KR100803727B1

KR100803727B1 - 진공처리장치

Info

Publication number: KR100803727B1
Application number: KR1020070021650A
Authority: KR
Inventors: 조생현; 안성일; 박용준; 윤대근
Original assignee: 주식회사 아이피에스
Priority date: 2007-03-05
Filing date: 2007-03-05
Publication date: 2008-02-15

Abstract

본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정디스플레이 패널용 유리 또는 반도체 등의 기판을 식각 또는 증착하기 위한 진공처리장치에 관한 것이다.

본 발명은 처리공간을 형성하도록 서로 분리 가능하게 결합되는 상부하우징 및 하부하우징과; 회전에 의하여 상기 상부하우징을 상기 하부하우징에 대하여 분리하거나 결합시키는 캠부를 포함하는 착탈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 개시한다.

진공처리, 상부하우징, 하부하우징, 착탈, 캠

Description

진공처리장치{Vacuum Processing Apparatus}

도 1은 종래의 일 예에 따른 진공처리장치로서, 상부하우징을 개폐할 수 있는 진공처리장치를 보여주는 사시도이다.

도 2는 종래의 다른 예에 따른 진공처리장치를 보여주는 사시도이다.

도 3a는 본 발명에 따른 진공처리장치를 보여주는 사시도로서 상부하우징 및 하부하우징이 결합된 상태를 보여주는 사시도이다.

도 3b는 도 3a의 상태에서 상부하우징이 하부하우징에 대하여 분리되어 이동된 상태를 보여주는 사시도이다.

도 4는 도 3a의 진공처리장치의 탈착부를 보여주는 일부사시도이다.

도 5은 도 3a의 진공처리장치의 캠부를 보여주는 일부절개도이다.

도 6a 및 도 6b는 도 3a의 진공처리장치의 개폐과정을 보여주는 작동도들이다.

도 7a 내지 도 7c는 도 3a의 진공처리장치의 다른 예로서, 진공처리장치의 개폐과정을 보여주는 작동도들이다.

도 8a 내지 도 8c는 도 3a의 진공처리장치의 또 다른 예로서, 진공처리장치의 개폐과정을 보여주는 작동도들이다.

도 9a 내지 도 9c는 도 3a의 진공처리장치의 또 다른 예로서, 진공처리장치 의 개폐과정을 보여주는 작동도들이다.

***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****

200 : 진공처리장치 210 : 상부하우징

220 : 하부하우징

710 : 가이드부 731 : 블록

751, 753 : 캠부재 752 : 캠회전구동부

진공처리장치란 진공상태에서 플라즈마 현상 등 물리적 또는 화학적 반응을 이용하여 LCD 패널용 유리, 반도체 등의 기판을 식각, 증착 등을 진공처리를 수행하는 장치를 말한다.

그리고 진공처리장치는 일반적으로 진공처리를 위한 처리공간을 형성하는 서로 착탈가능하게 결합되는 상부하우징 및 하부하우징 등으로 구성된다.

한편 상기와 같은 진공처리장치는 그 유지 및 보수를 위하여 상부하우징 및 하부하우징이 개폐 가능하게 구성되어야 한다.

도 1은 종래의 일례에 따른 진공처리장치로서, 상부하우징을 개폐할 수 있는 진공처리장치를 보여주는 사시도이다.

도 1에 도시된 진공처리장치는 주로 소면적의 기판을 처리하는 장치로서, 힌지(5) 및 에어실린더(7)를 이용하여 챔버본체(1)로부터 상부하우징(3)을 개폐한다. 그런데 도 1의 진공처리장치는 상부하우징(3)을 완전히 뒤집어 열기가 힘들어 챔버 본체(1)의 내부 장착물을 교체하기가 힘들다.

