JP3683345B2 - 基板搬入搬出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板を複数枚収容することが可能な基板収容器から、前記基板を取り出して処理ユニットに搬出し、前記処理ユニットにおいて処理が終了した前記基板を処理ユニットから搬入して前記基板収容器に収容する基板搬入搬出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体基板や液晶ガラス基板などの基板の製造において、クリーンルームは不可欠な生産空間である。従来は製造用各種装置をすべてクリーンルーム内に設置し、基板をクリーンルーム内の雰囲気に晒した状態で装置間の基板の搬送などが行われていた。そして近年では配線パターンの微細化に伴い、クリーンルームのクリーン度をより高めることが要求されるようになった。しかし、クリーンルームのクリーン度を高めるためには、設備が大掛かりとなり、膨大な費用が発生する。
【0003】
この問題を解決するために、基板の装置間の搬送時などの際には、基板を外部雰囲気に晒すことなく搬送するために、基板を収容しているカセットを予め内部を高い清浄雰囲気にしたケースに納めて搬送し、各装置においてケース内のカセットに納められた基板に処理を施す際も、外部雰囲気には晒さない装置が考えられている。これらの具体的構成を図9,図10に示す。
【0004】
<第1の従来の技術>
図9は、第1の従来の技術を示す基板搬入搬出装置の側面図である。当該基板搬入搬出装置は、基板搬入搬出部60と、この基板搬入搬出部60に対して清浄な雰囲気下でカセットの受け渡しをするためのカセット移載装置50とが着設されている。また基板搬入搬出部60の右側には図示しない基板処理ユニットが存在し、基板搬入搬出部60はカセット内の基板をその基板処理ユニットに渡し、そして基板処理ユニットにおいて所定の処理が終了した基板を受け取り再びカセット内に基板を納める。
【0005】
カセット移載部50は載置台51と昇降台52およびその他の機構から成り、昇降台52は、はじめ図の点線で示す位置にあり、カセットを移載する際に、矢印F1の方向に上昇する構成となっている。カセットが納められたケース53は、図の点線で示すように載置台51上(図のAの位置)に載置される。このときのカセットの位置はC1である。そしてカセット移載部50は、ケース53が載置されたことを認識すると、昇降台52を上昇させる。これに対し載置台51及びケース53の底部は移動しない。このときケース53はその底部が切り離され、図の実線で示すようにケース部分のみが上昇し(図のBの位置)、ケースの底部は上昇しない。したがって、カセットも元の位置(図のC1の位置)に留まっている。ここまでの動作でカセットはケース53から取り出されたことになる。そしてロボットアームなどのカセット移載手段によって矢印F2に示されるようにカセットをC1の位置からC2の位置に移載すれば基板搬入搬出部60にカセットが移載されたことになる。ここで基板搬入搬出部60には装置内部を清浄雰囲気とするための機構61が設けられており、矢印F3のように清浄空気のダウンフローが形成されている。なお、図中の符号Wは基板を示す。
【0006】
このように図9に示す装置は、ケース内を清浄雰囲気とし、その中にカセットを収納することによって、処理対象である基板を装置外部に晒すことがないため、クリーンルーム全体のクリーン度を高くする必要がなくなっている。
【0007】
<第2の従来の技術>
図10は、第2の従来の技術を示す基板移載装置の側面図である。図10に示すように、この装置は所定の処理を行う処理ユニットとの間で基板Wの搬入搬出を行う。清浄雰囲気に保たれたケース1内に、基板収容用のカセットが入れられている。まず、当該ケース1を載置台6の上に置く。そしてコントローラ15にケース1が置かれたことが伝わると、コントローラ15は載置台6に設置されたロック解除機構を駆動することによってケース1とケースの底部5を固定しているロックを解除し、それぞれを切り離す。
【0008】
