CN111834252B - 基板处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的基板处理装置，具备：多段收纳多张基板的卡匣；能够密闭地收纳所述卡匣的腔室；使所述卡匣在所述腔室内升降的升降机构；将所述基板相对于所述卡匣搬出搬入的搬运机器人；以及控制所述升降机构及所述搬运机器人的动作的控制部，在所述腔室的侧面部设置有在将所述基板搬入所述卡匣和从该卡匣搬出时开口的搬出搬入口，所述搬运机器人具备载置所述基板的机械臂，所述机械臂能够在水平方向上移动并从所述搬出搬入口插入所述卡匣内，且能够在所述卡匣内上升或下降，所述控制部在所述卡匣内使所述机械臂下降的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣上升，在所述卡匣内使所述机械臂上升的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣下降。

Description

基板处理装置
技术领域
本发明涉及基板处理装置。
背景技术
已知将平板状的多张基板以水平位置多段载置在密闭腔室内并同时进行加热处理等处理的装置(专利文献1)。
在这种装置中，对将基板搬入腔室内时的步骤进行说明。
首先，利用机械臂保持基板。基板载置在机械臂上，机械臂从下方支撑基板。接着，通过机械臂，使基板从腔室的搬出搬入口插入到腔室内的基板加热单元中。此时的机械臂在水平方向上移动。插入机械臂时的上下方向的位置设为比基板加热单元的基板的设置位置高的位置。接着，使机械臂下降，使基板载置在设置于基板加热单元的基板支撑销上。由此，使基板从机械臂传递到基板加热单元。进而，使腔室内的机械臂下降，使机械臂充分远离基板。然后，将机械臂水平地从腔室拔出。这样，将基板搬入腔室内。
另外，对从腔室搬出基板的步骤进行说明。首先，将机械臂从腔室的搬出搬入口插入到基板加热单元。此时，在水平方向上移动机械臂。插入机械臂时的上下方向的位置设为比基板的设置位置低的位置。接着，使机械臂上升，使机械臂接触基板。进而，通过使机械臂上升，使基板从基板加热单元的基板支撑销传递到机械臂。基板从基板支撑销充分远离后，在保持基板的状态下将机械臂水平地从腔室拔出。这样，从腔室搬出基板。
如上所述，在使基板相对于腔室搬入或搬出时，需要在腔室内使机械臂上下移动。由于机械臂在插入到腔室的搬运入口的状态下进行上下移动，因此搬出搬入口的高度需要设计成能够确保机械臂的可动范围。即，搬出搬入口的高度必须在一定程度上增大。
但是，腔室的搬运入口通过挡板自由开关。一般来说，O形圈被配设在搬运入口的周围。在搬运入口关闭时，挡板与O形圈密切接触，从而确保腔室内的密闭性。
当基板在腔室内加热时会产生辐射热。该辐射热也被辐射到挡板和O形圈，但是搬运入口的开口面积越大则辐射热量越大。即，当搬运入口的开口面积大时，对挡板和O形圈的热负荷增大，挡板和O形圈的劣化加快，这些部件的更换周期变短。因此，希望腔室的搬出搬入口尽可能小。
这样，为了抑制挡板和O形圈的劣化，想要缩小腔室的搬出搬入口的开口面积。但是，出于确保机械臂的可动范围的必要性，搬出搬入口的开口面积缩小化有界限。
专利文献1：日本专利公开特开2008-263063号公报
发明内容
本发明是有鉴于上述情况而完成的，其课题在于，提供一种基板处理装置，即使在通过机械臂进行基板的搬出搬入的情况下，也能够减小腔室的搬出搬入口的开口面积。
为了解决上述课题，本发明采用以下结构。
[1]一种基板处理装置，其特征在于，具备：
多段收纳多张基板的卡匣；
能够密闭地收纳所述卡匣的腔室；
使所述卡匣在所述腔室内升降的升降机构；
将所述基板相对于所述卡匣搬出搬入的搬运机器人；以及
控制所述升降机构及所述搬运机器人的动作的控制部，
