JPH11204614A - 半導体収納治具、ハンドリング方法及び生産システム - Google Patents

半導体収納治具、ハンドリング方法及び生産システム

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JPH11204614A JP10004610A JP461098A JPH11204614A JP H11204614 A JPH11204614 A JP H11204614A JP 10004610 A JP10004610 A JP 10004610A JP 461098 A JP461098 A JP 461098A JP H11204614 A JPH11204614 A JP H11204614A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】開閉動作と移載動作を同時に行うことのできる
構造を有することにより、ＬＴを延ばすことなく、費用
増加を抑え、人からの発塵による影響を抑えることので
きる半導体収納治具、ハンドリング方法及び生産システ
ムを提供する。 【解決手段】テーブル４上のキャリア２に対し、上部よ
り被せる構造６かつ両側面に内部のキャリア２を掴める
状態に変形する発塵しない材質の窓部８を設け、移載機
３の爪部１３を制御部１２により２段階制御し、蓋とキ
ャリアの同時保持もしくは蓋のみの保持を使い分けるこ
とにより開閉と移載を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体収納治具、
ハンドリング方法及び生産システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体装置の製造においては、半
導体素子の微細化、高集積化に伴い、各素子の取り扱い
時、及び、処理時等の微細な塵埃の付着は、製品の致命
的な欠陥となり、歩留まりに大きく影響する観点から、
一般的にラインの自動化は発塵源との隔離を主目的に行
われる。
【０００３】ところが、実状は省人化は進むものの数百
台を越える製造装置からトラブル処置・メンテナンスを
無くすことができず、最も大きな発塵源である人との混
在は避けられず、半導体素子自体を雰囲気から隔離する
方法として、キャリアを高密閉度を持つボックス（例え
ば、実開昭５９−８３０３８号）への収納化した上での
自動化が進められている。
【０００４】また、その副作用として、ボックスの取り
扱いの煩雑さ故に生産性の低下を招き、長期間収納時、
キャリア内の半導体ウェハ（以下、ウェハ、と称す）自
体から出るガスがボックス内に充満することによるウェ
ハ自体の特性を変えてしまう可能性があることがわか
り、この対策も新たな課題となっており、生産性の効率
化とともに、高性能の無塵化装置の開発もあり、人との
接触を最低限にする範囲での雰囲気との隔離が必要とな
っており、従来技術として保管場所でボックスに収納
し、装置上で取り出すために、各場所に開閉機構を設置
していた。
【０００５】この従来技術を図１２および図１３を参照
して説明する。
【０００６】先ず図１２を参照して、従来技術のキャリ
アの積み下ろし作業を説明する。
【０００７】移載元テーブル６１の上方にボックス移載
機６３が設けられており、移載先テーブル６２の上方に
キャリア移載機６６と吸着器６５を有する開閉移載機構
部６４が設けられている。
【０００８】また、図１２（Ａ）は、初期状態を示し、
図１２（Ｂ）はキャリアの移載下ろし作業が完了した状
態、すなわちテーブル６１からテーブル６２へキャリア
４０の移動が完了した状態を示している。
【０００９】先ず図１２（Ａ）に示すように、移載先テ
ーブル６１上に、多数のウェハ６０を搭載したキャリア
４０を収納したボックス５０が載置される。
【００１０】キャリア４０には、キャリア移載機６６に
より把持されるキャリアフランジ４１が形成されてい
る。
【００１１】また、ボックス５０は、ボックス箱部５１
とボックス蓋部５２とを密着させることにより、内部の
キャリア４０を外部の雰囲気と隔離することができ、さ
らにボックス箱部にはボックス移載機６３により把持す
ることができるボックスフランジ５３が形成されてい
る。また、ボックス蓋部５２は吸着器６５により開閉動
