裝置；該第一固定件固定於該反應腔室的上蓋上，其與該第一連接件的第一端鉸接；該驅動裝置與該第一連接件的第二端鉸接；該第二固定件固定於該反應腔室的腔體上，其與該第一連接件鉸接於該第一連接件的第一端和第二端之間。

其中，該第一固定件與該第一連接件的第一端通過固定銷和活動銷鉸接，且該固定銷和活動銷沿遠離該第一連接件的第一端的方向依次設置；並且該第二固定件與該第一連接件鉸接於該活動銷與第一連接件的第二端之間。

其中，該第一固定件和第一連接件上的與該固定銷配合的銷孔的直徑與該固定銷的直徑相同；該第一固定件或第一連接件上的與該活動銷配合的銷孔的直徑大於該活動銷的直徑。

其中，該固定銷與該活動銷直徑相等。

其中，該第一連接件或第一固定件上的與該活動銷配合的銷 孔的直徑和該活動銷的直徑之間的差值範圍為3~5mm。

其中，該上蓋開啟機構包括兩個驅動單元，且該兩個驅動單元在該反應腔室的一側對稱安裝。

其中，該驅動裝置包括氣缸、滑動桿、第二連接件；該氣缸的活塞桿與該滑動桿連接；該滑動桿上設有滑動部；該第二連接件與該第一連接件的第二端鉸接，且其上設有與該滑動桿的滑動部相配合的通孔，使該第二連接件環繞該滑動桿的滑動部。

其中，該滑動部的長度大於該第二連接件上的與該滑動部相配合的通孔的長度。

其中，該滑動部的長度與該第二連接件上的通孔的長度之間的差值範圍為5~10mm。

其中，該滑動部與該第二連接件上的與該滑動部相配合的通孔的長度之間的差值大於設置在該反壓腔室的腔體和上蓋之間的密封件在該上蓋開啟和關閉過程中的最大變形量。

其中，該滑動部與該第二連接件上的與該滑動部相配合的通孔的長度之間的差值和該密封件在該上蓋開啟和關閉過程中的最大變形量二者之間的差值範圍為3~5mm。

作為另一個技術方案，本發明還提供一種反應腔室，其包括腔體、上蓋和上蓋開啟機構，上蓋位於腔體上方且二者之間設有密封部件，該上蓋開啟機構位於腔體的外側且與上蓋相連，該上蓋開啟機構採用本發明提供的上述上蓋開啟機構。

本發明具有以下有益效果： 本發明提供的反應腔室的上蓋開啟機構，其驅動裝置通過與第一連接件的鉸接，以及第一連接件和第一固定件、第二固定件的鉸接驅動上蓋開啟或關閉，並且使設置在反應腔室的腔體和上蓋之間的密封件在該過程中不被磨損。與現有技術相比，在上蓋的開啟或關閉過程中，上蓋的重力由鉸接機構承受，使其承載能力更大，且各部件受力情況更簡單合理；並且，還使其結構簡單，具有更少的零部件；以及，還可以使上蓋具有更大的開啟角度，從而可以適用於更多場合。

本發明提供的反應腔室，其採用本發明提供的上述上蓋開啟機構，能夠減少設置在反應腔室的腔體和上蓋之間的密封件在上蓋開啟和閉合過程中磨損。並且，在上蓋的開啟或關閉過程中，上蓋的重力由鉸接機構承受，使其承載能力更大，且各部件受力情況更簡單合理；而且，因上蓋開啟機構的結構簡單、零部件減少而使得本發明提供的反應腔室也具有結構簡單、零部件少的特點；此外，本發明提供的反應腔室還可以使上蓋具有更大的開啟角度，從而可以適用於更多場合。

