KR20070002730A - 측면 뷰 포트를 구비한 로드락 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 측면 뷰 포트(View Port)를 구비한 로드락 챔버에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에서 로드락 챔버 내부의 웨이퍼를 이송하기 위하여는 로봇이 이용되는 데, 로봇의 오동작으로 로봇 블래이드가 카세트와 충돌이 일어나거나, 로봇 블래이드에 의한 웨이퍼 뒷면의 스크래치나 패턴 스크래치가 발생하면 표시창에서 에러메세지를 표시한다.

그러나, 에러메세지를 확인한 경우 이미 웨이퍼의 손상은 상당히 진행된 상태가 된다.

본 발명은 로드락 챔버 측면에 뷰 포트를 설치하여 공정진행중에 로봇 블래이드에 의하여 발생하는 오동작을 사전에 확인 함으로써 웨이퍼 파손으로 발생하는 손실을 최대한 줄이는 것을 특징으로 한다.

뷰 포트(view port), 고장판, 고정부재, 투명부재, 밀착재

Description

측면 뷰 포트를 구비한 로드락 챔버{ Load lock chamber equipped side view port }

도 1은 종래 로드락 챔버의 사시도

도 2는 본 발명에 따른 로드락 챔버의 사시도 및 부분 확대단면도

도 3은 본 발명에 따른 고정부재의 평면도

도 4는 본 발명에 따른 고정부재의 설치 예시도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 로드락 챔버 본체 2: 상부 뷰 포트

3: 투명 부재 4: 고정 부재

7: 제1 밀착재 8: 제2 밀착재

10: 축면 뷰 포트 100: 로드락 챔버

본 발명은 로드락 챔버에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 로드락 챔버내에서 웨이퍼를 인출입하는 로봇 블레이드의 작동상태를 관측할 수 있는 측면 뷰 포트를 구비한 로드락 챔버에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조장비는 웨이퍼 공정을 수행하기 위한 복수개의 공정챔버가 구비된다. 이와같은 공정챔버는 고진공을 유지하기 위해 대기상태의 웨이퍼를 우선 로드락 챔버에서 진공상태를 만든 후 다시 고진공 상태의 공정챔버내로 이송시킨다.

여기서 로드락 챔버는 공정이 진행될 웨이퍼카세트를 일시적으로 보관하는 챔버로써, 건식식각장비, 증착장비와 같은 각종 반도체 제조장비에 설치된다.

한편, 공정에서 로드락 챔버 내부의 웨이퍼를 이송하기 위하여는 로봇이 이용되는 데, 로봇의 오동작으로 로봇 블래이드가 카세트와 충돌이 일어나거나, 로봇 블래이드에 의한 웨이퍼 뒷면의 스크래치나 패턴 스크래치는 에러메세지에 의해서 알 수 있었다.

그러나, 에러메세지를 확인할 경우 이미 웨이퍼의 손상은 상당히 진행된 상태였다

도 1은 로드락 챔버의 사시도로서, 로드락 챔버(100)는 로드락 챔버 본체(1)와 상부 뷰 포트(2)로 구성되어 있다. 상기 상부 뷰 포트(2)를 이용하여 로드락 챔버(100) 내부를 관찰할 수 있으나, 작은 크기로 인하여 로드락 챔버(100) 내부를 모두 확인할 수 없는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 개선하고자 안출한 것으로서, 로드락 챔버 측면에뷰 포트를 설치하여 공정진행중에 로봇 블래이드에 의하여 발생하는 오동작을 사전에 확인 하고자 함에 발명의 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 로드락 챔버 상면에 하나의 작은 뷰 포트를 설치한 로드락 챔버에 있어서, 상기 로드락 챔버 측면에 뷰 포트를 설치하는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명의 바람직한 일실시예에 대한 구성 및 작용을 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 로드락 챔버의 사시도 및 부분 확대단면도로, 로드락 챔버 (100)상면에는 기존의 상부 뷰 포트(2)가 설치되어 있고, 측면에는 하나 이상의 뷰 포트(10)를 더 설치한 것을 볼 수 있다.

