JP6422026B2 - 板ガラス保持具及び板ガラスの製造方法 - Google Patents
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Description
3 板ガラス
3a 表面
3b 上辺部
3c 下辺部
3d 裏面
4 ターゲット
4a 膜材料
5 膜
6 枠体部
6a 収容空間
6aa 大開口
6ab 小開口
7 支持部
7a 接触部
8 支持部
8a 接触部
9 スライド部
9a 接触部
9aa 上辺接触部
9ab 下辺接触部
9ac 縦辺接触部
9b 軸部
10 リニアブッシュ
Claims (8)
- チャンバー内を円軌道に沿って旋回する縦置き姿勢に保持された板ガラスに向けて、前記円軌道の外側に配置されたターゲットから膜材料を飛散させ、該円軌道の外側に面した前記板ガラスの表面に膜を成膜するように構成されたカルーセル型スパッタリング装置用の板ガラス保持具であって、
前記板ガラスを収容する収容空間が形成され、該収容空間に収容された前記板ガラスの外周端部を囲う枠体部と、
前記膜の成膜時に旋回中の前記板ガラスにおける上部と下部とをそれぞれ前記表面側から支持する一対の支持部と、
前記枠体部の内周側に配置され、前記膜の成膜時に旋回中の前記板ガラスを裏面側から前記円軌道の外側に向かって押しつつ前記一対の支持部と共に該板ガラスを厚み方向に挟持するための挟持位置へと移動し、且つ、非成膜時に前記挟持位置から前記円軌道の内側に向かって離間した退避位置へと移動可能なスライド部とを有することを特徴とする板ガラス保持具。 - 前記スライド部が、自身に作用する遠心力によって前記挟持位置へと移動することを特徴とする請求項1に記載の板ガラス保持具。
- 前記挟持位置にある前記スライド部が、前記収容空間に収容された前記板ガラスにおける前記裏面の全面を覆うことを特徴とする請求項1又は2に記載の板ガラス保持具。
- 前記挟持位置にある前記スライド部が、前記板ガラスにおける前記裏面の外周端部とのみ接触することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の板ガラス保持具。
- 前記板ガラスが矩形状をなし、前記一対の支持部が前記板ガラスの上辺部と下辺部とをそれぞれ支持すると共に、
前記スライド部における前記板ガラスの前記裏面との接触部が、前記円軌道と同方向に湾曲した湾曲部を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の板ガラス保持具。 - 前記一対の支持部の各々における前記板ガラスの前記表面との接触部が、前記円軌道と同方向に湾曲していることを特徴とする請求項5に記載の板ガラス保持具。
- 前記挟持位置と前記退避位置とが同一直線上に設けられ、
前記スライド部が、前記枠体部の内周側に隙間を介して配置されると共に、前記円軌道の内側に向かって前記直線と平行に延びる軸部を有し、
前記スライド部の移動に伴った前記軸部の軸方向に沿った移動が、リニアブッシュによって案内されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の板ガラス保持具。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の板ガラス保持具を備えたカルーセル型スパッタリング装置により、板ガラスに膜を成膜することを特徴とする板ガラスの製造方法。
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JP2015052315A JP6422026B2 (ja) | 2015-03-16 | 2015-03-16 | 板ガラス保持具及び板ガラスの製造方法 |
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JP2016172886A JP2016172886A (ja) | 2016-09-29 |
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Family Cites Families (2)
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