その後図示のようにボールネジ2をモータなどの回転駆動機構(図示せず)によって回転させることによって載置台6を下降させる。ここで載置台6の大きさはケース1の底面積よりも小さいので、ケース1は下降しない。載置台6が下降することによってケース1の底部5が載置台6と共に降下するため、カセットCも同様に下降させられる。また、この下降時にテーブルに設置されたセンサ3,4によって基板の有無を検出するように構成されている。したがって、カセットCを下降させていって、基板WがカセットCの棚に収容されていることを検出すれば、移載アーム12によってその棚から基板Wを取り出し、処理ユニットに搬送する。また、カセットCの棚に基板が収容されていない場合は移載アーム12の移載動作は行なわれず、つぎの棚を調べる。以下同様の動作を継続する。
【0009】
移載アーム12の移載動作は、アーム軸13の回転運動,アーム台11のX軸方向への伸縮運動によって実現されている。また当該装置内部を清浄にするためのULPA(Ultra Low Penetration Air)フィルタ7,8およびファン9,10を備えている。また制御装置としてコントローラ15が設けられている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の技術において、つぎのような課題がある。
【0011】
第1の従来の技術については、従来の基板搬入搬出部60のカセット搬出入口にカセット移載部50を設置したものであるため、処理ユニットまで含めた装置全体の設置面積が大きくなるという課題がある。
【0012】
第2の従来の技術については、カセットCを下降させる際に、まずカセットの最下段の棚に基板が収容されているか否かをセンサ3,4によって識別し、収容されていれば移載アーム12によって基板移載動作が行われる。この当該基板移載動作においてカセットCから基板を取り出した後は、移載アーム12の動作とカセットCの下降の処理の2つが同時に動作することになる。そしてカセットCの棚の1段分だけ下降させ、再びセンサ3,4によって基板が収容されているか否かを識別する。収容されていれば、その棚に収容されている基板を移載アーム12によって受け取ることができる位置まで移載アーム12を下降(−Z方向)させる。ここで移載アーム12のZ軸方向の可動幅は、基板1枚をカセットの棚から受け取り、または載置するために必要かつ十分な範囲である。したがって、基板を取り出す棚、または、処理が終了した基板を収容する棚は、カセットCをZ軸方向に移動(降下または上昇)させることによって、移載アーム12の移載処理が行える位置に移動されるような構成となっている。すなわち、基板の収容位置が連続的でなく不規則であり、カセットの一部に基板の収容されていない棚がある場合には、センサ3,4によって基板の有無を検出した後、移載アーム12の駆動をすることができず、基板を感知するまで再びカセットCを移動させることが必要になる。すなわち、その間は移載アーム12に休止時間が発生する問題がある。
【0013】
また、コントローラ15からの動作命令により、カセットCを下降させて、センサ3,4により基板の存在を検出すればカセットCを所望の高さで停止させて移載アーム12が基板の移載動作を行うという動作を繰り返し行う。このような装置構成での問題点は、基板のカセットCからの取り出し、またはカセットCへの収容の動作ごとに、カセット内の棚における基板の有無を検出して移載アーム12とボールネジ2などの昇降手段の2系統を動作させねばならず、カセットCに対する基板の出し入れに時間を要して装置のスループットを低下させるとともに制御が複雑となっている。
【0014】
この発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、装置全体の設置面積を大きくすることなく、そして移載アームを休止させることがなく、さらに基板1枚に対する動作の度に基板の有無を検出する必要がなく、かつ、装置のスループットを向上させることができる基板移載装置を提供し、これを利用することによってクリーンルームのクリーン度を高めることなく基板を外部雰囲気に晒すことのない基板搬入搬出装置を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、複数枚の基板を収容可能な基板収容器から1枚の基板を取り出して所定の処理を行う処理ユニットに向けて搬出するとともに、処理ユニットにおいて処理が終了した基板を処理ユニットから搬入して基板収容器に収容する基板搬入搬出装置において、基板収容器が載置される載置台と、前記基板収容器が載置された載置台を昇降させることにより、前記基板収容器を外部雰囲気から遮蔽するように収納する遮蔽容器から前記基板搬入搬出装置の内部へ、前記基板収容器を外部雰囲気に晒すことなく搬送する昇降手段と、昇降手段による基板収容器の昇降中に、その基板収容器に収容されている基板の位置を認識する収容位置認識手段と、収容位置認識手段によって認識された基板の位置に関する位置情報を記憶する記憶手段と、基板収容器と処理ユニットとの間で基板の搬送を行う基板搬送手段と、記憶手段に記憶された位置情報に基づいて、基板搬送手段の動作を制御する制御手段と、フィルタによって清浄化された空気を前記基板搬入搬出装置の内部へ吹き出して、前記基板収容器が載置された載置台の近傍に、上方向への清浄な空気流を形成する清浄化手段とを備えている。
