JP2000046184A - フタ開閉装置 - Google Patents
フタ開閉装置Info
- Publication number
- JP2000046184A JP2000046184A JP21322298A JP21322298A JP2000046184A JP 2000046184 A JP2000046184 A JP 2000046184A JP 21322298 A JP21322298 A JP 21322298A JP 21322298 A JP21322298 A JP 21322298A JP 2000046184 A JP2000046184 A JP 2000046184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- degrees
- lever
- turning
- closing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 人為的な外力を用いずに安全かつ滑らかにフ
タを１８０度開閉できるフタ開閉装置を提供する。 【解決手段】 フタ２を１８０度旋回させる支点となる
旋回軸３と、旋回軸３に位相をずらせて取付けられた２
つのレバー４、６と、各レバー４、６を介してフタ２に
旋回運動を与える２つの直線運動駆動手段としての電動
シリンダ５と空圧シリンダ７とで構成したツインレバー
方式により、フタ２の１８０度開閉動作を可能とした。
タを１８０度開閉できるフタ開閉装置を提供する。 【解決手段】 フタ２を１８０度旋回させる支点となる
旋回軸３と、旋回軸３に位相をずらせて取付けられた２
つのレバー４、６と、各レバー４、６を介してフタ２に
旋回運動を与える２つの直線運動駆動手段としての電動
シリンダ５と空圧シリンダ７とで構成したツインレバー
方式により、フタ２の１８０度開閉動作を可能とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空装置のチャン
バー等のフタを１８０度旋回させて開閉させるフタ開閉
装置に関するものである。
バー等のフタを１８０度旋回させて開閉させるフタ開閉
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空装置のチャンバー等のフタを１８０
度旋回させて開閉するフタ開閉装置の従来例を図４、図
５を参照して説明する。
度旋回させて開閉するフタ開閉装置の従来例を図４、図
５を参照して説明する。
【０００３】図４において、１０はチャンバー、１１は
フタ、１２はフタ１１を１８０度旋回させる支点となる
旋回軸、１３は旋回軸に固定されたレバー、１４はレバ
ー１３を旋回駆動するシリンダである。フタ１１は、旋
回軸１２に固定されたレバー１３を介してシリンダ１４
の伸縮運動により旋回運動を行う。
フタ、１２はフタ１１を１８０度旋回させる支点となる
旋回軸、１３は旋回軸に固定されたレバー、１４はレバ
ー１３を旋回駆動するシリンダである。フタ１１は、旋
回軸１２に固定されたレバー１３を介してシリンダ１４
の伸縮運動により旋回運動を行う。
【０００４】図４及び図５（ａ）は、チャンバー１０に
対してフタ１１が閉まっている状態を示す。この状態か
らシリンダ１４が引込み方向に動作するに従ってフタ１
１は開いて行き、レバー１３とシリンダ１４が一直線に
なる状態（下死点）まで開き、図５（ｂ）に示すよう
に、フタ１１が９０度開いた状態になる。この下死点状
態では、シリンダ１４がさらに引込み若しくは逆に押出
し方向に動作してもその力が突っ張るだけでフタ１１は
いずれにも動かない。
対してフタ１１が閉まっている状態を示す。この状態か
らシリンダ１４が引込み方向に動作するに従ってフタ１
１は開いて行き、レバー１３とシリンダ１４が一直線に
なる状態（下死点）まで開き、図５（ｂ）に示すよう
に、フタ１１が９０度開いた状態になる。この下死点状
態では、シリンダ１４がさらに引込み若しくは逆に押出
し方向に動作してもその力が突っ張るだけでフタ１１は
いずれにも動かない。
【０００５】そこで、図５（ｃ）に示すように、下死点
状態から脱却するために一旦シリンダ１４のパワーを切
って、人為的な外力を加えることによってレバー１３と
シリンダ１４の軸線をくの字形にし、その後図５（ｄ）
に示すように、シリンダ１４を押出し方向に動作させる
ことによってフタ１１が９０度から１８０度まで開く。
なお、フタ１１を閉じるときも同様である。
状態から脱却するために一旦シリンダ１４のパワーを切
って、人為的な外力を加えることによってレバー１３と
シリンダ１４の軸線をくの字形にし、その後図５（ｄ）
に示すように、シリンダ１４を押出し方向に動作させる
ことによってフタ１１が９０度から１８０度まで開く。
なお、フタ１１を閉じるときも同様である。
【０００６】また、上記以外の従来例のフタ開閉装置と
しては、旋回軸に直接回転運動を与える回転駆動手段を
設けたものもあるが、真空装置のフタには電極やカソー
