JP3364294B2 - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents
搬送装置および搬送方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は搬送装置に係り、特に半
導体の製造等に好適な、トンネル内部に被搬送物を搭載
する搬送台車を備え、トンネル隔壁により外気を遮断し
た状態で被搬送物を搬送するトンネル搬送装置に関す
る。
導体の製造等に好適な、トンネル内部に被搬送物を搭載
する搬送台車を備え、トンネル隔壁により外気を遮断し
た状態で被搬送物を搬送するトンネル搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】最近、半導体製造等に関して極めて高度
の清浄度が要求され、粒子汚染を防ぐため、あるいは酸
化等の分子汚染を防ぐために、ウエハ等の被処理物を外
気に曝すことなく、例えば真空雰囲気下でプロセス装置
間を搬送する必要が出てきている。その一つの方法とし
て、真空トンネル搬送装置で複数のプロセス装置を結
び、真空トンネル内をウエハを搬送台車に搭載して搬送
する試みがある。図１２は、複数のプロセス装置をトン
ネル搬送装置で結合した半導体製造ラインの例を示して
いる。
の清浄度が要求され、粒子汚染を防ぐため、あるいは酸
化等の分子汚染を防ぐために、ウエハ等の被処理物を外
気に曝すことなく、例えば真空雰囲気下でプロセス装置
間を搬送する必要が出てきている。その一つの方法とし
て、真空トンネル搬送装置で複数のプロセス装置を結
び、真空トンネル内をウエハを搬送台車に搭載して搬送
する試みがある。図１２は、複数のプロセス装置をトン
ネル搬送装置で結合した半導体製造ラインの例を示して
いる。
【０００３】図１３は、図１２に示すＡＡ線に沿った断
面図である。搬送トンネル７の両側にプロセス装置Ａ，
Ｂが相対向して配置されている。プロセス装置Ａ，Ｂは
それぞれロボットチャンバ２５に移載ロボット１１，１
２を持っており、トンネル搬送装置７内を走行する搬送
台車９からウエハ５をプロセス装置Ａ，Ｂのプロセスチ
ャンバ２６へ移送したり、逆にプロセス装置Ａ，Ｂで処
理終了したウエハを、プロセス装置Ａ，Ｂから取り出し
搬送台車９に移送し、搬送台車９がトンネル搬送路７内
を走行し次の処理装置へ搬送する。
面図である。搬送トンネル７の両側にプロセス装置Ａ，
Ｂが相対向して配置されている。プロセス装置Ａ，Ｂは
それぞれロボットチャンバ２５に移載ロボット１１，１
２を持っており、トンネル搬送装置７内を走行する搬送
台車９からウエハ５をプロセス装置Ａ，Ｂのプロセスチ
ャンバ２６へ移送したり、逆にプロセス装置Ａ，Ｂで処
理終了したウエハを、プロセス装置Ａ，Ｂから取り出し
搬送台車９に移送し、搬送台車９がトンネル搬送路７内
を走行し次の処理装置へ搬送する。
【０００４】この搬送台車９は、トンネル隔壁８外部に
取り付けられた図示しないリニアモータと停止位置決め
装置等によって、トンネル７内を移動し被搬送物５を搬
送し所定の位置に停止する。
取り付けられた図示しないリニアモータと停止位置決め
装置等によって、トンネル７内を移動し被搬送物５を搬
送し所定の位置に停止する。
【０００５】また、トンネル搬送装置については、トン
ネル内部で搬送台車がトンネル隔壁と接触することな
く、搬送台車を走行させることができる磁気浮上搬送装
置が開発されており、係る搬送装置によればトンネル内
部で粒子を発生させることなく極めて清浄な環境下でウ
エハ等の被搬送物を処理装置間に搬送することができ
る。係る磁気浮上搬送装置の一例が、本発明者等により
国際特許出願ＰＣＴ／ＪＰ９３／００９３０に詳細に開
示されている。この装置は、磁極センサ、電磁石等ガス
発生のおそれがある部材がトンネル隔壁の大気側に配置
され、薄い隔壁を介して外気と遮断されたトンネル内部
にある搬送台車を浮上させ、同様にトンネル隔壁外部に
