JP6349131B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
該被押圧部が該カバーによって押圧されることにより、該アームが該挟持方向とは反対の反挟持方向へ回動し、該保持手段に対する該円板状ワークの搬出入が可能となり、該カバーを上昇させることで該付勢部の付勢力により該被押圧部が上昇すると、該アームが該挟持方向に回動して該挟持部と該載置部とで該円板状ワークを挟みこんで保持する。
また、円板状ワーク30を搬入あるいは搬出するため、昇降手段15がカバー14を下降させると、押圧部143が被押圧部24を押圧し、アーム22が回動して挟持部222が退避する。円板状ワーク30を洗浄するために昇降手段15がカバー14を上昇させると、押圧部143が被押圧部24から離れ、付勢部23の付勢力によりアーム22が回動して挟持部222が載置部21との間に円板状ワーク30を挟み込んで保持する。したがって、アーム22を回動させるための専用の動力が必要とされない。このため、洗浄装置10の構造を簡略化でき、製造コスト及び運用コストを削減し、信頼性を高めることができる。
被押圧部は、アームと一体に形成されたものであってもよいし、アームとは別部品であってもよい。
付勢部は、アームを挟持方向に付勢するものであればよく、アームを直接付勢するものであってもよいし、他の部材を介してアームを付勢するものであってもよい。
121 プレート、122,122a〜122c,122A 挟持機構、
21 載置部、211 載置面、212 係合部、
22,22a,22b,22A アーム、221 腕部、222,222A 挟持部、
223 力点部、23,23a,23b,23A 付勢部、
24,24a,24b,24A 被押圧部、241 被押圧面、242 スリット、
243 係合凸部、
25 案内部、251 テーパー面、29 支軸、
13 回転手段、
14 カバー、141 側壁、142 覆部、143 押圧部、15 昇降手段、
16 洗浄水供給手段、17 エアー供給手段、19 回転軸、
30 ワーク、31 上面、32 下面、33 側面
Claims (1)
- 円板状ワークを保持する保持手段と、
該保持手段を回転させる回転手段と、
該保持手段を囲繞し、該保持手段の回転軸に平行な上下方向に延在する円筒状の側壁を備えたカバーと、
該カバーを該回転軸に平行な上下方向に移動させる昇降手段と、
を備え、該保持手段に保持された該円板状ワークに洗浄水を供給して該円板状ワークを洗浄する洗浄装置であって、
該保持手段は、該円板状ワークの外周部分を挟持する挟持機構を少なくとも3つ備え、
それぞれの該挟持機構は、
該円板状ワークが載置される載置部と、
該載置部に支持された支軸を中心として回動可能であり、該載置部との間で該円板状ワークを挟持する挟持部を一方の端側に形成し、他方の端側に二股に分かれた力点部を形成したアームと、
該力点部に係合する係合凸部を有し、該カバーと同方向に移動可能であり、該保持手段に対する該円板状ワークの搬出入が可能な位置に該昇降手段が該カバーを移動させたときに、該カバーによって押圧される被押圧部と、
該被押圧部を上昇させる方向に付勢することにより、該挟持部が該円板状ワークを挟持する挟持方向に該アームが回動するよう該アームを間接的に付勢する付勢部と、
を備え、
該被押圧部が下降した該カバーによって押圧されることにより、該アームが該挟持方向とは反対の反挟持方向へ回動し、該保持手段に対する該円板状ワークの搬出入が可能となり、該カバーを上昇させることで該付勢部の付勢力により該被押圧部が上昇すると、該アームが該挟持方向に回動して該挟持部と該載置部とで該円板状ワークを挟みこんで保持する
洗浄装置。
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