ド等の重量物が取付けられ、それらを旋回させるための
回転駆動手段は減速機を含めて非常に大きな装置となっ
てしまうので、通常は使われない。
しては、旋回軸に直接回転運動を与える回転駆動手段を
設けたものもあるが、真空装置のフタには電極やカソー
ド等の重量物が取付けられ、それらを旋回させるための
回転駆動手段は減速機を含めて非常に大きな装置となっ
てしまうので、通常は使われない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の構
成では、下死点状態から脱却するために作業者が強引に
力でもって旋回動作のきっかけを与えることが必要で、
この行為は作業者に負担をかけ、かつ危険であるという
問題があった。
成では、下死点状態から脱却するために作業者が強引に
力でもって旋回動作のきっかけを与えることが必要で、
この行為は作業者に負担をかけ、かつ危険であるという
問題があった。
【０００８】また、シリンダの直線運動を、レバーを介
してフタの旋回動作に変換する場合、直線運動を等速で
動作させると、９０度付近のフタの旋回速度が最も速く
なり、下死点状態（９０度）で一旦シリンダのパワーを
切ることで、フタの動作が不連続でバウンドが生じ、滑
らかに動作しないという問題があった。
してフタの旋回動作に変換する場合、直線運動を等速で
動作させると、９０度付近のフタの旋回速度が最も速く
なり、下死点状態（９０度）で一旦シリンダのパワーを
切ることで、フタの動作が不連続でバウンドが生じ、滑
らかに動作しないという問題があった。
【０００９】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、人為
的な外力を用いずに安全かつ滑らかにフタを１８０度開
閉できるフタ開閉装置を提供することを目的としてい
る。
的な外力を用いずに安全かつ滑らかにフタを１８０度開
閉できるフタ開閉装置を提供することを目的としてい
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のフタ開閉装置
は、フタを１８０度旋回させる支点となる旋回軸と、旋
回軸に位相をずらせて取付けられた２つのレバーと、各
レバーを介してフタに旋回運動を与える２つの直線運動
駆動手段を備えたものであり、一方のレバーとその直線
運動駆動手段が一直線状態（下死点状態）になっても、
他方のレバーの位相がずれている分、そのレバーとその
直線運動駆動手段は一直線状態にはならず、その駆動手
段の力でフタの旋回動作を継続して行え、人為的外力な
しで、連続したフタの１８０度旋回動作が可能となる。
は、フタを１８０度旋回させる支点となる旋回軸と、旋
回軸に位相をずらせて取付けられた２つのレバーと、各
レバーを介してフタに旋回運動を与える２つの直線運動
駆動手段を備えたものであり、一方のレバーとその直線
運動駆動手段が一直線状態（下死点状態）になっても、
他方のレバーの位相がずれている分、そのレバーとその
直線運動駆動手段は一直線状態にはならず、その駆動手
段の力でフタの旋回動作を継続して行え、人為的外力な
しで、連続したフタの１８０度旋回動作が可能となる。
【００１１】また、フタの１８０度旋回運動を滑らかに
動作させるために、一方の直線運動駆動手段に速度制御
手段を設けると、旋回の９０度前後でその直線運動駆動
手段の動作にスローダウンを効かすことで滑らかな１８
０度旋回動作を行うことができる。
動作させるために、一方の直線運動駆動手段に速度制御
手段を設けると、旋回の９０度前後でその直線運動駆動
手段の動作にスローダウンを効かすことで滑らかな１８
０度旋回動作を行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明のフタ開閉装置の一
実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
【００１３】図１において、１はチャンバー、２はフ
タ、３はフタ２を１８０度旋回させる支点となる旋回軸
である。４は旋回軸３に固定された第１レバー、５は第
１レバー４を介してフタ２を旋回駆動する直線運動駆動
手段としての電動シリンダである。６は旋回軸３に第１
レバー４と位相を１０°ずらせて固定された第２レバ
ー、７は第２レバー６を介してフタ２を旋回駆動する直
線運動駆動手段としての空圧シリンダである。８は旋回
軸３の回転位相を検出するエンコーダ、９はエンコーダ
８にて検出した回転位相に応じて電動シリンダ５の速度
制御を行うインバータである。
タ、３はフタ２を１８０度旋回させる支点となる旋回軸
である。４は旋回軸３に固定された第１レバー、５は第
１レバー４を介してフタ２を旋回駆動する直線運動駆動
手段としての電動シリンダである。６は旋回軸３に第１
レバー４と位相を１０°ずらせて固定された第２レバ
ー、７は第２レバー６を介してフタ２を旋回駆動する直
線運動駆動手段としての空圧シリンダである。８は旋回
軸３の回転位相を検出するエンコーダ、９はエンコーダ
