KR101511518B1 - 리드 개폐장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리드 개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버의 리드를 지지대에 올려놓을 때 발생할 수 있는 충격을 최소화할 수 있는 리드 개폐장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 리드 개폐장치는 챔버의 리드를 지지하는 지지대; 상기 지지대의 일측에 고정설치되며, 상기 리드의 중심축과 결합되어 상기 리드를 회전시키는 회전부; 및 호이스트에 의해 지지된 상태에서, 상기 리드의 중심축을 상기 회전부에 결합시키는 미세조정부;를 포함한다.
챔버. 리드. 개폐. 승강. 회전.

Description

리드 개폐장치{Lid opening/closing apparatus}
본 발명은 리드 개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버의 리드를 지지대에 올려놓을 때 발생할 수 있는 충격을 최소화할 수 있는 리드 개폐장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD, PDP, EL 등의 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치는 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정챔버 등의 진공 챔버가 연결되어 구성된다.
이때, 로드락 챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 챔버는 그 내부에 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
도 1은 일반적인 공정챔버(100)를 도시한 것으로서, 하부챔버(110)와 리드(120)로 구성된다. 공정 챔버(100) 내에서는 여러가지 가스나 플라즈마를 이용하 므로, 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 공정 챔버 내의 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서 공정 챔버는 공정 챔버의 내부를 유지 보수할 수 있도록 공정챔버의 상부에 위치하는 리드(120)를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다.
따라서 종래에 상기 리드를 개폐하기 위한 장치로서 리드 개폐장치(200)가 개시되었는데, 리드 개폐장치(200)는 공정챔버의 리드를 들어올려 하부챔버(110)와 분리하는 호이스트(미도시)와, 상기 호이스트에 의해 분리된 리드(120)를 재치하고, 180°회전시키는 지지대(210)로 구성된다.
도 2를 참조하여 지지대(210)를 설명하면, 공정챔버나 로드락 챔버, 반송챔버와 분리되어 이동가능하게 설치되며, 통상 공정챔버에 이웃하여 설치된다.
상기 지지대(210)는 리드의 중심축(도 1의 121참조)이 안착되는 걸림홈(211)이 형성되고, 재치된 리드를 회전시킬 수 있는 회전부(220)가 구비되고, 또한 승강할 수 있는 구동원(230)이 구비된다.
한편, 도 1을 다시 참조하면, 리드(120)의 상부에는 호이스트가 리드(120)를 용이하게 들어올릴 수 있도록 하기 위한 고리(122)가 다수개 결합되어 있고, 또한 지지대의 상기 회전부(220)와 결합되는 중심축(121)이 구비된다.
도 3a 내지 도 3d를 참조하여 종래의 리드 개폐장치(200)의 작동을 설명한다.
먼저, 호이스트가 고리(122)를 이용하여 리드(120)를 들어올려 하부챔버(110)로부터 이격시킨 후, 이를 지지대에 재치시킨다(도 3a 참조).
다음으로, 상기 지지대(210)에 재치된 리드(120)의 중심축(121)의 일단에 회전부(220)를 결합시킨다. 상기 회전부(220)는 모터와 감속기 등으로 구성되어 상기 리드를 회전시키는 공지의 요소이다(도 3b 참조). 이 때, 도시된 바와 같이, 상기 회전부(220)는 일측으로 빠져 있다가 중심축(121)이 걸림홈(211)에 안착된 후, 작업자가 수동으로 전진시켜 결합시킨다.
다음으로, 상기 중심축(121)을 회전부(220)에 결합하고, 회전부(220)에 의해 상기 리드(120)를 180°회전시킨다(도 3c 및 도 3d 참조).
그러나 이와 같은 종래의 리드 개폐장치는 호이스트로 리드를 들어 올린 후, 지지대에 재치시킬 때, 낙하 충격이 발생하여 리드 또는 지지대가 파손될 우려가 있다.
또한 상기 회전부(220)를 리드의 중심축에 결합하는 과정이 매우 난해하고, 이 과정에서 정위치에서의 결합이 안 이루어질 경우, 리드 회전시 간섭이 발생하여 리드나 지지대가 파손되기도 한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 챔버의 리드를 지지대에 올려놓을 때 발생할 수 있는 충격을 최소화할 수 있는 리드 개폐장치를 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 리드 개폐장치는 챔버의 리드를 지지하는 지지대; 상기 지지대의 일측에 고정설치되며, 상기 리드의 중심축과 결합되어 상기 리드를 회전시키는 회전부; 및 호이스트에 의해 지지된 상태에서, 상기 리드의 중심축을 상기 회전부에 결합시키는 미세조정부;를 포함한다.
