JP2016172886A - 板ガラス保持具及び板ガラスの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】カルーセル型スパッタリング装置用の板ガラス保持具について、板ガラスを取り外す際、及び取り付ける際に、保持具を構成する各部への接触を可及的に抑制できる構造を提供し、高精度な膜の成膜を可能とすること。【解決手段】カルーセル型スパッタリング装置用の板ガラス保持具１について、板ガラス３を収容する収容空間６ａが形成され、収容空間６ａに収容された板ガラス３の外周端部を囲う枠体部６と、膜５の成膜時に旋回中の板ガラス３における上辺部３ｂと下辺部３ｃとをそれぞれ表面３ａ側から支持する一対の支持部７，８と、枠体部６の内周側に配置され、膜５の成膜時に旋回中の板ガラス３を裏面３ｄ側から押しつつ一対の支持部７，８と共に板ガラス３を厚み方向に挟持するための挟持位置へと移動し、且つ、非成膜時に挟持位置から離間した退避位置へと移動可能なスライド部９とを有する構成とした。【選択図】図１

Description

本発明は、板ガラスに成膜を行うカルーセル型スパッタリング装置用の板ガラス保持具、及び、この板ガラス保持具を備えたカルーセル型スパッタリング装置によって板ガラスに膜を成膜する板ガラスの製造方法に関する。

周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ、及びエレクトロルミネッセンスディスプレイ等のフラットパネルディスプレイや、色素増感型太陽電池、電磁調理器等の電気・電子機器に組み込まれる板ガラスの表面には、透明導電膜、反射防止膜等の膜が必要に応じて成膜される。

このように板ガラスに成膜を行うための手法の一つとしては、スパッタリング法を挙げることができる。そして、下記の特許文献１には、スパッタリング法を利用して板ガラス（同文献では被成膜部材）に成膜を行うカルーセル型スパッタリング装置、及び、同装置用の板ガラス保持具（同文献ではホルダ）が開示されている。

上記のカルーセル型スパッタリング装置は、チャンバー内を円軌道に沿って旋回する縦置き姿勢に保持された板ガラスに向けて、円軌道の外側に配置されたターゲットから膜材料（ターゲットを構成する原子）を飛散させ、円軌道の外側に面した板ガラスの表面（被成膜面）に膜材料を堆積させて膜を成膜するように構成されている。

そして、同装置用の板ガラス保持具は、板ガラスが挿入される開口部と、この開口部の内壁から内側に向かって突出し、且つ、開口部に挿入された板ガラスに表面側から当接するフランジ部との両部を有した取付部を備えている。また、同保持具は、遠心力によって旋回中の板ガラスを裏面側から押圧し、当該板ガラスをフランジ部に押し付ける押さえ部材を備えている。

特開２０１３−３２５７４号公報

ところで、上記の板ガラス保持具には以下のような問題が生じている。

すなわち、この板ガラス保持具では、その構造上、成膜後の板ガラスを当該保持具から取り外す作業、及び、未成膜の板ガラスを保持具に取り付ける作業の実行時に、作業者が保持具を構成する各部に触れることなく板ガラスを取り外したり、取り付けたりすることが極めて困難である。そして、各部には板ガラスへの膜の成膜時にターゲットから飛散した膜材料の一部が付着していることが常である。

そのため、上記作業の実行時に作業者が各部に触れることにより、これら各部に付着した膜材料が飛散し、この膜材料が新たに保持具に取り付けられる板ガラスの表面に異物として付着してしまう場合がある。このような事態が発生すると、膜を精度よく板ガラスに成膜できないばかりか、当該板ガラスに何らかの外力が作用した際に、成膜された膜が剥がれるような致命的な問題が発生してしまう。

上記の事情に鑑みなされた本発明は、カルーセル型スパッタリング装置用の板ガラス保持具について、板ガラスを取り外す際、及び取り付ける際に、保持具を構成する各部への接触を可及的に抑制できる構造を提供し、高精度な膜の成膜を可能とすることを技術的な課題とする。