８にて検出した回転位相に応じて電動シリンダ５の速度
制御を行うインバータである。
【００１４】以上の構成によるフタ２の開閉動作を、図
２を参照して説明する。図２（ａ）に示すように、チャ
ンバー１に対してフタ２が閉まっている状態から、電動
シリンダ５が引込み方向に動作するに従ってフタ２は開
いて行き、図２（ｂ）に示すように、第１レバー４と電
動シリンダ５が一直線になった時（フタが９０度開いた
状態）には、第２レバー６と空圧シリンダ７の位置関係
は逆くの字形になっているので、電動シリンダ５の力で
は旋回しないが空圧シリンダ７の力でフタ２は旋回を続
けることができる。その後、図２（ｃ）に示すように、
フタ２が１００度開いた時、第２レバー６と空圧シリン
ダ７は一直線になっているが、第１レバー４と電動シリ
ンダ５の位置関係はくの字形になっているので、ここか
ら再び電動シリンダ５の力で旋回動作を続けることがで
き、図２（ｄ）に示すように、フタ２を１８０度まで連
続して開けることができる。また、フタ２を閉じるとき
も同様に１８０度から０度まで連続して旋回動作するこ
とができる。
２を参照して説明する。図２（ａ）に示すように、チャ
ンバー１に対してフタ２が閉まっている状態から、電動
シリンダ５が引込み方向に動作するに従ってフタ２は開
いて行き、図２（ｂ）に示すように、第１レバー４と電
動シリンダ５が一直線になった時（フタが９０度開いた
状態）には、第２レバー６と空圧シリンダ７の位置関係
は逆くの字形になっているので、電動シリンダ５の力で
は旋回しないが空圧シリンダ７の力でフタ２は旋回を続
けることができる。その後、図２（ｃ）に示すように、
フタ２が１００度開いた時、第２レバー６と空圧シリン
ダ７は一直線になっているが、第１レバー４と電動シリ
ンダ５の位置関係はくの字形になっているので、ここか
ら再び電動シリンダ５の力で旋回動作を続けることがで
き、図２（ｄ）に示すように、フタ２を１８０度まで連
続して開けることができる。また、フタ２を閉じるとき
も同様に１８０度から０度まで連続して旋回動作するこ
とができる。
【００１５】また、図３の動作チャートに示すように、
電動シリンダ５の電動機をインバータ９で２段階の速度
制御を行っており、９０度の前後略２０度の範囲、すな
わち略７０度から１１０度の範囲では速度を通常時の２
０％まで落として動作させ、また９０度の前後５度の範
囲、すなわち８５度から９５度の範囲では電動機の駆動
を停止してブレーキをかけており、これによってフタ２
の滑らかな連続旋回動作を実現している。また、空圧シ
リンダ７は８５度から１１０度の範囲で引側に駆動して
いる。
電動シリンダ５の電動機をインバータ９で２段階の速度
制御を行っており、９０度の前後略２０度の範囲、すな
わち略７０度から１１０度の範囲では速度を通常時の２
０％まで落として動作させ、また９０度の前後５度の範
囲、すなわち８５度から９５度の範囲では電動機の駆動
を停止してブレーキをかけており、これによってフタ２
の滑らかな連続旋回動作を実現している。また、空圧シ
リンダ７は８５度から１１０度の範囲で引側に駆動して
いる。
【００１６】なお、この速度制御手段としてサーボを用
いて、図３のような速度制御を行ってもよい。また、電
動シリンダ５の代わりに油圧シリンダやエアーハイドロ
を用いて空油圧制御で行うことも可能である。
いて、図３のような速度制御を行ってもよい。また、電
動シリンダ５の代わりに油圧シリンダやエアーハイドロ
を用いて空油圧制御で行うことも可能である。
【００１７】
【発明の効果】本発明のフタ開閉装置によれば、以上の
ようにフタを１８０度旋回させる支点となる旋回軸に位
相をずらせて２つのレバーを取付け、各レバーを介して
２つの直線運動駆動手段にてフタに旋回運動を与えるよ
うにしたので、一方のレバーとその直線運動駆動手段が
一直線状態になっても他方のレバーとその直線運動駆動
手段の力でフタの旋回動作を継続して行え、人為的外力
なしで連続したフタの１８０度旋回動作ができる。
ようにフタを１８０度旋回させる支点となる旋回軸に位
相をずらせて２つのレバーを取付け、各レバーを介して
２つの直線運動駆動手段にてフタに旋回運動を与えるよ
うにしたので、一方のレバーとその直線運動駆動手段が
一直線状態になっても他方のレバーとその直線運動駆動
手段の力でフタの旋回動作を継続して行え、人為的外力
なしで連続したフタの１８０度旋回動作ができる。
【００１８】また、フタの１８０度旋回運動を滑らかに
動作させるために、一方の直線運動駆動手段に速度制御
手段を設けると、旋回の９０度前後でその直線運動駆動
手段の動作にスローダウンを効かすことで滑らかな１８
０度旋回動作を行うことができる。
動作させるために、一方の直線運動駆動手段に速度制御
手段を設けると、旋回の９０度前後でその直線運動駆動
手段の動作にスローダウンを効かすことで滑らかな１８
０度旋回動作を行うことができる。
【図１】本発明のフタ開閉装置の一実施形態の概略構成
