KR101003725B1 - 진공처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 진공상태에서 웨이퍼, LCD 패널용 유리기판 등의 기판을 처리할 수 있는 진공처리장치에 관한 것이다.
특히 본 발명은 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와, 상기 챔버본체에 착탈가능하도록 결합되어 상기 챔버본체의 개구부를 개폐하는 상부리드를 포함하는 챔버와; 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 회동시켜서 분리시키는 탈착기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 제시함으로써, 상기 상부리드의 탈착이 용이하다.
진공처리장치, 기판, 챔버, 탈착기구, 회전기구, 승강기구

Description

　진공처리장치{Vacuum Processing Apparatus}
본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 진공상태에서 웨이퍼, LCD 패널용 유리기판 등의 기판을 처리할 수 있는 진공처리장치에 관한 것이다.
진공처리장치는 챔버에 의해 형성되는 진공처리공간에 진공상태에서 플라즈마를 형성하여 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 처리공정을 수행하기 위한 장치이다.
이러한 진공처리장치에 의해 처리되는 기판 중 하나로는 LCD 패널용 유리기판이 있는데, LCD 패널용 유리기판은 LCD의 대형화 추세에 맞춰 그 크기가 증대되고 있고 수율을 높이기 위해 대량 생산화하고 있어서, 상기와 같은 LCD 패널용 유리기판 등을 처리하기 위해 진공처리장치 또한 대형화되고 있다.
이러한 진공처리장치의 챔버는 챔버본체 및 챔버본체의 상측에 탈착 가능토록 결합되는 상부리드를 포함하여 구성된다.
그리고 상부리드는 챔버 내에 설치되는 샤워헤드 등의 설치물들에 대한 보수나 교체를 위하여 챔버본체로부터 분리될 필요가 있다.
그러나, 진공처리장치가 대형화됨에 따라, 상부리드의 하중 또한 증대되어, 상당한 중량물인 상부리드의 하중을 견디면서 상부리드를 탈착시킬 수 있는 효율적인 방안이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 상부리드를 챔버본체로부터 회동시켜서 분리시킴으로써, 상부리드의 착탈이 용이한 진공처리장치를 제공함을 그 목적으로 한다.
상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와, 상기 챔버본체에 착탈가능하도록 결합되어 상기 챔버본체의 개구부를 개폐하는 상부리드를 포함하는 챔버와; 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 회동시켜서 분리시키는 탈착기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 제시한다.
상기 탈착기구는 상기 상부리드가 상기 챔버본체로부터 분리된 후 상기 챔버본체와 간섭받지 않고 회전될 수 있는 위치로, 상기 상부리드를 분리시키도록 구성될 수 있다.
상기 탈착기구는, 상기 챔버의 외측에 회전 가능토록 설치되고, 상기 상부리드를 지지하도록 상기 상부리드와 결합되는 지지부와; 상기 상부리드가 상기 챔버본체와 분리될 수 있도록 상기 지지부를 회전시키는 회동구동부를 포함하여 구성될 수 있다.
그리고 상기 지지부는 상기 상부리드와 결합되는 부분을 상기 지지부의 회전중심을 기준으로 일정한 회전반경으로 회전시키도록 구성될 수 있다.
상기 지지부는 상기 지지부에 대한 상기 상부리드의 상대이동없이, 상기 상 부리드를 회동시키키도록 구성될 수 있다.
상기 지지부는, 상기 상부리드를 상기 챔버본체에 대하여 수평상태를 유지하면서, 또는 상기 지지부에 대한 상기 상부리드의 상대이동없이 회전 후 수직 또는 경사를 이루도록 회동시키도록 구성될 수 있다.
상기 지지부는 상기 상부리드를 지지하도록 결합되는 제1지지부와; 상기 제1지지부와 결합되고, 상기 회동구동부에 의해 회전되도록 설치되는 제2지지부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1지지부는, 상기 상부리드의 양쪽에 각각 배치되어 상기 상부리드와 결합되는 한 쌍의 결합부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 회동구동부는, 상기 지지부를 밀거나 당겨서 회전시키는 스크류 잭과, 상기 스크류 잭을 구동시키는 회동구동장치를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 상부리드는 상기 챔버본체 내의 압력변화에 따라서 상기 챔버본체로부터 승강가능토록 결합될 수 있다.
상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 승강시키는 승강기구를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 챔버본체와 상기 상부리드 사이에 개재되는 밀봉부재를 더 포함하고, 상기 승강기구는 상기 상부리드를 상기 밀봉부재보다 높게 상승시키도록 구성될 수 있다.
