KR100650807B1

KR100650807B1 - 기판반송장치, 처리장치, 기판의 처리시스템, 반송방법, 수납장치 및 수용박스

Info

Publication number: KR100650807B1
Application number: KR1020000033210A
Authority: KR
Inventors: 오타요시하루; 다테야마기요히사; 아라키신이치로; 이와사키다쓰야; 아나이노리유키; 이와쓰하루오
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 1999-06-17
Filing date: 2000-06-16
Publication date: 2006-11-27
Also published as: JP2001060610A; KR20010021000A; TW459274B

Abstract

상자모양으로 형성된 수용박스의 내부에 처리대상이 되는 유리기판을 지지함과 동시에 송풍팬에 의해 기판출입구 형성면에 대향하는 면 측으로부터 해당 기판출입구를 통하여 외부로 흐르는 기류(氣流)를 형성하고 있다. 이 때문에 기판출입구가 상시 열려 있어도 수용박스 밖에 부유(浮游)하는 파티클이 수용박스 안으로 침입하는 것은 없다. 따라서 유리기판의 반송영역을 클린환경으로 할 필요가 없어져, 클린환경의 형성코스트를 큰 폭으로 삭감하는 것이 가능하다. 또 기판출입구가 상시 열려 있어, 해당 기판출입구를 개폐하는 개폐기구가 설치되어 있지 않으므로, 기판의 전달을 신속히 행하는 것이 가능하다.

Description

기판반송장치, 처리장치, 기판의 처리시스템, 반송방법, 수납장치 및 수용박스{Substrate transporting apparatus, processing apparatus, processing system for substrate, transporting method, receiving apparatus and accommodating box}

도 1은, 본 발명의 처리시스템의 실시형태를 나타내는 사시도이다.

도 2는, 상기 실시형태에서 사용한 로더/언로더의 구성을 설명하기 위한 도면이다.

도 3은, 본 발명의 기판반송장치의 실시형태를 나타내는 사시도이다.

도 4는 상기 실시형태에 관련된 기판반송장치를 나타내는 측면도이다.

도 5는 상기 실시형태에서 사용한 수용박스를 나타내는 사시도이다.

도 6은, 도 5의 A-A선 단면도이다.

도 7은 기판반송장치에 수용박스를 재치할 때의 위치관계를 모식적으로 나타내는 도면이다.

도 8은 기판반송장치로부터 재치대로 수용박스를 전달하는 과정을 설명하기 위한 모식도이다.

도 9는, 본 발명의 처리장치의 실시형태를 모식적으로 나타내는 도면이다.

도 10은, 본 발명의 다른 실시형태에 관련된 스톡커의 측면도이다.

도 11은, 본 발명의 또 다른 실시형태에 있어서 스톡커의 측면도이다.

도 12는, 본 발명에 관련된 수용박스의 다른 예를 나타내는 도면이다.

도 13은, 도 12에 나타낸 수용박스의 설명도(그중 1)이다.

도 14는, 도 12에 나타낸 수용박스의 설명도(그중 2)이다.

도 15는 본 발명에 관련된 수용박스의 또 다른 예를 나타낸 도면이다.

도 16은 도 15에 나타낸 수용박스의 변형 사용예를 나타내는 도면이다.

도 17은 본 발명에 관련된 수용박스의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 제 1의 반송로 11 : 제 2의 반송로

40 : 기판반송장치 41 : 반송방향 이동체

43 : 회전축 45 : 접근이탈방향 이동체

49 : 송풍팬 50 : 수용박스

51 : 기판출입구 54 : 기판지지부

60 : 처리장치 60a : 반입출구

62 : 처리부 65 : 재치대

70 : 중계용 반송기구 74 : 전달부재

G : 유리기판

본 발명은, 예를 들어 액정디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD)에 사용되어지는 유리기판 등의 피처리기판 상에 도포·현상처리를 행하는 도포·현상처리 등의 처리장치에 대하여, 피처리기판을 반입출하기 위하여 사용되는 기판반송장치 및 기판의 반송방법에 관한 것이다.

또, 본 발명은 이러한 기판반송장치와의 사이에서 기판의 전달을 행하는데 적절한 기구를 준비한 처리장치에 관한 것이다. 더욱이, 본 발명은 관련된 기판반송장치와 처리장치를 준비한 기판의 처리시스템에 관한 것이다.

LCD의 제조공정에 있어서는, LCD용의 유리기판상에 ITO(Indium Tin Oxide)의 박막(薄膜)이나 전극(電極)패턴을 형성하기 위하여, 반도체 디바이스의 제조에 사용되어지는 것과 같은 포토리소그래피 기술이 이용된다. 포토리소그래피 기술에는, 포토레지스트를 세정한 기판에 도포하며, 이것을 노광(露光)하고, 더 나아가 현상한다.

피처리기판인 유리기판은, 기판반송장치에 유지되어 반송로상을 이동하여, 종류별의 처리장치에 반입되며, 각 처리장치에서 처리된 후에 반출되어 다시 기판반송장치에 의해 다음 공정으로 반송된다.

상술한 바와 같이 제조공정에 있어서는, 기판에 이물질(파티클)이 부착되지 않는 환경하에서 행할 필요가 있으며, 통상은 상기 각종의 처리장치를 클린룸 (Clean Room) 내에 설치하거나, 장치 내외의 기판반송영역에 HEPA 필터를 설치하여 저 파티클 환경을 형성하고 있다.

그러나, 상기 수단으로는, 클린룸 전체 또는 기판반송영역 전체라는 넓은 범위를 클린환경으로 할 필요가 있기 때문에, 그 코스트가 비싸게 든다는 문제가 있었다. 특히 생산효율을 높이기 위하여, 도포·현상장치뿐만 아니라, 그 밖의 처리장치, 예를 들어 CVD장치, 엣쳐 (Etcher), 앗셔 등도 포함하여 1라인화하는 시스템이 재고되고 있지만, 클린환경을 형성하는 범위가 더욱 광범위해지므로, 그것을 위해 코스트가 더 높아질 우려가 있다.