【0017】
請求項3に記載の発明は、請求項1記載の基板搬入搬出装置において、複数の基板収容器が収容可能なように、複数の載置台と、各載置台を昇降させる複数の昇降手段と、昇降手段による基板収容器の昇降中にその基板収容器に収容されている基板の位置を認識する複数の収容位置認識手段とを備えている。
【0018】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の実施の形態の基板搬入搬出装置の側面図であり、図2はその概念的平面図である。図に示すように、清浄雰囲気下で処理を行うために、基板Wは装置外の雰囲気に晒されることがない構造となっている。すなわち、基板Wが収容されたカセットCは、ケース1に底部5が取り付けられ、清浄な雰囲気の中に収容されており、この状態で搬送され、載置台6の上に載置される。ケース1と底部5の切り離しにおいても、装置外雰囲気は遮蔽された状態となっており、カセットCは清浄な雰囲気の下で装置内に搬入され、基板Wを個別に処理ユニット30に搬送する構成となっている。
【0019】
底部5と載置台6との接合面は略合致するような構成となっており、ケース1の下部はテーブル21によって支持される。そしてコントローラ15からの命令により載置台6に設けられたロック解除ピンを作動させることによって、連結されているケース1と底部5を切り離し、それぞれが分離できるようになる。この状態で、コントローラ15が図示しないモータに対して駆動信号を与え、モータを駆動させ、ボールネジ2を回転させることによって、載置台6を昇降させることができる。そして、ケース1と底部5は切り離されているため、カセットCは載置台6の下降とともに、ケース1内から取り出される。このときも、カセットCは装置外部の雰囲気と接触することがないため、基板Wは清浄に保たれている。ここで、ケース1とテーブル21の接触箇所は、装置外部雰囲気を装置内部に混入させないために、密着することが必要である。
【0020】
最初にカセットCをケース1内から取り出す際に、載置台6は停止することなく最下位置まで移動する(図1参照)。この移動中にセンサ3,4は、カセットCの各棚に基板Wが収容されているか否かを認識し、基板Wが収容されていればその収容位置を記憶部に記憶する。すなわち、ケース1が載置された後、載置台6が最下位置まで降下するまでの間にカセットCに収容されている基板Wの収容位置を記憶することができる。
【0021】
そして載置台6が最下位置まで降下すると、コントローラ15は、記憶部に記憶された基板Wの収容位置情報を読み出し、移載アーム駆動部に駆動命令を出力する。移載アーム駆動部は、Z軸方向に伸縮可能であり、さらにXY平面内において回転可能であるアーム軸13と、アーム台11と、基板Wを載せて搬送するためのX軸方向に伸縮可能な移載アーム12を有している。なお、アーム台11には、基板Wを処理ユニット30に搬送する際には移載アーム12上から基板Wを持ち上げて、図2に示す処理ユニット30の基板搬送路32に設けられた搬送ロボットTRに基板Wを渡し、また逆に基板Wを処理ユニット30から搬入する際には搬送ロボットTRから基板Wを受け取った後に下降して移載アーム12に基板Wを移載する3本の昇降ピン70が設けられている。この昇降ピン70は、図示しないシリンダ等の昇降手段により駆動される。さらに、載置台6がY軸方向に複数並設されている場合には、当該移載アーム駆動部にはY軸方向の移動成分が設けられる。移載アーム駆動部のその他の構成の形態としては、アーム台11のZ軸方向にボールネジが挿通されており、当該ボールネジを回転させることによって、アーム台11がZ軸方向に移動(昇降)する構成であり、また、アーム台11による移載アーム12のX軸方向の移動も、アーム台11に設けられたボールネジの回転によって移載アーム12が移動する構成とすることができる。カセットCに、または処理ユニット30の基板受け渡し位置に基板Wを搬送する際に必要な移載アーム12の上下動は、アーム軸13のZ軸方向の移動によって行っても良いし、またアーム台11に設けられた基板の受け取りおよび載置のためのZ軸駆動手段を有しても良い。