상기 상부리드는 결합부재에 의하여 상기 탈착기구와 회전가능하게 결합되고; 상기 승강기구는 상기 결합부재와 연동되도록 결합된 캠부재와, 상기 캠부재의 회전에 의해 상기 상부리드가 승강될 수 있도록 상기 캠부재를 회전시키는 캠 구동부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 상부리드는 상기 탈착기구와 결합부재에 의해 결합되고; 상기 승강기구는 상기 결합부재와 결합되어 상기 상부리드를 승강시키는 실린더부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 상부리드는 상기 탈착기구와 회전가능하게 결합되고, 상기 상부리드를 상기 탈착기구에 대하여 회전시키는 회전기구를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 상부리드는 상기 탈착기구와 결합부재에 의해 회전가능하게 결합되고; 상기 상부리드를 상기 탈착기구에 대하여 회전시키는 회전기구를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 회전기구는, 상기 결합부재와 연결되어 상기 상부리드를 밀거나 당기면서 회전시키는 실린더부를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 진공처리장치는 상부리드가 회동되면서 분리됨으로써, 상부리드가 용이하게 탈착될 수 있고, 이에 의해 유지, 보수가 용이한 이점을 가질 수 있다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 탈착기구에 의해 상부리드가 챔버본체에 간섭되지 않고 회전될 수 있도록 분리됨으로써, 상부리드의 분리 후 유지, 보수를 위해 상부리드가 용이하게 회전될 수 있어, 유지, 보수가 용이한 이점을 가질 수 있다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 탈착기구에 의한 상부리드의 회동반경이 일정하기 때문에 상부리드의 회동범위가 작아서 공간적인 측면에서 유리하고, 탈착기구의 구조 또한 간소한 이점을 가질 수 있다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 상부리드가 승강가능토록 탈착기구와 결합됨으로써, 상부리드가 챔버본체와 항상 밀착결합될 수 있는 이점을 가질 수 있다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 상부리드가 승강기구에 의해 챔버본체로부터 상승될 수 있기 때문에, 상부리드의 하중으로 인한 밀봉부재의 손상이 방지될 수 있는 이점을 가질 수 있다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 상부리드가 분리되기 전에 승강기구에 의해 챔버본체로부터 상승됨으로써, 상부리드가 밀봉부재 또는 챔버본체와 간섭, 마찰되지 않고 원활하게 분리될 수 있는 이점을 가질 수 있다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 상부리드를 챔버본체로부터 분리하기 위하여 1차로 회전시키고, 분리된 상부리드를 2차로 회전시켜서 상부리드의 내부가 상측을 향하도록 함으로써, 상부리드를 2번의 회전으로 상부리드를 챔버본체로부터 분리 및 결합이 용이한 이점을 가질 수 있다.
이하 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 진공처리장치에 관하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 진공처리장치는, 기판 등의 진공처리를 위한 처리공간을 형 성하고, 내부에 설치되는 장치들의 수리 또는 교체 등 유지보수를 위해, 개폐 가능하게 구성되는 챔버(10)를 포함하여 구성된다.
즉, 상기 챔버(10)는 상면에 개구부가 형성된 챔버본체(12)와, 상기 챔버본체(12)의 개구부를 개폐하는 상부리드(14)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 상부리드(14)는 챔버(10) 내부에 설치된 장치의 유지보수를 위해 상기 챔버본체(12)에 탈착 가능토록 결합된다.
상기 상부리드(14)는 플레이트 구조, 용기 구조 등 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 그리고 상기 챔버본체(12)에는 기판의 입출을 위한 하나 이상의 게이트(미도시)가 형성되며, 그 내부에는 기판의 지지를 위한 기판지지대가 설치될 수 있다.
상기 챔버본체(12)와 상기 상부리드(14) 중 적어도 어느 하나에는 상기 처리공간을 형성할 수 있도록 상기 챔버본체(12)와 상기 상부리드(14) 사이에 개재되는 밀봉부재(16)가 설치된다.
상기 챔버(10)는 상기 챔버(10)의 하측에 설치된 챔버 프레임(20)에 의하여 지지될 수 있다.
한편 상기 챔버(10)는 기판의 진공처리를 위하여, 압력조절장치에 의해 압력조절될 수 있다. 즉 상기 압력조절장치는 상기 기판의 진공처리를 위해 상기 챔버(10) 내부의 압력을 상기 진공처리에 적합한 압력상태(소위 진공압)로 유지할 수 있다.
본 발명에 따른 진공처리장치는 유지, 보수 등을 위해, 결합부재(18)에 의하 여 상기 상부리드(14)를 지지하도록 결합되며 상기 상부리드(14)를 상기 챔버본체(12)로부터 분리시키는 탈착기구(30)를 더 포함하여 구성된다.
상기 결합부재(18)는 상기 상부리드(14)가 상기 탈착기구(30)에 대하여 상대운동이 가능하게 결합되도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 결합부재(18)는 상기 상부리드(14)와 상기 탈착기구(30) 중 어느 하나와 별도의 부재로서 결합되거나 일체로 결합될 수 있으며, 상기 상부리드(14)와 상기 탈착기구(30) 중 어느 하나와 고정결합되고, 그 나머지 하나에 회전, 슬라이딩 등 상대운동 가능토록 결합될 수 있다.
