KR20200009817A - 뷰포트방오수단이 마련된 진공챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 또는 디스플레이 제조공정에 이용되는 진공챔버에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 챔버벽과 챔버도어를 구비하여 외부로부터 격리되는 내부공간을 형성하며, 외부에서 상기 내부공간을 파악할 수 있도록 뷰포트가 상기 챔버벽 또는 상기 챔버도어에 마련된 진공챔버로서, 상기 내부공간 내에서 비산되는 이물질에 의해 상기 뷰포트가 오염되는 것을 억제하기 위하여 상기 진공챔버 내측에 마련된 뷰포트방오수단에 의해 상기 뷰포트글라스가 커버된 상태에서도 외부에서 상기 뷰포트글라스를 통하여 상기 내부공간을 관찰할 수 있으되, 상기 뷰포트글라스를 커버하고 있는 상기 뷰포트방오수단을 사용자의 선택에 따라 상기 내부공간 측으로 노출 또는 엄폐시켜줄 수 있는 개폐장치가 마련되어 있으므로 진공챔버 내부에서 발생되는 이물질에 의하여 뷰포트가 오염되는 것을 억제할 수 있으며, 공정 후 이물질이 증착된 더미글라스를 교체시킴으로써 뷰포트를 통한 시인성을 확보할 수 있으며, 개폐장치를 통해 필요시에만 더미글라스를 개방시킬 수 있으므로 더미글라스의 수명시간(life time)의 단축을 억제할수 있으므로 뷰포트관리효율을 향상시킬 수 있는 기술이 개시된다.

Description

뷰포트방오수단이 마련된 진공챔버{Vacuum Chamber Including Anti-Pollution Means for View Port}
본 발명은 반도체 또는 디스플레이 제조공정에 이용되는 진공챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공챔버에 마련된 뷰포트의 오염을 억제하기 위한 뷰포트 방오수단이 마련된 진공챔버에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 디바이스나 디스플레이 제조공정에는 증착공정 등 다양한 공정이 포함되며 이러한 공정의 수행은 진공챔버 내에서 이루어진다.
진공챔버에는 챔버의 내부 상태에 대한 확인 예를 들어 건식 식각이나 증착의 수행을 위한 플라즈마가 제대로 형성되었는지 여부의 확인이나, 공정 중인 웨이퍼가 안정된 상태를 유지하고 있는지에 관한 확인 등과 같이 공정진행상태와 챔버관리를 위해 진공챔버의 내부를 관찰할 수 있도록 투시창 또는 뷰포트(view port)가 설치된다.
진공챔버 내에서 제조공정이 진행되는 동안에 증착물질이나 기타 비산되는 물질이 투시창 또는 뷰포트에 부착됨으로써 뷰포트가 오염되기도 한다.
이처럼 뷰포트가 오염되면 진공챔버 내부의 현황을 정확히 파악하기가 어려우므로 제조공정관리가 곤란해지는 문제점이 발생하게 된다.
따라서, 뷰포트가 오염되는 것을 억제 또는 예방할 수 있는 기술이 요구되고 있었다.
대한민국 공개특허 10-2007-0002730 대한민국 공개특허 10-2016-0032976
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 뷰포트가 마련된 진공챔버에서 뷰포트가 오염되는 것을 억제 또는 예방할 수 있는 진공챔버를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트 방오수단이 마련된 진공챔버는, 챔버벽과 챔버도어를 구비하여 외부로부터 격리되는 내부공간을 형성하며, 외부에서 상기 내부공간을 파악할 수 있도록 뷰포트가 상기 챔버벽 또는 상기 챔버도어에 마련된 진공챔버로서, 상기 내부공간 내에서 비산되는 이물질에 의해 상기 뷰포트가 오염되는 것을 억제하기 위하여 상기 진공챔버 내측에 마련된 뷰포트방오수단에 의해 상기 뷰포트글라스가 커버된 상태에서도 외부에서 상기 뷰포트글라스를 통하여 상기 내부공간을 관찰할 수 있으되, 상기 뷰포트글라스를 커버하고 있는 상기 뷰포트방오수단을 사용자의 선택에 따라 상기 내부공간 측으로 노출 또는 엄폐시켜줄 수 있는 개폐장치가 마련된 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 뷰포트방오수단은, 빛에 대한 투과성이 있는 더미글라스; 및 상기 뷰포트프레임에 결합되며, 상기 더미글라스가 상기 뷰포트글라스를 커버할 수 있도록 홀딩하여 주는 더미글라스홀더; 를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 더미글라스홀더는 상기 더미글라스가 상기 더미글라스홀더로부터 탈거될 수 있도록 상기 더미글라스를 홀딩할 수 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 더미글라스홀더는, 상기 뷰포트프레임에 결합되어 상기 뷰포트에 장착되는 홀더프레임; 및 상기 홀더프레임에 마련되어 상기 홀더프레임의 지지를 받으며, 상기 더미글라스의 일부분에 접하여 상기 더미글라스를 홀딩시키는 홀딩받침대; 를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 받침대는, 상기 더미글라스를 홀딩하기 위하여 상기 더미글라스의 두께에 대응되어 접할 수 있도록 일부분이 꺾여지게 형성되고, 받침대의 꺾여진 부분이 더미글라스에 접하면서 홀딩프레임과 함께 상기 더미글라스를 홀딩하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
