KR20060064229A - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 그 내부를 진공분위기로 형성시키고 평판표시소자 기판에 소정의 처리를 실시할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버를 챔버 본체와 상부 커버로 분리시켜 구비시키고, 상부 커버를 용이하게 개폐할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

챔버 본체와, 상기 챔버 본체 상측에 상기 챔버 본체와 대향되도록 마련되되, 상기 챔버 본체와 소정 간격 이격되어 위치되는 상부 커버로 이루어지는 진공 챔버; 상기 챔버 본체와 상부 커버 사이에 형성되는 틈을 밀폐시키며, 상기 상부 커버로 부터 탈착가능하도록 마련되는 밀폐수단; 상기 상부 커버 양 측면의 대응되는 위치에 결합되어 마련되며, 상기 상부 커버를 회전시킬 수 있는 회전부; 상기 회전부와 결합되어 상기 회전부에 결합된 상부 커버를 지지하고, 상부 커버를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 수평이동부; 상기 수평이동부와 결합되어 마련되며, 상기 수평이동부의 이동 경로를 제공하는 경로부; 상기 진공 챔버 내부에 마련되며, 상기 진공 챔버 내부로 반입되는 피처리물에 소정의 처리를 실시하는 처리부; 를 포함하여 구성되는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.

평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 진공 챔버, 상부 커버

Description

평판표시소자 제조장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING FPD}

도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 공정 챔버의 구조를 나타내는 단면도이다.

도 2는 종래의 공정 챔버의 상부 커버 개폐수단의 일 례를 나타내는 사시도이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 구조를 나타내는 사시도이다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 내부 구조를 나타내는 단면도이다.

도 5는 본 발명의 밀폐 수단의 다른 실시예를 나타내는 부분 단면도들이다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 상부 커버 개폐과정을 설명하는 도면들이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1 : 종래의 공정 챔버 10 : 챔버 본체

20 : 상부 커버 30 : 상부 전극

40 : 기판 탑재대 50 : 개폐수단

60 : 리니어 가이드

100 : 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치

110 : 진공 챔버 120 : 밀폐 수단

130 : 회전부 140 : 수평방향 이동부

150 : 경로부 160, 170 : 처리부

본 발명은 그 내부를 진공분위기로 형성시키고 평판표시소자 기판에 소정의 처리를 실시할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버를 챔버 본체와 상부 커버로 분리시켜 구비시키고, 상부 커버를 용이하게 개폐할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

평판표시소자(FPD Flat Panel Display) 제조장치는 내부에 평판표시소자 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는 데 사용된다. 이때 평판표시소자는, LCD, PDP, OLED 등을 말하며, 이러한 평판표시소자 제조장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다.

여기서 로드락 챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.

이때, 공정 챔버 내에서는 여러가지 공정가스나 플라즈마를 이용하므로 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 상기 공정 챔버 내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서, 공정 챔버는 도 1에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(1)의 내부를 유지 보수할 수 있도록 챔버 본체(10)와 상부 커버(20)로 이루어지고, 공정챔버(1)의 상부 커버(20)를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다. 이때 상부 커버(20)를 개폐시키는 방식으로는 공정 챔버(1)가 설치된 클린룸의 천장에 크레인을 마련하고, 그 크레인을 이용하여 상부 커버를 개폐하는 방식과, 공정 챔버에 개폐수단을 구비시키고, 그 개폐수단에 의하여 상부 커버를 개폐하는 방식이 있다.

종래에 상부 커버(20)를 개폐하기 위한 일 례로는 도 2에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(1)의 외부에 상부 커버(20)를 개폐할 수 있는 개폐수단(50)을 구비하고, 그 개폐수단(50)에 의하여 상부커버(20)를 개폐한다. 이때 이 개폐수단(50)에는 상부 커버(20)를 수직방향으로 들어 올릴 수 있는 수작방향 구동기구와, 상부 커버(20)를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 수평방향 구동기구와, 상부 커버(20)를 회전시킬 수 있는 회전기구가 마련되고, 이와 별도로 수평방향 구동기구의 이동 경로를 제공하는 수평이동 가이드(60)가 마련된다.