1、21‧‧‧腔體

2、22‧‧‧上蓋

3‧‧‧密封圈

4‧‧‧導柱

5‧‧‧滑塊

6‧‧‧翻轉桿

7‧‧‧驅動桿

8‧‧‧氣缸

9‧‧‧支撐桿

10‧‧‧鉸鏈

20‧‧‧腔室

23‧‧‧驅動單元

230、231‧‧‧固定件

232、2332‧‧‧連接件

233‧‧‧驅動裝置

234‧‧‧固定銷

235‧‧‧活動銷

2330‧‧‧氣缸

2331‧‧‧滑動桿

2331a‧‧‧滑動部

2331b‧‧‧限位部

24‧‧‧密封件

25‧‧‧緩衝墊

A‧‧‧區域

第1圖為現有的反應腔室的結構示意圖；第2圖為本發明實施例提供的反應腔室的上蓋開啟機構的結構示意圖；第3圖為第2圖中區域A的放大圖；第4圖為第一固定件與第一連接件之間的連接方式的示意圖；第5圖為第二連接件與滑動件之間的連接方式的示意圖；第6圖為上蓋開啟機構開啟或關閉上蓋的示意圖； 第7圖為上蓋開啟前或上蓋關閉後的示意圖；以及第8圖為上蓋的開啟角度的示意圖。

為使本領域的技術人員更好地理解本發明的技術方案，下面結合附圖來對本發明提供的反應腔室的上蓋開啟機構及反應腔室進行詳細描述。

請一併參看第2圖和第3圖，第2圖為本發明實施例提供的反應腔室的上蓋開啟機構的結構示意圖；第3圖為第2圖中區域A的放大圖。反應腔室20包括腔體21、上蓋22和上蓋開啟機構。其中，上蓋開啟機構用於驅動反應腔室20的上蓋22開啟或關閉，其位於反應腔室20的一側，包括至少一個驅動單元23。腔體21與上蓋22之間設有諸如密封圈等的密封件24，該密封件24用於在上蓋22關閉時，將腔體21和上蓋22密封；較佳地，密封件24設置在腔體21的頂面上。

每個驅動單元23包括第一固定件230、第二固定件231、第一連接件232和驅動裝置233。其中，第一固定件230固定於反應腔室20的上蓋22上，其與第一連接件232的第一端鉸接；驅動裝置233與第一連接件232的第二端鉸接。第二固定件231固定於反應腔室20的腔體21上，其與第一連接件232鉸接於第一連接件231的第一端和第二端之間；具體地，如第3圖和第4圖所示，第一固定件230與第一連接件232的第一端通過固定銷234和活動銷235鉸接，且固定銷234和活動銷235沿遠離第一連接件232的第一端的方向依次設置，並且，第二固定件231與第一連接件232鉸接於活動銷235與第一連接件232的第二端之間。較佳地，如第2圖所示，在本實施例中，上蓋 開啟機構包括兩個驅動單元，且該兩個驅動單元在反應腔室的一側對稱設置，以使上蓋22在開啟和關閉時受力均勻，以便更平穩地開關上蓋22。

具體地，第一固定件230和第一連接件232上的與固定銷234配合的銷孔的直徑與固定銷234的直徑相同；第一固定件230或第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔的直徑大於活動銷235的直徑，這樣可以使上蓋22以固定銷234為旋轉軸作旋轉運動，其旋轉的角度範圍根據活動銷235在於活動銷235配合的銷孔內的活動範圍而定。進一步地，固定銷234的直徑或活動銷235的直徑相等。較佳地，在本實施例中，第一固定件230上的與活動銷235配合的銷孔的直徑等於活動銷235的直徑，第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔的直徑大於銷孔235的直徑，這樣，既能保證上蓋22以固定銷234為旋轉軸作旋轉運動，又能使其該旋轉運動具有一定的旋轉角度範圍。進一步較佳地，第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔的直徑和活動銷235的直徑之間的差值範圍為3~5mm，這樣，既能保證上蓋22以固定銷234為旋轉軸而在一定角度範圍內靈活地旋轉，又不會使該旋轉角度過大而造成不必要的結構和空間的冗餘及浪費。