상기 측면에 설치된 뷰 포트(10)는 투명부재(3)와, 상기 투명부재(3)의 테두리와 고정부재(4)의 내부 홈을 밀착시키는 제1 밀착재(7), 상기 제1 밀착재(7) 외곽에 위치하며 상·하측 고정판(4a, 4b, 4d, 4e)으로 투명부재(3)를 로드락 챔버 본체(1)와 고정시키는 고정부재(4), 상기 고정부재(4) 외부 홈과 밀착하여 로드락 챔버 본체(1)와 고정부재(4)를 밀착시키는 제2 밀착재(8)로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 투명부재(3)의 모양은 원형이 일반적이다. 이는 로드락 챔버(100) 내부와 외부를 밀폐시키면서 진공으로 인한 압력을 지탱하기 가장 용이한 모양이기 때문이다. 그러나, 로드락 챔버(100) 내부의 진공을 유지하기 용이한 구조라면 투명부재(3)의 모양은 어떠한 것이라도 무방하다.

또한, 투명부재(3)의 재질은 석영이 일반적이나, 로드락 챔버(100)의 내·외부의 압력을 견딜 수있는 투명부재(3)라면 플라스틱이나 유리를 사용하더라도 무방하다. 한편 투명부재(3)는 교체가 용이하지 않으므로 표면 오염이 잘 되지 않는 재질을 사용하는 것이 바람직 하다.

상기 제1 밀착재(7)는 합성수지 재질이 일반적으로 사용되며 투명부재(3)와 고정부재(4) 사이에 발생하는 틈을 밀폐시키기 위한 용도로서, 투명부재(3)의 테두리와 고정부재(4)의 내부 홈사이에 존재한다.

마찬가지로 제2 밀착재(8)는 고정부재(4)와 로드락 챔버 본체(1)사이에 위치하여 그 사이를 밀폐시키는 역할을 하며, 제 1밀착재(7)와 동일한 소재이다.

상기 고정부재(3)는 도 2의 확대 단면도에서 도시하는 바와 같이, 상·하 내부 고정판(4a,4b)과, 상·하측 외부 고정판(4d, 4e)으로 구성되며 가운데에는 분리판(4c)이 존재하여 내·외부로 홈을 이루어 밀착재(7,8)과 접촉한다.

도 3은 본 발명에 따른 고정부재의 평면도로서, 상측 내·외부 고정판(4a, 4d)은 연속한 환형의 모양이 아니라 다수개의 절단부(11a, 11b)가 존재하는 끊어진 부채꼴로 이루어져 있다. 상측 내·외부 고정판(4a, 4d)의 모양이 다수개의 끊어진 부채꼴의 모양인 이유는 투명부재(3)와 결합 또는 로드락 챔버 본체(1)와 결합시 상측 내·외부 고정판(4a, 4d)을 수직으로 편뒤 결합하기 위함이다. 이에 대해서는 도 4에서 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명에 따른 고정부재의 설치 예시도로서, 상측 내부 고정판(4a)을 수직으로 편 상태에서 내부에 투명부재(3)를 삽입하고 이후 다시 수평으로 상측 내부 고정판(4a)을 펴서 투명부재(3)를 고정시킨다. 동일한 방식으로 로드락 챔버 본체(1)와 결합시는 상측 외부 고정판(4d)을 펴서 로드락 챔버 본체(1)와 결합한 후 다시 수평으로 편다.

상기한 바와 같이, 본 발명은 로드락 챔버의 측면에 하나 이상의 뷰 포트를 더 설치하여 로봇의 블래이드가 오동작을 일으키는 것을 육안으로 미리 확인하여 조치할 수 있는 장점이 있다.

Claims (2)

1. 측면에 뷰 포트를 설치한 로드락 챔버에 있어서,

   상기 뷰포트는 투명부재와, 상기 투명부재의 테두리부와 고정부재의 내부 홈과 밀착하는 제1 밀착재, 상기 제1 밀착재 외곽에 위치하며 상·하부 고정판으로 투명부재를 로드락 챔버와 고정시키는 고정부재, 상기 고정부재 외부 홈과 밀착하여 로드락 챔버벽과 고정부재를 밀폐하는 제2 밀착재로 이루어진 것을 특징으로 하는 로드락 챔버.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 투명부재는 석영인 것을 특징으로하는 로드락 챔버.

Images