이러한 개폐수단(50)을 사용하여 상부 커버(20)를 개폐하는 상부커버(20)의 개폐 과정을 살펴보면 다음과 같다. 먼저 개폐수단(50)에 구비되어 있는 수직 방향 구동기구에 의하여 상기 상부커버(20)를 소정 간격 만큼 수직 방향으로 들어 올린 후, 상부커버(20)가 들어 올려진 상태에서 수평 이동 가이드(60)를 이용하여 상부 커버를 수평방향으로 이동시킨다. 그리고 상부커버(20)가 완전히 수평방향으로 이동되면 상부커버(20)를 회전 기구에 의하여 180°회전시킨다. 이렇게 하여 공정 챔버(1)의 하부와 상부를 모두 개방시켜 공정 챔버(1) 내부의 각 장비를 교환하거나 보수하는 작업을 한다.

그러나 최근 평판표시소자 제조장치에 의하여 처리되는 기판이 대형화되면서 평판표시소자 제조장치의 진공챔버의 크기고 급격하게 대형화되고 있다. 따라서 최근의 진공 챔버에 있어서, 그 상부 커버(20)는 그 크기가 가로, 세로 3, 4m에 이를 뿐만아니라, 그 무게도 3, 4 톤이 넘는 상황이다. 그러므로 이렇게 무거운 대형 진공 챔버의 상부 커버를 상하 방향으로 들어올리기 위해서는 상하 방향 구동기구에 매우 큰 용량의 에어 실린더 등이 필요하고, 부피가 큰 대형 챔버의 상부 커버를 들어 올릴때 그 불안정성이 증가하여 진공 챔버 내부의 유지, 보수 작업이 매우 어려워지는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상부 커버를 용이하게 개폐할 수 있는 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 챔버 본체와, 상기 챔버 본체 상측에 상기 챔버 본체와 대향되도록 마련되되, 상기 챔버 본체와 소정 간격 이격되 어 위치되는 상부 커버로 이루어지는 진공 챔버; 상기 챔버 본체와 상부 커버의 테두리 영역을 밀폐 및 밀폐해제하며, 상기 상부 커버로 부터 탈착가능하도록 마련되는 밀폐수단; 상기 상부 커버 양 측면의 대응되는 위치에 결합되어 마련되며, 상기 상부 커버를 회전시킬 수 있는 회전부; 상기 회전부와 결합되어 상기 회전부에 결합된 상부 커버를 지지하고, 상부 커버를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 수평이동부; 상기 수평이동부와 결합되어 마련되며, 상기 수평이동부의 이동 경로를 제공하는 경로부; 상기 진공 챔버 내부에 마련되며, 상기 진공 챔버 내부로 반입되는 피처리물에 소정의 처리를 실시하는 처리부; 를 포함하여 구성되는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.

이때 본 발명에서는, 챔버 본체에는, 챔버 본체의 상단면을 따라 연장 형성되어, 챔버 외측으로 돌출되는 하측 돌출부를 형성시키고,

상부 커버에는, 상부 커버의 하단면을 따라 연장 형성되어, 챔버 외측으로 돌출되는 상측 돌출부를 형성시키며,

밀폐 수단에는, 하측 돌출부와 밀착, 결합되는 하측 접촉면;과 상측 돌출부와 밀착, 결합되는 상측 접촉면;을 형성시키며,

밀폐 수단은 하측 돌출부 및 상측 돌출부와 동시에 밀착, 결합되어 진공 챔버의 내부를 밀폐시키도록 하는 것이, 간단한 구조의 밀폐 수단을 사용하여 진공 챔버 내부의 기밀을 유지할 수 있어서 바람직하다.