在所述腔室的侧面部设置有在将所述基板搬入所述卡匣和从该卡匣搬出时开口的搬出搬入口，
所述搬运机器人具备载置所述基板的机械臂，
所述机械臂能够在水平方向上移动并从所述搬出搬入口插入所述卡匣内，且能够在所述卡匣内上升或下降，
所述控制部在所述卡匣内使所述机械臂下降的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣上升，在所述卡匣内使所述机械臂上升的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣下降。
[2]根据[1]所述的基板处理装置，其特征在于，作为从所述卡匣搬出所述基板的动作，所述控制部使所述机械臂从所述腔室的所述搬出搬入口插入所述卡匣内，然后使所述机械臂上升并从下抬起所述基板，并且通过所述升降机构使所述卡匣下降，然后将所述机械臂从所述卡匣中拔出。
[3]根据[1]所述的基板处理装置，其特征在于，作为将所述基板搬入所述卡匣的动作，所述控制部从所述腔室的所述搬出搬入口，使保持所述基板的所述机械臂插入所述卡匣内，然后使所述机械臂下降并将所述基板载置于所述卡匣内，并且通过所述升降机构使所述卡匣上升，然后将所述机械臂从所述卡匣中拔出。
根据本发明的基板处理装置，控制部在卡匣内使机械臂下降的情况下使卡匣上升，在卡匣内使机械臂上升的情况下使卡匣下降。因此，与以往的基板搬运装置相比，能够减小将基板搬出搬入腔室时的机械臂上升时的位移量和下降时的位移量，由此能够减小搬出搬入口的开口面积。据此，能够减轻对腔室的搬出搬入口的开闭机构的热负荷，能够减少腔室的维护频率，提高基板处理的生产率。
另外，根据本发明的基板处理装置，作为从卡匣搬出基板K的动作，控制部在使机械臂插入卡匣内后，使机械臂上升并从基板的下方抬起，并且通过升降机构使卡匣下降。因此，与以往的基板搬运装置相比，能够减小机械臂上升时的位移量。由此，能够减小搬出搬入口的开口面积，另外还能够缩短基板K的搬出时间。
另外，根据本发明的基板处理装置，作为将基板搬入卡匣的动作，控制部在使保持基板的机械臂插入卡匣内后，使机械臂下降并将基板载置于卡匣内，并且通过升降机构使卡匣上升。因此，与以往的基板搬送装置相比，能够减小机械臂下降时的位移量。由此，能够减小搬出搬入口的开口面积，另外还能够缩短基板的搬入时间。
进而，由于在将基板搬入卡匣中时，在卡匣内，随着机械臂的上升(下降)，卡匣下降(上升)，因此能够缩短基板的搬出搬入所需的时间。进而，能够减轻对机械臂的热负荷，能够减少腔室的维护频率，提高基板处理的生产率。
另外，载置有基板的机械臂被插入卡匣中，当卡匣从机械臂接收基板时，与基板的荷载相应地减轻对机械臂的负荷，由于机械臂的自重引起的反弹力，机械臂的位置有可能上升。同样，在机械臂上载置基板时，机械臂的位置有可能下降。
与此相对，由于随着机械臂的上升(下降)，卡匣下降(上升)，因此能够消除上述的担心，能够提高基板处理的生产率。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式的基板处理装置的俯视示意图。
图2是表示本发明的实施方式的基板处理装置的主要部分的侧面剖视图。
图3A是说明本发明的实施方式的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图3B是说明本发明的实施方式的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图3C是说明本发明的实施方式的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图3D是说明本发明的实施方式的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