본 발명의 목적은, 클린화의 필요가 있는 공간을 가능한 한 작게 하는 것이 가능한 기판반송장치, 처리장치, 기판의 처리시스템 및 기판의 반송방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명자가 면밀히 검토한 결과, 우선 처리대상인 기판을 외부공간과 격리가능한 박스 내에 수용하는 것에 착안하였다. 그러나 이러한 경우에는, 기판의 출입시에, 기판출입구를 열 필요가 있는데, 그 때에 외부 파티클이 기판에 부착하지 않도록 하는 복잡한 구조의 개폐기구를 설치할 필요가 있다. 또 기판의 출입 때마다 이 개폐기구의 개폐조작이 필요하며 제어도 복잡하게 된다. 이 때문에 기판을 박스 내에 수용하는 한편, 기판출입구를 항시 열어둔 상태에서도 외부 파티클이 박스 안으로 침입하지 않는 방법을 검토하여, 본 발명품을 완성하게 되었다.

즉, 본 발명의 기판반송장치는, 반송로를 따라 이동가능한 반송방향 이동체와, 상기 반송방향 이동체에 대하여, 수평방향으로 회전가능한 회전축을 개재하여 지지되고, 각 처리장치의 반입출구에 대치한 자세에서 해당 반입출구에서 붙거나 떨어지는 방향으로 이동가능하며, 또한 내부에서 처리대상이 되는 기판을 지지하는 기판지지부와, 기판의 출입을 행하기 위하여 항시 열려 있는 기판출입구와, 내부를 양압(陽壓)으로 유지하기 위해 압력제어기구를 준비한 상자형 수용박스를 지지가능한 접근이탈방향 이동체를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 1 기재의 본 발명의 기판반송장치에서는, 상자형으로 형성된 수용박스의 내부에서 처리대상이 되는 기판을 지지하고 있음과 동시에, 압력제어기구에 의해 해당 수용박스 내부가 양압으로 유지되어 있다. 이 때문에 기판출입구가 항시 열려 있어도, 수용박스 밖에 부유(浮遊)하는 파티클이 수용박스 내로 침입하는 것이 없다. 따라서 기판의 반송영역을 클린환경으로 할 필요가 없어져, 클린환경의 형성코스트를 크게 절감하는 것이 가능하다. 또 기판출입구가 상시 열려 있어, 해당 기판출입구를 개폐하는 개폐기구가 설치되어 있지 않으므로, 기판의 전달을 신속하게 행할 수 있다.

아래와 같이 본 발명의 실시형태를 도면을 토대로 설명한다. 먼저 도 1을 기초로 한 본 발명의 기판처리시스템의 한 예로서, 도포·현상처리시스템의 전체 구조에 대하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 이 도포·현상처리시스템(1)의 전방에는 유리기판 (G)을 수용한 수용박스(50)(도 2 참조)를 도포·현상처리시스템(1)에 대하여 반입출하는 로더·언로더부가 설치되어 있다. 이 로더·언로더부에서는, 수용박스(50)를 복수 수납한 카세트(C)를 소정위치에 정렬시켜 재치시킨 카세트 재치대(3)와, 각 카세트(C)로부터 처리해야 할 유리기판 (G)을 수용한 수용박스(50)를 꺼내고, 또 도포·현상처리시스템(1)에 있어서 처리종료한 유리기판(G)을 수용한 수용박스 (50)를 각 카세트(C)로 되돌리는 로더·언로더부(4)가 설치되어 있다. 로더·언로더(4)는, 본체(5)의 주행에 의해 카세트(C)의 배열방향으로 이동하여, 본체(5)에 탑재된 판형상체(6)에 수용박스(50)를 재치하여 후술하는 기판반송장치(40)에 해당 수용박스(50)을 전달하는 것이다.

보다 구체적으로는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 후술하는 본 실시형태에 관련된 기판반송장치(40)가 유리기판(G) 그 자체가 아니라, 유리기판(G)을 수용한 수용박스(50)를 반송하는 구조로서, 해당 기판반송장치(40)에 설치되어 접근이탈방향 이동체(45)의 한쌍의 아암(47,48)에 의해 수용박스(50) 저면의 양측 가장자리부근을 지지하는 구조이다. 따라서 기판반송장치 (40)가 로더·언로더(4)로부터 수용박스(50)를 받을 때에는 한쌍의 아암(47,48)에 의해 수용박스(50) 저면의 양측 가장자리부분을 지지하기 쉽게 할 필요가 있다. 이를 위하여 본 실시형태에서 사용하는 로더·언로더(4)는, 수용박스(50)보다도 폭이 좁고 전후 동작이 가능한 판형상체 (6)을 가지며, 이 판형상체(6)에 수용박스(50)을 재치하는 구조의 것을 사용하고 있다. 또한 부호(5a)는 이 판형상체(6)를 전후 동작이 가능하게 지지하는 지지판, (5b)는 해당 지지판(5a)을 회전가능하게 지지하는 회전축, (5c)는 임의의 카세트 (C)에 액세스할 수 있도록 이동이 가능함과 동시에, 회전축(5b)을 상하 동작이 가능하게 지지하는 이동체이며, 이 지지판 (5a), 회전축(5b) 및 이동체(5c)에 의해 본체(5)가 구성되어 있다.

도포·현상처리시스템(1)의 중앙부에는 길이방향으로 배치된 복도형태의 반송로(10,11)가 전달부(12)를 개재하여 일직선상으로 설치되어 있으며, 이 반송로 (10,11)의 양측에는, 유리기판(G)에 대하여 각 처리를 행하기 위한 각종 처리장치가 배치되어 있다.

도에 나타낸 도포·현상처리시스템(1)에 있어서는, 반송로(10)의 한쪽에 유리기판(G)을 브러시 세정함과 동시에, 고압젯트수에 의해 세정을 행하기 위한 세정장치(16)가 예를 들어 2대 나란히 설치되어 있다. 또한 반송로(10)를 사이에 두고 반대측으로 2기의 현상장치 (17)가 병설되고 그 옆에 2기의 가열장치(18)가 쌓여 설치되어 있다.

또한, 반송로(11)의 한쪽편에, 유리기판(G)에 레지스트액을 도포하기 전에 유리기판 (G)를 소수처리하는 어드히젼장치(20)가 설치되어, 이 어드히젼장치(20)의 아래쪽에는 냉각용의 쿨링장치(21)가 배치되어 있다. 또한 이들 어드히젼장치 (20)와 쿨링장치(21)의 옆에는 가열장치(22)가 2열로 2개씩 쌓여 배치되어 있다. 또 반송로(11)를 사이에 두고 반대측에, 유리기판 (G)의 표면에 레지스트액을 도포함으로써 유리기판(G)의 표면에 레지스트막을 형성하는 레지스트 도포장치(23)가 배치되어 있다. 도면에는 나타내지 않았지만, 이들 도포장치(23)의 옆쪽부에는, 유리기판(G)에 형성된 레지스트막에 소정의 미세패턴을 노광하기 위한 노광장치등이 설치되어 있다.