또한 본 발명에서는, 하측 접촉면 또는 상측 접촉면이 빗면으로 형성시키고, 하측 돌출부 또는 상측 돌출부가 하측 접촉면 또는 상측 접촉면과 대응되는 빗면을 가지도록 형성시킴으로써, 밀폐 수단과 상부 커버 및 챔버 본체와의 접촉면적이 크게 하여 밀폐력이 극대화되게 하는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서는, 하측 접촉면 또는 상측 접촉면에, 신축성이 있는 소재로 형성되는 밀폐 보조구를 하나 이상 구비시킴으로써, 밀폐 수단과 상부 커버 및 챔버 본체의 접촉면 중 일부에서 기밀이 파괴되는 문제점을 방지하도록 하는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서는, 밀폐수단에, 밀폐 수단과 결합되어 마련되며, 밀폐 수단을 상하 방향으로 이동시킬 수 있는 상하 이동부가 더 마련되도록 함으로써, 상부 커버를 개방시키는 경우 밀폐수단이 상부 커버로 부터 용이하게 분리될 수 있도록한다.

또한 본 발명은, 챔버 본체와, 상기 챔버 본체 상측에 상기 챔버 본체와 대향되도록 마련되되, 상기 챔버 본체와 소정 간격 이격되어 위치되는 상부 커버로 이루어지는 진공 챔버; 상기 챔버 본체와 상부 커버의 테두리 영역을 밀폐 및 밀폐해제하며, 상기 상부 커버로 부터 탈착가능하도록 마련되는 밀폐수단; 상기 진공 챔버 내부에 마련되며, 상기 진공 챔버 내부로 반입되는 피처리물에 소정의 처리를 실시하는 처리부; 를 포함하여 구성되는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.

이때 상부 커버에는, 상부 커버의 양 측면의 대응되는 위치에 마련되며, 평판표시소자 제조장치와 별도로 마련되어 상부 커버를 개방시키는 상부 커버 개방장치와 체결되는 체결수단이 더 마련되도록 함으로써, 상부 커버 개방장치와 상부 커버가 용이하게 체결되고, 상부 커버를 개방할 수 있도록 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.

< 실시예 1 >

본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치(100)는, 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 진공챔버(110); 밀폐수단(120); 회전부(130); 수평 이동부(140); 경로부(150); 처리부(160, 170);로 구성된다.

먼저 진공 챔버(110)는 그 내부에 진공 분위기를 형성시킬 수 있는 챔버이다. 본 실시예에서는 이 진공 챔버(110)를 챔버 본체(114)와 상부 커버(112)로 나누어 구성한다. 여기서 챔버 본체(114)는 진공 챔버(110)의 하부를 이루는 것으로서 하벽과 그 하벽의 측부에 수직으로 형성되는 측벽으로 이루어진다. 그리고 상부 커버(112)는 진공 챔버(110)의 상부를 이루는 것으로서 상벽과 그 상벽의 측부에 수직으로 형성되는 측벽으로 이루어진다. 그리고 챔버 본체(114)와 상부 커버(112) 가 결합되어 진공 챔버(110)를 이루는 것이다. 이때 본 실시예에서는 챔버 본체(114)와 상부 커버(112)가 직접 결합되는 것이 아니라, 상부 커버(112)는 챔버 본체(114)와 소정 간격 이격되도록 위치된다. 따라서 상부 커버(112)는 챔버 본체(114)와 직접 접촉되어 결합되지 않고, 챔버 본체(114)의 위치에 대응되는 위치에 마련되되, 수평 이동부(140)에 의해 지지되어 챔버 본체(114)의 상측에 소정 간격 이격되어 위치된다.

다음으로 밀폐 수단(120)은 챔버 본체(114)와 상부 커버(112) 사이에 형성되는 틈을 막아서, 상기 챔버 본체(114)와 상부 커버(112)의 테두리부를 밀폐시키는 구성요소이다. 전술한 바와 같이 본 실시예에서는 챔버 본체(114)와 상부 커버(112)가 소정 간격 이격되어 마련되므로, 진공 챔버(110) 내부를 진공 분위로 형성시키기 위해서는 양자 사이의 틈을 밀폐시키는 수단이 요구되는 것이다. 본 실시예에서는 이 밀폐 수단(120)을 상부 커버(112)로부터 탈착가능하도록 마련한다.