图4A是说明本发明的实施方式的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图4B是说明本发明的实施方式的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图4C是说明本发明的实施方式的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图4D是说明本发明的实施方式的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图5A是说明现有的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图5B是说明现有的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图5C是说明现有的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
图5D是说明现有的基板处理装置的动作的侧面剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
图1是表示本实施方式中的基板处理装置的示意俯视图，在图中，附图标记1是基板处理装置。
如图1所示，本实施方式所涉及的基板处理装置1具有在俯视中多角形状的传送腔室2和连接到传送腔室2的各边的作为处理室的腔室10～10E。
本实施方式所涉及的基板处理装置1具有在真空气氛等的密闭状态下处理多张基板的结构。在基板处理装置1中进行的处理的种类不特别限定。腔室10～10E能够分别作为在基板上实施不同处理的处理室。
例如，在腔室10～10E之中的一处能够作为取出放入基板的装载/卸载室。
如图1所示，传送腔室2具有设置在传送腔室2内部的搬运机器人2a，能够在传送腔室2与各腔室10～10E之间搬运基板。
此外，也可以在传送腔室2中设置多个搬运机器人2a。
进而，传送腔室2是多角形即可，可以是从三角形到八角形的任意的俯视形状。
另外，在基板处理装置1中，具备传送腔室2、腔室10～10E和控制搬运机器人2a的控制部100。
搬运机器人2a具备可在水平方向、垂直方向上移动的机械臂2b。搬运机器人2a具有旋转轴、安装在该旋转轴上的机械臂2b和上下移动装置。在机械臂2b的前端安装有机械手2c。
机械臂2b由相互可弯曲的第一、第二主动臂和第一、第二从动臂构成。搬运机器人2a能够使作为被搬运物的基板在腔室10～10E之间移动。
机械臂2b以能够载置基板的方式形成，能够形成多个，例如在俯视中形成两条或四条。另外，机械臂2b中的、沿基板的搬出搬入方向的方向的长度比基板更长地形成，以便能够将基板可靠地载在机械臂2b上进行搬运。
机械臂2b在垂直方向上的厚度形成得比设置在后述的腔室10的卡匣20中的基板支撑销的高度更薄。通过该结构，在将基板载置在机械臂2b上的状态下，将基板向腔室10搬运，将基板转载到腔室10内的卡匣20中的基板支撑销上时，能够不使基板下落而顺畅地将基板从机械臂2b上转载到基板支撑销上。
也就是说，不向基板施加集中负荷等，就能够可靠地进行基板的转载。另外，在基板的处理完成后，由于机械臂2b能够插入到从腔室10搬出时由基板支撑销形成的基板与后述的支撑部21之间的间隙中，因此能够将基板可靠地转载到机械臂2b上。
未图示的真空泵连接到传送腔室2和各腔室10～10E，以便能够保持在真空状态。另外，传送腔室2和各腔室10～10E可以与提供规定的气氛气体的气体供给部连接。
特别地，也可以在腔室10中设置未图示的氮气供给部。如果从氮气供给部向腔室10内供给氮气，例如，在进行加热处理时，能够加快基板的升温速度。另外，此时可以腔室10内的压力能够保持在100Pa左右的方式构造腔室10。