이상의 각 처리장치(16∼18) 및 (20∼23)은, 어느 것이든 반송로(10,11)의 양측에 있어서, 유리기판(G)의 반입출구를 내측을 향해 배치되어 있다. 제 1 반송장치(25)가 로더·언로더부, 각 처리장치(16∼18) 및 전달부(12)의 사이에 유리기판(G)을 수용박스(50)에 수용한 상태로 반송하기 때문에 반송로(10) 상을 이동하여, 제 2의 반송장치(26)가 전달부(12) 및 각 처리장치(20∼23)의 사이에서 같은 유리기판(G)을 수용박스(50)에 수용한 상태로 반송하기 위하여 반송로(11) 상을 이동하도록 되어 있다.

다음에, 상기한 제 1의 반송장치(25) 및 제 2의 반송장치(26)가 채용된 본 실시형태의 기판반송장치(40)의 구체적인 구조를 설명한다. 도 3은 이 기판반송장치(40)의 구성을 나타낸 사시도이며, 도 4는 그 측면도이다.

기판반송장치(40)는, 반송로(10,11)를 따라서 설치된 레일(35)에 Y방향(반송방향)을 따라 이동가능한 반송방향 이동체(41)를 가지고 있다. 이 반송방향 이동체(41)는, 본 실시형태에서는 레일(25)을 따르도록 설치되고, 내부에 배설된 도시하지 않은 구동모터의 구동에 의해 이동한다. 이 반송방향 이동체(41)의 상부에는 모터(42)가 설치되고, 이 모터(42)로부터 θ방향(수평방향)으로 회전가능하게 되어 있는 회전축(43)이 설치되어 있다. 이 회전축(43)은 또한 반송방향 이동체(41) 내에 배설된 승강부(도에 나타내지 않음)에 의해 상하방향(Z방향)으로 동작하도록 설치되어 있다.

회전축(43)의 상부에는, 지지판(44)이 부착되어 있으며, 이 지지판(44)에서 X방향[도 4에 나타낸 바와 같이, 처리장치(60)에 대치한 때에 해당 처리장치(60)로 접근이탈하는 방향]으로 이동이 가능함과 동시에, 다른 높이로 두개의 접근이탈방향 이동체(45,45)가 배설되어 있다. 이 두개의 접근이탈방향 이동체(45,45)는 어느 것이든 기대부(46)와, 이 기대부(46)의 전방에 설치된 한쌍의 아암(47,48)을 가지고 있다. 기대부(46) 내에는, 해당 기대부(46)를 전후 동작을 시키기 위해 구동부재(도면에 나타내지 않음)가 배설되어 있으며, 이것으로 인하여 지지판(44)에 설치된 가이드부(44a)를 따라서 X방향(접근이탈방향)으로 이동한다.

또한, 각 기대부(46)는, 어느 것이든 송풍기구로서 송풍팬(49)에 접속되어 있으며, 해당 기대부(46)의 전면에는 흡출구(49a)가 설치되어 있다. 송풍팬(49)을 기동함으로써, 후술하는 수용박스(50)의 후방으로부터 바람을 불어넣고, 수용박스 (50)의 전면에 형성한 기판출입구 (51)를 통해서 밖으로 빠지는 기류를 형성하는 것이 가능하다. 따라서 기판출입구(51)를 통해서 외부의 파티클이 수용박스(50) 내로 들어올 수 없게 된다. 또 수용박스(50) 내에 항시 바람을 불어넣는다는 것은, 수용박스(50) 내를 양압으로 유지하기 위한 것이며, 본 실시형태의 송풍팬(49)은, 수용박스(50) 내의 압력을 제어하는 압력제어기구로서도 기능하고 있다.

각 아암(47,48)은 각각의 단면이 대략 L자형인 부재로 구성되어 있으며, 서로 소정의 간격을 두고, 또 어느 것이든 측판부(47a,48a)가 외측이 되도록 대칭으로 설치되어 있다. 즉 각 아암(47,48)의 대향간격은 저판부(47b,48b) 상에 후술하는 수용박스(50)를 유지할 수 있는 정도로 설정된다.

수용박스(50)는 상자모양으로 형성되어 있다. 본 실시형태에서는 도 5에 나 타낸 바와 같이 대략 사각형태로 형성되어 있지만, 유리기판(G)을 수용할 수 있는 크기로서, 외부공간과 구분하는 벽부를 가진 구조라면 이것에 한정되는 것은 아니다. 수용대상이 되는 기판이, 본 실시형태에서 같이 LCD용 유리기판(G)의 경우에는, 해당 유리기판(G)이 사각형이므로, 그것에 맞추어서 각형(角形)으로 형성되지만, 수용대상이 되는 기판의 형상등을 고려해서 다른 형상을 채용하는 것도 물론 가능하다.

수용박스(50)는, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 전면에 상시 개방하고 있는 기판출입구(51)을 가지고, 그 내부에는 저벽부(52)로부터 소정의 간격을 둔 위치에, 각 측벽부 (53,54)로부터 안쪽으로 돌출한 돌기부로 이루어진 기판지지부 (54,54)가 설치되어 있다(도 6 및 도 9 참조). 물론 이 기판지지부(54,54)는, 그 상면에 의해 유리기판(G)의 각 옆끝단 부근을 지지하면 좋고, 측벽부(53,53)의 안쪽방향 전부에 걸쳐 설치되어 있는 것은 반드시 필요하지는 않다. 또 측벽부(53, 53)로부터 돌출시키는 것이 아니라, 저벽부(52)의 양 측부 부근에서 위쪽을 향하여 돌출하도록 설치한 돌기부라도 좋다.

또, 수용박스(50)의 배면에는, 상기한 송풍팬(49)에 의한 송풍을 해당 수용박스(50)의 내부로 넣기 위한 송풍취입구(55)가 설치되어 있다. 이 송풍취입구(55)는 송풍팬(49)과 연결이 가능하다면, 그 형성위치가 한정되는 것은 아니지만, 기판출입구(51)와 대향한 위치에 형성하면, 기류가 그다지 흐트러지지 않고 원활하게 배출되므로, 본 실시형태에서는 수용박스 (50)의 배면에 형성하였다.