즉, 챔버 본체(114)의 상단면에는, 그 상단면을 따라 연장 형성되어, 챔버 외측으로 돌출되는 하측 돌출부(114a)를 형성시키고, 상부 커버(112)의 하단면에는, 그 하단면을 따라 연장 형성되어, 챔버 외측으로 돌출되는 상측 돌출부(112a)를 형성시킨다. 여기서 챔버 본체(114)의 상단면이라 함은, 챔버 본체 중 측벽의 상단면을 말하는 것이며, 상부 커버(112)의 하단면이라 함은, 상부 커버 중 측벽의 하단면을 말하는 말하는 것이다.

그리고 밀폐 수단(120)에는, 하측 돌출부(114a)와 밀착, 결합되는 하측 접촉면(124)과 상측 돌출부(112a)와 밀착, 결합되는 상측 접촉면(122)을 형성시킨다. 이때 하측 접촉면(124)과 하측 돌출부(114a), 상측 접촉면(122)과 상측 돌출부(112a)가 완벽하게 밀착, 결합되도록 하기 위하여, 각 부재의 접촉면은 서로 호응되는 형상으로 형성시킨다.

그런데 챔버 측벽이 금속 소재 등 단단한 소재로 형성되므로 상하측 돌출부와 상하측 접촉면이 아주 정교하게 가공되더라도 각 접촉면에 미세한 틈이 발생할 수 있다. 따라서 챔버 내부의 완벽한 기밀을 유지하기 어려워 지므로 이러한 문제점을 해결하기 위하여 하측 접촉면(124)과 상측 접촉면(122)에는 밀폐 보조구(126, 128)를 더 형성시키는 것이 바람직하다. 이때 이 밀폐 보조구(126, 128)는 약간의 신축성을 가지는 소재로 형성된다. 따라서 밀폐 수단(120)을 하측 돌출부(114a) 및 상측 돌출부(112a)에 밀착시키는 경우 이 밀폐 보조구(126, 128)가 상하측 돌출부와 상하측 접촉면 사이에 개재된 상태로 약간 수축되면서 모든 접촉면에서 틈이 발생하지 않도록 한다. 또한 특정한 경우에는 보다 완벽한 밀폐을 위해서 이 밀폐 보조구(126, 128)를 2 개이상 겹쳐서 형성시킬 수도 있다. 그리고 이 밀폐 보조구(126, 128)가 자신의 위치에서 이탈되는 것을 방지하기 위하여 하측 접촉면과 상측 접촉면에 밀폐 보조구가 고정되어 위치되는 고정홈을 형성시키는 것이 더욱 바람직하다.

본 실시예에서는 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 각 부재의 접촉면 형상을 몇 가지로 개시한다.

먼저 도 4에 도시된 바와 같이, 밀폐 수단(120)의 단면 형상이 'ㄴ'자 형상이 되도록 형성시켜, 즉, 접촉면(122, 124)이 지면과 수평이 되도록 형성시키고, 이와 밀착 결합되는 하측 돌출부(114a) 및 상측 돌출부(112a)의 접촉면도 지면과 수평이 되도록 형성시키는 것이다.

또한 5a에 도시된 바와 같이, 밀폐 수단(120a)의 하측 접촉면(124a) 및 상측 접촉면(122a)을 빗면으로 형성시키고, 이들과 결합되는 하측 돌출부(114a) 및 상측 돌출부(112a)도 대응되는 빗면을 가지도록 형성시킬 수도 있다. 이렇게 접촉면을 빗면으로 하는 경우에는, 접촉면을 수평면으로 하는 경우보다 접촉되는 면적이 넓다. 따라서 밀폐효과가 더 크며, 나아가서는 접촉면에 밀폐 보조구(126a, 128a)를 형성시키는 경우 접촉면적이 넓으므로 여러 개의 밀폐보조구를 용이하게 배치할 수 있는 장점이 있다.

물론 도 5b, 5c에 도시된 바와 같이, 하측 접촉면 또는 상측 접촉면 중 어느 하나만 빗면으로 형성시킬 수도 있다.

