JPH01207944A - ウェハーカセット用クリーンボックス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 複数枚のウェハーを収容したウェハーカセットを清浄雰
囲気中に収容した状態で運搬可能なりリーンボックスに
関し、 簡易な構造で、しかも清浄度の向上が可能なことを目的
とし、 複数枚のウェハーを収容するウェハーカセットに対し、
その上方からかぶせることができるように底部が開放し
且つ上部にウェハーカセットの把手を露出できる窓を有
するウェハーカセット収容室と、該ウェハーカセット収
容室とはエアフィルターで仕切られた送気室とにより筺
体が構成され、上記送気室にはファン駆動用の２次電池
が設けられると共に、該送気室の壁には前記エアフィル
ターを通してウェハーカセット収容室へ送気するファン
と、前記２次電池に充電するための給電用端子が設けら
れて成るように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は複数枚のウェハーを収容したウェハーカセット
を清浄雰囲気中に収容した状態で運搬可能なりリーンボ
ックスに関する。

〔従来の技術］ 半導体製造装置は生産技術の進歩と共に自動化が推進さ
れ、複数枚のウェハーを装填したカセットをセットし、
処理条件等の設定を行い起動するだけで自動的に処理が
行なわれ、処理後のウェハーは再びカセットに収容され
る所謂カセット・トウ・カセットの装置が主流となって
いる。また使用されるカセットは形状、寸法、収納枚数
等が米国ＳＥＭＩによって規格化されている。

また半導体の製造工程でウェハーに付着する塵埃をいか
に少なくするかが品質を上げる為に非常に重要な項目と
なる。その為には、大きな発塵源である人をできる限り
近づけないことが必要であり、前述の様に自動化された
カセット・トウ・カセットの装置に対しては装置にセッ
トするとき、あるいは装置間を運搬するときの対処が重
要である。人がカセットを持って運搬、あるいはセット
した場合、いかにすぐれたクリーンルーム（クラス１）
でも、いかに良い防塵前を着用していたとしても人体か
ら発塵した塵の付着は避けられないのが実状である。こ
の対策として、搬送、セツティングを完全に自動化し、
−切入はカセットに触れず、またある距離以下には近づ
かない様にすることが考えられる。

しかしながら半導体は常に最先端技術の製品を生産して
おり、またその技術及びニーズは日進月歩で変化するた
め完全自動化を達成するのは困難な状況にある。また自
動化する場合にも自動化装置の発塵を減らす為に独特な
技術を必要とし、また自動化の為のコストも草大なもの
となる。

これらを解決する手段として米国ＨＰ社からＳＭＩＦ（
スタンダードメカニカルインターフェース）システムが
提案されている。これはウェハーを運搬、セツティング
時には第６図ａに示すようなウェハー１を収容したカセ
ット２を清浄な状態で密閉したボックス（ＳＭＩＦ−Ｂ
ｏｘ）　’３に収納して行ない、第６図すに示すように
従来の製造装置４に付は加えられたＳＭＩＦ−ローダ５
にセットすると中のカセット２だけを自動で取り出し処
理部６で処理を開始するようになっている。即ちカセッ
ト１は一切発塵環境にむき出しにならないものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来のＳＭＩＦシステムにおいて、そのＳＭＩＦ−
Ｂｏｘはその内部でカセット、ウェハー等の振動で発塵
した場合の対策ができておらず、また完全密閉構造にし
ないと効果がなく、完全密閉するにはシーリング、寸法
精度等をきびしくする必要があり、さらに各処理装置に
ＳＭＩＦローダを付加するのに草大なコストが必要であ
る等の問題があった。

本発明は上記問題点に鑑み、簡易な構造でしかも清浄度
の向上が可能なりリーンボックスを提供することを目的
とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、複数枚のウェハー１１を収容するウェハー
カセット１０に対し、その上方からかぶせることができ
るように底部が開放し且つ上部にウェハーカセットの把
手１２を突出できる窓１７を有するウェハーカセット収
容室１４と、該ウェハーカセット収容室１４とはエアフ
ィルター１６で仕切られた送気室１５とにより筺体が構
成され、上記送気室１５にはファン駆動用の２次電池１
８が設けられると共に、該送気室１５の壁には前記エア
フィルター１６を通してウェハーカセット収容室１４へ
送気するファン１９と、前記２次電池１８に充電するた
めの給電用端子２０が設けられて成ることを特徴とする
ウェハーカセット用クリーンボックスによって達成され
る。

〔作　用〕 ファン１９によりカセット収容室１４ヘエアフィルター
１６を通して清浄空気を供給することができるので、ボ
ックス内部で発塵しても外部へ放出し内部をクリーンに
保持することができる。またボックス内部の気圧が外部
より高くなるので外部から塵埃等が侵入することがなく
、シーリング。

寸法精度等の厳密さを必要としない。

（実施例〕 第１図及び第２図は本発明の実施例をウェハーカセット
と共に示す図であり、第１図は断面図、第２図は斜視図
である。第１図、第２図において１０はウェハーカセッ
トであり、内部に複数枚のウェハー１１を収納し把手１
２により持ち運びできるようになっている。