또한, 이 송풍취입구(55)에는 교환가능한 카트리지식 필터(예를 들면, ULPA 필터)(56)를 설치하고 있다. 다시 말해 접근이탈방향 이동체(45)에 수용박스(50)를 지지시켰을 때에, 도 7에 나타낸 바와 같이, 기대부(46)의 전방에 해당 필터(56)가 위치하도록 설치하였다. 이것으로 인해 송풍팬(49)을 구동함으로써, 송풍취입구 (55)를 통하여 수용박스(50) 안으로 침입하는 파티클이 포착된다.

다음에, 상기한 기판반송장치(40)를 사용하여 유리기판(G)을 반입출할 수 있는 처리장치에 대해서 설명한다. 즉 상기한 기판반송장치(40)에서는 접근이탈방향 이동체(45)가 X방향으로 이동하여도 수용박스(50) 내에 수용된 유리기판(G)은, 해당 수용박스(50)와 같이 이동하여, 유리기판(G) 만이 X방향으로 이동하는 것은 불가능하다. 따라서 통상의 처리장치와 같이, 유리기판(G)의 반입출구를 개폐하는 셔터 내에, 예를 들어 열처리장치에 있어서, 열판 등의 처리부가 설치되어 있는 것만으로는, 상기한 기판반송장치(40)를 사용하여 해당 처리부 상에 직접 유리기판(G)을 전달하는 것이 불가능하다. 그리하여 다음과 같은 처리장치를 이용할 필요가 있다.

도 9에 나타낸 처리장치(60)는, 해당 처리장치(60)의 반입출구(60a)와 처리부(62)의 사이에 재치대(65)와 중계용 반송기구(70)가 설치된 구성이다. 재치대 (65)는 해당 처리장치 (60) 내에 있어서 반입출구(60a)의 바로 후단에 설치되어 있으며, 수용박스(50)를 그대로 재치가능한 크기를 가지고 있다. 반입출구(60a) 부근에 있어서 수용박스(50)와의 사이에 직접 유리기판(G)을 전달할 경우에는, 수용박스(50)를 반입출구(60a)에 대하여 가능한 한 빈틈없이 접합시킨 상태에서 행하지 않으면, 유리기판(G)이 수용박스(50) 밖으로 나온 시점에서, 파티클이 부착할 가능 성이 있지만, 본 실시형태에서는, 수용박스(50) 별로 처리장치(60) 안으로 전달하는 것에 의해, 전달할 때에 있어서, 유리기판(G)에 파티클의 부착을 쉽게 방지하는 것이다. 단 처리장치(60) 내에 수용박스(50)를 반입할 수 있도록 하기 위해, 반입출구(60a)는 이 수용박스(50)에 맞춘 크기로 할 필요가 있다.

재치대(65)는 1 단이라도 좋지만, 복수단, 예를 들어 2단으로 하여도 좋다. 상기한 기판반송장치(40)처럼 수용박스(50)를 2개 유지가능한 것을 채용하여도, 재치대(65)가 1단인 경우에는, 해당 수용박스(50)를 서로 전달할 필요가 있으나, 2단인 경우에는 2개의 수용박스 (50)를 한번에 전달할 수 있다. 이 경우에는 2개의 수용박스(50)에 대하여, 같은 유리기판(G)을 수용하여 전달할 수도 있으며, 한편 예를 들어, 상단의 수용박스(50)에는 유리기판(G)을 수용하지 않도록 해서 전달하는 것도 가능하다. 후자의 경우에는 후술의 중계용 반송기구(70)에 의해 처리부(62)에 있어서 처리가 끝난 유리기판(G)을 상단의 수용박스(50)에 수용하여 하단의 수용박스(50)로부터 다음에 처리할 유리기판(G)을 받아서 처리부(62)에 전달하는 등의 처리순서를 택하는 것이 가능하다.

또한, 이 재치대(65)는 도 8 및 도 9 에 나타낸 바와 같이, 회전축(66)에 의해 회전가능하게 설치되어 있으며, 기판반송장치(40)와의 사이에서 수용박스(50)의 전달을 행할 때의 방향과, 중계용 반송장치(70)와의 사이에서 유리기판(G)의 전달을 행할 때의 방향을 조정하는 것이 가능하다. 즉 도 8에 나타낸 부호 (67)은, 2개의 재치대(65) 사이의 간격을 유지해서 연결하는 연결프레임이다.

중계용 반송기구(70)는, 처리장치(60) 내에 있어서, 상기한 재치대(65)와 처 리부(62)의 사이에 깔린 레일(75)을 이동가능한 이동체(71)와, 이 이동체(71)에 설치되어 수평방향으로 회전가능함과 동시에, 상하동작이 가능한 회전축(72)과, 이 회전축(72)에 설치된 지지판(73)과, 지지판(73)을 따라 전후방향으로 이동가능하게 설치된 핀셋형태의 전달부재(74)를 가지고 구성된다.

즉, 재치대(65)에 수용박스(50)가 재치되었다면, 중계용 반송기구(70)를 처리장치(60) 내에 있어서 재치대(65)로 근접시키거나, 혹은 미리 이 위치에서 대기시켜 놓고, 다음에 전달부재(74)를 지지판(73)을 따라 전진시켜, 수용박스(50)의 기판출입구(51)로부터 삽입한다. 그리고 회전축(72)을 상승시켜, 수용박스(50)의 기판지지부(54,54)로부터 유리기판(G)을 높이 올린 후, 전달부재(74)를 후퇴시키고, 수용장치(60) 내에서, 전달부재(74)의 앞끝단이 처리부와 대치하도록 회전축 (72)을 회전시키고, 이동체(71)에 의해 처리부로 접근하여 다시 전달부재(74)를 전진시켜 처리부(62)를 구성하는 스핀척 등으로 전달하는 기구이다.

즉, 이 중계용 반송기구(70)로서는 전달부재(74)가 다른 높이에서 2단으로 설치되어 있는 것을 이용할 수 있다. 이 경우에는 한편의 전달부재(74)를 수용박스 (50)로부터 처리부로 전달하여 미처리의 유리기판(G)을 재치하는 전용의 부재로서 사용하여, 그 밖의 전달부재(74)를 역으로 처리부에서 수용박스(50)로, 처리가 끝난 유리기판(G)을 재치하는 전용부재로서 사용할 수가 있다. 이것에 의해, 예를 들어 가열장치에 있어서는, 미처리의 저온 기판과 처리가 끝난 유리기판(G)을 재치하는 전용부재로서 사용할 수가 있다. 이것에 의해, 예를 들어 가열장치에 있어서는, 미처리의 저온 기판과 처리가 끝난 고온의 기판을 각각의 전용 전달부재로 유지가 능하도록 하기 위해서는, 1개의 전달부재로 어떠한 전달도 행할 경우와 비교하여, 전달부재에 축열된 열 등으로 인한 유리기판(G)에 악영향을 줄이는 것이 가능하다.