그리고 본 실시예에서는 전술한 밀폐 수단(120)을 자동으로 상하 방향으로 이동시킬 수 있도록 상하 이동부(129)를 더 마련한다. 즉, 밀폐 수단(120)의 하측에 결합되어 밀폐 수단(120)을 상하 방향으로 구동시키는 상하 이동부(129)를 복수개 마련하는 것이다. 본 실시예에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 밀폐 수단(120)의 4 모서리 부분에 각각 상하 이동부(129)를 마련하여 안정적으로 밀폐 수단(120)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있도록 한다. 한편 상하 이동부(129)를 밀폐 수단(120)의 대향되는 양 면에 각각 1개씩 2개를 마련할 수도 있다. 따라서 이 상하 이동부(129)는 상부 커버(112)를 개방시키는 경우 상부 커버(112)와 밀폐 수단(120)의 마찰을 방지하기 위하여 밀폐 수단(120)을 하측으로 이동시키는 역할을 한다.

본 실시예에서는 이 상하 이동부(129)를 도 4에 도시된 바와 같이, 실린더 로드와 실린더로 구성한다. 여기에서 실린더 로드는 밀폐 수단의 하부에 결합되어 마련되며, 밀폐수단을 수직방향을 따라 이동시키는 역할을 한다. 그리고 실린더는 실린더 로드의 하단에 결합되며, 실린더 로드를 구동시키는 역할을 한다. 이때 이 실린더는 공기압 실린더 일 수도 있고, 유압 실린더 일 수도 있다. 그러므로 실린더의 압력에 의하여 실린더 로드가 수직방향으로 이동되고, 이 실린더 로드에 연결된 밀폐 수단이 상하 방향으로 이동되는 것이다.

다음으로 회전부(130)는 상부 커버(112)를 회전시켜 상부 커버(112)의 내부가 상측으로 향하게 하여 상부 커버(112) 내부를 개방시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 이 회전부(130)가 도 3에 도시된 바와 같이, 상부 커버(112)의 양 측면 중 중앙 부분의 대응되는 위치에 각각 결합된다. 그리고 결합된 상부 커버(112)를 회전시킬 수 있도록 회전력을 제공하는 모터가 내부에 구비된다. 이때 상부 커버(112)에 결합되는 축과 회전 모터가 결합되는 부분에는 상부 커버의 회전시에 발생하는 마찰력을 최소화시켜 상부 커버의 회전을 원활하게 하기 위하여 베어링이 삽입되어 마련되는 것이 바람직하다.

다음으로 수평 이동부(140)는 전술한 회전부(130)와 결합되어 회전부(130)에 결합된 상부 커버(112)를 지지하고, 상부 커버(112)를 수평방향으로 이동시키는 구성요소이다. 즉, 상부 커버(112)와 결합되어 있는 회전부(130)의 하측에 결합되어 상부 커버(112)를 지지하고 있다가, 상부 커버(112)를 개방시키는 동안에는 상부 커버(112)를 수평방향으로 이동시키는 것이다. 물론 이 수평 이동부(140)는 회전부 (130)와 결합되지 않고, 상부 커버(112)의 소정 부분과 직접 결합될 수도 있다. 본 실시예에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 수평 이동부(140)가 회전부(130)와 결합되는 부분과 지지축 및 수평 이동을 위하여 경로부(150)와 결합되는 부분으로 구성된다.

다음으로 경로부(150)는 전술한 수평 이동부(140)와 결합되어 수평 이동부(140)의 이동 경로를 제공하는 구성요소이다. 즉, 상부 커버(112)를 개방시키기 위하여 상부 커버(112)를 수평 방향으로 이동시키는 경우 전술한 수평 이동부(140)가 이동할 수 있는 정확하고 안정적인 경로를 제공하는 것이다. 수평 이동부(140)가 지지하는 상부 커버(112)의 크기 및 무게가 매우 크므로 이의 이동 경로가 정확하고 안정적으로 확보되지 않으면 작업과정에서 안전상의 문제가 발생할 수 있으므로 이러한 문제점을 방지하기 위하여 경로부가 마련되는 것이다. 본 실시예에서는 이 경로부(150)를 도 3에 도시된 바와 같이 리니어 가이드로 구성한다. 그리고 이 경로부(150)는 진공 챔버(110)를 클린룸 내에 설치할 때 바닥면에서 진공 챔버(110)가 소정 간격 이격되도록 하는 하부 프레임(도면에 미도시)에 결합되어 마련된다. 따라서 진공 챔버(110)의 측벽에 이 경로부(150)를 설치하기 위하여 구멍을 내는 등의 어려운 공정을 수행할 필요가 없게 된다.