作が行われる。
【００１２】図１２（Ａ）の初期状態の後、ボックス移
載機６３をボックスフランジ５３の下部レベルまで降下
させ、ボックス移載機６３でボックスフランジ５３を掴
み、ボックス移載機６３を持ち上げていく。
【００１３】次に、ボックス移載機６３により移載先テ
ーブル６２上に移動し、ボックス移動機６３を開いてボ
ックス５０を移載先テーブル６２上に放す。そして、ボ
ックス移載機６３を移動先テーブル６２の上方に退避さ
せる。
【００１４】次に、ボックス移載機６３を移載元テーブ
ル６１の上方まで移動させる。加えて開閉移載機構部６
４を移載先テーブル６２に移動されたボックス５０の上
方に移動させ、吸着器６５をボックス蓋部５２に密着さ
せる。
【００１５】次に、吸着器６５によりボックス蓋部５２
を吸着し、上方に持ち上げてボックス５０を開ける。同
時にキャリア移載機６６をキャリアフランジ４１のレベ
ルまで降下させる。そして、キャリア移載機６６を閉
め、キャリアフランジ４１を把持し、キャリア移載機６
６によりキャリア４０を持ち上げる。
【００１６】次に、キャリア移載機６６によりキャリア
４０をボックス５０の外側の移載先テーブル６２の箇所
に下ろし、同時に移載元テーブル６１の上方に退避して
いたボックス移載機６３を移載先テーブル側に移動させ
る。
【００１７】次に、キャリア移載機６６を開き、キャリ
ア４０を放す。そして、ボックス移載機６３をボックス
フランジ５３のレベルに降下させ、同時に吸着機６５に
よりボックス蓋部５２をボックス箱部５１まで降下させ
る。
【００１８】次に、吸着機６５の吸着を解き、吸着機を
上昇させる。同時にキャリア４０を放ったキャリア移載
機６６も上昇させる。
【００１９】次に、ボックス移載機６３を閉じてボック
ス５０を把持し、ボックス移載機６３により空き状態の
ボックス５０を持ち上げる。そして、ボックス移載機６
３によりボックス５０を移載元テーブル６１に移動させ
る。そして、ボックス移載機６３を開いてボックス５０
を放す。
【００２０】その後、ボックス移載機６３を移動元テー
ブル６１の上方に上げ、図１２（Ｂ）に示すような下ろ
し動作完了の状態になる。
【００２１】尚、積み下ろしの動作のうち積み動作、す
なわちテーブル６２からテーブル６１を移動させる場合
は、上記図１２（Ｂ）の動作を初期状態とし、逆順を追
って動作させることになる。
【００２２】図１３は図１２の従来技術を用いた製造ラ
インを例示す斜視図である。
【００２３】半導体装置を製造していく製造装置７１及
び自動棚７２が設置され、自動搬送台車７３の荷台７６
にボックス５０が設けられている。
【００２４】製造装置７１の出入口７４及び自動棚７２
の出入口７５にはそれぞれ開閉移載機構部６４が設けら
れ、また、自動搬送台車７３にはボックス移載機６３が
設けられている。
【００２５】ここで、自動搬送台車の荷台７６が図１２
の移載元テーブル６１に相当し、出入口７４，７５が図
１２の移動先テーブル６２に相当し、図１２を用いて説
明したように、ボックス５０の往復移動、ウェハ６０を
配列したキャリア４０の両者間の移載・積み下ろ作業が
行われる。
【００２６】そして、ボックス５０は、ボックス５０は
ボックス本体（箱部）５１とボックス蓋部５２とを密着
させることによりその内部のキャリア４０を雰囲気と隔
離することができる。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の第一の問題
点は、ボックスの処理（蓋の開閉動作と移載動作）に時
間を要するために、搬送時間・移載時間が長くなる点で
ある。
【００２８】第二の問題点は、開閉機構と移載機構を個
別に設置する必要があるために、開閉移載機構部を別設
置するためのスペース確保が必要になる点である。
【００２９】第三の問題点は、すべての装置に開閉機構
部を設ける必要があり、装置改造すると費用が莫大とな
り、開閉機構部が追加装置となるために、コスト大にな
る点である。
【００３０】第四の問題点は、キャリア内のウェハ自体
から出るガスがボックス内に渋面し、逃げ場が無くなり
ウェハ自体に付着するために、長期間収納によってウェ
ハ自体の特性が変わってしまう可能性がある点である。
【００３１】したがって本発明の目的は、開閉動作と移