다음에, 본 실시형태에 관련된 기판반송장치(40) 및 처리장치(60)의 작용을 설명한다. 먼저 반송방향 이동체(41)의 구동으로 인하여 기판반송장치(40)가 반송로(10)를 따라서 이동하여 로더·언로더(4)에 근접하며, 해당 로더·언로더(4)에 유지되어 있는 수용박스(50)를 접근이탈방향 이동체(45)의 아암(47,48) 상에 기판출입구(51)가 전방이 되도록 받는다. 이때 필요에 따라 접근이탈방향 이동체(45)를 전후로 동작시켜 로더·언로더(4)로부터 받지만, 로더·언로더(4)만을 동작시켜, 해당 접근이탈방향 이동체(45)에 실어도 좋다. 또한 여기에서 전달되는 수용박스 (50)는, 상기한 바와 같이, 그 기판지지부(54,54) 상에 유리기판(G)을 유지하며 수용하고 있는 것으로 한다.

수용박스(50)는 접근이탈방향 이동체(45)에 재치되면, 배면에 배치한 필터 (56)가 기대부(46)의 배출구(49a)와 연이어진다. 그리고 송풍팬(49)의 구동에 의해 필터(56)를 통하여 수용박스(50)의 내부로 바람이 보내진다. 이때 필터(56)에 의하여 송풍팬(49)에 의해 파티클이 침입하려 해도 포착된다. 수용박스(50) 안으로 보내지는 바람은 전면에 설치된 기판출입구(51)로부터 외부로 흐르는 기류를 형성하여 수용박스(50) 안을 양압으로 유지한다. 따라서 유리기판(G)의 반송중에 해당 기판출입구(51)로부터 파티클이 침입할 수는 없다.

기판반송장치(40)는, 수용박스(50)를 받았다면, 목적으로 하는 처리장치(60)가 배치되어 있는 부근까지 반송방향 이동체(41)의 구동에 의해 Y방향으로 이동한다. 다음에 모터(42)에 의해 회전축(43)을 소정각도 θ방향으로 회전시켜, 아암 (47,48) 상에서 전방에 위치하고 있는 기판출입구(51)를 해당 처리장치(60)와 마주보게 하며, 더욱이 회전축(43)을 상하방향(Z방향)으로 동작시켜, 해당 수용장치 (60)의 셔터와 마주보게 한다.

이러한 상태에서, 셔터를 개방 동작시켜, 기판반송장치(40)의 접근이탈방향 이동체 (45)를 반입출구(60a)를 통해서 처리장치(60)의 내부로 도달할 때까지 전진시키고, 재치대(65) 상에 수용박스(50)를 재치한다(도 8 및 도 9 참조). 접근이탈방향 이동체(45)는 재치대 (65)에 수용박스(50)를 재치했다면 반입출구(60a)로부터 처리장치(60)의 외부까지 후퇴한다. 그리고 처리장치(60)의 셔터가 폐성 동작한다. 또한 이 때에, 본 실시형태와 같은 2개의 접근이탈방향 이동체(45)를 가지며, 그 각각에 수용박스(50)가 재치되어 있을 경우에는, 상기한 바와 같이, 2개의 접근이탈방향 이동체(45)를 같이 동작시켜 2단으로 설치된 재치대(65a)에서 한번의 동작으로 전달되도록 하는 것이 가능하다.

재치대(65) 상에 수용박스(50)가 재치되었다면, 처리장치(60) 내에 배설된 중계용 반송기구(70)를 재치대(65) 부근으로 이동시키거나, 혹은 미리 이 위치에 대기시켜 놓고, 재치대(65)의 회전축(66)의 동작에 의해, 수용박스(50)의 기판출입구(51)가 중계용 반송기구(70)와 마주 보도록 한다. 그리고 해당 중계용 반송기구 (70)의 전달부재(74)를 지지판(73)을 따라서 전진시켜, 수용박스(50) 내에 보유되어 있는 유리기판(G)의 하측에, 기판출입구(51)를 통해 삽입한다(도 9 참조). 다음에 회전축(72)을 상승시켜, 유리기판(G)을 들어 올리고, 전달부재(74)를 후퇴시켜, 수용장치(60) 내에, 도 9 에 있어서 가상선으로 나타낸 바와 같이, 전달부재(74)의 앞끝단이 처리부(62)와 대치하도록 회전축(72)을 회전시키고, 또한 이동체(71)에 의해 처리부(62)로 근접시킨 후, 전달부재(74)를 전진시켜서 처리부로 전달한다.

처리부(62)에 있어서, 소정의 처리가 종료하였다면, 상기와 역순으로, 중계용 반송기구(70)가 처리부(62)로부터 처리가 끝난 유리기판(G)을 받아, 재치대(65) 방향을 향해 이동한다. 재치대(65) 상에 대기하고 있는 수용박스(50) 내로 중계용 반송기구(70)의 전달부재(74)를 삽입하여, 기판지지부(54,54) 상으로 처리가 끝난 유리기판(G)을 재치한다.

다음에, 처리장치(60)의 셔터를 개방하여, 다시 기판반송장치(40)의 접근이탈방향 이동체(45)를 반입출구(60a)를 통하여 삽입하고, 재치대(65)에서 처리가 끝난 유리기판(G)을 수용하여 재치되어 있는 수용박스(50)를 유지하여 후퇴한다. 접근이탈방향 이동체(45)가 후퇴하면, 수용박스(50)의 필터(56)가 기대부(46)에 형성된 배출구(49a)로 근접하여 다시 연이어진다. 이것으로 인하여, 수용박스(50)의 후방으로부터 기판출입구(51)를 향해 바람이 보내져서, 수용박스(50) 안은 양압 분위기로 되어, 상기 열려 있는 기판출입구(51)로부터의 파티클 침입을 계속 방지할 수 있으며, 이 기판반송장치(40)는 다음의 처리장치를 향해 유리기판(G)을 반송한다.