특히, 처리를 위한 기판의 크기가 큰 경우에 그 진공처리를 위한 진공처리장치는 하우징 및 내부 장착물(미도시)이 무거워 크레인 등을 사용하여 내부 장착물을 교체하여야 한다. 그런데, 도 1과 같은 반도체처리장치는 상부하우징(3)이 완전히 뒤집어지지 않아 크레인에 내부 장착물을 매달 수가 없는 문제점이 있다.

물론, 도 1에 도시된 반도체처리장치를 대형화하여 상부하우징이 180°뒤집어지도록 할 수 있으나, 도 1에 도시된 반도체처리장치는 개폐 장치가 커지게 되고 열린 상태가 안정적이지 못한 단점이 있다.

한편 종래의 다른 진공처리장치인 대한민국공개특허공보 10-2001-0067439호에 개시된 진공처리장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 회전 및 승강기구(15)를 이용하여 챔버본체(11)로부터 상부하우징(13)을 일정 높이까지 상승하도록 구성된다. 이어서, 상부하우징(13)은 이동기구(17)를 이용하여 상부하우징(13)을 회전할 수 있는 위치까지 이동한다. 그리고 회전 및 승강 기구(15)는 상부하우징(13)을 회전시켜 개폐하게 된다.

그런데, 종래의 다른 예에 따른 진공처리장치는 개폐장치를 구성하는 회전 및 승강기구 및 수평이동을 위한 이동기구가 하나의 어셈블리로 구성되어 그 구조가 복잡하고 설치가 어려운 문제점이 있다.

또한 상기와 같은 종래의 다른 예에 따른 진공처리장치의 개폐장치는 챔버본체(11)로부터 상부하우징(13)을 상승시킨 후에 수평이동하게 되어 그 개폐과정이 복잡할 뿐만 아니라 개폐에 소요되는 시간이 오래 걸려 진공처리장치의 유지 보수를 위한 작업 시간이 상대적으로 오래 걸리는 문제점이 있다.

한편 진공처리장치가 대형화되면서 챔버에 가해지는 진공압이 증가하게 되는데 증가하는 진공압을 견디기 위하여 챔버의 두께도 함께 증가하여 챔버의 일부인 상부하우징의 자중이 크게 증가하고 있다.

그런데 상부하우징은 평형이 유지된 상태에서 이동되지 않는 경우 상부하우징의 자중이 개폐장치에 대하여 마모 등 기계적 결함을 발생시켜 유지보수를 자주 하여야 하는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상부하우징을 하부하우징으로부터 보다 정밀하고 안정적으로 분리 및 이동시킬 수 있는 진공처리장치를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 처리공간을 형성하도록 서로 분리 가능하게 결합되는 상부하우징 및 하부하우징과; 회전에 의하여 상기 상부하우징과 하부하우징을 분리 또는 결합시키는 캠부를 포함하는 착탈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 개시한다.

상기 착탈부는 상기 상부하우징의 양측에서 각각 상기 상부하우징을 지지하도록 결합된 한 쌍의 블록을 포함하며, 상기 캠부는 상기 각 블록에 회전가능하게 설치되고 상기 하부하우징의 양측에 설치된 지지부에 지지되어 회전에 의하여 상기 상부하우징을 상기 하부하우징에 대하여 분리하거나 결합시키는 하나 이상의 캠부재와; 상기 캠부재를 회전구동하는 캠회전구동부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 착탈부는 상기 하부하우징의 양측에 설치되어 상기 캠부재를 지지하는 상기 지지부를 이루는 동시에 상기 블록의 수평이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드부와, 상기 블록을 상기 가이드부를 따라서 이동시키도록 구동하는 수평구동부를 포함하는 선형구동모듈을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 한 쌍의 블록은 상기 상부하우징을 회전가능하게 지지할 수 있다.

상기 캠부재는 상기 가이드부에 지지되어 회전하는 하나 이상의 롤러와, 상기 롤러의 회전축과 편심되어 연결되고 상기 블록과 회전가능하게 결합되는 캠형성부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 캠부재는 상기 블록에 결합되는 지지축과, 상기 지지축과 연결되어 캠을 형성하는 캠형성부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 선형이동모듈은 상기 가이드부에 지지되고 상기 가이드부와 상기 블록 사이에 설치되어 상기 블록을 지지하는 지지블록을 추가로 포함하여 구성될 수 있다.