上記の課題を解決するために創案された本発明は、チャンバー内を円軌道に沿って旋回する縦置き姿勢に保持された板ガラスに向けて、円軌道の外側に配置されたターゲットから膜材料を飛散させ、円軌道の外側に面した板ガラスの表面に膜を成膜するように構成されたカルーセル型スパッタリング装置用の板ガラス保持具であって、板ガラスを収容する収容空間が形成され、収容空間に収容された板ガラスの外周端部を囲う枠体部と、膜の成膜時に旋回中の板ガラスにおける上部と下部とをそれぞれ表面側から支持する一対の支持部と、枠体部の内周側に配置され、膜の成膜時に旋回中の板ガラスを裏面側から円軌道の外側に向かって押しつつ一対の支持部と共に板ガラスを厚み方向に挟持するための挟持位置へと移動し、且つ、非成膜時に挟持位置から円軌道の内側に向かって離間した退避位置へと移動可能なスライド部とを有することに特徴付けられる。

このような構成によれば、膜の成膜時における板ガラスは、枠体部に形成された収容空間に収容され、その外周端部が当該枠体部によって囲われた状態となると共に、挟持位置へと移動したスライド部と、一対の支持部とによって厚み方向に挟持された状態となる。従って、成膜時における板ガラスは、板ガラス保持具によって安定した状態で保持されることになる。一方、成膜後の板ガラスは、依然として枠体部によって外周端部が囲われた状態下にあるが、スライド部を退避位置へ移動させることで、当該スライド部と、一対の支持部とによる挟持が解除された状態となる。そのため、成膜後の板ガラスは、縦置き姿勢から傾斜した傾斜姿勢をとることが可能な状態にある。そして、成膜後の板ガラスに傾斜姿勢をとらせれば、この板ガラスは一対の支持部の相互間を通過することができるため、当該板ガラスを板ガラス保持具から取り外すことが可能となる。同様に、未成膜の板ガラス（新たに板ガラス保持具に取り付けられる板ガラス）に傾斜姿勢をとらせれば、この板ガラスは一対の支持部の相互間を通過することができるため、当該板ガラスを板ガラス保持具に取り付けることが可能になる。以上のように、本発明に係る板ガラス保持具によれば、板ガラスに傾斜姿勢をとらせさえすれば、当該板ガラスの板ガラス保持具からの取り外し、及び、板ガラス保持具への取り付けを実行することができる。このため、板ガラスの取り外し作業、及び取り付け作業を行う作業者が、板ガラス保持具を構成する各部に触れることなく作業を行いやすくなる。その結果、各部に付着した膜材料が飛散し、この膜材料が未成膜の板ガラスの表面に異物として付着するような事態の発生が抑制されるため、高精度な膜の成膜が可能となる。

上記の構成において、スライド部が、自身に作用する遠心力によって挟持位置へと移動することが好ましい。

このようにすれば、スライド部に作用する遠心力を利用して、膜の成膜時に旋回中の板ガラスを裏面側から円軌道の外側に向かって押すことができ、且つ、一対の支持部と共に板ガラスを厚み方向に挟持することが可能となる。そのため、板ガラスを円軌道の外側に向かって押すための機構を板ガラス保持具に設けなくともよくなり、当該保持具の構成を簡略化することができる。

上記の構成において、挟持位置にあるスライド部が、収容空間に収容された板ガラスにおける裏面の全面を覆うことが好ましい。

例えば、板ガラスの表面に反射防止膜を成膜する場合、当該表面に成膜される膜の厚みを調節することで板ガラスに所望の機能を付与する。そのため、板ガラスの表面のみでなく、裏面にまで膜が成膜されてしまうと、表面に意図した厚みの膜が成膜できたとしても、裏面に成膜された膜の厚みをも加えた膜の総厚み（表面側の膜の厚みと裏面側の膜の厚みとの和）は、意図した厚みとは相違してしまうことになる。このため、板ガラスに所望の機能を付与することが困難、或いは、不可能となってしまうおそれがある。しかしながら、挟持位置にあるスライド部が、板ガラスにおける裏面の全面を覆うようにすれば、ターゲットから飛散した膜材料が板ガラスの裏面側に回り込み、裏面にまで膜が成膜されてしまうような事態の発生を可及的に抑制することが可能となる。その結果、板ガラスに所望の機能を的確に付与しやすくなる。