또한 상기 미세조정부는 상기 지지대의 측부를 관통하고, 전진 또는 후진되는데, 스크류방식에 의해 전진 또는 후진되는 것이 바람직하다.
또한 상기 미세조정부의 선단에는 테프론재질의 접촉부와 베어링이 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 지지대를 상기 챔버에 고정시키는 고정부재가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 상기 회전부는 구동원과 감속기를 포함한다.
본 발명에 따르면, 챔버의 리드를 지지대에 올려놓을 때 발생할 수 있는 충격을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한 정확한 위치에 리드를 올려놓음으로 인해 간섭없이 리드를 회전시킬 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 리드 개폐장치의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 리드 개폐장치(200)는 챔버의 리드를 지지하는 지지대(310)가 구비된다.
또한 상기 지지대(210)는 회전부(220)가 고정설치된다. 상기 회전부(220)는 구동원(미도시)과 감속기(미도시)가 구비되는 공지의 요소이며, 상기 리드의 중심축(121)이 결합되어 리드를 회전시키는 공지의 요소이다. 물론, 상기 회전부(220)가 고정설치된 위치는 리드의 회전시 간섭되지 않는 위치에 설치되어야 할 것이다.
또한 상기 지지대(210)의 타측에는 미세조정부(240)가 구비되는데, 상기 미세조정부(240)는 지지대(210)의 타측을 관통하며, 일부에 스크류(241)가 형성되어 회전에 의해 전진 또는 후진운동한다. 이와 같이 전후진 운동을 하면서 상기 리드의 중심축(121)을 상기 회전부(220)에 결합시키는 것이다. 상기 미세조정부(240)의 선단에는 상기 리드와의 접촉부분에 테프론 재질의 접촉부(242)가 구비된다. 또한 상기 접촉부(242)의 내측에는 베어링(미도시)이 더 구비된다. 이들은 미세조정시 리드의 손상을 방지하기 위한 구성요소이다.
또한 상기 지지대(310)는 로드락 챔버, 반송챔버 및 공정챔버와 분리되어 독립적으로 이동가능하도록 바퀴가 구비된다.
또한 상기 지지대(210)는 상기 리드를 재치한 상태에서 승강할 수 있는 승강구동원(230)이 구비된다.
이하, 도 5a 및 도 5b를 참조하여 본 발명에 의한 리드 개폐장치(200)의 작동을 설명한다.
먼저, 호이스트(미도시)에 의해 리드(120)를 들어올려 하부챔버와 이격시킨 후, 상기 지지대(210)의 상방으로 이동시킨다(도 5a 참조).
다음으로, 상기 미세조정부(240)를 전진 또는 후진시켜 상기 리드(120)를 도 면상 좌측으로 밀어 정위치에 고정설치된 회전부(220)에 중심축(121)을 결합시킨다(도 5b 참조). 물론, 이 때도 호이스트가 리드를 지지한 상태에서 미세조정부(240)를 전진(후진)시켜 밀면서 중심축(121)을 회전부(220)에 결합시키는 것이다. 따라서 낙하에 의한 충격이 발생하지 않는다.
다음으로, 회전부(220)의 구동원 및 감속기를 이용하여 상기 리드를 수직방향으로 180°회전시킨다.
도 1은 공정챔버를 도시한 것이다.
도 2는 종래 공정챔버의 리드를 재치하고, 회전시키는 지지대를 도시한 것이다.
도 3a 내지 도 3d는 도 2에 도시된 장치를 이용하여 리드 개폐순서를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 의한 리드 개폐장치를 도시한 것이다.
도 5a 및 도 5b는 도 6에 도시된 장치를 이용한 리드 개폐순서를 도시한 것이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
200: 리드 개폐장치 210: 지지대
211: 걸림홈 220: 회전부
230: 구동원 240: 미세조정부
241: 스크류 242: 접촉부

Claims (6)

  1. 평판표시소자의 제조를 위한 챔버의 하부챔버로부터 분리된 리드를 지지하는 지지대와;
    상기 지지대의 일측에 설치되며 상기 리드의 중심축과 결합되어 상기 리드를 회전시키는 회전부와;
    상기 리드를 상측에서 지지하는 호이스트와;
    상기 호이스트에 의하여 지지된 지지대 상의 리드를 상기 회전부 측으로 이동시켜 상기 리드의 중심축을 상기 회전부에 결합시키는 미세조정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 미세조정부는 상기 지지대의 측부에 관통되고 상기 회전부에 대하여 전진 및 후진이 가능한 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 미세조정부는 스크류가 형성되어 회전방향에 따라 전진되거나 후진되는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 미세조정부의 선단에는 테프론재질의 접촉부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 미세조정부의 선단에는 베어링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 회전부는 구동원과 감속기를 포함하는 것을 특징으로 하는 리드 개폐장치.
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