載動作を同時に行うことのできる構造を有することによ
り、従来のＬＴを延ばすことなく、費用増加を抑え、製
造装置を簡素化し、人からの発塵による影響を抑えるこ
とのできる半導体収納治具及びそのハンドリング方法を
提供することである。
【００３２】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、半導体
ウェハを搭載したキャリアを収納して搬送する半導体収
納治具において、前記キャリアを上方より覆うことが可
能のように開口底面を有する箱型の蓋体部と、前記蓋体
部の側壁に形成された開口部を外部からの力によって変
形可能な膜によりシールした窓部と、前記窓部の上方の
前記側壁の外面箇所より突出したフランジ部とを有した
半導体収納治具にある。ここで、前記蓋体部の上壁の内
面は角度θに傾斜した傾斜上面になっていることが好ま
しい。さらに、前記蓋体部の側壁は前記キャリアの周囲
を取り囲む第１乃至第４の側壁から構成し、互いに向か
い合う第１及び第３の側壁に前記窓部をそれぞれ形成
し、第２及び第４のうちの少なくとも１つの側壁の内面
は角度θに傾斜した傾斜側面になっていることが好まし
い。
【００３３】本発明の他の特徴は、半導体ウェハを搭載
したキャリアを搬送する際のハンドリング方法におい
て、キャリアフランジを有する前記キャリアを上方より
覆うことが可能のように開口底面を有する箱型の蓋体部
と、前記蓋体部の側壁に形成された開口部を外部からの
力によって変形可能な膜によりシールした窓部と、前記
窓部の上方の前記側壁の外面箇所より突出したフランジ
部とを有した半導体収納治具を用意し、前記キャリアを
上方より前記半導体収納治具の前記蓋体部で覆い、前記
キャリアフランジおよび前記半導体収納治具のフランジ
部のうち前記キャリアフランジのみを前記窓部の膜を介
してチャックする第１の制御と、前記キャリアフランジ
および前記半導体収納治具のフランジ部のうち前記半導
体収納治具のフランジ部のみをチャックする第２の制御
とを可能にする移載機により、前記半導体収納治具の開
閉動作および前記キャリアの移載動作を行い、かつ搬送
中の前記半導体ウェハを密閉状態に保つハンドリング方
法にある。ここで、前記蓋体部の上壁内面もしくは側壁
の一内面は角度θに傾斜した傾斜面になっており、かつ
前記キャリアの半導体ウェハを出し入れする開口面は前
記角度θに傾斜面になっており、搬送中に前記両傾斜面
が接触することにより、前記密閉状態に保つことが好ま
しい。
【００３４】本発明の別の特徴は、上記半導体収納治具
を有するか、又は上記ハンドリング方法を用いた生産シ
ステムにある。ここで、前記キャリアの移載を製造装置
あるいは自動棚と自動搬送車との間で行うことができ
る。あるいは、前記キャリアの移載を自動棚と軌道（レ
ール）上を走行するビークル（運搬具）との間で行うこ
とができる。
【００３５】このように本発明は、テーブル上のキャリ
アに対し、上部より被せる構造かつ両側面に内部のキャ
リアを掴める状態に変形する発塵しない材質の小窓を有
する箱状の蓋を密閉できるように被せ、爪を２段階制御
可能な移載機にて蓋とキャリアの同時保持もしくは蓋の
みの保持を使い分けることにより開閉と移載を同時に行
ことができる。
【００３６】具体的には、キャリアを積む場合は、移載
機にて目的地上の空き蓋を爪を１段階閉めることで保持
し、キャリアのある場所に移動し、キャリアに蓋を被せ
る。次に、爪を２段階目まで閉めることによって、蓋と
キャリアを同時につかみ、密閉空間を形成し、そのまま
目的地上に移動し、卸し、爪を１段階開き、キャリア・
蓋を放す。
【００３７】また、キャリアをおろす場合は、移載機に
てキャリア・蓋を爪を２段階閉めることで同時につか
み、密閉空間を形成し、そのまま目的地上に移動し、卸
し、爪を１段階目まで開くことによって、キャリアのみ
放し、蓋は移載元に移動し、おろし、爪を２段階目に開
き、蓋を放す。
【００３８】このような本発明によれば、両側面に内部
のキャリアを掴める状態に変形する発塵しない材質の小
窓を有し、爪を２段階制御可能な移載機にて蓋とキャリ
アの同時保持もしくは蓋のみの保持を使い分けることに
より一連の動作にできるため、開閉機構と移載機構を分
ける必要がない。