上記の構成において、挟持位置にあるスライド部が、板ガラスにおける裏面の外周端部とのみ接触することが好ましい。

このようにすれば、板ガラスの裏面において、スライド部が外周端部の内側に存する有効面部と接触しにくくなるため、当該有効面部にスライド部との接触に起因して汚れが付着したり、傷が発生したりすることを抑制することができる。その結果、板ガラスの品質を向上させることが可能となる。

上記の構成において、板ガラスが矩形状をなし、一対の支持部が板ガラスの上辺部と下辺部とをそれぞれ支持すると共に、スライド部における板ガラスの裏面との接触部が、円軌道と同方向に湾曲した湾曲部を有することが好ましい。ここで、「矩形状」とは、板ガラスが矩形をなす場合のみでなく、矩形の四隅に位置するコーナー部に面取り加工が施される等して、板ガラスが略矩形をなす場合をも含むことを意味する。

板ガラス保持具に保持される矩形状の板ガラスについて、その縦寸法（上下方向に沿った長さ）が長くなればなるほど、旋回中の板ガラスにおいて、一対の支持部に表面側から支持されていない部位が遠心力によって円軌道の外側へと膨み、縦方向に沿って表面側が凸となるように板ガラスが湾曲するおそれが高まる。そして、このように板ガラスが湾曲してしまうと、縦方向に延びる辺部（以下、縦辺部と表記する）がスライド部から浮き上がって、ターゲットから飛散した膜材料が板ガラスの裏面側に回り込んでしまい、裏面にまで膜が成膜されてしまう不具合が生じる。しかしながら、スライド部における板ガラスの裏面との接触部が、円軌道と同方向に湾曲した湾曲部を有していれば、上記のような不具合を的確に排除することができる。すなわち、湾曲部が円軌道と同方向に湾曲していることで、この湾曲部と接触した板ガラスを積極的に円軌道と同方向に湾曲させることが可能となる。そして、板ガラスを円軌道と同方向に湾曲させることで、板ガラスが縦方向に沿って湾曲することを可及的に防止することができる。その結果、板ガラスの縦辺部がスライド部から浮き上がることを回避することが可能となり、裏面に膜が成膜されることを防止することができる。なお、板ガラスを円軌道と同方向に湾曲させたことで、板ガラスの上辺部と下辺部とがスライド部から浮き上がることが危惧される。しかしながら、上辺部と下辺部とは一対の支持部によってそれぞれ表面側から支持されているため、両辺部がスライド部から浮き上がることは的確に防止される。さらには、板ガラスを円軌道と同方向に湾曲させたことで、以下のような作用・効果もが得られる。すなわち、板ガラスが円軌道と同方向に湾曲していることから、板ガラスの表面における各領域の相互間で、円軌道の外側に配置されたターゲットからの距離（各領域とターゲットとが最も接近した際の距離）にバラつきが生じにくくなる。これにより、板ガラスの表面に成膜される膜の厚みを均一化しやすくなる。

上記の構成において、一対の支持部の各々における板ガラスの表面との接触部が、円軌道と同方向に湾曲していることが好ましい。

このようにすれば、一対の支持部の各々における板ガラスの表面（上辺部の表面、下辺部の表面）との接触部が、円軌道と同方向に湾曲していることから、より円滑に板ガラスを円軌道と同方向に湾曲させることができる。その結果、板ガラスの裏面に膜が成膜されることを更に防止しやすくなると共に、板ガラスの表面に成膜される膜の厚みを更に均一化しやすくなる。

上記の構成において、挟持位置と退避位置とが同一直線上に設けられ、スライド部が、枠体部の内周側に隙間を介して配置されると共に、円軌道の内側に向かって上記直線と平行に延びる軸部を有し、スライド部の移動に伴った軸部の軸方向に沿った移動が、リニアブッシュによって案内されることが好ましい。