【0022】
例えば、図1に示すように、カセットCに収容されている基板Wを処理ユニット30に搬出する場合を考える。載置台6は既に最下位置まで降下しているため、コントローラ15はカセットCのどの位置に基板が収容されているか認識している。そしてコントローラ15の命令により、移載アーム12,アーム台11,アーム軸13から成る移載アーム駆動部を動作させ、基板Wを受け取る。このとき記憶部に記憶されている基板の収容位置情報を更新する。そして、移載アーム12を収縮させる。その後、アーム軸13を回転させながら、基板入出口20を介して処理ユニット30との基板Wの受け渡しができる基板受け渡し位置までアーム台11を上昇させる。そして、昇降ピン70を上昇させて基板Wを持ち上げて保持し、処理ユニット30側の基板受け取り準備が整っていれば、処理ユニット30の基板搬送路32に設けられた搬送ロボットTRを、前記基板受け渡し位置まで移動させて昇降ピン70上の基板Wを受け取らせることで、基板Wを処理ユニット30に搬出する。
【0023】
逆に、処理ユニット30において所定の処理が終了した基板Wは、処理ユニット30の基板搬送路32に設けられた搬送ロボットTRから昇降ピン70に渡され、その後、昇降ピン70が下降することで基板Wが移載アーム12によって受け取られる。そして、アーム軸13が回転しながら、アーム台11は下降し、カセットCの所定の棚に基板Wを収納できる位置で停止する。そして、移載アーム12がカセットCに向かって伸び、基板Wを載置する。
【0024】
カセットCに処理済みの基板Wがすべて収容されると、コントローラ15の命令により載置台6が上昇し、ケース1内にカセットCが納めされる。そして、ロック解除ピンを動作させ、ケース1と底部5とを止着する。
【0025】
通常、移載アーム駆動部は高速動作が可能であり、載置台6の昇降動作は低速動作である。カセットCには、複数枚の基板Wが収容されているため、高速に動作させると、基板Wへのパーティクル汚染が懸念されるためである。したがって、基板Wの移載動作に関しては、低速の載置台6を昇降させることなく、高速の移載アーム駆動部のみを駆動させるため効率が上がる。
【0026】
なお、当該基板搬入搬出装置内は清浄雰囲気に保つ必要があるため、ファン9,10およびULPAフィルタ7,8が設けられている。
【0027】
図2において、先に説明したように、Y軸方向に複数のケース1が載置できるような構成となっている。したがって、アーム台11を含む移載アーム駆動部はY軸方向に移動できるように移載スペース34が設けられている。移載アーム駆動部のアーム軸がθ方向に回転することにより、アーム台11もθ方向に回動する。
【0028】
なお、処理ユニット30には加熱処理,冷却処理およびその他の所定の処理などを行う処理部群31,33が設置されており、処理ユニット30の搬送ロボットTRはこれら処理部群31,33との基板Wの受け渡しを行う。
【0029】
つぎに、図1において載置台6が降下する際に基板Wの有無を検出するセンサ3,4について説明する。図3は、基板Wの有無を認識するセンサ3,4を示す図である。当該センサ3,4は1組の光電式センサであり、センサ3が投光部であり、センサ4が受光部である。したがって、載置台6が降下することによって、基板Wも降下し、センサ3,4の間を通過する。はじめ、センサ3から出射した光は受光部であるセンサ4に受光されているが、基板W3がセンサ3,4の光路中を通過するときは、基板W3によって遮光されるためセンサ4には光が届かない。そして、基板W3がさらに降下すると、再びセンサ4は、センサ3からの光を受光する。しかし、つぎに基板W2が光路を遮るため、センサ4は再びセンサ3の光を受光することができなくなる。以下同様の動作をくり返し、センサ4の出力を監視することによって基板Wの存在が認識できる。また、基板WがカセットCのどの棚に収納されているかについては、ボールネジを回転駆動させるモータをどれだけ回転させたかを記憶しておけば良い。
【0030】