另外，也可以在传送腔室2中形成排气口。排气口形成在传送腔室2与腔室10之间的边界部附近的位置。通过排气口，能够对传送腔室2内进行排气，并且在后述的挡板15a、16a保持为打开状态时，能够进行腔室10内的排气。
在这种情况下，不需要在腔室10中设置排气装置(排气单元)，能够降低成本。另外，从腔室10流出到传送腔室2的高温氮气在到达搬运机器人2a之前从排气口排出，因此能够防止高温氮气对搬运机器人造成的不良影响。
作为本实施方式所涉及的基板处理装置1，说明腔室10对多张基板同时实施加热处理。
腔室10中的处理不限于热处理。另外，腔室10A～10E可以是实施与腔室10相同的处理的相同结构，也可以是作为实施不同处理的处理室而不同的结构。作为与腔室10不同的处理，可以举出成膜、蚀刻、清洗等。
图2是表示本实施方式的基板处理装置中的腔室的侧剖视图。
如图1和图2所示，腔室10为在俯视中具有大致矩形剖面，并且垂直方向的剖面形状大致呈矩形。腔室10可以被密闭。
如图2所示，腔室10具有顶板部11a、与顶板部11a平行的底部12a、以及在俯视中沿着顶板部11a与底部12a的轮廓竖立设置的侧部11b、12e(侧面部)。另外，虽然在图2中未示出，但还有在俯视中沿着顶板部11a与底部12a的轮廓竖立设置的其他侧部。
如图2所示，在腔室10的侧部12e中设置有如后所述取出放入基板的搬出搬入口15、16。搬出搬入口15、16在上下方向上分离，例如设置两处。另外，设置在腔室10中的搬出搬入口15、16的数量不限于此，可以是一处，还可以是三处以上。
在搬出搬入口15、16中分别设置有可开闭的挡板15a、16a。
挡板15a、16a均可以通过挡板驱动部15b、16b开闭。
在挡板驱动部15b打开挡板15a时，搬运机器人2a能够通过上下移动装置将机械臂2b移动到与搬出搬入口15对应的高度位置，将由机械臂2b支撑的基板从搬出搬入口15搬入到腔室10内或者从腔室10搬出。
在挡板驱动部16b打开挡板16a时，搬运机器人2a能够通过上下移动装置将机械臂2b移动到与搬出搬入口16对应的高度位置，将由机械臂2b支撑的基板从搬出搬入口16搬入到腔室10内或者从腔室10搬出。
如图2所示，在腔室10的内部设置有多个用于支撑待处理基板的卡匣20。
如图2所示，卡匣20在上下方向上设有多个大致矩形的支撑部21。多个支撑部21具有大致相等的轮廓形状。多个支撑部21相互在上下方向上分离配置。
多个支撑部21具有大致相等的上下方向的分离距离。多个支撑部21例如通过竖立设置在其四角的支撑柱22来维持彼此的上下间隔。
如果能够维持上下方向上的多个支撑部21之间的分离，则支撑柱22不限于该结构。
在本实施方式的卡匣20中，支撑部21配置六段。因此，在本实施方式的卡匣20中，能够支撑六张基板同时进行处理。另外，支撑部21的段数不限于此。
多个支撑部21能够在各自之上载置基板。多个支撑部21均为比载置的基板稍大的轮廓形状。
另外，多个支撑部21具备对在各自之上载置的基板进行加热的省略图示的加热器。支撑部21所具备的加热器均被配置为在基板的整面上处于相等的加热状态。具体而言，支撑部所具备的加热器可以是与支撑部的整面对应的配置。
加热器例如可以使用将由碳构成的板状部件重叠两张，并将护套加热器夹在该板状部件之间的结构。加热器被构成为通过从设置在腔室10的外部的未示出的加热器电源向护套加热器施加电压来加热。被构成为能够通过来自加热的加热器的辐射热来加热基板。
此外，卡匣20在最上部的支撑部21的上侧具有与支撑部21大致相同的轮廓形状的加热器21a。通过支撑柱22，维持位于最上部的支撑部21与加热器21a之间的上下间隔。位于最上部的支撑部21与加热器21a的上下间隔被设定为与上下方向相邻的支撑部21与支撑部21之间的上下间隔相等。加热器21a具有与加热器大致相同的结构。