다음으로 처리부(도면에 미도시)는 이 진공 챔버(110) 내부로 반입되는 기판에 소정의 처리를 실시하는 구성요소이다. 여기서 기판에 대한 소정의 처리라 함은 기판의 표면에 소정의 물질로 이루어진 박막을 형성시키는 증착, 형성된 박막 중 일부분을 제거하는 식각 등의 처리 공정을 말한다. 따라서 본 실시예에 따른 진공 챔버(110)는 증착기, 식각기 등 여러가지 처리장치에 적용이 가능하다. 건식 식각기의 경우 이 처리부에는 챔버 내부 상하에 마련되는 상하부 전극과 이들에 RF 전력을 공급하는 전력 공급부, 챔버 내부로 공정가스를 도입하는 가스 공급부 등의 장치가 포함된다.

마지막으로, 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치(100)에는 제어부가 마련된다. 이 제어부는 상부 커버의 개폐과정을 제어하는 역할을 한다. 즉, 상부 커버의 개방작업을 위하여 밀폐 수단(120)이 소정 간격 하강되도록 하는 경우, 상하 구동부(129)를 어느 정도의 시간동안 어느 정도의 간격으로 하강시켜야 하는 지에 대한 데이타를 미리 입력받아 각 구성요소를 제어한다. 그리고 이 밀폐 수단(120)의 하강과정이 종료되면, 즉시 수평 이동부(140)를 구동시켜 상부 커버(112)를 수평방향으로 이동시키며, 이때 수평 이동부(140)의 이동속도, 이동거리에 대한 데이타를 미리 입력받아 수평 이동부(140)를 제어한다. 또한 상부 커버(112)가 회전할 수 있는 만큼 수평 이동부(140)가 이동하고 나면, 즉시 회전부(130)를 구동시켜 상부 커버(112)를 정확하게 180°만큼 회전되도록 제어한다.

이하에서는 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치(100)의 상부 커버 개폐과정을 설명한다.

본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치(100)는 도 6a에 도시된 바와 같이, 챔버 본체(114)와 상부 커버(112) 사이의 간격을 밀폐 수단(120)이 밀폐한 상태로 기판에 대한 처리가 진행된다. 이러한 평판표시소자 제조장치(100)의 운용 과정에서 챔버 내부에 대한 유지, 보수 작업이 요청되는 경우에는 우선 도 6b에 도시된 바와 같이, 상하 이동부(129)를 구동시켜 밀폐 수단(120)을 상부 커버(112) 및 챔버 본체(114)로 부터 소정 간격 이격시킨다. 이렇게 밀폐 수단(120)을 상부 커버(112)로 부터 분리시키면 상부 커버(112)와 접촉되어 있는 부분은 회전부(130) 밖에 없으므로 상부 커버(112)가 수평 방향으로 용이하게 이동할 수 있다.

밀폐 수단(120)이 하강하면, 도 6c에 도시된 바와 같이, 수평 이동부(140)를 구동시켜 상부 커버(112)를 챔버 본체(114)의 상측에서 이탈되도록 한다. 즉, 수평 이동부(140)가 경로부(150)를 따라 수평방향으로 이동하면서 상부 커버(112)가 회전할 수 있는 충분한 회전반경을 확보하도록 하는 것이다.

그리고 나서 충분한 회전반경이 확보되면, 도 6d에 도시된 바와 같이, 회전부(130)를 구동시켜 상부 커버(112)를 180°회전시킨다. 그러면 상부 커버(112) 내부가 상측을 향하게 되고, 상부 커버 내부에 마련된 여러가지 처리부에 대한 유지, 보수작업을 실시할 수 있다.

유지, 보수 작업이 종료된 후에, 상부 커버(112)를 다시 닫는 과정은 전술한 개방과정의 역순으로 진행된다.