さらに、別の方法としては、基板Wの有無を検出するセンサ3,4だけでなく、カセットに形成された基板収容のための棚を検出する棚検出用センサを設け、棚検出用センサの出力信号とセンサ4の出力信号(基板Wの有無の検出結果)とを対応付けて記憶することにより、基板Wがどの位置の棚に収容されているかを認識することができる。また、センサ3,4は光電式センサに限らず、非接触式磁気センサなどのような非接触で基板Wの存在を認識できるものであれば良い。
【0031】
つぎに、この発明の基板搬入搬出装置の制御機構について説明する。図4は、この発明の基板搬入搬出装置の制御機構を示すブロック図である。図において、点線で囲まれた部分はコントローラ15(図1参照)の内部に位置し、CPU40とメモリや磁気ディスク等の電気的または磁気的に記憶可能な記憶部41が設けられている。基板の有無を認識するセンサ4の出力はコントローラ15内のCPU40に接続されており、基板の有無を伝えることができる。なお、図示していないが先に述べたようなカセットに形成された棚を検出するセンサが他に設けられている場合には、そのセンサの出力もCPU40に接続されることになる。そしてCPU40には、記憶部41が接続されるとともに、載置台を昇降させるためのモータ43および基板を処理ユニット30に搬出するための移載アーム駆動部44に接続されている。
【0032】
このような制御機構により、実現されている処理シーケンスについて説明する。図5および図6は、この発明の基板搬入搬出装置の処理シーケンスを示すフローチャートである。カセットCが納められたケース1が載置台6に載置されたことをCPU40が認識すると、ケース1と底部5とが切り離される。CPU40は、モータ43に対して駆動信号を出力し、載置台6を降下させ、センサ4からの出力を監視しておき、カセットCにおいて基板Wの収容されている位置およびその枚数を記憶部41に記憶する(ステップS1)。そして載置台6が最下位置まで降下すると、CPU40は、ステップS1で記憶した基板Wの収容位置と収容枚数を記憶部41より読み出す(ステップS2)。そしてステップS2より読み出した基板収容位置と基板収容枚数に基づいて、CPU40は移載アーム駆動部44に対して駆動信号を出力し、移載アームを動作させることによって処理ユニット30に基板Wを搬出するとともに、基板Wの収容枚数を更新する(ステップS3)。そして、はじめにカセットCに収容されていた基板Wの搬出をすべて完了すると処理は終了する。
【0033】
なお、処理ユニット30において基板の処理が終了した際に、処理済みの基板を処理ユニット30からカセットに搬入する処理は、図5の処理に割り込み処理が行われる。処理ユニット30において基板の処理が終了し、基板搬入搬出装置に対して当該処理済みの基板を渡す準備が整ったことをCPU40が認識すると、図5の処理に割り込みが発生する。
【0034】
図5におけるステップS1の処理を図6により詳しく説明する。カセットCが納められたケース1が載置台6に載置されたことをCPU40が認識すると、ケース1と底部5とが切り離される(ステップS11)。そしてCPU40がモータ43を駆動する(ステップS12)。このステップS12により、載置台6が降下するため、同時にカセットCも降下する。そして、カセットCが降下し始めると、CPU40は、基板の有無を検出するセンサ3,4からの検出結果を監視する(ステップS13)。なお、先に説明しているように、この実施の形態においては、センサ3が投光側、センサ4が受光側であるため、基板の有無の検出はセンサ4の出力を監視することによって行われる。この監視の結果、基板が存在するか否かが判断され(ステップS14)、基板が存在している場合は、基板の収容位置と基板の収容枚数が記憶される(ステップS15)。基板が存在しなかった場合は、ステップS15の処理は行われない。そして、載置台6が最下位置まで降下し、モータが停止したか否かを判断し、まだ載置台6が降下途中であれば、再びセンサからの出力を監視するステップS13に処理は戻される(ステップS16)。ここでモータが停止していれば、図5のステップS1の処理は終了する。
【0035】
なお、図2に示すようにY軸方向に複数のケース1が載置できるような構成となっている場合には、移載アーム駆動部44は複数のカセットに対して移載動作を行うため、移載動作に関しては、優先順位を設けた割り込み処理などが行われる。
【0036】