【００３９】また、設置スペースについても開閉動作も
移載機にて行うため、特別な場所を必要としない。コス
トについても開閉機機構分の削減が可能となる。
【００４０】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明を説明
する。
【００４１】図１〜図３は本発明の実施の形態の構成を
示す図であり、図１は半導体収納治具およびその周辺の
斜視図、図２は半導体収納治具の断面図、図３は半導体
収納治具内に収納されるキャリアの斜視図である。
【００４２】先ず図１において、移載元テーブル４の上
面（水平な平坦面）に本発明の半導体収納治具１が載置
されている。半導体収納治具１は蓋体部６と、蓋体部の
対向する両側壁の上部の箇所に形成され弾性体からなる
窓部８と、移載機３の爪部１３により把持等の支持をす
ることができるフランジ部７を有している。
【００４３】多数のウェハ１０を配列したキャリア２が
半導体収納治具１の蓋体部６によって覆い被せられた状
態になっている。
【００４４】また、キャリア２を移載元テーブル４の上
面から移載先テーブル５の上面（水平な平坦面）移すた
めの移載機３が移載機制御部１２と一対の爪１３部を具
備して、移載元テーブル４の上面上と移載先テーブル５
の上面上との間を駆動可能に設けられている。
【００４５】以下、半導体収納治具１は蓋体部６は４外
周面を有し、水平面の互いに直交するＸ−Ｙ軸方向にそ
れぞれが平面形状で延在し、かつ水平面の法線方向をＺ
軸とする。
【００４６】半導体収納治具１のＹ軸方向の断面である
図１のＡ−Ａ部の断面を示す図２（Ａ）を参照して、移
載元テーブル４の上面に置かれ多数のウェハ１０を配列
収容したキャリア２の全側方向および上方向は半導体収
納治具１の蓋体部６によって覆われ、この蓋体部６の対
向する側壁にはそれぞれ窓部８が設けられている。ま
た、蓋体部６の底面は全体が開口底面１６になってい
る。すなわち半導体収納治具１の蓋体部６は、Ｘ方向を
平面形状で延在する２側壁とＹ方向を平面形状で延在す
る２側壁と上壁とによって底が抜けた箱型となってい
る。
【００４７】そして、蓋体部６およびフランジ部７を含
む半導体収納治具１の本体は発塵しない材料である、例
えばポリプロピレンで構成し、蓋体部６の互いに対向す
る一対の側壁にそれぞれ開口を形成し、この開口を覆っ
て発塵しない材料である、例えばシリコンゴムシート
（膜）を接着剤で接着することで窓部８を構成してい
る。このように窓部８は、移載機３の爪部１３から加わ
る力により容易に変形しうる弾性体からなっている。
【００４８】一方、キャリア２は４側面１９を構成する
４側壁および底面２０を構成する底壁を有し、ウェハ１
０を出入れする面（図２では上面）が開口面１８になっ
ている。すなわちキャリア１はウェハを出入れする面の
みが開口された箱型になっている。
【００４９】そして、移載機３の移載機制御部１２（図
１）は、一対の爪部１３が１Ｄ（半導体収納治具のフラ
ンジ部の外周幅）以上開いた状態、１Ｅ（半導体収納治
具の内周幅）以上１Ｄ以下の範囲で開いた状態での保
持、２Ｂ（キャリア本体の外周幅）まで閉じた状態での
保持を制御できるようになっている。例えば、１Ｄが２
５０ｍｍ、１Ｅが２１０ｍｍ、２Ｂが２００ｍｍであ
る。
【００５０】また、半導体収納治具内部上面すなわち上
壁の下面から半導体収納治具フランジ部７下面までの距
離１Ａが、キャリア開口面１８からキャリアフランジ部
１７Ａの下面までの距離２Ａ以下であること、移載機３
の爪部１３の長さ３Ｂが半導体収納治具のフランジ部の
外周からキャリア２の外周側面までの距離１Ｃ以上であ
ること、キャリアフランジ部１１下面から窓部８の下側
までの距離１Ｂが移載機の爪部１３の厚み３Ａより大き
いことが必要である。例えば、１Ａが２０ｍｍ、２Ａが
２５ｍｍ、１Ｂが１２ｍｍ、１Ｃが４０ｍｍ、３Ａが１
０ｍｍ、３Ｂが５０ｍｍであり、窓部は平坦面４（５）
の表面に接する下面から１６３ｍｍの箇所にその下辺を
有している。
【００５１】次に、半導体収納治具１のＸ軸方向の断面
である図１のＢ−Ｂ部の断面を示す図２（Ｂ）を参照し
て（尚、図２（Ｂ）では図面の煩雑を避けるために、キ
ャリアの図示は省略してある）、水平面４（５）上に載
置した場合に、半導体収納治具１は蓋体部６の一内側面