상기 지지부는 상기 하부하우징의 양측에 고정 설치되며, 상기 블록은 상기 지지블록의 수평이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드부로서 구성되며, 상기 착탈부는 상기 상부하우징의 양측에서 상기 상부하우징을 지지하도록 결합되며 상기 각 블록을 따라서 이동되도록 설치된 한 쌍의 지지블록과, 상기 지지블록을 상기 가이드부를 따라서 이동시키도록 구동하는 수평구동부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 가이드부는 상기 캠부재의 회전에 의하여 상하로 이동되도록 상기 하부하우징의 측면에 설치되는 제 1 가이드부와, 상기 캠부재의 회전에 의하여 상기 제 1 가이드부가 상승되었을 때의 높이로 제 1 가이드부와 연결되는 제 2 가이드부를 포함하여 구성될 수 있다.

이하 본 발명에 따른 진공처리장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3a는 본 발명에 따른 진공처리장치를 보여주는 사시도로서 상부하우징 및 하부하우징이 결합된 상태를 보여주는 사시도이고, 도 3b는 도 3a의 상태에서 상부하우징이 하부하우징에 대하여 분리되어 이동된 상태를 보여주는 사시도이고, 도 4는 도 3a의 진공처리장치의 탈착부를 보여주는 일부사시도이고, 도 5은 도 3의 진공처리장치의 캠부를 보여주는 일부절개도이다.

도 6a 및 도 6b는 도 3a의 진공처리장치의 개폐과정을 보여주는 작동도들이고, 도 7a 내지 도 7c는 도 3a의 진공처리장치의 다른 예로서, 진공처리장치의 개폐과정을 보여주는 작동도들이고, 도 8a 내지 도 8c는 도 3a의 진공처리장치의 또 다른 예로서, 진공처리장치의 개폐과정을 보여주는 작동도들이고, 도 9a 내지 도 9c는 도 3a의 진공처리장치의 또 다른 예로서, 진공처리장치의 개폐과정을 보여주 는 작동도들이다.

본 발명에 따른 진공처리장치(200)는 반송챔버 및 반송챔버에 결합되는 로드락챔버와 결합되어 멀티챔버시스템으로 구성될 수 있다.

상기 진공처리장치(200)는 처리공간을 형성하도록 실링부재(미도시)가 개재된 상태에서 분리 가능하게 결합되는 상부하우징(210) 및 하부하우징(220)을 포함하며, 처리공간 내에서 소정의 감압 분위기에서 식각, 증착 등 기판의 진공처리를 수행한다.

상기 진공처리장치(200) 내에는 처리공간을 감압시키기 위한 펌프, 배기관 등을 포함하는 배기시스템 및 처리공간 내에 진공처리를 위한 처리가스를 공급하기 위한 가스공급시스템, 플라즈마를 형성하기 위한 전원공급시스템 등이 설치되며, 편의상 그 설명은 생략한다.

상기 상부하우징(210) 및 하부하우징(220)은 내측에 공간이 형성되는 그릇 구조를 가질 수 있으나, 상부하우징(210)은 판상의 부재, 즉 뚜껑으로 구성될 수도 있다.

한편 본 발명에 따른 진공처리장치(200)는 유지 및 보수를 위하여 상부하우징(210) 및 하부하우징(220)이 서로 분리될 필요가 있으며, 분리될 때 상부하우징(210)의 하중을 고려하여 상부하우징(210)을 보다 정밀하게 지지 및 승하강시킬 필요가 있다.