本実施例のウェハーカセット用りリーンボッ外ス１３は
ウェハーカセット収容室１４と送気室１５とを有し、該
ウェハーカセット収容室１４と送気室１５とはエアフィ
ルター１６で仕切られている。

そしてウェハーカセット収容室１４は下方が開放した箱
状をなし、上部の壁にウェハーカセットの把手１２を突
き出すことができる窓１７が形成されており第１図の如
くウェハーカセット１０の上方からかぶせ、該ウェハー
カセットを収容することができるようになっている。一
方送気室１５は、内部にファン駆動用の２次電池１８が
設けられ、上部（又は側面）の壁部にファン１９が、下
方の壁部に２次電池充電用の給電用端子２０がそれぞれ
設けられている。

このように構成された本実施例は、第３図ａの如くウェ
ハーカセットの把手を持ち、又は第３図すの如く運搬車
に載せて運搬することができる。

この際振動等によりウェハーカセット内で発塵しても、
ファン１９を駆動しておくことによりエアフィルター１
６を通して清浄な空気がウェハーカセット収容室１４に
送られるため、第３図ａの場合はウェハーカセット収容
室１４とウェハーカセット１０とのすきまから除塵され
、第３図すの場合は、ウェハーカセット１０の上部とウ
ェハーカセット収容室１４の上部の壁とのすきまを通っ
て窓１７から除塵される。このようにしてウェハーカセ
ット収容室１４内は常に清浄雰囲気が保たれる。

第４図は本発明の実施例を半導体製造装置のウェハー供
給部に用いた例を示す図であり、本実施例のクリーンボ
ックス１３で運ばれたウェハーカセット１０はエレベー
タ−２１で上下され、その中のウェハー１１は搬送ベル
ト２２によりクリーントンネル２３を通って処理室ヘロ
ーディッグされ、まだ逆にウェハーカセット１０にアン
ローディングされる。

この場合もウェハー１１は外気に晒されることなく清浄
な雰囲気中でロード、アンロードするこ□とができる。

第５図は本発明のクリーンボックスの電気系を示す図で
ある。

これは第４図に示したような半導体製造装置を用いる場
合、装置上に本発明のクリーンボックス１３が載置され
ているときは直接外部電源によりファンを駆動し、運搬
中は内蔵する２次電池でファンを駆動するようにしたも
のでその切換はリレーＲによって行なわれる。なお抵抗
２４．　’２５は２次電池１８の残量表示用に設けたも
ので、ａ、ｂ点の電圧と差動増幅回路２６、積分回路２
７、ＡＤコンバータ及びＬＥＤドライバ２８等を用いて
２　　　　　゛次電池１８の残量をＬＥＤに表示させる
ようにしたものである。

本電気系によれば、２次電池１８の電力消費は装置にセ
ットされているときは零であるので、２次電池の電力消
費量を節約することができ電池は小型のもので良いこと
になる。　□ 〔発明の効果］ 本発明によれば２、次電池に７．２　Ｖ、　２５０ｍＡ
ｈのＮｉＣｄ電池（重量９０ｇ）を用い、ファンは消費
電流２４０ｍＡ　、最大静圧１３ｍｍＨｇのものを使用
して途中充電せずに連続１時間作動した。

また清浄度はウェハー収容室内部をダストカウンターで
測定したところ０．１μのレベルで殆どＯであった。ま
たウェハーカセットを本発明のクリーンボックスを使用
したものと使用しないものについてクラス平均１０００
のクリーンルームに１週間放置したところ、使用しない
カセットでは０．２μ以上の粒子が６インチウェハー１
枚当り約１０００個増加し、使用したカセットでは約１
０個程度であった。これは測定誤差を含めるとほとんど
塵埃の付着がないことを示している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例をウェハーカセットと共に示す
断面図、 第２図は本発明の実施例とウェハーカセットを示す斜視
図、 第３図は本発明の実施例の運搬方法を説明する図、 第４図は本発明の実施例を半導体製造装置のウェハー供
給部に用いた例を示す図、 第５図は本発明のクリーンボックスの電気系を示す図、 第６図は従来のＳＭＩＦシステムを説明するための図で
ある。 図において、 １０はウェハーカセット、 １１はウェハー、 １２はウェハーカセットの把手、 １３はクリーンボックス、 １４はウェハーカセット収容室、 １５は送気室、 １６はエアフィルター、 １７は窓、 １８は２次電池、 １９はファン、 ２０は給電用端子 を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数枚のウェハー（１１）を収容するウェハーカセ
   ット（１０）に対し、その上方からかぶせることができ
   るように底部が開放し且つ上部にウェハーカセットの把
   手（１２）を突出できる窓（１７）を有するウェハーカ
   セット収容室（１４）と、 該ウェハーカセット収容室（１４）とはエアフィルター
   （１６）で仕切られた送気室（１５）とにより筺体が構
   成され、 上記送気室（１５）にはファン駆動用の２次電池（１８
   ）が設けられると共に、該送気室（１５）の壁には前記
   エアフィルター（１６）を通してウェハーカセット収容
   室（１４）へ送気するファン（１９）と、前記２次電池
   （１８）に充電するための給電用端子（２０）が設けら
   れて成ることを 特徴とするウェハーカセット用クリーンボックス。