配置されたリニアモータ等により搬送台車を走行あるい
は停止させる。また係る磁気浮上搬送装置によれば、直
交した分岐を有するトンネル内を搬送台車は直交方向に
分岐し走行することも可能である。
ネル内部で搬送台車がトンネル隔壁と接触することな
く、搬送台車を走行させることができる磁気浮上搬送装
置が開発されており、係る搬送装置によればトンネル内
部で粒子を発生させることなく極めて清浄な環境下でウ
エハ等の被搬送物を処理装置間に搬送することができ
る。係る磁気浮上搬送装置の一例が、本発明者等により
国際特許出願ＰＣＴ／ＪＰ９３／００９３０に詳細に開
示されている。この装置は、磁極センサ、電磁石等ガス
発生のおそれがある部材がトンネル隔壁の大気側に配置
され、薄い隔壁を介して外気と遮断されたトンネル内部
にある搬送台車を浮上させ、同様にトンネル隔壁外部に
配置されたリニアモータ等により搬送台車を走行あるい
は停止させる。また係る磁気浮上搬送装置によれば、直
交した分岐を有するトンネル内を搬送台車は直交方向に
分岐し走行することも可能である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなプロセス装置とトンネル搬送装置との境界領域にお
いては、ウエハ５をプロセス装置Ａからプロセス装置Ｂ
に移送するというような相対向するプロセス装置間の移
送の場合には、プロセス装置Ａのロボット１１はウエハ
５をいったん搬送台車９上に置き、次にプロセス装置Ｂ
のロボット１２が搬送台車９上のウエハ５を取り上げプ
ロセス装置Ｂ内へ移送するという動作が行われる。すな
わち、相対向したプロセス装置Ａ，Ｂ間では、ウエハ５
を受け渡すときには、搬送台車９はウエハ５を搬送する
必要がないのにもかかわらず、ウエハ５を受け渡す一時
的な置台としてプロセス装置Ａ，Ｂ間に位置していなけ
ればならない。搬送台車９がたまたまトンネル７内の他
の位置に移動している場合にはウエハ５の受け渡しをす
ることができず、搬送台車９がプロセス装置Ａ，Ｂ間に
戻るまでの時間にはウエハの移送ができず、ウエハの受
け渡しをするための時間がかかるという問題があった。
うなプロセス装置とトンネル搬送装置との境界領域にお
いては、ウエハ５をプロセス装置Ａからプロセス装置Ｂ
に移送するというような相対向するプロセス装置間の移
送の場合には、プロセス装置Ａのロボット１１はウエハ
５をいったん搬送台車９上に置き、次にプロセス装置Ｂ
のロボット１２が搬送台車９上のウエハ５を取り上げプ
ロセス装置Ｂ内へ移送するという動作が行われる。すな
わち、相対向したプロセス装置Ａ，Ｂ間では、ウエハ５
を受け渡すときには、搬送台車９はウエハ５を搬送する
必要がないのにもかかわらず、ウエハ５を受け渡す一時
的な置台としてプロセス装置Ａ，Ｂ間に位置していなけ
ればならない。搬送台車９がたまたまトンネル７内の他
の位置に移動している場合にはウエハ５の受け渡しをす
ることができず、搬送台車９がプロセス装置Ａ，Ｂ間に
戻るまでの時間にはウエハの移送ができず、ウエハの受
け渡しをするための時間がかかるという問題があった。
【０００７】また、図１４に示すようにプロセス装置
Ａ，Ｂ間のロボット１１，１２で直接ウエハ５を受け渡
すことも考えられる。しかしながら、このような場合に
は図１５に示すように、ロボットのフィンガ１３，１４
の形状が互いに干渉しない形状になっていなくてはなら
ない。ところが、ロボットフィンガ１３，１４の形状は
プロセス装置内のウエハ置台の形状等によりすでに決定
されており、変更はなかなか難しく、ロボットフィンガ
１３，１４間で干渉しないようにするのは容易でない。
このため、処理装置Ａ，Ｂ間でロボット１１，１２のフ
ィンガ１３，１４により直接ウエハ５を移送することは
通常用いることができない。
Ａ，Ｂ間のロボット１１，１２で直接ウエハ５を受け渡
すことも考えられる。しかしながら、このような場合に
は図１５に示すように、ロボットのフィンガ１３，１４
の形状が互いに干渉しない形状になっていなくてはなら