더 나아가, 상기 더미글라스홀더는, 상기 홀더프레임과 상기 받침대에 의해 홀딩되는 상기 더미글라스가 정렬되도록 보조하는 정렬대;를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
또한, 상기 더미글라스는 상기 뷰포트글라스의 대면적보다 큰 대면적을 갖춘 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 개폐장치는, 상기 진공챔버 내에서 상기 더미글라스보다 더 내측에 배치되며, 상기 진공챔버의 상기 내부공간 측으로 상기 더미글라스를 엄폐시켜줄 수 있도록 상기 더미글라스의 표면적보다 더 큰 표면적을 갖춘 셔터플레이트; 상기 진공챔버에 장착되며, 상기 더미글라스가 상기 내부공간 측으로 노출되도록 상기 셔터플레이트를 임의의 각도로 회전시켜주기 위하여 상기 셔터플레이트와 결합된 셔터회전축; 및 상기 진공챔버에 장착되며, 상기 셔터플레이트가 임의의 각도로 회전되도록 상기 셔터회전축을 회전시키는 힘을 전달하는 동력수단; 을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
본 발명에 따른 뷰포트 방오수단이 마련된 진공챔버는, 진공챔버 내부에서 발생되는 이물질에 의하여 뷰포트가 오염되는 것을 억제할 수 있으며, 공정 후 이물질이 증착된 더미글라스를 교체시킴으로써 뷰포트의 청결성 확보와 뷰포트를 통한 시인성을 확보할 수 있으며, 사용자의 선택에 따라 필요시에만 더미글라스 및 뷰포트를 진공챔버 내측으로 개방시킬 수 있으므로 뷰포트관리효율이 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버에서 진공챔버의 벽에 형성된 뷰포트에 뷰포트방오수단과 개폐장치가 마련된 형태를 개략적으로 나타낸 사시도면이다.
도 2와 도3은 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버에서, 뷰포트에 결합되는 뷰포트방오수단의 형태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버에서, 뷰포트방오수단인 더미글라스홀더를 커버하여 엄폐할 수 있는 셔터플레이트 및 셔터회전축을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5와 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 챔버에서, 뷰포트방오수단인 더미글라스홀더의 일부분의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버에서 진공챔버의 벽에 형성된 뷰포트에 뷰포트방오수단과 개폐장치가 마련된 형태를 개략적으로 나타낸 사시도면이고, 도 2와 도3은 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버에서, 뷰포트에 결합되는 뷰포트방오수단의 형태를 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버에서, 뷰포트방오수단인 더미글라스홀더를 커버하여 엄폐할 수 있는 셔터플레이트 및 셔터회전축을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 5와 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 챔버에서, 뷰포트방오수단인 더미글라스홀더의 일부분의 측단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 6에서 참조되는 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버는, 챔버벽과 챔버도어를 구비하여 외부로부터 격리되는 내부공간을 형성하며, 외부에서 상기 내부공간을 파악할 수 있도록 뷰포트가 상기 챔버벽 또는 상기 챔버도어에 마련된 진공챔버로서, 뷰포트방오수단이 마련되어 있으며, 바람직하게는 개폐장치를 더 포함한다.
여기서 뷰포트는 진공챔버 내부의 현황을 외부에서 사용자 등이 관찰하고 관리할 수 있도록 마련된 창(window)으로서, 진공챔버의 챔버도어 또는 챔버벽에 마련되며 기본적으로 쿼츠(quartz)와 같은 재질로 이루어진 뷰포트글라스(110)와 이러한 뷰포트글라스(110)가 챔버도어 또는 챔버벽에 고정될 수 있도록 지지하는 뷰포트프레임(120)으로 이루어져 있다.
