KR20000065968A - 월 라이너를 갖는 식각장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 식각장치는 소정의 공간을 갖는 챔버와, 상기 챔버의 내벽 및 상부 뚜껑에 접촉하여 상기 챔버 내의 진공도를 유지하는 월 라이너를 구비한다. 특히, 본 발명의 식각장치의 월 라이너는 상기 상부 두껑 및 챔버 상부에 접촉하는 상부 라이너와, 상기 상부 라이너의 하부의 챔버 내벽에 접촉하는 하부 라이너로 나누어져 있다. 그리고, 상기 상부 두껑 및 상기 챔버의 상부 부분과 상부 월 라이너 사이에는 접촉력을 향상시키도록 오링이 설치되어 있다. 본 발명의 식각장치는 진공도를 유지하기 위한 월 라이너를 상부 월 라이너와 하부 월 라이너로 분리되게 구성하여 접촉부에서 긁힘 등의 불량 발생할 때 상부 월 라이너만 교체할 수 있다.

Description

월 라이너를 갖는 식각장치{etcher having wall liner}

본 발명은 반도체 소자 제조시 이용되는 식각 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 월 라이너를 갖는 식각장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자를 제조하는데 다양한 장치가 이용된다. 그 예를 들어보면, 반도체 웨이퍼 상에 막질을 형성하는 막질 증착 장치, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 막에 불순물을 주입하는 이온주입장치, 상기 형성된 막질을 패터닝하기 위한 사진 식각 장치가 그것이다. 이중에서, 상기 식각 장치는 주로 고진공하에서 임의의 막질을 식각하게 된다. 여기서, 고진공을 이용하는 종래의 식각장치의 챔버 부분을 도 1 및 도 2를 이용하여 설명한다.

도 1은 종래의 식각 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 월 라이너 부분을 확대하여 도시한 도면이다.

구체적으로, 종래의 식각 장치는 챔버(1)를 구비한다. 상기 챔버(1) 내에는 고진공이 유지될 수 있는 진공부(3)와, 상기 진공부(3) 하부에 캐소드(cathode:5)가 형성되어 있다. 상기 캐소드(5) 우측에는 고진공을 얻기 위한 펌프(7)가 형성되어 있다. 상기 진공부(3) 상부에는 챔버(1)의 상부 개구부를 개폐하기 위한 상부 뚜껑(9)이 마련되어 있다. 상기 캐소드(5) 외벽에는 캐소드(5)를 보호하기 위한 캐소드 라이너(11, cahtode liner)가 형성되어 있다. 상기 상부 뚜껑(9) 및 상부 챔버(1)벽 사이 및 챔버(1) 내벽에는 진공도를 유지하기 위하여 월 라이너(wall liner: 13)가 형성되어 있다. 그리고, 상기 상부 뚜껑(9)과 월 라이너(13) 사이 및 월 라이너(13)와 챔버(1) 상부 부분 사이에는 접촉력을 향상시켜 고진공을 유지하기 위한 오링(15)이 형성되어 있다.

특히, 종래의 식각장치에서는 상기 상부 뚜껑(9)과 월 라이너 사이(13) 및 월 라이너(13)와 챔버(1) 상부 부분 사이의 접촉부(도 1 및 도 2의 참조번호 "A"로 표시)에서는 긁힘 등의 불량이 발생한다. 이렇게 긁힘 등이 발생하면 고진공시 리크 원인이 된다. 더욱이, 종래의 식각 장치의 월 라이너(13)는 일체형으로 되어 있어 교환하기가 매우 어렵고 교환하더라도 비용이 많이 들어 생산성이 떨어지는 문제점이 있다. 또한, 상기 월 라이너(13)를 식각하여 재생할 때 두께가 변하여 재생이 제한되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 문제점을 해결할 수 있는 식각 장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래의 식각 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이고,

도 2는 도 1의 월 라이너 부분을 확대하여 도시한 도면이고,

도 3은 본 발명의 식각 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이고,

도 4는 도 3의 월 라이너 부분을 확대하여 도시한 도면이고,

도 5는 도 4의 월 라이너 부분을 분리하여 도시한 도면이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 식각장치는 소정의 공간을 갖는 챔버와, 상기 챔버의 내벽 및 상부 뚜껑에 접촉하여 상기 챔버 내의 진공도를 유지하는 월 라이너를 구비한다. 특히, 본 발명의 식각장치의 월 라이너는 상기 상부 두껑 및 챔버 상부에 접촉하는 상부 라이너와, 상기 상부 라이너의 하부의 챔버 내벽에 접촉하는 하부 라이너로 나누어져 있다. 그리고, 상기 상부 두껑 및 상기 챔버의 상부 부분과 상부 월 라이너 사이에는 접촉력을 향상시키도록 오링이 설치되어 있다.