ない。ところが、ロボットフィンガ１３，１４の形状は
プロセス装置内のウエハ置台の形状等によりすでに決定
されており、変更はなかなか難しく、ロボットフィンガ
１３，１４間で干渉しないようにするのは容易でない。
このため、処理装置Ａ，Ｂ間でロボット１１，１２のフ
ィンガ１３，１４により直接ウエハ５を移送することは
通常用いることができない。
【０００８】さらに、プロセス装置Ａ，Ｂと搬送トンネ
ル７間の境界領域の問題点として、接続されるプロセス
装置Ａ，Ｂのウエハ搬送面の高さがある。一般のプロセ
ス装置のウエハ搬送面は装置ごとに異なっており種々の
高さがある。これらを共通のトンネル搬送装置に接続し
ようとすると、移載ロボット１１，１２によっては、そ
の上下動の範囲が限られており、搬送台車からウエハを
授受することが困難な場合がある。
ル７間の境界領域の問題点として、接続されるプロセス
装置Ａ，Ｂのウエハ搬送面の高さがある。一般のプロセ
ス装置のウエハ搬送面は装置ごとに異なっており種々の
高さがある。これらを共通のトンネル搬送装置に接続し
ようとすると、移載ロボット１１，１２によっては、そ
の上下動の範囲が限られており、搬送台車からウエハを
授受することが困難な場合がある。
【０００９】また、プロセス装置Ａ，Ｂによっては装置
内部のウエハ置台が上下動しロボット１１，１２自体は
上下動できないものもある。このような場合には、図１
６に示すようにプロセス装置Ａ，Ｂと搬送トンネルとの
間に中間ロボットチャンバ２７を挿入し、このチャンバ
２７内のロボット２８を経由してウエハの授受を行うこ
とによりウエハ搬送面高さの調整を行っている。このた
め、ウエハの搬送装置が大型化してしまい高価になると
いう問題点がある。
内部のウエハ置台が上下動しロボット１１，１２自体は
上下動できないものもある。このような場合には、図１
６に示すようにプロセス装置Ａ，Ｂと搬送トンネルとの
間に中間ロボットチャンバ２７を挿入し、このチャンバ
２７内のロボット２８を経由してウエハの授受を行うこ
とによりウエハ搬送面高さの調整を行っている。このた
め、ウエハの搬送装置が大型化してしまい高価になると
いう問題点がある。
【００１０】本発明は係る従来技術の問題点に鑑みて為
されたものであり、プロセス装置とトンネル搬送装置と
の境界領域においてスムーズにウエハ等の被搬送物を移
送することのできるトンネル搬送装置を提供することを
目的とする。
されたものであり、プロセス装置とトンネル搬送装置と
の境界領域においてスムーズにウエハ等の被搬送物を移
送することのできるトンネル搬送装置を提供することを
目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のトンネル搬送装
置は、トンネル隔壁でもってトンネル外部と区分される
トンネル内部に、被搬送物を搭載して搬送する搬送台車
が配置されたトンネル搬送装置において、前記トンネル
隔壁の両側部に被搬送物を移送するロボットが配置さ
れ、両方のロボット間のトンネル内部に上下方向に移動
可能な被搬送物の置台が設けられていることを特徴とす
る。
置は、トンネル隔壁でもってトンネル外部と区分される
トンネル内部に、被搬送物を搭載して搬送する搬送台車
が配置されたトンネル搬送装置において、前記トンネル
隔壁の両側部に被搬送物を移送するロボットが配置さ
れ、両方のロボット間のトンネル内部に上下方向に移動
可能な被搬送物の置台が設けられていることを特徴とす
る。
【００１２】
【作用】プロセス装置Ａ，Ｂ間のトンネル内の両側にロ
ボットが配置された搬送台車停止位置に、被搬送物を載
置する上下方向に移動可能なウエハの置台を備えたこと
から、そのウエハの置台を経由してトンネルに対して相
対するプロセス装置のロボット間でウエハの受け渡しが
可能となる。更に、搬送台車にも、上下方向に貫通する
開口を備え、搬送台車が停止しているときに搬送台車上
に載置されたウエハを下からエレベータ機構により置台