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図２】同実施形態のフタ開閉装置の動作過程の説明図
である。
である。
【図３】同実施形態のフタ開閉装置における電動シリン
ダ及び空圧シリンダの動作チャートである。
ダ及び空圧シリンダの動作チャートである。
【図４】従来例のフタ開閉装置の概略構成を示す正面図
である。
である。
【図５】同従来例のフタ開閉装置の動作過程の説明図で
ある。
ある。
２ フタ ３ 旋回軸 ４ 第１レバー ５ 電動シリンダ ６ 第２レバー ７ 空圧シリンダ ８ エンコーダ ９ インバータ
Claims (2)
- 【請求項１】 フタを１８０度旋回させる支点となる旋
回軸と、旋回軸に位相をずらせて取付けられた２つのレ
バーと、各レバーを介してフタに旋回運動を与える２つ
の直線運動駆動手段を備えたことを特徴とするフタ開閉
装置。 - 【請求項２】 フタの１８０度旋回運動を滑らかに動作
させるために、一方の直線運動駆動手段に速度制御手段
を設けたことを特徴とする請求項１記載のフタ開閉装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21322298A JP2000046184A (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | フタ開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21322298A JP2000046184A (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | フタ開閉装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000046184A true JP2000046184A (ja) | 2000-02-18 |
Family
ID=16635566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21322298A Pending JP2000046184A (ja) | 1998-07-28 | 1998-07-28 | フタ開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000046184A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101003725B1 (ko) * | 2008-09-19 | 2010-12-23 | 주식회사 아이피에스 | 진공처리장치 |
| KR101271282B1 (ko) | 2010-10-27 | 2013-06-04 | 이명수 | 챔버 도어 개폐장치 |
| KR101413526B1 (ko) | 2008-07-30 | 2014-07-02 | (주)소슬 | 기판 처리 장치 |
| CN104254910A (zh) * | 2012-03-16 | 2014-12-31 | 住友重机械工业株式会社 | 重型回转体的驱动方法及回转装置 |
| WO2016011761A1 (zh) * | 2014-07-22 | 2016-01-28 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 反应腔室的上盖开启机构及反应腔室 |
-
1998
- 1998-07-28 JP JP21322298A patent/JP2000046184A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101413526B1 (ko) | 2008-07-30 | 2014-07-02 | (주)소슬 | 기판 처리 장치 |
| KR101003725B1 (ko) * | 2008-09-19 | 2010-12-23 | 주식회사 아이피에스 | 진공처리장치 |
| KR101271282B1 (ko) | 2010-10-27 | 2013-06-04 | 이명수 | 챔버 도어 개폐장치 |
| CN104254910A (zh) * | 2012-03-16 | 2014-12-31 | 住友重机械工业株式会社 | 重型回转体的驱动方法及回转装置 |
| WO2016011761A1 (zh) * | 2014-07-22 | 2016-01-28 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 反应腔室的上盖开启机构及反应腔室 |
| TWI582883B (zh) * | 2014-07-22 | 2017-05-11 | The upper opening mechanism of the reaction chamber and the reaction chamber |
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