在本實施例中，第一固定件230和第一連接件232的第一端通過固定銷234和活動銷235鉸接，從而組成雙軸鉸鏈機構。並且，由於第一固定件230上的與活動銷235配合的銷孔的直徑與活動銷235的直徑相同，第一連接件232的第一端上的與活動銷235配合的銷孔的直徑大於活動銷235的直徑，在上蓋22自身的重力的作用下，在上蓋22的開啟過程中，上蓋22的靠近上蓋開啟機構的一端會先於遠離上蓋開啟機構的一端上升，並與密封件24脫離接觸；在上蓋22的關閉過程中，上蓋22的遠離上蓋開啟機構的 一端先於靠近上蓋開啟機構的一端下降，使上蓋22的靠近上蓋開啟機構的一端最後與密封件24接觸。從而，在上蓋22的開啟和關閉過程中，本實施例提供的上蓋開啟機構避免了上蓋22，尤其是上蓋22的靠近上蓋開啟機構的一端與密封件24之間的摩擦，從而避免了密封件24的磨損。

在本實施例中，驅動裝置233包括氣缸或電機；較佳地，驅動裝置233包括氣缸2330、滑動桿2331、第二連接件2332。其中，氣缸2330的活塞桿與滑動桿2331連接；滑動桿2331上設有滑動部2331a，滑動部2331a兩端為限位部2331b，如第5圖所示；第二連接件2332與第一連接件232的第二端鉸接，且其上設有與滑動桿2331的滑動部2331a相配合的通孔，使第二連接件2332環繞滑動桿2331的滑動部2331a，並在位於滑動部2331a兩端的限位部2331b之間沿滑動部2331a滑動。較佳地，在本實施例中，滑動部2331a的長度大於第二連接件2332上的與滑動部2331a相配合的通孔的長度。

下面結合第6圖和第7圖對本發明實施例提供的反應腔室的上蓋開啟機構開啟和關閉上蓋22的原理和過程進行詳細描述。

上蓋22的開啟過程可分為兩個階段。在上蓋22開啟過程的第一階段，氣缸2330的活塞桿帶動滑動桿2331、第二連接件2332向下運動，從而使第一連接件232以其與第二固定件231的鉸接軸為轉軸轉動，也就是說，第一連接件232的第二端向下運動，第一端向上運動。而在第一連接件232的第一端向上運動的過程中，由於第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔的直徑大於活動銷235的直徑，在上蓋22的重力作用下，上蓋22會首先以固定銷234為轉軸轉動，在上蓋22轉動的過程中，活動銷235所在一側會向上運動，直至其狀態由與第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔 的底部接觸逐步變為與該銷孔的頂部接觸；當活動銷235與該銷孔的頂部接觸時，上蓋22無法以固定銷234為轉軸繼續轉動，第一階段結束。在該過程中，上蓋22的靠近上蓋開啟機構的一端上升至預設高度，並與密封件24脫離接觸。

在上蓋22開啟過程的第二階段，氣缸2330的活塞桿繼續帶動滑動桿2331、第二連接件2332向下運動，以及使第一連接件232以其與第二固定件231的鉸接軸為轉軸轉動。而由於活動銷235已經在第一階段中與第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔的頂部接觸，因此，在第一連接件232的轉動時，固定銷234與活動銷235會同時受力，帶動上蓋22與第一連接件232同步轉動，從而實現上蓋22的開啟。

根據上述可知，在上蓋22的開啟過程中，上蓋22的靠近上蓋開啟機構的一端會首先向上運動預定距離，使其與密封件24脫離接觸，並且，在上蓋22的後續開啟過程中，其與密封件24不接觸，從而使上蓋22開啟時不與密封件24之間產生摩擦，這樣就不會導致密封件24的磨損，也不會因其磨損而影響反應腔室20的密封性。

上蓋22的開啟角度一般小於90°，如第8圖所示，因此，在上蓋22處於開啟狀態時，在上蓋22的重力的影響下，第二連接件2332會與滑動件2331的位於滑動部2331a上方的限位部2331b接觸。