본 실시예에서는 이러한 상부 커버의 개폐과정이 제어부에 의하여 자동적으로 이루어지도록 하여 챔버의 유지, 보수 작업이 보다 용이하게 이루어지도록 한다.

< 실시예 2 >

본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치는, 진공 챔버; 밀폐 수단; 처리부;를 포함하여 구성된다. 여기에서 진공챔버는 실시예 1에서와 마찬가지로 챔버 본체와 상부 커버로 이루어지며, 밀폐 수단은 챔버 본체와 상부 커버의 테두리부를 밀폐시킨다. 그리고 처리부는 진공챔버 내에 설치되며, 기판에 소정의 처리를 실시한다. 이때 진공 챔버, 밀폐 수단, 처리부는 실시예 1에서와 그 구조 및 작용이 동일하므로 여기에서 반복하여 설명하지 않는다.

다만, 볼 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치에는 실시예 1에 따른 평판표시소자 제조장치와 달리, 회전부; 수평이동부; 경로부;가 마련되지 않는다. 따라서 상부 커버는 별도의 지지부재에 의하여 챔버 본체와 소정 간격 이격되도록 마련된다. 그리고 이 지지부재의 하단은 하부 프레임에 결합되어 상부 커버를 지지하며, 지지부재의 상단은 상부 커버와 결합되며, 상부 커버로 부터 탈착가능하도록 마련된다. 이때 지지부재는 상부 커버의 각 모서리 부분마다 결합될 수도 있고, 상부 커버의 대응되는 양 측면에 결합될 수도 있다.

물론 상부 커버가 이러한 지지부재에 의하여 지지되지 않고, 밀폐수단에 의하여 지지된 상태로 챔버 본체로부터 소정 간격 이격된 채로 위치될 수도 있다.

그리고 본 실시예에 따른 상부 커버의 대응되는 양 측면에는 체결수단이 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 체결수단은 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치와 별도로 마련되어 운용되는 상부 커버 개방장치와 체결되는 역할을 한다. 상부 커버와 체결되어 상부 커버를 수평 방향으로 이동시키고, 회전시킬 수 있는 상부 커버 개방장치와 이 체결수단이 체결되어 상부 커버를 수평으로 이동시키고, 회전시켜 개방시키는 것이다.

본 발명에 따르면 진공 챔버에 간단한 구조의 구성요소를 부가하여 진공 챔버의 상부 커버를 용이하게 개방시킬 수 있는 장점이 있다. 또한 본 실시예에서는 상부 커버의 개폐과정을 자동적으로 제어하는 제어부를 더 부가하여 상부 커버 개폐과정이 한 스텝으로 이루어지는 장점이 있다.

Claims (14)

1. 챔버 본체와, 상기 챔버 본체 상측에 상기 챔버 본체와 대향되도록 마련되되, 상기 챔버 본체와 소정 간격 이격되어 위치되는 상부 커버로 이루어지는 진공 챔버;

   상기 챔버 본체와 상부 커버의 테두리 영역을 밀폐 및 밀폐해제하며, 상기 상부 커버로 부터 탈착가능하도록 마련되는 밀폐수단;

   상기 진공 챔버 내부에 마련되며, 상기 진공 챔버 내부로 반입되는 피처리물에 소정의 처리를 실시하는 처리부; 를 포함하여 구성되는 평판표시소자 제조장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 챔버 본체에는, 상기 챔버 본체의 상단면을 따라 연장 형성되며, 챔버 외측으로 돌출되는 하측 돌출부가 마련되고,

   상기 상부 커버에는, 상기 상부 커버의 하단면을 따라 연장 형성되며, 챔버 외측으로 돌출되는 상측 돌출부가 마련되며,

   상기 밀폐수단에는, 상기 하측 돌출부와 밀착, 결합되는 하측 접촉면;과 상기 상측 돌출부와 밀착, 결합되는 상측 접촉면;이 형성되며,

   상기 밀폐수단은 상기 하측 돌출부 및 상기 상측 돌출부와 동시에 밀착, 결합되어 상기 진공 챔버의 내부를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면이 빗면으로 형성되고, 상기 하측 돌출부 또는 상측 돌출부가 상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면과 대응되는 빗면을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
4. 제2항에 있어서,