卡匣20的最上部的加热器21a和各层的支撑部21所具备的加热器经由未图示的加热器线从设置在腔室10的外部的加热器电源供给加热功率。
在支撑部21的上表面位置可以具有支撑被载置的基板的基板支撑销。图3A～图4D(后述)所示的多个基板支撑销21b安装在支撑部21(加热器)的上表面上，在载置基板K时，基板支撑销21b安装在适当的位置以使因基板K的自重引起的挠度抑制到最小限度。另外，基板支撑销21b被设置在俯视中不与搬运机器人2a的机械臂2b干涉的位置。
作为由基板支撑销21b支撑的基板K的大小，例如可以采用纵1850mm×横1500mm以上的基板尺寸。此外，本发明不限定基板尺寸。
在采用这种基板尺寸的情况下，多个基板支撑销21b配置在从基板的长边和短边位于内侧15mm的内侧区域中。基板支撑销21b以与基板的中心位置对应的基板支撑销21b为中心，被配置在与基板的热延伸对应的位置上。彼此相邻的基板支撑销21b之间的距离设为475mm以下。由此，在基板上不会产生集中负荷，能够可靠地进行从机械臂2b向基板支撑销21b转载基板或从基板支撑销21b向机械臂2b转载基板。
进而，能够使因基板的自重引起的挠度最小限度，可以将从支撑部21的基板支撑销21b的高度设定为机械臂2b的厚度以上且最小的高度。
由于能够使基板支撑销21b的高度最小，因此能够使基板的温度分布均匀。
由于能够使基板支撑销21b的高度最小，因此能够减小机械臂2b的位移量和卡匣的位移量，能够缩短基板的搬出搬入所需的时间。
基板支撑销21b具备安装在支撑部21上的支柱和设置在支柱的上部的辊。辊被构成为以其中心轴为中心可旋转。辊的中心轴在水平方向上延伸。通过将基板载置在该辊上，能够防止在基板通过加热而热延伸时基板产生损伤。
各个基板支撑销21b被配置为使得辊的旋转方向沿着从基板的中心指向各个基板支撑销21b的方向。也就是，在基板被加热时，以与基板的热延伸方向对应的方式配置基板支撑销21b。此外，也可以在与基板的中心对应的位置的基板支撑销21b上不设置辊，而是采用固定的销。通过这样构成，即使对基板进行加热，基板的中心位置也不会偏离，在搬出搬入完成加热的基板时，不进行位置对准，就能够可靠地搬出基板。
如图2所示，升降轴23以向下延伸的方式连接在作为卡匣20的最下层(底部)的支撑部21的下侧位置。升降轴23与俯视上的支撑部21的中央位置连接。
升降轴23贯穿设置在腔室10的底部12a中的贯穿部12g。升降轴23能够在贯穿部12g中沿上下方向滑动。能够在升降轴23的外周面与贯穿部12g之间产生滑动的方式密封贯穿部12g。
升降轴23被形成为中空状。连接支撑部21所具备的加热器与设置在腔室10外部的加热器电源的多条加热器线全部通过升降轴23的内部。
升降轴23的内部与腔室10内部连通。在升降轴23的内部中的下端部设有省略图示的密封凸缘。密封凸缘在升降轴23中的下端部以可密闭的方式密封升降轴23的内部。
如图2所示，升降轴23与升降驱动部30连接。
升降驱动部30使卡匣20在腔室10内升降。升降驱动部30具有支撑升降轴23的下端的升降支撑部31、将升降支撑部31在上下方向上限制位置并升降的滚珠丝杆32、32、以及旋转驱动滚珠丝杆32的升降旋转部33。
滚珠丝杆32竖立设置在垂直方向上。滚珠丝杆32被螺合于在上下方向上贯穿升降支撑部31的贯穿孔31a。
通过升降旋转部33旋转滚珠丝杆32，从而升降支撑部31在上下方向上限制位置的状态下升降。由此，升降驱动部30使升降轴23升降。
升降驱动部30和升降轴23构成升降机构。
通过升降驱动部30使升降轴23升降，从而卡匣20在腔室10内在上下方向上移动。升降机构的动作由控制部100控制。