上蓋22的關閉過程可分為三個階段。在上蓋22關閉過程的第一階段，在上蓋22自身重力的作用，以及氣缸2330的帶動下，第二連接件2332向上運動，並帶動第一連接件232以其與第二固定件231的鉸接處為轉軸轉動，進而帶動上蓋22向腔體21的頂端方向旋轉，直至上蓋22的遠離上 蓋開啟機構的一端與腔體21及密封件24接觸。在該過程中，由於上蓋22的重力的作用，活動銷235與第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔的頂端接觸。

在上蓋22關閉過程的第二階段，在上蓋22自身重力和氣缸2330的驅動下，第一連接件232繼續旋轉，帶動上蓋22以固定銷234為轉軸轉動，也就是說，上蓋22上靠近上蓋開啟機構的一端向下運動，直至與密封件24接觸，從而實現上蓋22的關閉。

在上蓋22關閉過程的第三階段，氣缸2330繼續驅動滑動桿2331向上運動，使第二連接件2332與滑動桿2331之間相對滑動，並使第二連接件232與位於滑動部2331a下部的限位部2331b接觸。在製程過程中，當密封件24因反應腔室20內的真空而變形時，第二連接件2332和位於滑動部2331a下方的限位部2331b的接觸可以對其進行補償，使上蓋22與密封件24之間密封，從而保證反應腔室20密封良好。

較佳地，在本實施例中，滑動部2331a的長度與第二連接件2332上的通孔的長度之間的差值範圍為5~10mm。並且，滑動部2331a與第二連接件2332上的與滑動部2331a相配合的通孔的長度之間的差值大於密封件24在上蓋開啟和關閉過程中的最大變形量，較佳地，其二者之間的差值範圍為3~5mm。這樣，既能保證滑動部2331a在第二連接件2332上的通孔中順暢地滑動，又不會造成不必要的結構和空間的冗餘及浪費。

在本實施例中，每個驅動單元23還包括第一緩衝墊236，第一緩衝墊236設於第二固定件231上，且位於第一連接件232繞其與第二連接 件2332的鉸接處轉動的路徑上，其用於在上蓋22開啟至最大角度時，對上蓋22進行緩衝。

在本實施例中，上蓋開啟機構還包括第二緩衝墊25，第二緩衝墊25設於腔體21的與上蓋22相接觸的表面上，其用於在上蓋22的開啟和關閉過程中，緩衝上蓋22與腔體21之間的衝擊力。由於上蓋21的遠離第一固定件230的一側在轉動過程中的線速度最大，且在上蓋21關閉的過程中，上蓋22的該側最先與腔體21接觸，即：在上蓋21的關閉過程中，上蓋21的遠離第一固定件230的一側與腔體之間的衝擊力最大，因此，較佳地，第二緩衝墊25設於腔體21上遠離第二固定件231的一側。

本實施例提供的反應腔室的上蓋開啟機構，其驅動裝置233通過與第一連接件232的鉸接，以及第一連接件232和第一固定件230、第二固定件231的鉸接驅動上蓋22開啟或關閉，並且使設置在反應腔室20的腔體21和上蓋22之間的密封件24在該過程中不被磨損。與現有技術相比，在上蓋22的開啟或關閉過程中，上蓋22的重力由鉸接機構承受，使其承載能力更大，且各部件受力情況更簡單合理；並且，還使其結構簡單，具有更少的零部件；以及，還可以使上蓋22具有更大的開啟角度，從而可以適用於更多場合。

需要說明的是，在本實施例中，第一固定件230上的與活動銷235配合的銷孔的直徑與活動銷235的直徑相等，第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔的直徑大於活動銷235的直徑，但本發明並不限於此，在實際應用中，第一固定件230上的與活動銷235配合的銷孔的直徑還可以大於活動銷235的直徑，同時，第一連接件232上的與活動銷235配合的銷孔 的直徑與活動銷235的直徑相等。

作為本發明另一個方面，本發明還提供一種反應腔室，其包括腔體、上蓋和上蓋開啟機構，上蓋位於腔體上方且二者之間設有諸如密封圈等的密封部件，以便在上蓋閉合於腔體上時將腔體內部密封。上蓋開啟機構位於腔體的外側且與上蓋相連，並且該上蓋開啟機構可以本發明前述實施例提供的任一種上蓋開啟機構。

