KR20100033314A - 진공처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 상측에 개구부가 형성된 챔버본체와, 상기 챔버본체에 착탈가능하도록 결합되어 상기 챔버본체의 개구부를 개폐하는 상부리드를 포함하는 챔버와;상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 회동시켜서 분리시키는 탈착기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 탈착기구는 상기 상부리드가 상기 챔버본체로부터 분리된 후 상기 챔버본체와 간섭받지 않고 회전될 수 있는 위치로, 상기 상부리드를 분리시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 탈착기구는,상기 챔버의 외측에 회전 가능토록 설치되고, 상기 상부리드를 지지하도록 상기 상부리드와 결합되는 지지부와;상기 상부리드가 상기 챔버본체와 분리될 수 있도록 상기 지지부를 회전시키는 회동구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 3에 있어서,상기 지지부는 상기 상부리드와 결합되는 부분을 상기 지지부의 회전중심을 기준으로 일정한 회전반경으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 4에 있어서,상기 지지부는 상기 지지부에 대한 상기 상부리드의 상대이동없이, 상기 상부리드를 회동시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 4에 있어서,상기 지지부는, 상기 상부리드를 상기 챔버본체에 대하여 수평상태를 유지하면서, 또는 상기 지지부에 대한 상기 상부리드의 상대이동없이 회전 후 수직 또는 경사를 이루도록 회동시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 3 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지부는상기 상부리드를 지지하도록 결합되는 제1지지부와;상기 제1지지부와 결합되고, 상기 회동구동부에 의해 회전되도록 설치되는 제2지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 7에 있어서,상기 제1지지부는, 상기 상부리드의 양쪽에 각각 배치되어 상기 상부리드와 결합되는 한 쌍의 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 3에 있어서,상기 회동구동부는,상기 지지부를 밀거나 당겨서 회전시키는 스크류 잭과,상기 스크류 잭을 구동시키는 회동구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 상부리드는 상기 챔버본체 내의 압력변화에 따라서 상기 챔버본체로부터 승강가능토록 결합되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1 내지 청구항 6, 청구항 9 및 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부리드를 상기 챔버본체로부터 승강시키는 승강기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 11에 있어서,상기 챔버본체와 상기 상부리드 사이에 개재되는 밀봉부재를 더 포함하고,상기 승강기구는 상기 상부리드를 상기 밀봉부재보다 높게 상승시키는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 11에 있어서,상기 상부리드는 결합부재에 의하여 상기 탈착기구와 회전가능하게 결합되고;상기 승강기구는 상기 결합부재와 연동되도록 결합된 캠부재와, 상기 캠부재의 회전에 의해 상기 상부리드가 승강될 수 있도록 상기 캠부재를 회전시키는 캠 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 11에 있어서,상기 상부리드는 상기 탈착기구와 결합부재에 의해 결합되고;상기 승강기구는 상기 결합부재와 결합되어 상기 상부리드를 승강시키는 실린더부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 11에 있어서,상기 상부리드는 상기 탈착기구와 회전가능하게 결합되고,상기 상부리드를 상기 탈착기구에 대하여 회전시키는 회전기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1 내지 청구항 6, 청구항 9 및 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부리드는 상기 탈착기구와 결합부재에 의해 회전가능하게 결합되고;상기 상부리드를 상기 탈착기구에 대하여 회전시키는 회전기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 16에 있어서,상기 회전기구는,상기 결합부재와 연결되어 상기 상부리드를 밀거나 당기면서 회전시키는 실린더부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
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