は垂直方向から角度θ傾いた内部傾斜側面１４により形
成され、上面も水平方向から角度θ傾いた内部傾斜上面
１５により形成されている。また、Ｘ方向の寸法１Ｆは
例えば２１０ｍｍであり、窓部８は例えば、２５ｍｍ×
１８０ｍｍの寸法である。
【００５２】次に図３を参照して、キャリア２には、キ
ャリア開口面１８を構成する第１のフランジ部１７Ａと
第２のフランジ部１７Ｂを形成している。
【００５３】キャリア開口面１８すなわち第１のフラン
ジ部１７Ａの上面は水平面に対して角度θ傾いている。
【００５４】第１のフランジ部１７Ａは図１および図２
のようにウェハ１０を連立させて、すなわちウェハ１０
を縦並べに収納するキャリアを移載する際に、移載機３
の爪部１３の作用を受けるフランジである。
【００５５】一方、第２のフランジ部１７Ｂは、ウェハ
を積み重ねた状態、すなわち図３の状態を９０度横転さ
せてウエハ１０を積み重ねて収納したキャリアを移載す
る際に、移載機３の爪部１３の作用を受けるフランジで
ある。
【００５６】この様子を図４および図５を参照して説明
する。
【００５７】図４はウェハ１０を縦並べに収納するキャ
リアを移載する場合である。初期状態では半導体収納治
具１とキャリア２が接触していない（Ａ）。
【００５８】次に、移載機の爪部により窓部を通して、
キャリアの第１のフランジ部１７Ａのみを把持して、持
ち上げていく（Ｂ）。
【００５９】次に、所定の位置まで上げると、同角度θ
の内部傾斜上面１５とキャリアの傾斜開口面１８が上方
で密着し、ウエハ１０は密閉される（Ｃ）。
【００６０】次に、さらに上げると、密閉状態を維持し
て半導体収納治具１とキャリア２を同時に把持上昇さ
せ、テーブル４の表面からから上方に離れていく
（Ｄ）。
【００６１】図５はウエハ１０を積み重ねて収納したキ
ャリアを移載する場合である。図４と同様に、初期状態
では半導体収納治具１とキャリア２が接触していない
（Ａ）。
【００６２】次に、移載機の爪部により窓部を通して、
キャリアの第２のフランジ部１７Ｂのみを把持して、持
ち上げていく（Ｂ）。
【００６３】次に、所定の位置まで上げると、同角度θ
の内部傾斜側面１４と傾斜開口面１８が側面で密着し、
ウエハ１０は密閉される。
【００６４】次に、さらに上げると、密閉状態を維持し
て半導体収納治具１とキャリア２を同時に把持上昇さ
せ、テーブル４の表面からから上方に離れていく
（Ｄ）。
【００６５】このように図４の場合も図５の場合も、半
導体収納治具１の蓋体部６の底面１６は開放されている
が、テーブル上の状態ではテーブルと蓋体部によりウェ
ハは密閉状態になっており、上昇した状態ではキャリア
の傾斜開口面１８と蓋体部の傾斜上面１５もしくは傾斜
側面１４により密閉状態になっている。
【００６６】したがって移載搬送中において、蓋体部６
の開口底面１６に面するキャリアの底面２０あるいは側
面１９が外気に晒されても、キャリア２内のウェハ１０
は外気から隔離できるから、蓋体部の底面が開放されて
いることによる問題は発生しない。
【００６７】次に図６乃至図９を参照して、本発明の実
施の形態の動作について詳細に説明する。
【００６８】先ず図６（Ａ）の状態をキャリアの積み下
ろし（おろし）動作の初期状態とする。この状態では移
載元テーブル面４と半導体収納治具開口面が密着し、密
閉空間ができている。
【００６９】次に図６（Ｂ）に示すように、移載機の爪
部１３を移載元テーブル４上にある半導体収納治具の窓
部８の下箇所のレベルまで降下させる。
【００７０】次に図６（Ｃ）に示すように、移載機の爪
部１３をキャリア幅２Ｂ（図２（Ａ））程度まで閉め、
この爪部をキャリアの第１フランジ部１７Ａ下に潜り込
ませた態様、すなわち爪部で第１フランジ部１７Ａを支
持した態様にする。この際、窓部８の弾性体は、爪１３
の閉める力により変形する。尚この状態では半導体収納
治具１のフランジ部７は爪部１３により支持されていな
い。
【００７１】次に図６（Ｄ）に示すように、移載機の爪
１３を徐々に持ち上げていくと、初めにキャリア２が浮
き、半導体収納治具内部上面１５とキャリア開口面１８
が密着し、密閉空間ができ（図６（Ｃ））、さらに持ち
上げると今まで密閉空間を形成していた移載元テーブル
面４と半導体収納治具１が離れる（図６（Ｄ））。