が押し上げ、任意の位置に上昇した置台上のウエハをプ
ロセス装置のロボットフィンガが受け取りにいける構造
としたものである。従って、プロセス装置等に配置され
るロボットの搬送面の高さの制限がなくなり、中間移載
ロボットを使用することなしに、各種のプロセス装置を
共通の搬送トンネルに接続しウエハの受け渡しをスムー
ズに行うことができるようになる。
ボットが配置された搬送台車停止位置に、被搬送物を載
置する上下方向に移動可能なウエハの置台を備えたこと
から、そのウエハの置台を経由してトンネルに対して相
対するプロセス装置のロボット間でウエハの受け渡しが
可能となる。更に、搬送台車にも、上下方向に貫通する
開口を備え、搬送台車が停止しているときに搬送台車上
に載置されたウエハを下からエレベータ機構により置台
が押し上げ、任意の位置に上昇した置台上のウエハをプ
ロセス装置のロボットフィンガが受け取りにいける構造
としたものである。従って、プロセス装置等に配置され
るロボットの搬送面の高さの制限がなくなり、中間移載
ロボットを使用することなしに、各種のプロセス装置を
共通の搬送トンネルに接続しウエハの受け渡しをスムー
ズに行うことができるようになる。
【００１３】
【実施例】以下に、本発明の第１乃至第３実施例を添付
図面を参照しながら詳細に説明する。図１乃至図２は本
発明の第１実施例のトンネル搬送装置を示し、図１はプ
ロセス装置とトンネル搬送装置との配置を示し、図２は
図１におけるＡＡ線に沿ったトンネル搬送装置とプロセ
ス装置間の断面構成を示す。図１に示すように、搬送ト
ンネル７を経由してウエハを移送する可能性のある場
所、すなわちプロセス装置間の搬送台車９の停止点には
搬送トンネル隔壁８下部に開口部６を設け、該開口部６
にウエハ５を載置する置台１が配置されている。置台１
は、支持体２がエレベータ４に接続されていることか
ら、上下方向に移動可能である。また、置台１の上下方
向の移動に伴いベローズ３が伸縮することから、搬送ト
ンネル７内部は外気と遮断された状態が保持される。
図面を参照しながら詳細に説明する。図１乃至図２は本
発明の第１実施例のトンネル搬送装置を示し、図１はプ
ロセス装置とトンネル搬送装置との配置を示し、図２は
図１におけるＡＡ線に沿ったトンネル搬送装置とプロセ
ス装置間の断面構成を示す。図１に示すように、搬送ト
ンネル７を経由してウエハを移送する可能性のある場
所、すなわちプロセス装置間の搬送台車９の停止点には
搬送トンネル隔壁８下部に開口部６を設け、該開口部６
にウエハ５を載置する置台１が配置されている。置台１
は、支持体２がエレベータ４に接続されていることか
ら、上下方向に移動可能である。また、置台１の上下方
向の移動に伴いベローズ３が伸縮することから、搬送ト
ンネル７内部は外気と遮断された状態が保持される。
【００１４】ウエハ５の置台１は、通常はトンネル隔壁
８の開口部６に下がっている。プロセス装置Ａからプロ
セス装置Ｂへウエハ５を受け渡すときには、ウエハ５を
載置する置台１が所定の高さに上昇し、まずプロセス装
置Ａのロボット１１がそのフィンガ１３によりウエハ５
を置台１の上に載置する。その後、プロセス装置Ｂのロ
ボット１２のフィンガ１４がウエハ５を置台１から取り
上げ、プロセス装置Ｂ内へ移送する。その後置台１はエ
レベータ４が下方に移動することにより置台１はトンネ
ル隔壁８の開口部６に下がる。
８の開口部６に下がっている。プロセス装置Ａからプロ
セス装置Ｂへウエハ５を受け渡すときには、ウエハ５を
載置する置台１が所定の高さに上昇し、まずプロセス装
置Ａのロボット１１がそのフィンガ１３によりウエハ５
を置台１の上に載置する。その後、プロセス装置Ｂのロ
ボット１２のフィンガ１４がウエハ５を置台１から取り
上げ、プロセス装置Ｂ内へ移送する。その後置台１はエ
レベータ４が下方に移動することにより置台１はトンネ
ル隔壁８の開口部６に下がる。
【００１５】ロボット１１のフィンガ１３がプロセス装