물론 상기 결합부재(18)는 상기 상부리드(14) 및 상기 탈착기구(30) 모두에 고정결합될 수 있다. 본 실시 예에서는 상기 상부리드(14)가 후술할 회전기구(40)에 의하여 회전가능하게 지지되어 상기 탈착기구(30)에 결합될 수 있도록 상기 결합부재(18)는 회전축으로 구성된 예시로 설명한다.
특히 상기 탈착기구(30)는 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)로부터 분리된 후 후술할 회전기구(40)에 의해 상기 챔버본체(12)와 간섭되지 않고 회전될 수 있도록, 상기 상부리드(14)를 위치시키는 것이 더욱 바람직하다.
상기 탈착기구(30)는 상기 상부리드(14)를 회동시켜 상기 챔버본체(12)와 분리할 수 있도록, 상기 챔버(10)의 외측에 회전 가능토록 설치되고 상기 상부리드(14)를 지지하도록 상기 결합부재(18)에 의하여 결합되는 지지부(32)와, 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)와 분리될 수 있도록 상기 지지부(32)를 회전시키는 회동구동부(34)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 지지부(32)는 상기 상부리드(14)를 분리시킬 수 있다면 어떠한 구조를 취하든 무방하다. 다만, 상기 지지부(32)는 상기 지지부(32)에 의하여 상부리드(14)가 지지되는 지지점(P), 즉 결합부재(18)를 상기 지지부(32)의 회전중심(32A)을 중심으로 일정한 회전반경(R)으로 회전시킬 수 있도록 구성되는 것이 더욱 바람직하다.
즉, 상기 상부리드(14)의 지지점(P)의 회전반경(R)을 일정하게 함으로써, 상기 탈착기구(30)에 의한 상기 상부리드(14)의 회동범위를 작게 할 수 있으며, 상기 지지부(32)가 그 회전중심(32A)을 중심으로 회전만 하면 되므로 상기 지지부(32)의 구조가 간소해질 수 있다.
이를 위해 상기 지지부(32)는 하나의 구조체로만 구성될 수도 있지만, 상당한 중량물인 상기 상부리드(14)를 더욱 안정적이고 견실하게 지지할 수 있도록 다수의 구조체들의 결합에 의해 구성되는 것이 더욱 바람직하다. 바람직한 일 예로써, 상기 지지부(32)는 상기 상부리드(14)를 지지하도록 결합되는 제1지지부(31)와, 상기 제1지지부(31)와 결합되고 상기 회동구동부(34)에 의해 회전되도록 설치되는 제2지지부(33)를 포함하여 구성될 수 있다.
나아가 상기 제1지지부(31)와 상기 제2지지부(33)는 일직선으로 결합될 수도 있지만, 이보다는 서로 수직 또는 경사지게 결합됨으로써 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)와 간섭되지 않고 분리될 수 있고 아울러 상기 상부리드(14)의 회전반경(R)을 줄일 수 있어 더욱 바람직하다.
상기 제1지지부(31)는 다양한 구조를 취할 수 있지만, 상기 상부리드(14)를 안정적으로 견실하게 지지하기 위해 상기 상부리드(14)의 양쪽에 각각 배치되어 상 기 상부리드(14)와 결합되는 한 쌍의 결합부(31A, 31B)를 포함하여 구성되는 것이 더욱 바람직하다. 나아가, 상기 제1지지부(31)는 상기 한 쌍의 결합부(31A, 31B)를 연결하는 연결부(31C)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1지지부(31), 즉 연결부(31C)는 상기 상부리드(14)의 어디 위치와 결합되든 무방하나, 상기 상부리드(14)의 끝단과 결합되는 것보다는 상기 상부리드(14)의 회동궤적 및 안정적인 회동 등을 고려하여 상부리드(14)의 중앙 측과 결합되는 것이 더욱 바람직하다.
상기 같이 지지부(32)는 상기 상부리드(14)가 상기 회전기구(40)에 의해 회전될 때 상기 챔버본체(12) 등 주변과 간섭되지 않는 위치로 상기 상부리드(14)를 회동시킬 수 있다면, 그 회전중심(32A)이 어디에 위치되든 무방하다. 다만 상기 지지부(32)는 그 회전중심(32A)이 상기 챔버(10)보다 아래에 위치되도록 설치되는 것이 더욱 바람직하다.
즉, 상기 지지부(32)의 회전중심(32A)은 상기 챔버본체(12)의 하측부와 대응되게 위치될 수도 있고, 상기 챔버본체(12)보다 아래에 위치될 수도 있다. 또한 상기 지지부(32)의 회전중심(32A)은, 상기 챔버(10)가 상기 챔버 프레임(20)에 의해 지지되는 경우, 본 실시 예와 같이 상기 챔버 프레임(20)과 대응되게 위치되거나 상기 챔버 프레임(20)보다 아래에 위치될 수도 있다.