考虑卡匣20被移动到腔室10内最上侧位置的情况。
在这种情况下，如图2所示，作为最下段的支撑部21成为与搬出搬入口16对应的高度位置。同时，作为从下数起第四段、从上数起第三段的支撑部21成为与搬出搬入口15对应的高度位置。
在该状态下，当挡板驱动部15b打开挡板15a时，搬运机器人2a通过上下移动装置将机械臂2b移动到与搬出搬入口15对应的高度位置。并且，能够将由机械臂2b支撑的基板从搬出搬入口15搬入到从上数起第三段的支撑部21或从该支撑部21搬出。
同样，当挡板驱动部16b打开挡板16a时，搬运机器人2a通过上下移动装置将机械臂2b移动到与搬出搬入口16对应的高度位置。并且，能够将由机械臂2b支撑的基板从搬出搬入口16搬入到最下段的支撑部21或者从该支撑部21搬出。
进而，考虑卡匣20在腔室10内向下侧移动了多段的支撑部21中的一段的情况。
在这种情况下，从上数起第五段、从下数起第二段的支撑部21成为与搬出搬入口16对应的高度位置。同时，从下数起第五段、从上数起第二段的支撑部21成为与搬出搬入口15对应的高度位置。
在该状态下，当挡板驱动部15b打开挡板15a时，搬运机器人2a通过上下移动装置将机械臂2b移动到与搬出搬入口15对应的高度位置。并且，能够将由机械臂2b支撑的基板从搬出搬入口15搬入到从上数起第二段的支撑部21或者从该支撑部21搬出。
同样，当挡板驱动部16b打开挡板16a时，搬运机器人2a通过上下移动装置将机械臂2b移动到与搬出搬入口16对应的高度位置。并且，能够将由机械臂2b支撑的基板从搬出搬入口16搬入到从下数起第二段的支撑部21或者从该支撑部21搬出。
进而，考虑卡匣20在腔室10内向下侧移动了多段的支撑部21中的一段的情况。
在这种情况下，从上数起第四段、从下数起第三段的支撑部21成为与搬出搬入口16对应的高度位置。同时，最上段的支撑部21成为与搬出搬入口15对应的高度位置。
在这种状态下，当挡板驱动部15b打开挡板15a时，搬运机器人2a通过上下移动装置将机械臂2b和机械手2c移动到与搬出搬入口15对应的高度位置。并且，能够将由机械手2c支撑的基板从搬出入口15搬入到最上段的支撑部21或者从该支撑部21搬出。
同样，当挡板驱动部16b打开挡板16a时，搬运机器人2a通过上下移动装置将机械臂2b移动到与搬出搬入口16对应的高度位置。并且，能够将由机械臂2b支撑的基板从搬出搬入口16搬入到从下数起第三段的支撑部21或者从该支撑部21搬出。
在通过升降驱动部30使升降轴23升降时，需要在腔室10内形成卡匣20可在上下方向上移动的空间。
因此，腔室10的高度尺寸被规定为在腔室10内使卡匣20可在上下方向上移动的空间高度。
在本实施方式中，在多个搬出搬入口15、16中，通过将其高度位置设定为如上所述那样，从而能够减小腔室10的高度尺寸。
接着，对将基板相对于腔室10进行搬出搬入的动作进行详细说明。
在本实施方式的基板处理装置1中，如上所述，机械臂2b能够在水平方向上移动，从搬出搬入口15、16插入到腔室10内，且能够在卡匣20内上升或下降。另外，控制部100能够控制搬运机器人2a及升降驱动部30的动作。具体而言，控制部100在卡匣20内使机械臂2b下降的情况下，通过升降机构使卡匣20上升，在卡匣20内使机械臂2b上升的情况下，通过升降机构使卡匣20下降。
在卡匣20内使机械臂2b下降的情况是将基板设置在卡匣20内的情况。在这种情况下，通过升降机构使卡匣20上升，从而使保持在机械臂2b中的基板与设置在卡匣20内的支撑部21相互接近。由此，减少机械臂2b下降时的位移量。
另外，在卡匣20内使机械臂2b上升的情况是从卡匣20取出基板的情况。在这种情况下，通过升降机构使卡匣20下降，从而使保持在机械臂2b中的基板与设置在卡匣20内的支撑部21相互分离。由此，减少机械臂2b上升时的位移量。