【００７２】上述したように、すでにこの時点では半導
体収納治具内部上面１５とキャリア開口面１８にて密閉
空間が形成されているため、キャリアの底面２０が半導
体収納治具の蓋体部の開口底面１６により外気に晒され
ていても、キャリア２内は外気の雰囲気と隔離されてい
る。
【００７３】そして、図７（Ａ）に示すように、移載に
問題にならない程度に持ち上げた後、移載機にて移載先
テーブル５の上方まで移動する。
【００７４】次に図７（Ｂ）に示すように、移載機の爪
部１３を徐々に降下させていくと、初めに移載先テーブ
ル面５と半導体収納治具開口面が密閉し、密閉空間がで
き、さらに窓部８の下部レベルまで降下させると今まで
密閉空間を形成していた半導体収納治具内部上面１５と
キャリア開口面１８が離れる。
【００７５】次に図７（Ｃ）に示すように、移載機の爪
部１３を半導体収納治具内周幅１Ｅ（図２（Ａ））程度
まで開く。
【００７６】次に図８（Ａ）に示すように、移載機の爪
部１３を上昇させていくと半導体収納治具１のみが、そ
のフランジ部７に掛かっているすなわちフランジ部７を
支持している爪部１３により持ち上がる。
【００７７】次に図８（Ｂ）に示すように、引き続き移
載に問題のない程度まで持ち上げ、移載元テーブル４の
上方まで半導体収納治具１を移動させる。
【００７８】次に図９（Ａ）に示すように、移載機の爪
部１３を降下させる。
【００７９】次に図９（Ｂ）に示すように、移載機の爪
部１３を半導体収納治具１の幅１Ｄ（図２（Ａ））以上
に開く。
【００８０】次に図９（Ｃ）に示すように、移載機の爪
１３部を上昇させて下ろし動作が完了となる。
【００８１】そして、図８（Ｂ）以降の動作において、
移載元テーブル４のキャリアが載置されてある箇所に半
導体収納治具１を降下させれば、図９（Ｃ）は図６
（Ａ）と同じ初期状態になる。
【００８２】以上はテーブル４からテーブル５をキャリ
アの下ろし動作として説明したが、積み動作、すなわち
テーブル５からテーブル４の動作は、図９（Ｃ）から逆
順を追って動作させることとなる。
【００８３】図１０は、本発明の半導体収納治具及びそ
のハンドリング方法の第１の実施例が配置される半導体
製造工程の一部を示すもので、エッチング装置・スパッ
タ装置等の製造装置２１が配置され、その製造装置２１
に対し他の工程より流れてくる製品の保管・管理及び製
造装置２１での処理終了後に他の工程に対し製品を流す
窓口的な役割を持つ自動棚２２が配置され、さらに自動
棚２２と複数存在する製造装置２１との間の半導体収納
治具・キャリアの搬送を自動で行う自動搬送台車２３を
配置して構成される。
【００８４】そして、製造装置２１は、キャリア２の出
入口２４（先の説明の移載先テーブル５に相当）を有
し、自動棚２２もキャリア２の出入口２５（先の説明の
移載先テーブル５に相当）を有し、自動搬送台車２３
は、移載機３と荷台２６（先の説明の移載元テーブル４
に相当）を有し、荷台２６上には半導体収納治具１を常
備する。
【００８５】次に図１０の製造システムの動作について
詳細に説明する。
【００８６】まず、自動棚２２から製造装置への搬送に
ついては、自動棚２２の出入口２５にキャリア２が出さ
れ、自動搬送台車２３が割り当てられ、自動棚２２の出
入口２５到着とともに、自動搬送台車上の移載機３が発
明の実施の形態にて述べた積み動作を開始する。
【００８７】そして、自動搬送台車２３が目的地である
製造装置２１に移動し、所定の製造装置２１に到着する
と共に、自動搬送台車上の移載機３が発明の実施の形態
にて述べた下ろし動作を開始する。
【００８８】この場合、自動搬送台車二台２６には空の
半導体収納治具１が乗っていることになる。製造装置２
１から自動棚２２への搬送についても積む場所・下ろす
場所が変わるだけで同様の動作となる。
【００８９】図１１は、本発明の半導体収納治具及びそ
のハンドリング方法の第２の実施例が配置される半導体
製造工程の一部を示すものである。
【００９０】図１０の第１の実施例では移載元テーブル
上に移載機３を設けていたが、この図１１の第２の実施
例では移載機３が移載先テーブルに分散設置してある場
合について述べる。
【００９１】図１１では、エッチング装置・スパッタ装
置等の製造装置群を配下とし、他の工程より流れてくる