따라서, 상기 상부리드(14)가 상기 탈착기구(30)에 의해 분리될 때 하측으로 회동되어 낮은 곳에 위치될 수 있기 때문에 상기 상부리드(14)의 내부에 장착된 장치들을 유지, 보수하기 위해 작업자가 높이 올라가지 않아도 되어, 유지, 보수작업 이 용이하다.
상기와 같은 지지부(32)는 상기 상부리드(14)를 상기 챔버본체(12)에 대하여 수평을 유지하면서, 또는 상기 탈착기구(30), 즉 지지부(32)에 대한 상대운동없이 회동후, 수직 또는 경사를 이루도록 회동시킬 수 있다.
상기 상부리드(14)가 수평 상태를 유지하면서 분리된 후 수직 또는 경사자세로 바뀔 수 있도록 구성될 수 있다. 또한 상기 지지부(32)는 상기 탈착기구(30)에 의해 상기 상부리드(14)가 분리될 수 있고 나아가 상기 상부리드(14)가 후술할 회전기구(40)에 회전될 수 있다면, 상기 상부리드(14)가 분리된 후에도 상기 챔버본체(12)에 결합된 상태와 동일하게 수평자세를 유지할 수 있도록 구성될 수도 있음은 물론이다.
상기 회동구동부(34)는 중량물을 움직이는데 바람직하며 상기 지지부(32)를 받침으로써 구조적으로 지지할 수 있도록, 상기 지지부(32)를 밀거나 당겨서 상기 지지부(32)를 회전시키는 스크류 잭(screw jack)(34A)과, 상기 스크류 잭(34A)을 구동하는 모터나 유압, 공압, 엔진 등의 회전구동장치(34B)을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
상기 스크류 잭(34A)은 상기 지지부(32)의 회전을 제한하지 않도록 상기 지지부(32)와 힌지결합되는 것이 더욱 바람직하다. 상기 스크류 잭(34A)은 상기 상부리드(14) 및 상기 지지부(32)가 상당히 무거운 중량물인 바, 원활한 구동을 위해 다수 개로 구성되는 것이 더욱 바람직하다. 상기 회동구동부(34)는 상기 스크류 잭 방식에 한정되지는 않는다.
즉, 상기 회동구동부(34)는 다른 실시 예들로서, 실린더방식, 와이어방식 등에 의해 상기 지지부(32)를 밀거나 당겨서 회전시키도록 구성될 수 있다. 또한 상기 회동구동부(34)는 상기 지지부(32)를 밀거나 당기는 방식 대신 상기 지지부(32)의 회전축과 바로 연결되어 상기 지지부(32)의 회전축을 직접 회전시키는 방식으로 구성될 수 있으며, 다만 이 경우 상기 지지부(32)를 구조적으로 지지할 수 없다.
또한 상기 상부리드(14)의 회전반경(R)이 유지될 수 있도록, 상기 상부리드(14)는 상기 탈착기구(30)에 의한 회동시 승강 등 상기 지지부(32)에 대한 상대이동이 없는 것이 바람직하다.
상기한 탈착기구(30)는 상기 지지부(32)가 회전 가능토록 설치되고, 상기 회동구동부(34)가 설치되는 베이스 프레임(36)을 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 상부리드(14)는 상기 챔버(10)의 내부압력에 상관없이 항상 상기 챔버본체(12)에 밀착결합되어 진공처리공간을 형성시킬 수 있도록, 상기 탈착기구(30), 즉 제1지지부(31)의 결합부(31A, 31B)와 승강가능토록 결합되는 것이 더욱 바람직하다.
즉, 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)에 밀착결합되었을지라도 상기 밀봉부재(16)는 탄성체로서 상기 챔버(10)의 내부압력에 따라 외부의 대기압에 의하여 상기 상부리드(14) 및 상기 챔버본체(12) 사이에서 압축되어 변형되고, 상기 상부리드(14) 및 상기 챔버본체(12) 사이에는 상대이동이 발생할 수 있다 (도 6 및 도 7 참조).
따라서 상기 챔버(10)의 내부압력에 따라 외부의 대기압에 의하여 상기 챔버 본체(12) 및 상기 상부리드(14) 사이의 대한 상대이동이 가능하도록 하기 위하여 상기 상부리드(14)는 상기 챔버(10)의 내부압력이 하강하는 경우 외부의 대기압에 의하여 상기 챔버본체(12)에 보다 밀착결합되도록 상기 챔버본체(12)에 대하여 하강이 가능하게 설치될 수 있다.