下面，将参照图3A～图3D和图4A～图4D更详细地说明基板处理装置1的动作。在图3A～图3D以及图4A～图4D中，说明相对于搬出搬入口15的搬出搬入动作，相对于搬出搬入口16的搬出搬入动作也同样。
首先，根据图3A～图3D，说明从卡匣20搬出基板的动作。图3A表示基板K被载置在腔室10内的卡匣20的支撑部21上的状态。基板K处于在腔室10内实施了各种处理的状态。在支撑部21的上表面设置有多个基板支撑销21b，基板K载置在基板支撑销21b上。基板K与支撑部21被基板支撑销21b分离，在基板K与支撑部21之间设置有可插入机械臂2b的空间。另外，在图3A中，还图示了上段侧的支撑部21。设置在腔室10的侧部12e上的搬出搬入口15被开口。
接着，如图3B所示，根据控制部100的指令，使机械臂2b从搬出搬入口15插入到腔室10内的卡匣20中。机械臂2b朝向卡匣20内的支撑部21与基板K之间的空间，即比基板K低的位置从水平方向插入。
接着，如图3C所示，根据控制部100的指令，使机械臂2b在卡匣20内上升。另外，根据控制部100的指令，通过升降机构使卡匣20下降。在机械臂2b上升，另外卡匣20下降的期间，机械臂2b与基板K相互接近并接触，基板K从基板支撑销21b传递到机械臂2b。然后，保持在机械臂2b中的基板K与基板支撑销21b分离。
接着，如图3D所示，根据控制部100的指令，将机械臂2b与基板K一起从腔室10和卡匣20中拔出。机械臂2b沿水平方向拔出。
接着，根据图4A～图4D，说明将基板搬入卡匣20的动作。
首先，如图4A所示，根据控制部100的指令，使机械臂2b与基板K一起从搬出搬入口15插入到腔室10的卡匣20内。机械臂2b朝向卡匣20内的支撑部21的上方的空间即待设置基板K的预定的位置的上侧的位置从水平方向插入。
接着，如图4B所示，根据控制部100的指令，使机械臂2b与基板K一起在卡匣20内下降。另外，根据控制部100的指令，通过升降机构使卡匣20上升。在基板K与机械臂2b一起下降，另外卡匣20上升的期间，基板K与支撑部21相互接近，基板K与基板支撑销21b接触，基板K从机械臂2b传递到基板支撑销21b。然后，机械臂2b与基板K分离。
接着，如图4C所示，根据控制部100的指令，从腔室10的搬出搬入口15拔出机械臂2b。机械臂2b沿水平方向拔出。然后，如图4D所示，开始对载置在支撑部21的基板支撑销21b上的基板K进行各种处理。
接着，为了比较，参照图5A～图5D说明现有的基板处理装置中的动作。在现有的基板处理装置中，被构成为只有机械臂在卡匣内上下移动，卡匣自身不上下移动。现有的基板处理装置的动作仅就从腔室取出基板的动作进行说明。
图5A示出基板K载置在腔室内的卡匣220的支撑部221上的状态。在现有的基板处理装置中，如图5B所示，使机械臂202b从搬出搬入口215插入到卡匣内。机械臂202b朝向卡匣220内的支撑部221与基板K之间的空间、即比基板K低的位置从水平方向插入。
接着，如图5C所示，使机械臂202b上升，使机械臂202b与基板K接触。进而，通过使机械臂202b上升，从而将基板从支撑部221的基板支撑销221b传递到机械臂202b。
然后，如图5D所示，在基板K与基板支撑销221b充分分离之后，将保持基板K的机械臂202b从腔室的搬出搬入口215沿水平方向拔出。这样，从卡匣220搬出基板K。
本实施方式的基板处理装置1的卡匣20内的机械臂2b上升时的位移量或下降时的位移量(以下称为位移量)设为ΔL1，现有的基板处理装置中的机械臂202a上升时的位移量或下降时的位移量(位移量)设为ΔL2。在这种情况下，本实施方式的位移量ΔL1比现有的位移量ΔL2小。这是因为在机械臂2b上升或下降时，卡匣20向与机械臂2b的动作方向相反的方向移动。这样，在本实施方式中，由于机械臂2b的位移量ΔL1比现有的位移量ΔL2小，因此能够减小搬出搬入口15、16的高度方向的尺寸，由此能够减小搬出搬入口15、16的开口面积。