본 발명의 식각장치는 진공도를 유지하기 위한 월 라이너를 상부 월 라이너와 하부 월 라이너로 분리되게 구성하여 접촉부에서 긁힘 등의 불량 발생할 때 상부 월 라이너만 교체할 수 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 식각 장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 월 라이너 부분을 확대하여 도시한 도면이고, 도 5는 도 4의 월 라이너 부분을 분리하여 도시한 도면이다.

구체적으로, 본 발명의 식각 장치는 소정의 공간을 갖는 챔버(21)를 구비한다. 상기 챔버(21) 내에는 진공부(23)와, 상기 진공부(23) 하부에는 캐소드(25)가 형성되어 있다. 상기 캐소드(25) 우측에는 진공을 얻기 위한 펌프(27)가 형성되어 있다. 상기 진공부(23) 상부에는 챔버(21)의 상부 개구부를 개폐하기 위한 상부 뚜껑(29)이 마련되어 있다. 상기 캐소드(25) 외벽에는 캐소드(25)를 보호하기 위한 캐소드 라이너(31)가 형성되어 있다.

특히, 본 발명의 식각장치는 상기 상부 뚜껑(29)과 챔버벽(21) 사이 및 상기 챔버(21)의 내벽에는 각각 진공도를 유지하기 위하여 상부 월 라이너(33)와 하부 월 라이너(35)가 분리되어 형성되어 있다. 즉, 본 발명의 식각 장치는 상기 상부 두껑(29) 및 챔버(21) 상부 부분에 접촉하는 상부 라이너[33, 실부(seal part)의 라이너]와, 상기 상부 라이너(33)와 연결되고 하부의 챔버(21) 내벽에 접촉하는 하부 라이너[35, 월부(wall part)의 라이너]로 나누어져 있다. 그리고, 상기 상부 뚜껑(29)과 상부 월 라이너(33) 사이 및 상부 월 라이너(33)와 챔버 상부 부분 사이에는 접촉력을 향상시켜 고진공을 유지하기 위한 오링(37)이 형성되어 있다.

이상과 같이 구성하면, 본 발명의 식각장치는 도 1의 상기 상부 뚜껑(9)과 월 라이너(13) 사이 및 월 라이너(13)와 챔버(1) 상부 부분 사이의 접촉부에서 긁힘 등의 불량 발생할 때 상부 라이너(33)만 교체할 수 있다. 이에 따라, 챔버(21)를 고진공으로 할 때 리크(leak)가 발생하더라도 상부 라이너(33)를 바로 교환하여 해결할 수 있다. 이렇게 상부 라이너(33)를 바로 교환하면, 종래와 같이 전체적으로 라이너를 교체하지 않아도 되므로 비용이 적게 들고 생산성을 향상시킬 수 있다.

이상, 실시예를 통하여 본 발명을 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식으로 그 변형이나 개량이 가능하다.

상술한 바와 같이 본 발명의 식각장치는 상부 뚜껑과 챔버벽 사이 및 챔버의 내벽에는 각각 진공도를 유지하기 위하여 상부 월 라이너와 하부 월 라이너가 분리되어 형성되어 있다. 이에 따라, 상부 뚜껑과 월 라이너 사이 및 월 라이너와 챔버 상부 부분 사이의 접촉부에서 긁힘 등의 불량 발생할 때 상부 월 라이너만 교체할 수 있어 고진공시 리크가 발생하더라도 바로 해결할 수 있다.

Claims (2)

1. 소정의 공간을 갖는 챔버와, 상기 챔버의 내벽 및 상부 뚜껑에 접촉하여 상기 챔버 내의 진공도를 유지하는 월 라이너를 구비하는 식각 장치에 있어서,

   상기 월 라이너는 상기 상부 두껑 및 챔버 상부에 접촉하는 상부 라이너와, 상기 상부 라이너의 하부의 챔버 내벽에 접촉하는 하부 라이너로 나누어져 있는 것을 특징으로 하는 식각장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 상부 두껑 및 상기 챔버의 상부 부분과 상부 월 라이너 사이에는 접촉력을 향상시키도록 오링이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 식각장치.