本發明實施例提供的反應腔室，其採用前述實施例提供的上蓋開啟機構，能夠減少設置在反應腔室的腔體和上蓋之間的密封件在上蓋開啟和閉合過程中磨損。與現有技術相比，本實施例中，在上蓋的開啟或關閉過程中，上蓋的重力由鉸接機構承受，使其承載能力更大，且各部件受力情況更簡單合理；並且，因上蓋開啟機構的結構簡單、零部件減少而使得本發明實施例提供的反應腔室也具有結構簡單、零部件少的特點；此外，本發明實施例提供的反應腔室還可以使上蓋具有更大的開啟角度，從而可以適用於更多場合。

可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發明的原理而採用的示例性實施方式，然而本發明並不局限於此。對於本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本發明的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發明的保護範圍。

20‧‧‧腔室

21‧‧‧腔體

22‧‧‧上蓋

23‧‧‧驅動單元

230、231‧‧‧固定件

232‧‧‧連接件

233‧‧‧驅動裝置

24‧‧‧密封件

25‧‧‧緩衝墊

A‧‧‧區域

Claims (11)

1. 一種反應腔室的上蓋開啟機構，用於驅動反應腔室的上蓋開啟或關閉，其特徵在於，該上蓋開啟機構位於該反應腔室的一側，其包括至少一個驅動單元；每個驅動單元包括第一固定件、第二固定件、第一連接件和驅動裝置；該第一固定件固定於該反應腔室的上蓋上，其與該第一連接件的第一端通過固定銷和活動銷鉸接，且該固定銷和活動銷沿遠離該第一連接件的第一端的方向依次設置；該驅動裝置與該第一連接件的第二端鉸接；該第二固定件固定於該反應腔室的腔體上，其與該第一連接件鉸接於該活動銷與第一連接件的第二端之間。
2. 如申請專利範圍第1項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該第一固定件和第一連接件上的與該固定銷配合的銷孔的直徑與該固定銷的直徑相同；該第一固定件或第一連接件上的與該活動銷配合的銷孔的直徑大於該活動銷的直徑。
3. 如申請專利範圍第2項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該固定銷與該活動銷直徑相等。
4. 如申請專利範圍第2項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該第一連接件或第一固定件上的與該活動銷配合的銷孔的直徑和該活動銷的直徑之間的差值範圍為3~5mm。
5. 如申請專利範圍第1項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該上蓋開啟機構包括兩個驅動單元，且該兩個驅動單元在該反應腔 室的一側對稱安裝。
6. 如申請專利範圍第1項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該驅動裝置包括氣缸、滑動桿、第二連接件；該氣缸的活塞桿與該滑動桿連接；該滑動桿上設有滑動部；該第二連接件與該第一連接件的第二端鉸接，且其上設有與該滑動桿的滑動部相配合的通孔，使該第二連接件環繞該滑動桿的滑動部。
7. 如申請專利範圍第6項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該滑動部的長度大於該第二連接件上的與該滑動部相配合的通孔的長度。
8. 如申請專利範圍第7項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該滑動部的長度與該第二連接件上的通孔的長度之間的差值範圍為5~10mm。
9. 如申請專利範圍第7項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該滑動部與該第二連接件上的與該滑動部相配合的通孔的長度之間的差值大於設置在該反應腔室的腔體和上蓋之間的密封件在該上蓋開啟和關閉過程中的最大變形量。
10. 如申請專利範圍第9項所述的反應腔室的上蓋開啟機構，其特徵在於，該滑動部與該第二連接件上的與該滑動部相配合的通孔的長度之間的差值和該密封件在該上蓋開啟和關閉過程中的最大變形量二者之間的差值範圍為3~5mm。
11. 一種反應腔室，包括腔體、上蓋和上蓋開啟機構，上蓋位於腔體上方且 二者之間設有密封部件，該上蓋開啟機構位於腔體的外側且與上蓋相連，其特徵在於，該上蓋開啟機構採用申請專利範圍第1項至第10項任一項所述的上蓋開啟機構。