이와 아울러, 본 발명에 의한 진공처리장치는 상기 상부리드(14)를 승강시킬 수 있는 승강기구(50)를 더 포함할 수 있다.
따라서, 상기 승강기구(50)에 의해 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)에 밀착결합될 수 있을 뿐만 아니라, 상기 챔버(10)의 내부의 압력이 변함에 따라 상기 압축되었던 밀봉부재(16)가 복원될 수 있도록 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)로부터 상승됨으로써 상기 밀봉부재(16)가 상기 상부리드(14)의 하중에 의해 손상되지 않도록 방지될 수 있다.
나아가, 상기 탈착기구(30)에 의해 상부리드(14)가 분리되기 전에, 상기 승강기구(50)에 의해 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)로부터 상승되어 분리됨으로써, 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12) 및 상기 밀봉부재(14)와 간섭 및 마찰되지 않고 원활하게 분리될 수 있다.(도 3 및 도 7참조) 이때 상기 승강기구(50)는 상기 상부리드(14)를 상기 밀봉부재(16)보다 더 높게 상승시키는 것이 더욱 바람직하다.
이때 상기 승강기구(50)는 상기 챔버(10) 내부에 별도의 압력센서를 둘 수도 있지만, 상술한 바와 같이 상기 챔버(10)의 내부의 압력은 상기 압력조절장치에 의해 조절되는바, 상기 압력조절장치와 연계되어 구동되는 것이 더욱 바람직하다.
상기한 승강기구(50)는 상기 회전축인 결합부재(18)와 연동되도록 결합된 캠부재(52)와, 상기 캠부재(52)의 회전에 의해 상기 상부리드(14)가 승강될 수 있도록 상기 캠부재(52)를 회전시키는 캠 구동부(54)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 캠부재(52)는 본 실시 예와 같이 상기 결합부재(18)의 외측에 편심되게 결합됨으로써 상기 결합부재(18)와 내접될 수 있다. 또는 상기 캠부재(52)는 상기 결합부재(18)의 내측에 편심되게 결합됨으로써 상기 결합부재(18)와 내접될 수 있다. 또는 상기 캠부재(52)는 상기 결합부재(18)와 외접되도록 결합되는 것도 가능하다.
상기 캠부재(52)는 본 실시 예와 같이 상기 결합부재(18)의 외측에 결합될 수 있으며, 상기 결합부재(18)의 내측에 결합되는 것도 가능하다.
상기 캠부재(52)는 본 실시 예와 같이 회전반경이 일정한 원형으로 형성될 수 있으며, 이외에도 회전반경이 가변되는 캠형이나 타원형이든 캠 작용을 할 수 있다면 어떠한 형상으로든 형성될 수 있다.
상기 캠부재(52)는 상기 캠 구동부(54)와 용이하게 결합될 수 있도록, 상기 결합부재(18)와 결합되는 캠부재(52)의 캠부(52A) 외측으로 돌출 형성된 레버부(52B)를 가질 수 있다.
한편, 상기 캠부재(52)와 상기 결합부재(18) 사이에는, 상기 캠부재(52)가 상기 결합부재(18)에 대하여 원활하게 자유 회전될 수 있도록, 베어링이 개재될 수 있다.
상기 캠 구동부(54)는 공압 실린더 방식으로서, 상기 캠부재(52)의 레버 부(52B)와 결합되어, 공압에 따라 길이가 길어지거나 줄어들면서 상기 캠부재(52)의 레버부(52B)를 밀고 당김으로써, 상기 캠부재(52)를 회전시킬 수 있다.
상기 캠 구동부(54)는 공압 실린더 방식으로 한정되는 것은 아니며, 모터에 의해 작동되는 실린더방식, 유압 실린더 방식, 소형 스크류 잭 방식, 와이어 방식 등 다양한 방식으로 실시될 수 있으며, 여러 방식이 함께 실시되는 것도 가능하다.
상기 승강기구(50)는 상기 상부리드(14)가 상당히 무거운 중량물인 바, 원활한 구동을 위해 상기 결합부재(18)의 양쪽에 각각 하나씩 구성되는 것이 더욱 바람직하다.
한편, 상기 승강기구(50)는 상술한 캠 방식에 한정되지 않으며, 승강운동을 할 수 있다면 어떠한 방식이든 무방하다. 즉, 일 예로써 상기 승강기구(50)는 상기 결합부재(18)와 직접 결합되어 로드의 길이 변화에 따라 상기 상부리드(14)를 승강시키는 실린더부 방식으로 구성될 수 있다. 또한 상기 승강기구(50)는 랙&피니언 기어 방식, 슬라이더 방식 등 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
또한, 상기 승강기구(50)는 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)로부터 승강될 수 있게 하기만 하면 되므로, 상기 지지부(32) 자체가 상기 상부리드(14)와 함께 승강 가능토록 구성될 수도 있다.