그리고 본 실시 예에서는 뷰포트방오수단의 바람직한 실시 예인 더미글라스홀더의 홀더프레임(210)에 뷰포트프레임(120)의 일부분(125)이 삽입되어 끼워지는 결합이 이루어질 수 있도록 도 1에서 참조되는 바와 같이 뷰포트프레임(120)에서 높이의 차이가 있는 두 부분(123, 125)으로 구분될 수 있게 형성된 것을 도면에 도시하였다.
여기서 뷰포트방오수단은 진공챔버의 내부공간 내에서 증발 또는 비산되는 이물질에 의해 뷰포트가 오염되는 것을 억제하기 위한 것으로 진공챔버의 내측에서 뷰포트글라스(110)를 뷰포트방오수단이 커버(cover)하며, 외부에서 뷰포트글라스(110)를 통하여 진공챔버의 내부를 시각적으로 관찰할 수 있다.
이러한 뷰포트방오수단은 도면에서 참조되는 바와 같이 더미글라스(220) 및 더미글라스홀더를 포함한다.
더미글라스(220)는 빛에 대한 투과성이 있는 것이 바람직하다. 더미글라스(220)가 빛에 대한 투과성을 갖추고 있으면 더미글라스(220)가 뷰포트글라스(110)를 커버하고 있는 상태에서도 뷰포트글라스(110)와 더미글라스(220)를 통해 진공챔버의 내부를 육안으로 확인할 수 있게 된다.
그리고 더미글라스(220)는 도면에서 참조되는 바와 같이 뷰포트글라스(110)의 대면적보다 더 큰 대면적을 갖춘 것이 바람직하다. 더미글라스(220)이 뷰포트글라스(110)보다 더 큰 대면적을 갖춤으로써 뷰포트글라스(110)의 표면을 전면적으로 커버하여줄 수 있으므로 바람직하다.
그리고 더미글라스홀더는 뷰포트프레임(120)에 결합되며, 더미글라스(220)가 뷰포트글라스(110)를 커버할 수 있도록 더미글라스(220)를 홀딩하여 준다.
이러한 더미글라스홀더는 홀더프레임(210) 및 받침대(230)를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하며, 후술할 정렬대(240)을 더 포함하여 이루어지는 것 또한 바람직하다.
더미글라스홀더에 홀딩되는 더미글라스(220)는 더미글라스홀더에 사용자의 의도에 따라 선택적으로 장착되거나 더미글라스홀더로부터 탈거될 수 있도록 홀딩되는 것이 바람직하다.
그리고, 더미글라스홀더는 도면에 도시된 바와 같이 더미글라스(220)를 함께 홀딩하여 줄 수 있는 것이 바람직하다.
더미글라스(220) 각각이 빛에 대한 투과성이 있으므로, 뷰포트글라스(110)와 더미글라스(220)를 통하여 진공챔버 내부를 육안으로 확인할 수 있다.
앞서 언급한 바와 같이, 더미글라스홀더는 홀더프레임(210) 및 받침대(230)를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
홀더프레임(210)은 뷰포트프레임(120)에 결합되어 뷰포트에 장착된다. 홀더프레임(210)이 뷰포트프레임(120)에 결합되는 방식에 관해서는 뷰포트프레임(120)에 홀더프레임(210)이 안정적으로 장착되고 탈거될 수 있는 결합이면 충분하며, 도면에서 참조되는 바와 같이 슬라이드식으로 끼워지는 결합 또한 바람직하다.
홀더프레임(210)에는 받침대(230)가 적어도 하나 이상 마련되어 있는 것이 바람직하다. 받침대(210)는 홀더프레임(210)의 지지를 받는다. 그리고 더미글라스(220)이 홀딩되도록 도 5에서 참조되는 바와 같이 더미글라스(220)의 일부분에 받침대(230)가 접하게 된다. 따라서, 받침대(230)는 홀더프레임(210)과 함께 집게처럼 더미글라스(220)을 홀딩하여 줄 수 있다.
받침대(230)는 도 5에서 참조되는 바와 같이 측단면이 ' ㄱ '자 형태인 것도 바람직하다. 이러한 받침대(230)는 더미글라스(220)를 홀딩할 수 있도록 도 5에서 참조되는 바와 같이 더미글라스(220)의 두께에 대응되어 접할 수 있도록 꺽인 부분이 형성되어 있다.