따라서 본 발명에 따른 진공처리장치(200)는 도 3a 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 회전에 의하여 상부하우징(210)과 하부하우징(220)을 분리 또는 결합시키는 캠부를 포함하는 착탈부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 착탈부는 상부하우징(210)을 하부하우징(220)에 대하여 분리시킨 후 적당한 위치로 이동시켜 상부하우징(210)을 유지 및 보수를 하기 위하여 상부하우징(210)을 하부하우징(220)으로부터 분리 또는 결합시키도록 구성된다.

이때 상기 착탈부는 상부하우징(210)을 회전가능하게 지지하도록 구성될 수 있으며, 상부하우징(210)을 회전시키기 위한 회전구동장치(770)를 구비할 수 있다.

상기 착탈부는 상부하우징(210)의 양측에서 각각 상부하우징(210)과 회전가능하게 지지하도록 결합된 하나 이상의 블록(731)을 포함하여 구성될 수 있다.

그리고 상기 캠부는 블록(731)에 각각 회전가능하게 설치되고 상부하우징(210)의 양측에 설치된 지지부에 지지되어 회전에 의하여 상부하우징(210)을 하부하우징(220)에 대하여 분리하거나 서로 밀폐결합시키는 하나 이상의 캠부재(751)와; 캠부재(751)를 회전구동하는 캠회전구동부(752)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 캠회전구동부(752)는 캠부재(751)를 회전시키는 구성으로서, 도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 회전장치 또는 캠부재(751)의 캠축에 고정결합되어 캠부재(751)를 회전시키는 회전로드(752a)와 회전로드(752a)와 결합되어 회전로드(752a)를 캠축을 중심으로 회전시키는 구동장치(752b)를 포함하여 구성될 수 있다.

한편 상기 착탈부는 상부하우징(210)을 수평이동시키는 선형이동모듈이 구비될 필요가 있는데, 상기 선형이동모듈은 하부하우징(220)의 양측에 설치되어 캠부재(751)를 지지하는 지지부를 이루는 동시에 블록(731)의 수평이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드부(710)와, 가이드부(710)를 따라서 블록(731)을 이동시키도록 구동하는 선형구동부(720)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 가이드부(710)는 하부하우징(220)의 양측에 하부하우징(220)과 직접 결합되거나 별도의 지지부재에 의하여 지지되어 설치되며 캠부재(751)를 지지하는 동시에 그 이동을 가이드하도록 구성된다.

한편 상기 가이드부(710)는 캠부재(751)가 이동될 때 캠부재(751)를 경사이동시켜 상부하우징(210)을 승하강시킬 수 있도록 캠부재(751)를 지지하는 면 중 적어도 일부에 하나 이상의 경사면이 형성될 수 있다.

상기 경사면은 이동하는 캠부재(751)가 그 이동에 따라서 수직위치가 변동되어 상부하우징(210)이 하부하우징(220)에 대하여 상대적으로 상승 또는 하강할 수 있게 한다. 이때 상기 경사면은 상부하우징(210)과 하부하우징(220)이 밀착결합될 때 캠부재(751)가 위치되는 부분에 형성되는 것이 바람직하다.

상기 선형구동부(720)는 가이드부(710)를 따라서 블록(731)을 이동시키도록 구동하는 구성으로서, 도시된 바와 같이, 랙과 피니언 결합에 의한 선형구동장치 등 다양하게 구성될 수 있다.

상기 캠부재(751)는 회전에 의하여 상부하우징(210)과 하부하우징(220)을 서로 분리하거나 결합시키기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

즉, 상기 캠부재(751)는 일 예로서, 도 5 내지 도 6b에 도시된 바와 같이, 가이드부(710)에 지지되어 회전하는 하나 이상의 롤러(761)와, 롤러(761)가 회전가능하게 결합되는 회전축(762)과 편심되어 연결되고 블록(731)과 회전가능하게 결합 되어 캠축을 이루는 캠형성부(751a)를 포함하여 구성될 수 있다.