또한, 본 발명에 의한 진공처리장치는, 상기 상부리드(14) 및 상기 상부리드(14)에 설치되는 샤워헤드 등의 장치들의 유지, 보수가 더욱 용이하도록 상기 상부리드(14)를 상기 결합부재(18), 회전축을 중심으로 회전시키는 회전기구(40)를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 회전기구(40)에 의해 상기 상부리드(14)는 어떠한 방향으로 회전되더라도 무방하나, 상기 상부리드(14)의 안쪽, 즉 저면이 상측을 향할 수 있도록 회전되는 것이 더욱 바람직하다.
상기 회전기구(40)는 상기 탈착기구(30)와 별개로 설치되는 것보다는 상기 탈착기구(30)에 설치됨으로써, 상기 상부리드(14)에 근접 설치될 수 있고, 이 결과 구조적으로 간소하고 설치공간을 최소화할 수 있다. 특히 상기와 같은 이점때문에 상기 회전기구(40)는 상기 지지부(32) 중에서도 상기 상부리드(14)와 직접 결합되는 제2지지프레임(32C)에 설치되는 것이 더욱 바람직하다.
상기 회전기구(40)는 길이에 따라 상기 상부리드(14)를 밀거나 당겨서 상기 상부리드(14)를 회전시키는 회전기구 실린더(42)와, 모터에 의해 상기 회전기구 실린더(42)의 길이가 가변될 수 있도록 상기 회전기구 실린더(42)를 구동하는 회전기구 동력장치(44)을 포함하여 구성된다.
상기 회전기구 실린더(42)는 상기 상부리드(14)의 회전범위가 제한받지 않도록, 상기 상부리드(14) 및 상기 제2지지프레임(32C)과 각각 회전 가능토록 힌지 결합되는 것이 바람직하다.
상기 회전기구(40)는 모터에 의한 실린더 방식에 의해 실시되는 것으로 하였으나, 상술한 회동구동부(34)와 같이 유압, 공압 실린더 방식, 스크류 잭 방식, 와이어 방식 등 다양한 방식으로 실시될 수 있으며, 여러 방식이 함께 실시되는 것도 가능하다.
상기 회전기구(40)는 상기 상부리드(14)가 상당히 무거운 중량물인 바, 원활한 구동을 위해 다수개 구성되는 것이 더욱 바람직하다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 진공처리장치에 있어서, 상기 챔버(10)를 개폐하는 과정을 설명하면, 다음과 같다.
도 1 및 도 2, 그리도 도 6은, 상기 상부리드(14)가 상기 챔버본체(12)에 밀착 결합됨으로써 상기 챔버(10)가 상기 기판의 진공처리를 위해 밀폐된 상태를 보여주는 도면이다. 즉 상기 압력조절장치에 의해 상기 챔버(10)의 내부의 압력이 대기압상태에서 진공상태로 강하된다. 이때 상기 밀봉부재(16)는 상기 챔버(10) 내부 진공압에 의해 압축된 상태이다. 그리고, 상기 승강기구(50)의 캠부재(52)의 레버부(52B)가 상기 캠 구동부(54) 측으로 당겨짐으로써, 상기 상부리드(14)가 상기 결합부재(18)와 함께 상기 승강기구(50)에 의해 상기 탈착기구(30)에 대하여 저점 위치(P1)로 하강된다.
도 3 및 도 7은 상기 기판의 반송 또는 본 발명에 따른 진공처리장치의 유지, 보수 등을 위해, 상기 챔버(10)의 내부의 압력이 진공상태에서 대기압상태로 상승된 상태를 보여주는 도면이다.
이때, 상기 승강기구(50)의 캠부재(52)의 레버부(52B)가 상기 캠 구동부(54)로부터 밀어지면서 상기 캠부재(52)가 회전되고, 상기 캠부재(52)의 회전에 의해 상기 상부리드(14)가 상기 결합부재(18)와 함께 상기 탈착기구(30)에 대하여 고점 위치(P2)로 상승된다. 이때 상기 밀봉부재(16)는 원 상태로 복원된다.
여기서 특히 상기 승강기구(50)이 상기 상부리드(14)을 원상태로 복원된 밀봉부재(16) 보다 더 높이 상승하게 되면 상부리드(14)의 회동시 챔버본체(12)는 물론 밀봉부재(16)와의 불필요한 접촉을 피할 수 있게 되어 챔버본체(12) 및 밀봉부 재(16)의 파손을 방지할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(10)의 내부의 압력이 대기압상태이면, 본 발명에 따른 진공처리장치의 유지, 보수를 위해, 상기 탈착기구(30)에 의해 상기 상부리드(14)를 상기 챔버본체(12)로부터 분리시킬 수 있다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 탈착기구(30)의 지지부(32)가 상기 탈착기구(30)의 스크류 잭으로 당겨지도록 상기 탈착기구(30)의 스크류 잭을 구동하면, 상기 지지부(32)가 회전됨에 따라, 상기 상부리드(14)가 상기 지지부(32)의 회전중심을 중심으로 하향 회동되면서 상기 챔버본체(12)로부터 분리될 수 있다. 이때 상기 탈착기구(30)는 이후에 상기 상부리드(14)가 상기 회전기구(40)에 의해 회전될 수 있게만 분리시키면 된다.