如上所述，根据本实施方式的基板处理装置1，控制部100在卡匣20内使机械臂2b下降的情况下使卡匣20上升，在卡匣20内使机械臂2b上升的情况下使卡匣20下降。因此，与现有的基板搬运装置相比，能够减小将基板K搬出搬入腔室10时的机械臂2b上升时的位移量和下降时的位移量，由此，能够减小搬出搬入口15、16的开口面积。由此，能够减轻对腔室10的搬出搬入口15、16的开闭机构的热负荷，能够减少腔室10的维护频率，提高基板处理的生产率。
另外，根据本实施方式的基板处理装置1，作为从卡匣20搬出基板K的动作，控制部100在使机械臂2b插入到卡匣20内后，使机械臂2b上升并从基板K的下方抬起，并且通过升降机构使卡匣20下降。因此，与现有的基板输送装置相比，能够减小机械臂2b上升时的位移量。由此，能够减小搬出搬入口15、16的开口面积，另外还能够缩短基板K的搬出时间。
另外，根据本实施方式的基板处理装置1，作为将基板K搬入卡匣20的动作，控制部100使保持基板K的机械臂2b插入卡匣20内后，使机械臂2b下降并将基板K载置于卡匣20内，并且通过升降机构使卡匣20上升。因此，与现有的基板搬运装置相比，能够减小机械臂2b下降时的位移量。由此，能够减小搬出搬入口15、16的开口面积，另外还能够缩短基板K的搬入时间。
附图标记说明
1 基板处理装置
2a 搬运机器人
2b 机械臂
12e 侧部(侧面部)
15、16 搬出搬入口
10 腔室
20 卡匣
100 控制部
K 基板。

Claims (3)

1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：
多段收纳多张基板的卡匣；
能够密闭地收纳所述卡匣的腔室；
使所述卡匣在所述腔室内升降的升降机构；
将所述基板相对于所述卡匣搬出搬入的搬运机器人；以及
控制所述升降机构及所述搬运机器人的动作的控制部，
在所述腔室的侧面部设置有在将所述基板搬入所述卡匣和从该卡匣搬出时开口的搬出搬入口，
所述搬运机器人具备载置所述基板的机械臂，
所述机械臂能够在水平方向上移动并从所述搬出搬入口插入所述卡匣内，且能够在所述卡匣内上升或下降，
所述控制部在所述卡匣内使所述机械臂下降的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣上升，在所述卡匣内使所述机械臂上升的情况下，通过所述升降机构使所述卡匣下降，
通过在所述机械臂上升或下降时所述卡匣向与所述机械臂的运动方向相反的方向运动，从而将所述搬出搬入口在高度方向的尺寸减小至所述机械臂在所述卡匣内上升时的位移量或下降时的位移量减小的程度，从而减小所述搬出搬入口的开口面积。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，作为从所述卡匣搬出所述基板的动作，所述控制部使所述机械臂从所述腔室的所述搬出搬入口插入所述卡匣内，然后使所述机械臂上升并从下抬起所述基板，并且通过所述升降机构使所述卡匣下降，然后将所述机械臂从所述卡匣中拔出。
3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，作为将所述基板搬入所述卡匣的动作，所述控制部从所述腔室的所述搬出搬入口，使保持所述基板的所述机械臂插入所述卡匣内，然后使所述机械臂下降并将所述基板载置于所述卡匣内，并且通过所述升降机构使所述卡匣上升，然后将所述机械臂从所述卡匣中拔出。
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