ここで、図4に示した制御機構と異なる制御機構を構成した場合を図7に示し、説明する。図7は、この発明の基板搬入搬出装置の制御機構を示すブロック図であり、図4とは異なる構成となっている。図7に示す構成の場合は、CPUを複数個備えている。すなわち、センサ42,モータ43,記憶部46,CPU45は、1つの載置台6を昇降させ、そのカセットCに収容された基板Wを検出するための昇降制御機構となっている。したがって、図2に示すように、複数個のケース1を設置するために、載置台6が複数個設けられている場合には、それぞれに当該昇降制御機構が設けられている。ここでは説明を簡単にするために、当該昇降制御機構が1つ設置されている例について述べる。
【0037】
まず、センサ42は、基板の有無を認識するためのセンサである。センサ42の出力信号はCPU45に送られ、CPU45は基板の有無を検出することができる。また、モータ43は、載置台6を昇降をさせるための駆動装置であり、記憶部46は、基板の収容されている位置および収容枚数などを記憶しておく。載置台6が最下位置まで降下完了し、記憶部46に基板の収容位置などが記憶されると、CPU45は記憶部46に記憶されている内容をコントローラ15の内部に設けられたCPU40に転送する。CPU40は、CPU45から送られてきた内容をコントローラ15内に設けられた記憶部41に記憶させる。したがって、基板を移載する際に、CPU40は、記憶部41に記憶された内容から基板収容位置情報などを読み出し、その情報に基づいて、移載アーム駆動部44を駆動する。
【0038】
このように、図7のような構成であると、CPU40は、載置台6の昇降および基板の有無の監視をする必要がないため、処理部の制御や、基板の搬入搬出処理のみを行え、効率的に処理ができる。また、複数個の載置台6が設けられている場合には、それぞれのカセットの基板検出は、個別に設けられたCPUが処理するため、CPU40による基板の搬入搬出動作を止めることなく、処理できる。なお、1つのカセットについて基板処理を行う場合、CPU40とCPU45間の通信は、基板収容位置情報を送受信するときと、処理済み基板をカセットに収容完了したときの2回である。CPU45は、CPU40から処理済み基板の収容完了の信号を受信すると、モータ43に駆動信号を出力し、載置台6を上昇させ、カセットをケース1内に収納する。
【0039】
この発明の基板搬入搬出装置は、基板を装置外雰囲気に晒すことなく所定の処理を行う処理ユニットに基板を搬出するための装置であるため、当該装置内は清浄な雰囲気を保つ必要がある。この清浄化の手段について図8に基づき説明する。図8は、この発明の基板搬入搬出装置の内部雰囲気の清浄化装置を示す側面図である。図に示すように、載置台6の下方と、移載アーム12の上方に、ULPAフィルタ7,8とファン9,10が設けられている。まず載置台6下方における清浄化については、上方向に清浄な空気流が形成されている。そして、装置内の空気は装置側面より吸収され、再びファン9によって上昇流となる。そして、装置内部に吹き出す際には、ULPAフィルタ7によって、清浄化される。つぎに移載アーム12上方における清浄化については、ファン10によって下降流が形成され、装置内部に吹き出す前に、ULPAフィルタ8によって清浄化される。そして、移載アーム12下方から吸い込まれている。以上のような構成により装置内は、清浄に保たれている。
【0040】
そして、他の装置間の基板の搬送は、基板が収容されたカセットが納められたケースをAGV(自走型搬送車)が行うことができる構成となっている。なお、人が装置間の基板の搬送を行っても良い。このときも基板がケース内に納められているため、外部雰囲気に晒されることはない。したがって、この発明の基板搬入搬出装置を利用すれば、クリーンルーム全体のクリーン度を高める必要がない。
【0041】
これまで説明した実施の形態においては、図1に示すように遮蔽容器はケース1と底部5からなり、載置台6を降下させることによって底部5を降下させ、カセットCをケース1内から取り出していたが、別の実施の形態として、つぎのようなものが考えられる。載置台が固定された状態であり、ケースを支持しているテーブルが上昇することによって、カセットをケース内部から取り出すことができる。この際もテーブルにセンサを設けておけば、テーブルが上昇している間にカセットのどの位置に基板Wが収容されているかが認識できる。すなわち、遮蔽容器内からカセットを取り出し、基板の収容位置を認識する方法は、載置台を降下させることのみではなく、ケースが支持されているテーブル部分を上昇させることによっても実現可能である。