このようにすれば、挟持位置と退避位置とが同一直線上に設けられ、この直線と平行に延びる軸部をスライド部が有していること、及び、リニアブッシュによって軸部の軸方向に沿った移動が案内されることから、スライド部をぶれなく確実に上記直線に沿って移動させることが可能となる。これに加えて、スライド部が枠体部の内周側に隙間を介して配置されていることで、上記直線に沿って移動中のスライド部と、枠体部との摺動を可及的に回避することができる。そのため、スライド部と枠体部との摺動に起因して塵埃が発生し、この塵埃が板ガラスの品質に悪影響を与えるような事態の発生を抑制することが可能となる。

また、上記の板ガラス保持具を備えたカルーセル型スパッタリング装置により、板ガラスに膜を成膜する板ガラスの製造方法によれば、上記の板ガラス保持具に係る説明で既に述べた事項と同一の作用・効果を得ることが可能である。

本発明によれば、カルーセル型スパッタリング装置用の板ガラス保持具について、板ガラスを取り外す際、及び取り付ける際に、保持具を構成する各部への接触を可及的に抑制できるため、高精度な膜の成膜が可能になる。

本発明の実施形態に係る板ガラス保持具を示す縦断側面図である。 本発明の実施形態に係る板ガラス保持具を示す縦断側面図である。 本発明の実施形態に係る板ガラス保持具を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る板ガラス保持具を示す横断平面図である。 本発明の実施形態に係る板ガラス保持具が有するスライド部を示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態に係る板ガラス保持具、及び板ガラスの製造方法について添付の図面を参照して説明する。はじめに、板ガラス保持具の構成について説明する。

図１及び図２に示すように、板ガラス保持具１は、カルーセル型スパッタリング装置（以下、単にスパッタ装置と表記する）用の板ガラス保持具である。スパッタ装置は、回転軸２を中心にチャンバー内を円軌道に沿って旋回する縦置き姿勢に保持された板ガラス３に向けて、円軌道の外側に配置したターゲット４から膜材料４ａ（ターゲット４を構成する原子）を飛散させ、円軌道の外側に面した板ガラス３の表面３ａに膜材料４ａを堆積させて膜５を成膜するように構成されている。板ガラス保持具１は、スパッタ装置に複数備え付けられており、これら複数の板ガラス保持具１が、回転軸２を中心として円環をなすように並べられている。各板ガラス保持具１は、スパッタ装置の稼働に伴って板ガラス３を保持した状態で旋回することが可能となっている。また、各板ガラス保持具１は、それぞれ上下方向に沿って二枚の板ガラス３を保持することが可能となっている。

板ガラス保持具１は、矩形の板ガラス３を収容する収容空間６ａが形成され、収容空間６ａに収容された板ガラス３の外周端部を囲う枠体部６と、膜５の成膜時（図１に示す状態でスパッタ装置の稼働時）に旋回中の板ガラス３における上辺部３ｂと下辺部３ｃとをそれぞれ表面３ａ側から支持する一対の支持部７，８とを有している。さらに、この板ガラス保持具１は、膜５の成膜時に旋回中の板ガラス３を裏面３ｄ側から円軌道の外側に向かって押しつつ一対の支持部７，８と共に板ガラス３を厚み方向に挟持するための挟持位置へと移動し、且つ、非成膜時（図２に示す状態でスパッタ装置の停止時）に挟持位置から円軌道の内側に向かって離間した退避位置へと移動可能なスライド部９とを有している。

図１及び図２に示すように、枠体部６に形成された収容空間６ａは、相対的に開口面積が大きく、実際に板ガラス３が収容される大開口６ａａと、大開口６ａａから回転軸２側に連なり、相対的に開口面積の小さい小開口６ａｂとを有している。すなわち、収容空間６ａは開口によって構成される。大開口６ａａは矩形に形成されており、当該大開口６ａａに収容される板ガラス３よりも一回り大きく形成されている。また、枠体部６は非成膜時にスライド部９における円軌道の内側への移動を規制するための規制部材６ｂを備えており、この規制部材６ｂは小開口６ａｂの縁部から内周側へと食み出すように取り付けられている。さらに、図３（図３では板ガラス３の図示を省略している）に示すように、大開口６ａａの縁部のうち、上下方向に沿って延びる部位には、板ガラス保持具１から板ガラス３を取り外す際、及び、板ガラス３を取り付ける際に、作業者が指を差し入れるための窪み部６ｃが形成されている。この窪み部６ｃの深さ寸法は、挟持位置と退避位置との相互間距離よりも長くなっている。これにより、非成膜時に作業者が窪み部６ｃを介して板ガラス３の裏面３ｄと、スライド部９との間に指を差し込むことが可能となっている。