   상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면에 신축성이 있는 소재로 형성되어 마련되며, 상기 진공 챔버 내부의 밀폐를 보조하는 밀폐 보조구가 적어도 하나 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 밀폐수단에는,

   상기 밀폐수단과 결합되어 마련되며, 상기 밀폐수단을 상하 방향으로 이동시킬 수 있는 상하 이동부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 상하 이동부는,

   상기 밀폐수단의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 밀폐수단을 수직방향을 따라 이동시키는 실린더 로드;

   상기 실린더 로드의 하단에 결합되며, 상기 실린더 로드를 구동시키는 실린 더; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 상부 커버의 양 측면의 대응되는 위치에 마련되며, 상기 평판표시소자 제조장치와 별도로 마련되어 상기 상부 커버를 개방시키는 상부 커버 개방장치와 체결되는 체결수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
8. 챔버 본체와, 상기 챔버 본체 상측에 상기 챔버 본체와 대향되도록 마련되되, 상기 챔버 본체와 소정 간격 이격되어 위치되는 상부 커버로 이루어지는 진공 챔버;

   상기 챔버 본체와 상부 커버의 테두리 영역을 밀폐 및 밀폐해제하며, 상기 상부 커버로 부터 탈착가능하도록 마련되는 밀폐수단;

   상기 상부 커버 양 측면의 대응되는 위치에 결합되어 마련되며, 상기 상부 커버를 회전시킬 수 있는 회전부;

   상기 회전부와 결합되어 상기 회전부에 결합된 상부 커버를 지지하고, 상부 커버를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 수평이동부;

   상기 수평이동부와 결합되어 마련되며, 상기 수평이동부의 이동 경로를 제공하는 경로부;

   상기 진공 챔버 내부에 마련되며, 상기 진공 챔버 내부로 반입되는 피처리물에 소정의 처리를 실시하는 처리부; 를

   포함하여 구성되는 평판표시소자 제조장치.
9. 제8항에 있어서,

   상기 챔버 본체에는, 상기 챔버 본체의 상단면을 따라 연장 형성되며, 챔버 외측으로 돌출되는 하측 돌출부가 마련되고,

   상기 상부 커버에는, 상기 상부 커버의 하단면을 따라 연장 형성되며, 챔버 외측으로 돌출되는 상측 돌출부가 마련되며,

   상기 밀폐수단에는, 상기 하측 돌출부와 밀착, 결합되는 하측 접촉면;과 상기 상측 돌출부와 밀착, 결합되는 상측 접촉면;이 형성되며,

   상기 밀폐수단은 상기 하측 돌출부 및 상기 상측 돌출부와 동시에 밀착, 결합되어 상기 진공 챔버의 내부를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
10. 제9항에 있어서,

    상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면이 빗면으로 형성되고, 상기 하측 돌출부 또는 상측 돌출부가 상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면과 대응되는 빗면을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
11. 제9항에 있어서,

    상기 하측 접촉면 또는 상측 접촉면에 신축성이 있는 소재로 형성되어 마련 되며, 상기 진공 챔버 내부의 밀폐를 보조하는 밀폐 보조구가 적어도 하나 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
12. 제8항에 있어서, 상기 밀폐수단에는,

    상기 밀폐수단과 결합되어 마련되며, 상기 밀폐수단을 상하 방향으로 이동시킬 수 있는 상하 이동부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 상하 이동부는,

    상기 밀폐수단의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 밀폐수단을 수직방향을 따라 이동시키는 실린더 로드;

    상기 실린더 로드의 하단에 결합되며, 상기 실린더 로드를 구동시키는 실린더; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
14. 제8항에 있어서,

    상기 밀폐수단이 하강하여 상부 커버와 분리되도록 제어하며,

    상기 밀폐수단이 상부 커버로부터 분리된 후, 상기 수평이동부를 구동시켜 상기 상부 커버가 회전할 수 있는 위치까지 수평이동되도록 제어하며,

    상기 상부 커버가 수평이동된 후, 상기 회전부를 구동시켜 상기 상부 커버가 180°회전되도록 제어하는

    제어부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.

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