도면에서 참조되는 바와 같이 받침대(230)의 일부분이 더미글라스(120)의 일부분에 접하게 되고, 받침대(230)와 홀딩프레임(210)이 함께 더미글라스(220)를 안정적으로 홀딩하여 준다.
그리고, 사각의 홀더프레임(210)에서 어느 한 변에는 받침대(230)와 정렬대(240)이 마련되지 않는다. 받침대(230)와 정렬대(240)가 없는 변 측을 통해 더미글라스(220)가 슬라이드식으로 삽입되어 홀딩되거나 반대로 제거되어질 수 있다.
그리고 앞서 언급한 바와 같이 더미글라스홀더의 홀더프레임(210)에는 정렬대(240)가 더 포함되는 것 또한 바람직하다. 정렬대(240)는 도 6에서 참조되는 바와 같이 홀더프레임(210)과 받침대(230)에 의해 홀딩되는 더미글라스(220)가 정렬되도록 보조하여 준다.
도 1과 도 3에 도시된 바와 같은 홀더프레임(210), 받침대(230) 및 정렬대(240)의 구성에서는 더미글라스(120)가 도면을 기준으로 상측에서 하측으로 슬라이드식으로 밀어넣음으로써 더미글라스(220)이 장착 또는 홀딩될 수 있으며, 반대로 오염된 더미글라스(220)는 상측으로 슬라이드식으로 올려서 제거할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같은 홀더프레임(210)과 받침대(230)의 배치구성에서는 더미글라스(220)를 도면의 좌측에서 우측으로 슬라이드식으로 밀어넣음으로써 장착 또는 홀딩시킬 수 있으며, 반대로 오염이 된 더미글라스(220)은 좌측으로 슬라이드식으로 밀어서 제거시킬 수 있다.
이처럼, 더미글라스(220)를 통해 시인성을 확보하면서 뷰포트글라스(110)의 오염을 방지 또는 억제할 수 있으며, 이물질 등에 의해 오염된 더미글라스(220)를 새것으로 교체하면 되므로 관리작업이 매우 단순해지면서 관리시간을 감축시킬 수가 있게 된다.
그리고, 개폐장치는 도 1과 도 4에서 참조되는 바와 같이 셔터플레이트(310), 셔터회전축(320) 및 동력수단(미도시)을 포함하여 이루어진다.
셔터플레이트(310)는 진공챔버 내에서 더미글라스(220)보다도 더 내측에 배치되며, 진공챔버의 내부공간 측으로 더미글라스(220)를 엄폐시켜줄 수 있도록 더미글라스(220)의 표면적보다 더 큰 표면적을 갖추고 있다.
그리고, 셔터회전축(320)은 진공챔버에 장착되어 지지된다. 더미글라스(220)가 내부공간 측으로 노출되도록 셔터플레이트(310)를 임의의 각도로 회전시켜주기 위하여 셔터회전축(320)이 셔터플레이트(310)와 결합된다. 따라서, 셔터회전축의 회전에 따라 셔터플레이트(310)도 회전하게 되며, 셔터플레이트(310)의 회전에 의해 더미글라스(220)이 노출되거나 엄폐된다.
개폐장치의 동력수단은 진공챔버에 장착되며, 셔터플레이트(310)가 임의의 각도로 회전되도록 셔터회전축(320)을 회전시키는 힘을 전달한다.
이러한 동력수단의 예로서 진공챔버 외부에 마련되고 셔터회전축(320)과 역학적으로 연결된 개폐핸들(미도시)를 들을 수 있다.
진공챔버 외부에서 사용자가 개폐핸들을 돌리는 조작을 하면 개폐핸들이 돌아가는 힘이 셔터회전축(320)으로 전달되며, 셔터회전축(320)이 회전하면서 셔터플레이트(310)가 도 4에 참조되는 바와 같이 더미글라스(220)를 개방 또는 커버하여주게 된다.