상기와 같이 상기 탈착기구(30)에 의해 상기 상부리드(14)가 분리되면, 상기 챔버본체(12)의 개구부가 개방될 수 있어 상기 챔버본체(12) 내부에 설치된 장치들을 유지, 보수할 수 있다.
그리고, 상기 상부리드(14) 내부에 설치된 장치들을 유지, 보수하고자 할 경우에는, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 상부리드(14)가 세워진 경우보다는 상기 상부리드(14)가 뒤집혀서 수평하게 배치되는 것이 샤워헤드의 분리 등 유지, 보수작업 측면에서 더 용이한바, 상기 탈착기구(30)에 의해 상기 상부리드(14)가 분리된 후, 상기 회전기구(40)에 의해 상기 상부리드(14)를 회전시킨다.
즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 회전기구(40)의 실린더 길이가 짧아짐에 따라, 상기 상부리드(14)가 상기 회전기구(40) 쪽으로 당겨지면서 상기 결합부 재(18)를 중심으로 회전하여, 상기 상부리드(14)의 내부가 상측을 향하도록 뒤집힐 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 진공처리장치의 유지,보수 후에는, 상술한 상기 챔버(10)의 개방과정과 반대로, 상기 상부리드(14)를 상기 챔버본체(12)에 결합시키면 된다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 진공처리장치의 챔버 닫힘상태 사시도이다.
도 2은 도 1의 측면도이다.
도 3은 도 2와 대응되는 도면으로서, 승강기구 구동상태를 보여주는 도면이다.
도 4는 도 2와 대응되는 도면으로서, 탈착기구 구동상태를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 2와 대응되는 도면으로서, 회전기구 구동상태를 보여주는 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 진공처리장치의 상부리드의 승강동작을 보여주는 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
10; 챔버　　　　　　　　　　　　　　　　　　 12; 챔버본체
14; 상부리드　　　　　　　　　　　　　　 16; 밀봉부재
20; 챔버 프레임　　　　　　　　　　　 30; 탈착기구
32; 지지부　　　　　　　　　　　　　　　　　 34; 회동구동부
34A; 스크류 잭　　　　　　　　　　　　　 40; 회전기구
50; 승강기구　　　　 　　　　　　　　　　　 52; 캠부재

Claims (24)

  1. 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와, 상기 챔버본체에 착탈가능하도록 결합되어 상기 챔버본체의 개구부를 개폐하는 상부리드를 포함하는 챔버와; 상기 상부리드를 회전시켜 상기 챔버본체로부터 분리시키는 탈착기구를 포함하며,
    상기 상부리드는 상기 챔버본체에 구속되지 않은 상태로 상기 탈착기구와 결합된 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 탈착기구는,
    상기 상부리드를 지지하도록 상기 상부리드와 결합되는 지지부와;
    상기 지지부를 회전시켜 상기 지지부가 지지하고 있는 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리시키는 회동구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 회동구동부는,
    상기 지지부의 회전중심을 기준으로 상기 상부리드와 결합되는 부분을 일정한 회전반경으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 탈착기구는, 상기 지지부에 대한 상기 상부리드의 상대이동없이, 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 탈착기구는, 상기 상부리드를 상기 챔버본체에 대하여 수평상태를 유지하면서 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  6. 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와, 상기 챔버본체에 착탈가능하도록 결합되어 상기 챔버본체의 개구부를 개폐하는 상부리드를 포함하는 챔버와; 상기 상부리드를 회전시켜 상기 챔버본체로부터 분리시키는 탈착기구를 포함하며,
    상기 탈착기구는, 상기 상부리드를 지지하도록 상기 상부리드와 결합되는 지지부와; 상기 지지부를 회전시켜 상기 지지부가 지지하고 있는 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리시키는 회동구동부를 포함하며,
    상기 탈착기구는, 상기 지지부에 대한 상기 상부리드의 상대이동없이, 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  7. 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와, 상기 챔버본체에 착탈가능하도록 결합되어 상기 챔버본체의 개구부를 개폐하는 상부리드를 포함하는 챔버와; 상기 상부리드를 회전시켜 상기 챔버본체로부터 분리시키는 탈착기구를 포함하며,
    상기 탈착기구는, 상기 상부리드를 지지하도록 상기 상부리드와 결합되는 지지부와; 상기 지지부를 회전시켜 상기 지지부가 지지하고 있는 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리시키는 회동구동부를 포함하며,
    상기 탈착기구는, 상기 상부리드를 상기 챔버본체에 대하여 수평상태를 유지하면서 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 탈착기구는 상기 상부리드가 상기 챔버본체로부터 분리된 후 상기 챔버본체와 간섭받지 않고 회전될 수 있는 위치로, 상기 상부리드를 분리시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  9. 청구항 2 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 지지부는