또한 상기 캠부재(753)는 다른 예로서, 도 7a 내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 블록(731)에 결합되는 지지축(753b)과, 지지축(753b)과 연결되어 캠을 형성하는 캠형성부(753a)를 포함하여 구성될 수 있다. 이때 상기 캠형성부(753a)는 가이드부(710)를 따라서 슬라이딩 이동하도록 설치된다.

한편 상기 선형이동모듈은 도 8a 내지 도 8c에 도시된 바와 같이, 가이드부(710)와 블록(731) 사이에 설치되어 가이드부(710)에 지지되면서 블록(731)을 지지하는 지지블록(780)을 추가로 구비할 수 있다.

상기 지지블록(780)은 블록(731)을 지지하는 블록본체(781)와, 회전에 의하여 가이드부(710)를 따라서 이동하는 하나 이상의 롤러(782)를 포함하여 구성될 수 있다.

한편 도 8a 내지 도 8c에 도시된 상기 블록과 지지블록의 위치는 서로 바뀌어 설치될 수 있는데, 이때 상기 캠부재(753)는 도 9a 내지 도 9c에 도시된 바와 같이, 하부하우징(220)의 양측에 설치된 지지부(713)에 의하여 지지되어 설치될 수 있으며, 블록은 하부하우징(220)의 양측에 길게 형성되어 지지블록(781)이 이동될 수 있는 가이드부(710)로서 활용될 수 있다.

이때 상기 가이드부(710)는 제 1 가이드부(711) 및 제 2 가이드부(712)로 분리되어 설치될 수 있으며, 제 1 가이드부(711)는 캠부재(753)의 회전에 의하여 상하로 이동되도록 하부하우징(220)의 측면에 설치되며, 제 2 가이드부(712)는 캠부재(753)의 회전에 의하여 제 1 가이드부(711)가 상승되었을 때의 높이로 제 1 가이 드부(711)와 연결되어 설치될 수 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 진공처리장치의 작동에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저 상부하우징(210)은 도 6a, 도 7a, 도 8a 및 도 9a에 도시된 바와 같이, 하부하우징(220)에 대하여 이격되어 이동을 하게 되며, 도 3b에 도시된 바와 같이 소정의 위치로 이동된 상태 또는 회전구동장치(770)에 의하여 90° 또는 180° 회전되어 유지 및 보수를 하게 된다.

상부하우징(210)은 하부하우징(220)과 밀착되어 결합되는 경우에는 도 6b,도 7b 및 도 7c, 도 8b 및 도 8c, 도 9b 및 도 9c에 도시된 바와 같이, 캠부재(751, 753)를 회전시켜 하부하우징(220)과 밀착되도록 이동된다.

보다 자세히 설명하면, 블록(731)에 결합된 캠부재(751, 753)를 회전시키게 되면 가이드부(710)에 지지되는 면과의 거리의 줄어들게 되고 블록(731)은 하부하우징(220) 쪽으로 이동되는데, 결과적으로 블록(731)과 결합된 상부하우징(210)이 상대적으로 하부하우징(220)쪽으로 이동되어 하부하우징(220)과 밀폐 결합되게 된다.

반대로 상부하우징(210)을 하부하우징(220)으로부터 분리하는 경우에 캠부재(751, 753)를 반대로 회전시키게 되면 가이드부(710)에 지지되는 면으로부터의 거리의 증가하게 되고 블록(731)은 하부하우징(220)으로부터 멀어져 결과적으로 블록(731)과 결합된 상부하우징(210)이 이동되어 하부하우징(220)과 분리된다.

상부하우징(210)이 하부하우징(220)으로부터 캠부에 의하여 분리되면 착탈부 는 선형구동장치(720)에 의하여 일정한 위치까지 이동시키게 된다.

한편 진공처리장치의 처리공간 내의 압력은 진공압에서 대기압으로 상승하거나 진공압으로 하강하게 되는데, 처리공간 내의 압력의 상승 또는 하강에 따라서 상부하우징(210)과 하부하우징(220) 사이에 설치된 실링부재가 팽창 또는 수축하게 되고 상부하우징(210)은 하부하우징(220)에 대하여 미세하게 이동시킬 필요가 있다.