즉, 상기한 설명에서는, 처리장치(60) 내에 재치대(65)를 배치하여 수용박스 (50) 별로 해당 처리장치(60) 내로 반송하고 있지만, 접근이탈방향 이동체(45)에 의한 붙거나 떨어지는 방향으로의 이동을 수용박스(50)의 기판출입구(51)가 수용장치(60)의 반입출구(60a)까지로 하는 한편, 수용장치(60) 내에 재치대(65)를 설치하 지 않는 구조로 할 수도 있다. 단 이 경우에는, 수용박스(50)의 기판출입구(51)와 처리장치(60)의 반입출구(60a)를 접속했을 때에, 파티클의 침입을 방지하기 위하여, 양자 간에 가능한 한 빈틈없이 접촉하도록, 해당 반입출구 (60a)의 크기를 형성한다.

또한, 수용박스(50) 내에 유리기판(G)의 정전기를 검출하는 모니터를 설치함과 동시에, 정전기 제거장치를 설치할 수도 있다(도면에 나타내지 않음). 유리기판 (G)이 수용박스 (50)라고 하는 구획된 공간에 수용되어 있기 때문에, 이것으로 인해 정전기 제거를 효율적으로 행하는 것이 가능하다. 또한 기판반송장치(40)와 수용장치(60)의 사이에서 수용박스(50)를 전달하고 있는 동안에, 송풍팬(49)에 의해 기판반송장치(40) 주변의 파티클을 수용장치(60) 내로 들어가지 않도록, 그 동안에 송풍팬(49)의 구동을 약하게 하는 제어를 행하는 것도 가능하다.

다음에, 본 발명의 다른 실시형태에 대해서 설명한다.

이 실시형태는 본 발명의 기판을 수용하는 스토커(수납장치)에 적용한 것이다. 도 10 에 나타낸 바와 같이, 스토커(100)에는 도 5에 나타낸 수용박스(50)가 종횡으로 다수 수용되도록 되어 있다. 스토커(100)의 부근에는 예를 들어, 레지스트 도포·현상하는 처리시스템 (101)이 배치되어, 반송로봇(102)이 스토커(100)와 처리시스템(101)의 사이에서 수용박스(50)를 전달하도록 되어 있다.

스토커(100)에는, 수용박스(50)를 수용하기 위한 선반(103)이 종횡으로 설치되어 있다. 각 선반(103)의 하부에는, 수용박스(50)를 띄워서 유지하는 유지핀 (104)이 적어도 3개 이상 설치되어 있다. 각 선반(103)의 배면에는, 수용박스(50) 의 기판출입구(51)가 접속되는 배기구(105)가 설치되어 있다. 각 배기구(105)는 그 배후에 설치된 배기통로(106)에 접속되어 있다. 따라서 수용박스(50)가 스토커 (100)의 선반(103)에 재치되면, 수용박스(50)의 기판출입구(51)가 배기구(105)에 접속되어, 수용박스(50) 내의 공기가 배기구(105) 및 배기통로(106)를 통하여 배기되며, 또한 수용박스(50) 내에는 송풍투입구(55)로부터 필터(56)를 따라 청정한 공기가 도입된다. 이것으로 인하여, 수용박스(50) 내에는 파티클이 없는 청정한 분위기가 유지된다.

처리시스템(101)에는, 예를 들어 수용박스(50)가 재치되는 재치대(111)가 설치되어 있으며, 재치대(111)에 재치된 수용박스(50) 내의 유리기판(G)이 처리시스템(101) 내에 설치된 반송장치(도면에 나타내지 않음)에 의해 반출되어 해당 처리시스템(101) 내로 투입되도록 되어 있으며, 또한 해당 처리시스템(101) 내에서 처리가 끝난 유리기판(G)이 반송장치(도에 나타내지 않음)에 의해 재치대(111)에 재치된 수용박스(50) 내로 반입되도록 되어 있다.

반송로봇(102)은, 예를 들어 반송차(121) 상에 도 3에 나타낸 기판반송장치 (40)와 거의 같은 사양으로 구성된 박스반송기구(122)를 구비한 것이다. 박스반송기구(122)는 수용박스(50)를 θ방향으로 회전함과 동시에, 전후로 진퇴시키는 것이다.

본 실시형태에 의하면, 스토커(100)와 처리시스템(101)의 사이에 유리기판 (G)을 반송하는 것으로, 클린룸의 청정도에 의존하지 않고 청결한 상태에서 행할 수가 있다. 또한 스토커(100) 내에서도 같은 사양의 상태로 유리기판(G)을 스토크하여 두는 것이 가능하다.

다음에, 본 발명의 또 다른 실시형태에 관하여 설명한다.

도 10에 나타낸 실시형태에서는, 처리시스템(101) 내에 기판(G)을 수용박스 (50) 내에 수용하지 않고, 기판(G)을 직접 반송하면서 처리를 행하는 것이었지만, 이 실시형태에서는 스토커에 의한 기판의 스토크 뿐만 아니라, 처리시스템 내에서 기판의 반송도 수용박스(50)를 사용하여 행하도록 한 것이다.

즉, 도 11에 나타낸 바와 같이, 스토커(200)에는 도 5에 나타낸 수용박스 (50)가 종횡으로 다수 수용되도록 되어 있다. 스토커(200)의 근처에는 레지스트 도포·현상하는 처리시스템(201)이 배치되고, 반송로봇(202)이 스토커(200)와 처리시스템(201)의 사이에서 수용박스 (50)를 전달하도록 되어 있다.

스토커(220)에는, 수용박스(50)를 수용하기 위한 선반(203)이 종횡으로 설치되어 있다. 각 선반(203)의 하단부에는 수용박스(50)를 띄워서 유지하는 유지핀 (204)이 적어도 3개 이상 설치되어 있다. 각 선반(203)의 배면에는 수용박스(50)의 송풍투입구(55)가 접속되는 송풍구(205)가 설치되어 있다. 따라서 수용박스(50)가 스토커(200)의 선반(203)에 재치되면, 수용박스(50)의 송풍취입구(55)가 송풍로 (205)에 접속되어, 송풍구(205)에서 송풍되며, 예를 들어 청정한 공기 또는 질소가스 등이 송풍입구(55)로부터 수용박스(50) 내로 도입되어 기판출입구(51)로부터 배출되도록 되어 있다. 이로 인해서 수용박스(50) 내는 파티클이 없는 청정된 분위기가 유지된다.