    상기 상부리드를 지지하도록 상기 상부리드와 결합되는 제1지지부와;
    상기 제1지지부와 결합되고, 상기 회동구동부에 의해 회전되도록 설치되는 제2지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제1지지부는, 상기 상부리드의 양쪽에 각각 배치되어 상기 상부리드와 결합되는 한 쌍의 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  11. 청구항 2 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 회동구동부는,
    상기 지지부를 밀거나 당겨서 회전시키는 스크류 잭과,
    상기 스크류 잭을 구동시키는 회전구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  12. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 승강시키는 승강기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 챔버본체와 상기 상부리드 사이에 개재되는 밀봉부재를 더 포함하고,
    상기 승강기구는 상기 상부리드를 상기 밀봉부재보다 높게 상승시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 상부리드는 결합부재에 의하여 상기 탈착기구와 회전가능하게 결합되고;
    상기 승강기구는 상기 결합부재의 외측에 편심되게 결합된 캠부재와, 상기 캠부재의 회전에 의해 상기 상부리드가 승강될 수 있도록 상기 캠부재를 회전시키는 캠 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  15. 청구항 12에 있어서,
    상기 상부리드는 상기 탈착기구와 결합부재에 의해 결합되고;
    상기 승강기구는 상기 결합부재와 결합되어 상기 상부리드를 승강시키는 실린더부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  16. 청구항 12에 있어서,
    상기 상부리드는 상기 탈착기구와 회전가능하게 결합되고,
    상기 상부리드를 상기 탈착기구에 대하여 회전시키는 회전기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  17. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 상부리드는 상기 탈착기구와 회전가능하게 결합되고;
    상기 상부리드를 상기 탈착기구에 대하여 회전시키는 회전기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  18. 청구항 17에 있어서,
    상기 회전기구는,
    상기 결합부재와 연결되어 상기 상부리드를 밀거나 당기면서 회전시키는 실린더부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  19. 청구항 8에 있어서,
    상기 챔버본체와 간섭받지 않고 회전될 수 있는 위치로, 상기 상부리드가 분리된 후에,
    상기 탈착기구는 상기 상부리드를 상기 챔버본체에 대하여 수직 또는 경사를 이루도록 더 회전시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
  20. 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와, 상기 챔버본체에 착탈가능하도록 결합되어 상기 챔버본체의 개구부를 개폐하는 상부리드를 포함하는 챔버와; 상기 상부리드를 회전시켜 상기 챔버본체로부터 분리시키는 탈착기구를 포함하는 진공처리장치의 상부리드 분리방법으로서,
    상기 탈착기구는, 상기 상부리드를 지지하도록 상기 상부리드와 결합되는 지지부와; 상기 지지부를 회전시켜 상기 지지부가 지지하고 있는 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리시키는 회동구동부를 포함하며,
    상기 탈착기구는, 상기 지지부에 대한 상기 상부리드의 상대이동없이, 상기 지지부를 회전시켜 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 상부리드 분리방법.
  21. 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와, 상기 챔버본체에 착탈가능하도록 결합되어 상기 챔버본체의 개구부를 개폐하는 상부리드를 포함하는 챔버와; 상기 상부리드를 회전시켜 상기 챔버본체로부터 분리시키는 탈착기구를 포함하는 진공처리장치의 상부리드 분리방법으로서,
    상기 탈착기구는, 상기 상부리드를 지지하도록 상기 상부리드와 결합되는 지지부와; 상기 지지부를 회전시켜 상기 지지부가 지지하고 있는 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리시키는 회동구동부를 포함하며,
    상기 탈착기구는, 상기 상부리드를 상기 챔버본체에 대하여 수평상태를 유지하면서 상기 지지부를 회전시켜 상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 상부리드 분리방법.
  22. 청구항 20 또는 청구항 21에 있어서,
    상기 탈착기구에 의하여 상기 상부리드를 회전시키기 전에 상기 챔버본체에 대하여 상기 상부리드를 상승시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 상부리드 분리방법.
  23. 청구항 22에 있어서,
    상기 상부리드는 상기 챔버본체와 상기 상부리드 사이에 개재되는 밀봉부재보다 높게 상승시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 상부리드 분리방법.
  24. 청구항 21에 있어서,
    상기 탈착기구에 의하여 상기 상부리드가 회전되어 상기 챔버본체로부터 분리된 후,
    상기 챔버본체에 대하여 수직 또는 경사를 이루도록 추가로 회전시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 상부리드 분리방법.
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