図３に示すように、一対の支持部７，８は、それぞれ収容空間６ａに収容される板ガラス３の上辺部３ｂ、下辺部３ｃに沿って延びるように取り付けられている。この一対の支持部７，８は、それぞれ板状の部材で構成されている。また、図１及び図２に示すように、一対の支持部７，８の各々は、枠体部６に形成された大開口６ａａの縁部から内周側に食み出すように取り付けられている。なお、一対の支持部７，８のうち、上方に配置された支持部７は、下方に配置された支持部８と比較して、大開口６ａａの縁部から食み出した部位の寸法が長くなっている。また、一対の支持部７，８の相互間の距離は、板ガラス３の縦寸法（上下方向に沿った寸法）よりも短くなっている。これにより、膜５の成膜時にスライド部９によって円軌道の外側へと押された板ガラス３について、板ガラス保持具１からの脱落が防止される。さらに、図４（図４では板ガラス保持具１における構成要素の一部の図示を省略している）に示すように、一対の支持部７，８の各々における板ガラス３の表面３ａとの接触部７ａ，８ａは、円軌道と同方向に湾曲している。

図１及び図２に示すように、スライド部９は枠体部６の内周側に隙間を介して配置されている。スライド部９は、非成膜時には退避位置に位置しており、退避位置にあるスライド部９と一対の支持部７，８との相互間の距離は、板ガラス３の厚み寸法よりも長くなっている。そして、スライド部９は、膜５の成膜時に板ガラス保持具１の旋回に伴って自身に作用する遠心力で退避位置から挟持位置へと移動する。退避位置と挟持位置とは同一直線上に位置しており、この直線は回転軸２を中心とする円軌道の半径方向に沿って延びている。挟持位置へと移動したスライド部９は、板ガラス３の裏面３ｄにおける全面を覆うことが可能となっている。スライド部９における板ガラス３との接触部９ａは、板ガラス３の裏面３ｄにおける外周端部（裏面３ｄの有効面部を囲う部位）とのみ接触するようになっている。

図５（図５では板ガラス保持具１における構成要素の一部の図示を省略している）に示すように、スライド部９における板ガラス３の裏面３ｄとの接触部９ａは、矩形をなす枠体として形成されており、板ガラス３の上辺部３ｂに接触する上辺接触部９ａａと、下辺部３ｃに接触する下辺接触部９ａｂと、板ガラス３の上下方向に延びた一対の縦辺部にそれぞれ接触する一対の縦辺接触部９ａｃとを有している。一対の縦辺接触部９ａｃの各々は、その全長が平坦に形成されている。これに対し、上辺接触部９ａａと下辺接触部９ａｂとの各々は、その長手方向に沿って円軌道と同方向に湾曲した湾曲部となっている。これにより、図４に示すように、スライド部９が挟持位置へと移動した際に、スライド部９における板ガラス３の裏面３ｄとの接触部９ａと、一対の支持部７，８における板ガラス３の表面３ａとの接触部７ａ，８ａとにより、板ガラス３が円軌道と同方向に湾曲した状態で挟持される。

図１及び図２に示すように、スライド部９は、円軌道の内側に向かって延びた円柱状の軸部９ｂを有している。軸部９ｂは、回転軸２を中心とする円軌道の半径方向に沿って延びている。つまり、軸部９ｂは、退避位置と挟持位置とを通過する直線と平行に延びている。そして、スライド部９の退避位置から挟持位置への移動、及び、挟持位置から退避位置への移動に伴った軸部９ｂの軸方向に沿った移動は、リニアブッシュ１０によって案内される。リニアブッシュ１０は、その内周部に軸部９ｂと接触するボール１０ａを備えている。また、軸部９ｂは、図示省略のシリンダーと連結されており、シリンダー内の減圧に伴って円軌道の内側に向かって移動し、スライド部９を挟持位置から退避位置へと移動させることが可能となっている。