처리시스템(201)에는, 예를 들어 수용박스(50)가 재치되는 재치대(211)가 설 치되어 있으며, 재치대(211)에 재치된 수용박스(50)가 처리시스템(201) 내에 설치된 반송장치(도면에 나타내지 않음)에 의해 배출되어 해당 처리시스템(201) 내로 투입되도록 되어 있으며, 또한 해당 처리시스템(201) 내에서 처리가 끝난 유리기판 (G)에 수용된 수용박스(50)가 반송장치(도면에 나타내지 않음)에 의해 재치대(211)에 재치되도록 되어 있다.

반송로봇(202)은 예를 들면 반송차(221)에서 박스반송기구(222)를 갖춘 것이다. 박스반송기구(222)는 수용박스(50)를 θ방향으로 회전함과 동시에, 전후로 진퇴시키는 기구를 갖춘 반송대(223)를 구비한다. 반송대(223)의 배후에는 판 형상의 덮개체(224)가 설치되어 있다. 덮개체(224)는 반송대(223)에 재치된 수용박스(50)의 기판출입구(55)를 막는 것으로서, 이 덮개체(224)를 설치함에 따라 반송로봇 (202)로부터 수용박스(50)를 반송할 때에 해당 수용박스(50) 내로 파티클이 진입하는 것을 방지할 수 있다.

본 실시형태에 있어서도, 스토커(200)와 처리시스템(201)의 사이에서 유리기판(G)을 반송하는 것은, 예를 들어 클린룸의 청정도에 의존하지 않고 청결한 상태에서 행할 수가 있다. 또한 스토커(100) 내에서도 같은 상태로 유리기판(G)을 스토크해 둘 수가 있으며, 더구나 처리시스템(201) 내에서도 같은 상태로 유리기판(G)을 반송할 수가 있다.

이 실시형태에 있어서, 수용박스를 아래와 같이 변형시키는 것이 가능하다.

예를 들어 도 12에 나타낸 바와 같이, 수용박스(231) 배면에, 제 1의 송풍구 (232)를 설치하고, 수용박스(231)의 배후 측의 하부에 제 2의 송풍구(223)를 설치 한다. 또한 각 송풍구(232,233)에서는, 각각 내측으로 개폐함과 동시에 송풍구 (232,233)를 닫는 방향으로 탄성력이 부여되는 제 1 및 제 2의 도어부(234,235)를 설치한다.

처리시스템(201)의 재치대(211) 상의 소정 위치에서는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 수용박스(231)의 제 2의 도어부(235)를 밀어올리는 밀어올림핀(236)과, 밀어올림핀(236)에 의해 열린 제 2의 송풍구(233)를 향해 청정공기를 공급하기 위한 팬(237)이 설치되어 있다.

또한, 처리시스템(201)의 반송장치(212)의 배면에는, 도 14에 나타낸 바와 같이, 수용박스(231)의 제 1의 도어부(234)를 밀어올리는 밀어올림핀(238)과, 밀어올림핀(238)에 의해 열린 제 1의 송풍구(232)를 향해 청정공기를 공급하기 위한 팬(239)이 설치되어 있다.

이와 같은 구성에 의하면, 수용박스(231)가 재치대(211)에 재치되어 있을 때에는, 제 2의 송풍구(233)를 따라서 수용박스(231) 내로 청정공기가 공급되고, 수용박스(231)가 반송장치를 따라 반송되고 있을 때에는, 제 1의 송풍구(232)를 따라서 수용박스(231) 내로 청정공기가 공급된다. 따라서 처리시스템(201) 내에 있어서, 예를 들어 클린룸의 청정도에 의존하지 않고 청결한 상태에서 유리기판(G)을 반송하여 처리할 수가 있다. 즉 유리기판(G)의 처리를 행하는 처리부나 노광장치와의 사이에서 유리기판(G)의 전달을 행하는 인터페이스부에 있어서도 위와 같은 구성으로 하는 것으로 같은 효과를 얻을 수 있다.

다음에, 본 발명에 관한 수용박스의 다른 예를 설명한다.

이 예에서는, 도 15에 나타낸 바와 같이, 수용박스(50)의 기판출입구(51)의 근처 하부에 수용박스(50) 내의 공기를 배출하기 위한 배기팬(240)을 설치한 것이다. 이것으로 인하여, 기판출입구(51)로부터 에어가 분출하는 것이 줄어들며, 유리기판(G)을 소정의 장치로 전달할 때에 수용박스(50) 측으로부터 그 장치로 오염된 에어가 분출하는 것이 없어진다.

또한, 도 16에 나타낸 바와 같이, 반송장치(251)가 상하로 2개의 핸드(252, 253)를 가지는 경우에, 위쪽의 핸드(252)는 상부로 향해 공기를 분출하는 배기팬 (240)이 설치된 수용박스(50)를 반송하며, 아래의 핸드(253)는 하부로 향해 공기를 배출하는 배기팬(240)이 설치된 수용박스(50)를 반송하도록 구성하면, 반송장치 (251)의 상하 수용박스(50)의 배기가 서로 간섭받지 않게 된다.

도 17은 다른 수용박스의 예를 나타낸 도면이다.

도 17에 나타낸 바와 같이, 이 수용박스(261)는 기판을 수용하는 본체(262)의 전면에 기판출입구(263)가 설치되어 있다. 본체(262)의 배면 측에는 필터부(264)를 개재하여 팬부(265)가 설치되어 있다. 필터부(264)에는 HEPA(ULPA) 필터가 부착되어 있다.

팬부(265)에는, 필터부(264)를 따라서 본체(262) 내로 에어를 송풍하기 위한 팬(266)과, 팬(266)에 전력을 공급하기 위한 밧데리(267)와, 팬(266)의 구동을 제어하는 제어부(268)가 설치되어 있다. 밧데리(267)에는 외부단자(270)을 통하여 밧데리 충전이 행해지도록 되어 있다.

그리고, 제어부(268)가 예를 들어 본체(262) 내에 판출입구(263) 근처에 설 치된 풍속센서(269)에 의한 풍속의 검출결과에 따라, 본체(262) 내의 풍속이 원하는 수치가 되도록 팬(266)의 구동을 제어한다. 또한 제어부(268)는, 풍속의 검출결과와 팬(266)의 회전수를 비교하여 필터부(264)에 있어서의 필터의 열화를 판단하여, 예를 들어 알람을 출력한다.