【0042】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の基板搬入搬出装置においては、カセット移載部を併設する必要がないので、装置全体の設置面積は大きくはならない。
【0043】
請求項1に記載の発明によれば、基板の収容位置は基板収容器をはじめに昇降させる間に認識するため、基板の搬入もしくは搬出処理中に、基板認識のためにアームを停止させる必要がなく、効率的な搬入搬出処理が行える。また、基板搬送手段が動作中は、カセットを昇降させる必要がないので、煩雑な処理がないため、CPUによる制御対象が少なくなり、効率的な処理が可能となる。さらに、基板収容器からの基板の取り出しにあたっては、その都度基板の有無を調べて基板搬送手段の動作と基板収納容器の昇降動作とを交互に行う必要が無いため、基板の搬出動作を迅速に行え、スループットの向上に寄与することができる。さらに、基板を清浄な雰囲気の中で処理でき、装置外部の雰囲気に晒されることがないため、当該装置を設置するクリーンルーム全体をクリーン度の高い清浄な雰囲気とする必要がなく設備投資額が少なくなる。
【0045】
請求項2に記載の発明によれば、複数個のカセットに対して、基板の搬入搬出処理が行えるため、装置全体の処理能力が上がる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態の基板搬入搬出装置の側面図である。
【図2】この発明の実施の形態の基板搬入搬出装置の概念的平面図である。
【図3】この発明の基板搬入搬出装置の基板の収容位置を認識する手段を示す図である。
【図4】この発明の基板搬入搬出装置の制御機構を示す機能ブロック図である。
【図5】この発明の基板搬入搬出装置の処理シーケンスを示すフローチャートである。
【図6】この発明の基板搬入搬出装置の処理シーケンスを示すフローチャートである。
【図7】この発明の基板搬入搬出装置の制御機構を示す機能ブロック図である。
【図8】この発明の基板搬入搬出装置の内部雰囲気の清浄化装置を示す側面図である。
【図9】第1の従来の技術を示す基板搬入搬出装置の側面図である。
【図10】第2の従来の技術を示す基板搬入搬出装置の側面図である。
【符号の説明】
1 ケース
2 ボールネジ
3,4 センサ
5 底部
6 載置台
7,8 ULPAフィルタ
9,10 ファン
11 アーム台
12 移載アーム
13 アーム軸
15 コントローラ
30 処理部
40 CPU
41 記憶部
43 モータ
44 移載アーム駆動部
C カセット
W 基板
Claims (2)
- 複数枚の基板を収容可能な基板収容器から1枚の基板を取り出して所定の処理を行う処理ユニットに向けて搬出するとともに、処理ユニットにおいて処理が終了した基板を処理ユニットから搬入して基板収容器に収容する基板搬入搬出装置において、
基板収容器が載置される載置台と、
前記基板収容器が載置された載置台を昇降させることにより、前記基板収容器を外部雰囲気から遮蔽するように収納する遮蔽容器から前記基板搬入搬出装置の内部へ、前記基板収容器を外部雰囲気に晒すことなく搬送する昇降手段と、
昇降手段による基板収容器の昇降中に、その基板収容器に収容されている基板の位置を認識する収容位置認識手段と、
収容位置認識手段によって認識された基板の位置に関する位置情報を記憶する記憶手段と、
基板収容器と処理ユニットとの間で基板の搬送を行う基板搬送手段と、
記憶手段に記憶された位置情報に基づいて、基板搬送手段の動作を制御する制御手段と、
フィルタによって清浄化された空気を前記基板搬入搬出装置の内部へ吹き出して、前記基板収容器が載置された載置台の近傍に、上方向への清浄な空気流を形成する清浄化手段と、
を備えることを特徴とする基板搬入搬出装置。 - 請求項1記載の基板搬入搬出装置において、複数の基板収容器が収容可能なように、
複数の載置台と、
各載置台を昇降させる複数の昇降手段と、
昇降手段による基板収容器の昇降中にその基板収容器に収容されている基板の位置を認識する複数の収容位置認識手段と、
を備えることを特徴とする基板搬入搬出装置。
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-
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