以下、上記の板ガラス保持具１を備えたスパッタ装置により、板ガラス３に膜５を成膜する板ガラスの製造方法について説明する。

まず、スライド部９が退避位置にある状態の下で、作業者が板ガラス３を板ガラス保持具１に取り付ける。具体的には、作業者が窪み部６ｃに指を差し入れつつ、板ガラス３を縦置き姿勢から傾斜させた傾斜姿勢で保持し、当該板ガラス３に円軌道の外側から一対の支持部７，８の相互間を通過させる。このとき、先に板ガラス３の上辺部３ｂを支持部７（上方に配置された支持部）とスライド部９との相互間に挿入し、後から下辺部３ｃを支持部８（下方に配置された支持部）とスライド部９との相互間に挿入する。このようにして、板ガラス３が板ガラス保持具１に取り付けられる。

次に、スパッタ装置を稼働させ、回転軸２を中心に板ガラス保持具１を円軌道に沿って旋回させる。このとき、スライド部９が、自身に作用する遠心力によって板ガラス３を裏面３ｄ側から円軌道の外側に向かって押しつつ退避位置から挟持位置へと移動する。これにより、挟持位置にあるスライド部９と、一対の支持部７，８とによって板ガラス３が厚み方向に挟持される。挟持された状態の板ガラス３は、縦置き姿勢で円軌道と同方向に湾曲した状態となる。そして、挟持された状態の板ガラス３の表面３ａにターゲット４から飛散した膜材料４ａを堆積させて膜５を成膜する。

次に、スパッタ装置を停止させ、板ガラス保持具１の旋回を停止させる。そして、シリンダー内を減圧することで、スライド部９の挟持位置から退避位置への移動を開始させる。退避位置へと円軌道の内側に向かって移動するスライド部９は、当該スライド部９が規制部材６ｂと当接することで移動が停止する。これにより、スライド部９の挟持位置から退避位置への移動が完了する。

最後に、スライド部９が退避位置にある状態の下で、成膜が完了した板ガラス３を板ガラス保持具１から取り外す。具体的には、作業者が窪み部６ｃに指を差し入れつつ、板ガラス３を縦置き姿勢から傾斜させた傾斜姿勢で保持し、板ガラス３に一対の支持部７，８の相互間を通過させる。これにより、板ガラス３が板ガラス保持具１から円軌道の外側に向かって取り外される。以上のようにして、表面３ａに膜５が成膜された板ガラス３が得られる。

以下、上記の板ガラス保持具１を用いた場合の主たる作用・効果について説明する。

上記の板ガラス保持具１によれば、板ガラス３に傾斜姿勢をとらせさえすれば、当該板ガラス３の板ガラス保持具１からの取り外し、及び、板ガラス保持具１への取り付けを実行することができる。このため、板ガラス３の取り外し作業、及び取り付け作業を行う作業者が、板ガラス保持具１を構成する各部に触れることなく作業を行いやすくなる。その結果、各部に付着した膜材料４ａが飛散し、この膜材料４ａが未成膜の板ガラス３の表面３ａに異物として付着するような事態の発生が抑制されるため、高精度な膜５の成膜が可能となる。