또한, 예를 들어 팬부(266)의 소정의 위치에서는, 통신포트(271)가 설치되어 있으며, 제어부(268)는 이 통신포트(271)를 따라서 외부의 컴퓨터 등과의 사이에서 데이터의 교환이 행해지도록 되어 있다. 이와 같은 데이터로서는, 예를 들어 상기의 알람 데이터의 출력과 외부에서 풍속의 설정 등이 있다.

한편, 본 발명의 기판반송장치의 반송대상이 되는 기판은, 상기의 LCD용의 유리기판(G) 뿐만이 아니라, 반도체 웨이퍼 등의 기판에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다. 더구나 상기한 도포·현상처리시스템의 처리장치의 편성은 어디까지나 한 예이며, CVD, 앗셔, 엣셔 등이 배치된 라인에 있어서도 본 발명은 당연히 유효하다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 기판반송장치는, 상자형으로 형성된 수용박스의 내부에 처리대상이 되는 기판을 지지하고 있음과 동시에, 압력제어기구에 의해 해당 수용박스 내부가 양압으로 유지되어 있다. 이 때문에 기판출입구가 항상 열려 있어도, 수용박스 밖에 떠도는 파티클이 수용박스 안으로 침입하는 일은 없다. 따라서 기판의 반송영역을 청정환경으로 할 필요가 없으므로, 청정환경의 형성비용을 크게 절감할 수 있다. 또한 기판출입구가 항상 열려 있어, 해당 기판출입구를 개폐하는 개폐기구가 설치되어 있지 않으므로, 기판의 전달을 신속하게 행할 수가 있다.

Claims

반송로를 따라서 이동이 가능한 반송방향 이동체와,

상기 반송방향 이동체에 대하여, 수평방향으로 회전가능한 회전축을 경유하여 지지되고, 각 처리장치의 반입출구에 대치한 자세에서 해당 반입출구에 붙거나 떨어지는 방향으로 이동가능하며, 내부에서 처리대상이 되는 기판을 지지하는 기판지지부와, 기판의 출입을 행하기 위하여, 항시 열려 있는 기판출입구와, 내부를 양압으로 유지하기 위한 압력제어기구를 구비한 상자형 수용박스를 지지가능한 접근이탈방향 이동체를 구비하고, 상기 접근이탈방향 이동체가 상하로 간격을 두고 복수로 설치되어, 그 각각에 상기 수용박스를 유지가능한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
반송로를 따라서 이동가능한 반송방향 이동체와,

상기 반송방향 이동체에 대하여, 수평방향으로 회전가능한 회전축을 경유하여 지지되고, 각 처리장치의 반입출구에 대치한 자세에서 해당 반입출구에 붙거나 떨어지는 방향으로 이동가능하며, 내부에 처리대상이 되는 기판을 지지하는 기판지지부와, 기판의 출입을 행하기 위하여, 항시 열려 있는 기판출입구와, 해당 기판의 출입구의 형성면에 대항하는 면측에서 해당 기판출입구를 통하여 외부로 흐르는 기류를 형성하는 송풍기구를 구비한 상자형 수용박스를 유지가능한 접근이탈방향 이동체를 구비하고, 상기 접근이탈방향 이동체가 상하로 간격을 두고 복수로 설치되어, 그 각각에 상기 수용박스를 유지가능한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
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내부에 처리대상이 되는 기판을 지지하는 기판지지부와, 기판의 출입을 행하기 위해서, 항시 열려 있는 기판출입구를 구비한 상자형 수용박스를 반입출 가능한 크기로 형성된 반입출구와,

해당 반입출구와 처리부의 사이에 배치되는 수용박스의 재치대와,

해당 재치대와 처리부의 사이에 설치되고, 해당 재치대에 재치된 수용박스에 대하여 붙거나 떨어지는 것이 가능하게 설치된 기판의 전달부재를 가지며, 해당 수용박스에서 전달된 기판을 처리부로 전달하고, 처리부로부터 전달된 기판을 해당 수용박스로 전달하는 중계용 반송기구를 구비하고, 상기 재치대가 상하가 다른 높이로 복수 설계됨과 동시에, 상기 중계용 반송기구의 전달부재가 해당 재치대에 대응하여 상하가 다른 높이로 복수 설계되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
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기판의 출입을 행하는 기판출입구 및 필터를 경유하여 외기를 도입하기 위한 외기도입구가 설치되고, 내부에 기판을 수용하는 수용박스를 수납하는 수납장치에 있어서,

상기 기판출입구가 배면에 접속하도록 상기 수용박스가 수납되는 선반부와,

상기 선반부의 배면에 설치되어, 상기 선반부에 수납된 수용박스에 상기 기판출입구를 경유하여 상기 수용박스 내의 기체를 배출하는 배출구를 구비한 것을 특징으로 하는 수납장치.
기판의 출입을 행하는 기판출입구가 전면에 설치되어, 필터를 경유하여 외기를 도입하기 위한 외기도입구가 배면에 설치되고, 내부에 기판을 수용하는 수용박스를 수납하는 수납장치에 있어서,

상기 외기도입구가 배면에 접하도록 수용박스가 수납되는 선반부와,

상기 선반부의 배면에 설치되어, 상기 선반부에 수납된 수용박스의 상기 외기도입구를 경유하여 상기 수용박스 내의 기체를 공급하는 공급부를 구비한 것을 특징으로 하는 수납장치.
기판을 수용하는 수용박스에 있어서,

기판의 출입을 행하는 기판출입구가 전면에 설치되고, 필터를 경유하여 외기를 도입하기 위한 외기도입구가 배면에 설치되어 있으며, 상기 배면측의 하부 또는 상부에 필터를 경유하여 외기를 도입하기 위해 다른 외기도입구가 설치되고, 상기 양방의 외기도입구에는 개폐가 자유로운 도어부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수용박스.
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제 14 항에 있어서,

상기 기판출입구의 부근 하부에, 수용박스 내의 분위기를 배출하기 위한 배기팬이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수용박스.
제 14 항에 있어서,

상기 외기도입구에는, 상기 필터를 경유하여 수용박스 내로 에어를 송풍하기 위한 팬이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 수용박스.
제 17 항에 있어서,

상기 기판출입구의 근처에 풍속센서를 배치함과 동시에, 풍속센서에 의해 검출된 풍속에 따라 상기 팬의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 수용박스.
제 17 항에 있어서,

상기 기판출입구의 근처에 풍속센서를 배치함과 동시에, 풍속센서에 의해 검출된 풍속에 따라 상기 팬의 열화를 판정하는 것을 특징으로 하는 수용박스.