製品の保管・管理及び配下の製造装置群での処理終了後
に他の工程に対し製品を流す窓口的な役割を持つ自動棚
３１、３２及び各自動棚間を軌道連結し、その軌道上を
自動走行するビークル（Ｖｅｈｉｃｌｅ：運搬具）３３
を有して構成される。
【００９２】なお、自動棚３１は、キャリア２の出入口
３４（先の説明の移載先テーブル５に相当）と移載機３
を有し、自動棚３２もキャリア２の出入口３５（先の説
明の移載先テーブル５に相当）と移載機３を有し、ビー
クル３３は、荷台３６（先の説明の移載元テーブル４に
相当）を有し、荷台３６上には半導体収納治具１を常備
する。
【００９３】次に図１１の製造システムの動作について
詳細に説明する。
【００９４】まず、自動棚３２から自動棚３１への搬送
については、自動棚３２出入口３５にキャリア２が出さ
れ、ビークル３３が割り当てられ、自動棚３２の出入口
３５に到着と共に、出入口３５上の移載機３が発明の実
施の形態にて述べた下ろし動作を開始する。
【００９５】この場合、ビークル上の荷台３６には半導
体収納治具１によって雰囲気と隔離されたキャリア２が
乗っていることになる。
【００９６】次に、ビークル３３が目的地である自動棚
３１の前に移動し、自動棚３１の出入口３４に到着する
と共に、出入口３４上の移載機３が発明の実施の形態に
て述べた積み動作を開始する。
【００９７】この場合、ビークル上の荷台３６には空の
半導体収納治具１が乗っていることになる。
【００９８】自動棚３１から自動棚３２への搬送につい
ても積む場所・下ろす場所が変わるだけで同様の動作と
なる。
【００９９】
【発明の効果】第一の効果は、搬送時間・移載時間が長
くならない点である。その理由は、蓋の開閉動作と移載
動作を同時に行えるためである。
【０１００】第二の効果は、開閉機構を別設置する必要
がない点である。その理由は、開閉作業を移載機が行う
ためである。
【０１０１】第三の効果は、コストを削減できる点であ
る。その理由は、開閉機構専用装置が不要な為である。
【０１０２】第四の効果は、キャリア内のウェハ自体か
ら出るガスによってウェハ自体の特性が変わってしまう
可能性を抑えることが出来る点である。その理由は、長
時間収納することがなくなるためである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態の構成物の位置関係を示す
図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるキャリアを示す図
である。
【図４】本発明の実施の形態において、ウェハを縦並べ
に収納するキャリアを移載する際に、半導体収納治具と
キャリアを密着させる状態を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態において、ウェハを積み重
ねて収納したキャリアを移載する際に、半導体収納治具
とキャリアを密着させる状態を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態の動作を順に示す図であ
る。
【図７】図６の続きの動作を順に示す図である。
【図８】図７の続きの動作を順に示す図である。
【図９】図８の続きの動作を順に示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態を用いた生産システムの
第１の実施例を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態を用いた生産システムの
第２の実施例を示す図である。
【図１２】従来技術を示す図である。
【図１３】従来技術による生産システムを示す図であ
る。
【符号の説明】