따라서 상기와 같이 실링부재의 팽창 또는 수축에 의하여 상부하우징(210)이 하부하우징(220)에 대하여 미세하게 이동하게 되는 경우 실링부재의 팽창량 또는 수축량만큼 상부하우징(210)이 이동될 수 있도록 캠부재(751, 753)를 미세하게 회전시킨다. 이때 상부하우징(210)은 미세한 이동에 의하여 하부하우징(220)에 대하여 서로 어긋나지 않도록 구성하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 진공처리장치는 상부하우징을 하부하우징으로부터 분리하기 위하여 회전, 승강 및 수평이동을 위한 장치들을 하나의 어셈블리로 구성하지 않아 그 구조가 간단한 이점이 있다.

본 발명에 따른 진공처리장치는 유지관리시 상부하우징을 한번의 이동으로 하부하우징으로부터 분리시키는 것이 그 분리과정이 간단한 이점이 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.

Claims

처리공간을 형성하도록 서로 분리 가능하게 결합되는 상부하우징 및 하부하우징과;

회전에 의하여 상기 상부하우징과 하부하우징을 분리 또는 결합시키는 캠부를 포함하는 착탈부;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
제 1항에 있어서,

상기 착탈부는 상기 상부하우징의 양측에서 각각 상기 상부하우징을 지지하도록 결합된 한 쌍의 블록을 포함하며,

상기 캠부는 상기 각 블록에 회전가능하게 설치되고 상기 하부하우징의 양측에 설치된 지지부에 지지되어 회전에 의하여 상기 상부하우징을 상기 하부하우징에 대하여 분리하거나 결합시키는 하나 이상의 캠부재와; 상기 캠부재를 회전구동하는 캠회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
제 2항에 있어서,

상기 착탈부는

상기 하부하우징의 양측에 설치되어 상기 캠부재를 지지하는 상기 지지부를 이루는 동시에 상기 블록의 수평이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드부와, 상기 블록 을 상기 가이드부를 따라서 이동시키도록 구동하는 수평구동부를 포함하는 선형구동모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
제 2항 또는 제 3항에 있어서,

상기 한 쌍의 블록은 상기 상부하우징을 회전가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
제 3항에 있어서,

상기 캠부재는 상기 가이드부에 지지되어 회전하는 하나 이상의 롤러와, 상기 롤러의 회전축과 편심되어 연결되고 상기 블록과 회전가능하게 결합되는 캠형성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
제 2항 또는 제 3항에 있어서,

상기 캠부재는 상기 블록에 결합되는 지지축과, 상기 지지축과 연결되어 캠을 형성하는 캠형성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
제 3항에 있어서,

상기 선형이동모듈은

상기 가이드부에 지지되고 상기 가이드부와 상기 블록 사이에 설치되어 상기 블록을 지지하는 지지블록을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
제 2항에 있어서,

상기 지지부는 상기 하부하우징의 양측에 고정 설치되며, 상기 블록은 상기 지지블록의 수평이동을 가이드하는 한 쌍의 가이드부로서 구성되며,

상기 착탈부는 상기 상부하우징의 양측에서 상기 상부하우징을 지지하도록 결합되며 상기 각 블록을 따라서 이동되도록 설치된 한 쌍의 지지블록과, 상기 지지블록을 상기 가이드부를 따라서 이동시키도록 구동하는 수평구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
제 8항에 있어서,

상기 가이드부는

상기 캠부재의 회전에 의하여 상하로 이동되도록 상기 하부하우징의 측면에 설치되는 제 1 가이드부와, 상기 캠부재의 회전에 의하여 상기 제 1 가이드부가 상승되었을 때의 높이로 상기 제 1 가이드부와 연결되는 제 2 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.