이와 같이 개폐장치를 이용하여 사용자가 필요로 하는 때에만 선택적으로 더미글라스(220)가 진공챔버 내부공간에 대하여 개방 또는 노출되도록 조작을 할 수 있으므로 더미글라스(220)의 수명시간(life time)이 단축되는 것을 억제할 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 뷰포트방오수단이 마련된 진공챔버는, 진공챔버 내부에서 발생되는 이물질에 의하여 뷰포트가 오염되는 것을 억제할 수 있으며, 공정 후 이물질이 증착된 더미글라스를 교체시킴으로써 뷰포트를 통한 시인성을 확보할 수 있으며, 개폐장치를 통해 필요시에만 더미글라스 및 뷰포트를 개방시킬 수 있으므로 더미글라스의 교체시기를 늦출 수 있으며, 뷰포트관리효율이 향상되는 장점도 있다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
110 : 뷰포트글라스 120, 123, 125 : 뷰포트프레임
210 : 홀더프레임 220 : 더미글라스
230 : 받침대 240 : 정렬대
310 : 셔터플레이트 320 : 셔터회전축

Claims (8)

  1. 챔버벽과 챔버도어를 구비하여 외부로부터 격리되는 내부공간을 형성하며, 외부에서 상기 내부공간을 파악할 수 있도록 뷰포트가 상기 챔버벽 또는 상기 챔버도어에 마련된 진공챔버로서,
    상기 내부공간 내에서 비산되는 이물질에 의해 상기 뷰포트가 오염되는 것을 억제하기 위하여 상기 진공챔버 내측에 마련된 뷰포트방오수단에 의해 상기 뷰포트글라스가 커버된 상태에서도 외부에서 상기 뷰포트글라스를 통하여 상기 내부공간을 관찰할 수 있으되,
    상기 뷰포트글라스를 커버하고 있는 상기 뷰포트방오수단을 사용자의 선택에 따라 상기 내부공간 측으로 노출 또는 엄폐시켜줄 수 있는 개폐장치가 마련된 것을 특징으로 하는,
    뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 뷰포트방오수단은,
    빛에 대한 투과성이 있는 더미글라스; 및
    상기 뷰포트프레임에 결합되며, 상기 더미글라스가 상기 뷰포트글라스를 커버할 수 있도록 홀딩하여 주는 더미글라스홀더; 를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 더미글라스홀더는
    상기 더미글라스가 상기 더미글라스홀더로부터 탈거될 수 있도록 상기 더미글라스를 홀딩할 수 있는 것을 특징으로 하는,
    뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 더미글라스홀더는,
    상기 뷰포트프레임에 결합되어 상기 뷰포트에 장착되는 홀더프레임; 및
    상기 홀더프레임에 마련되어 상기 홀더프레임의 지지를 받으며, 상기 더미글라스의 일부분에 접하여 상기 더미글라스를 홀딩시키는 홀딩받침대; 를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 받침대는,
    상기 더미글라스를 홀딩하기 위하여 상기 더미글라스의 두께에 대응되어 접할 수 있도록 일부분이 꺾여지게 형성되고, 받침대의 꺾여진 부분이 더미글라스에 접하면서 홀딩프레임과 함께 상기 더미글라스를 홀딩하는 것을 특징으로 하는,
    뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 더미글라스홀더는,
    상기 홀더프레임과 상기 받침대에 의해 홀딩되는 상기 더미글라스가 정렬되도록 보조하는 정렬대;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    뷰포트 방오수단이 구비된 진공챔버.
  7. 제 2항에 있어서,
    상기 더미글라스는 상기 뷰포트글라스의 대면적보다 큰 대면적을 갖춘 것을 특징으로 하는,
    뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 개폐장치는,
    상기 진공챔버 내에서 상기 더미글라스보다 더 내측에 배치되며, 상기 진공챔버의 상기 내부공간 측으로 상기 더미글라스를 엄폐시켜줄 수 있도록 상기 더미글라스의 표면적보다 더 큰 표면적을 갖춘 셔터플레이트;
    상기 진공챔버에 장착되며, 상기 더미글라스가 상기 내부공간 측으로 노출되도록 상기 셔터플레이트를 임의의 각도로 회전시켜주기 위하여 상기 셔터플레이트와 결합된 셔터회전축; 및
    상기 진공챔버에 장착되며, 상기 셔터플레이트가 임의의 각도로 회전되도록 상기 셔터회전축을 회전시키는 힘을 전달하는 동력수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    뷰포트방오수단이 구비된 진공챔버.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20070002730A (ko) 2005-06-30 2007-01-05 동부일렉트로닉스 주식회사 측면 뷰 포트를 구비한 로드락 챔버
KR20160032976A (ko) 2014-09-17 2016-03-25 (주)와이케이티 진공 챔버용 뷰포트 모듈

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