１ 半導体収納治具 ２ キャリア ３ 移載機 ４ 移載元テーブル ５ 移載先テーブル ６ 蓋体部 ７ 半導体収納治具のフランジ部 ８ 半導体収納治具の窓部 １０ ウェハ １２ 移載機の制御部 １３ 移載機の爪部 １４ 半導体収納治具（蓋体部）の内部傾斜側面 １５ 半導体収納治具（蓋体部）の内部傾斜上面 １６ 半導体収納治具（蓋体部）の開口底面 １７Ａ 第１のキャリアフランジ １７Ｂ 第２のキャリアフランジ １８ キャリアの開口面 １９ キャリアの側面 ２０ キャリアの底面 ２１ 製造装置 ２２ 自動棚 ２３ 自動搬送車 ２４ 製造装置の出入口 ２５ 自動棚の出入口 ２６ 自動搬送車上の荷台 ３１ 自動棚 ３２ 自動棚 ３３ ビークル ３４ 自動棚の出入口 ３５ 自動棚の出入口 ３６ ビークル上の荷台 ４０ キャリア ４１ キャリアフランジ ５０ ボックス ５１ ボックス箱部 ５２ ボックス蓋部 ５３ ボックスフランジ ６０ ウェハ ６１ 移載元テーブル ６２ 移載先テーブル ６３ ボックス移載機 ６４ 開閉移載機構部 ６５ 吸着器 ６６ キャリア移載機 ７１ 製造装置 ７２ 自動棚 ７３ 自動搬送台車 ７４ 製造装置の出入口 ７５ 自動棚の出入口 ７６ 自動搬送台車上の荷台

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体ウェハを搭載したキャリアを収納
    して搬送する半導体収納治具において、前記キャリアを
    上方より覆うことが可能のように開口底面を有する箱型
    の蓋体部と、前記蓋体部の側壁に形成された開口部を外
    部からの力によって変形可能な膜によりシールした窓部
    と、前記窓部の上方の前記側壁の外面箇所より突出した
    フランジ部とを有したことを特徴とする半導体収納治
    具。
  2. 【請求項２】 前記蓋体部の上壁の内面は角度θに傾斜
    した傾斜上面になっていることを特徴とする請求項１記
    載の半導体収納治具。
  3. 【請求項３】 前記蓋体部の側壁は前記キャリアの周囲
    を取り囲む第１乃至第４の側壁から構成し、互いに向か
    い合う第１及び第３の側壁に前記窓部をそれぞれ形成
    し、第２及び第４のうちの少なくとも１つの側壁の内面
    は角度θに傾斜した傾斜側面になっていることを特徴と
    する請求項１又は請求項２記載の半導体収納治具。
  4. 【請求項４】 半導体ウェハを搭載したキャリアを搬送
    する際のハンドリング方法において、キャリアフランジ
    を有する前記キャリアを上方より覆うことが可能のよう
    に開口底面を有する箱型の蓋体部と、前記蓋体部の側壁
    に形成された開口部を外部からの力によって変形可能な
    膜によりシールした窓部と、前記窓部の上方の前記側壁
    の外面箇所より突出したフランジ部とを有した半導体収
    納治具を用意し、前記キャリアを上方より前記半導体収
    納治具の前記蓋体部で覆い、前記キャリアフランジおよ
    び前記半導体収納治具のフランジ部のうち前記キャリア
    フランジのみを、前記窓部の膜を介して、支持する第１
    の制御と、前記キャリアフランジおよび前記半導体収納
    治具のフランジ部のうち前記半導体収納治具のフランジ
    部のみを支持する第２の制御とを可能にする移載機によ
    り、前記半導体収納治具の開閉動作および前記キャリア
    の移載動作を行い、かつ搬送中の前記半導体ウェハを密
    閉状態に保つことを特徴とするハンドリング方法。
  5. 【請求項５】 前記蓋体部の上壁の内面もしくは側壁の
    一内面は角度θに傾斜した傾斜面になっており、かつ前
    記キャリアの半導体ウェハを出し入れする開口面は前記
    角度θと同じ角度θに傾斜した傾斜面になっており、搬
    送中に前記両傾斜面が接触することにより、前記密閉状
    態に保つことを特徴とする請求項４記載のハンドリング
    方法。
  6. 【請求項６】 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
    の半導体収納治具を有するか、又は請求項４若しくは請
    求項５のいずれかに記載のハンドリング方法を用いるこ
    とを特徴とする生産システム。
  7. 【請求項７】 前記キャリアの移載を製造装置あるいは
    自動棚と自動搬送車との間で行うことを特徴とする請求
    項６記載の生産システム。
  8. 【請求項８】 前記キャリアの移載を自動棚と軌道上を
    走行可能なビークルとの間で行うことを特徴とする請求
    項６記載の生産システム。
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