ここで、本発明に係る板ガラス保持具、及び板ガラスの製造方法は、上記の実施形態で説明した構成や態様に限定されるものではない。例えば、上記の実施形態においては、成膜の対象となる板ガラスが矩形をなしているが、この限りではない。成膜の対象となる板ガラスの形状は円形等、矩形以外の形状であってもよい。この場合には、一対の支持部によって板ガラスの上部と下部とをそれぞれ表面側から支持させる。また、上記の実施形態においては、スライド部が自身に作用する遠心力によって挟持位置へと移動する構成となっているが、これに限定されるものではない。変形例の一つとして、上記のシリンダー内を加圧することでスライド部が挟持位置へと移動する構成とし、遠心力によらず移動する構成としてもよい。さらに、上記の実施形態においては、挟持位置と退避位置とが円軌道の半径方向に沿って延びる同一直線上に位置する構成となっているが、この限りではない。挟持位置と退避位置とが円軌道の半径方向から傾斜した方向に延びる同一直線上に位置する構成としてもよい。加えて、上記の実施形態においては、シリンダー内を減圧することでスライド部を挟持位置から退避位置へと移動させているが、この限りではない。作業者が手動によりスライド部を挟持位置から退避位置へと移動させてもよい。例えば、スライド部の軸部を把持し、回転軸側に軸部を引くことでスライド部を挟持位置から退避位置へと移動させることができる。この場合、作業者がスライド部に触れることになるが、板ガラス保持具を構成する他の部位（一対の支持部、枠体部）と比較して、スライド部は成膜時における膜材料の付着が極めて少ないため、手動で移動させた場合であっても本発明の効果を得ることが可能である。詳述すると、成膜時にはターゲットとスライド部との間に板ガラスが介在した状態となるため、ターゲットから飛散した膜材料のスライド部への付着は極めて抑制される。

１ 板ガラス保持具
３ 板ガラス
３ａ 表面
３ｂ 上辺部
３ｃ 下辺部
３ｄ 裏面
４ ターゲット
４ａ 膜材料
５ 膜
６ 枠体部
６ａ 収容空間
６ａａ 大開口
６ａｂ 小開口
７ 支持部
７ａ 接触部
８ 支持部
８ａ 接触部
９ スライド部
９ａ 接触部
９ａａ 上辺接触部
９ａｂ 下辺接触部
９ａｃ 縦辺接触部
９ｂ 軸部
１０ リニアブッシュ

Claims (8)

1. チャンバー内を円軌道に沿って旋回する縦置き姿勢に保持された板ガラスに向けて、前記円軌道の外側に配置されたターゲットから膜材料を飛散させ、該円軌道の外側に面した前記板ガラスの表面に膜を成膜するように構成されたカルーセル型スパッタリング装置用の板ガラス保持具であって、
   前記板ガラスを収容する収容空間が形成され、該収容空間に収容された前記板ガラスの外周端部を囲う枠体部と、
   前記膜の成膜時に旋回中の前記板ガラスにおける上部と下部とをそれぞれ前記表面側から支持する一対の支持部と、
   前記枠体部の内周側に配置され、前記膜の成膜時に旋回中の前記板ガラスを裏面側から前記円軌道の外側に向かって押しつつ前記一対の支持部と共に該板ガラスを厚み方向に挟持するための挟持位置へと移動し、且つ、非成膜時に前記挟持位置から前記円軌道の内側に向かって離間した退避位置へと移動可能なスライド部とを有することを特徴とする板ガラス保持具。
2. 前記スライド部が、自身に作用する遠心力によって前記挟持位置へと移動することを特徴とする請求項１に記載の板ガラス保持具。
3. 前記挟持位置にある前記スライド部が、前記収容空間に収容された前記板ガラスにおける前記裏面の全面を覆うことを特徴とする請求項１又は２に記載の板ガラス保持具。
4. 前記挟持位置にある前記スライド部が、前記板ガラスにおける前記裏面の外周端部とのみ接触することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の板ガラス保持具。
5. 前記板ガラスが矩形状をなし、前記一対の支持部が前記板ガラスの上辺部と下辺部とをそれぞれ支持すると共に、
   前記スライド部における前記板ガラスの前記裏面との接触部が、前記円軌道と同方向に湾曲した湾曲部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の板ガラス保持具。
6. 前記一対の支持部の各々における前記板ガラスの前記表面との接触部が、前記円軌道と同方向に湾曲していることを特徴とする請求項５に記載の板ガラス保持具。
7. 前記挟持位置と前記退避位置とが同一直線上に設けられ、
   前記スライド部が、前記枠体部の内周側に隙間を介して配置されると共に、前記円軌道の内側に向かって前記直線と平行に延びる軸部を有し、
   前記スライド部の移動に伴った前記軸部の軸方向に沿った移動が、リニアブッシュによって案内されることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の板ガラス保持具。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載の板ガラス保持具を備えたカルーセル型スパッタリング装置により、板ガラスに膜を成膜することを特徴とする板ガラスの製造方法。
   

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