置Ａ内に引き込まれ、ロボット１２のフィンガ１４がプ
ロセス装置Ｂ内に引き込まれることにより、搬送トンネ
ル７内は突起物が何もない状態となり、搬送台車がこの
部分に停止あるいは通過する場合は、ウエハ置台１がト
ンネル隔壁８下部に下がっているので搬送台車９の通行
を妨げるという問題を生じない。搬送台車９がプロセス
装置Ａ，Ｂ間の位置に停止した場合には、従来の技術に
示したようにウエハ５をプロセス装置ＡあるいはＢから
搬送台車９に、あるいはその逆に搬送台車９に搭載され
たウエハ５を処理装置Ａ，Ｂへ移送することができる
（図３参照）。
置Ａ内に引き込まれ、ロボット１２のフィンガ１４がプ
ロセス装置Ｂ内に引き込まれることにより、搬送トンネ
ル７内は突起物が何もない状態となり、搬送台車がこの
部分に停止あるいは通過する場合は、ウエハ置台１がト
ンネル隔壁８下部に下がっているので搬送台車９の通行
を妨げるという問題を生じない。搬送台車９がプロセス
装置Ａ，Ｂ間の位置に停止した場合には、従来の技術に
示したようにウエハ５をプロセス装置ＡあるいはＢから
搬送台車９に、あるいはその逆に搬送台車９に搭載され
たウエハ５を処理装置Ａ，Ｂへ移送することができる
（図３参照）。
【００１６】図４は、第１実施例の搬送台車の構造を示
す斜視図である。搬送台車９には上下方向に貫通する開
口部１０を備え、該開口部１０内を図示しない置台１が
上下方向に移動可能になっている。ウエハ５は搬送台車
９の上面に設けられたピン２１によって支持され搬送台
車９上に載置される。車輪２２は搬送台車９を搬送方向
に走行させるためのものであるが、搬送台車９を磁気浮
上させ隔壁８から被接触で走行させる磁気浮上式搬送装
置を用いてもよく、この場合においては車輪２２は不要
となる。尚、磁気浮上搬送装置は、搬送台車には磁性材
料のターゲットを備え、トンネル隔壁（キャン）外部に
備えられた浮上用電磁石の磁気吸引力によりトンネル外
部から浮上させた状態で走行させるものである。
す斜視図である。搬送台車９には上下方向に貫通する開
口部１０を備え、該開口部１０内を図示しない置台１が
上下方向に移動可能になっている。ウエハ５は搬送台車
９の上面に設けられたピン２１によって支持され搬送台
車９上に載置される。車輪２２は搬送台車９を搬送方向
に走行させるためのものであるが、搬送台車９を磁気浮
上させ隔壁８から被接触で走行させる磁気浮上式搬送装
置を用いてもよく、この場合においては車輪２２は不要
となる。尚、磁気浮上搬送装置は、搬送台車には磁性材
料のターゲットを備え、トンネル隔壁（キャン）外部に
備えられた浮上用電磁石の磁気吸引力によりトンネル外
部から浮上させた状態で走行させるものである。
【００１７】図５乃至図７は本発明の第２実施例のトン
ネル搬送装置における搬送トンネルとプロセス装置Ａ，
Ｂ間の境界領域を示す。本実施例では、プロセス装置Ａ
とプロセス装置Ｂとはウエハの搬送面の高さが図示する
ように異なっている。またプロセス装置Ｂのロボット１
２は上下移動が不可能であり、ロボット１２のフィンガ
１４は搬送台車９上のウエハ高さまで下がることができ
ないものとする。本実施例においても前述の第１実施例
と同様に置台１はエレベータ４及びベローズ３によって
外気を遮断した状態で上下移動することが可能である。
また、搬送台車９には図４に示すように搬送台車上に置
かれたウエハ５の下面に対応する部分に、置台１が通過
できる形状の開口部１０を有している。
ネル搬送装置における搬送トンネルとプロセス装置Ａ，
Ｂ間の境界領域を示す。本実施例では、プロセス装置Ａ
とプロセス装置Ｂとはウエハの搬送面の高さが図示する
ように異なっている。またプロセス装置Ｂのロボット１
２は上下移動が不可能であり、ロボット１２のフィンガ
１４は搬送台車９上のウエハ高さまで下がることができ
ないものとする。本実施例においても前述の第１実施例
と同様に置台１はエレベータ４及びベローズ３によって
外気を遮断した状態で上下移動することが可能である。
また、搬送台車９には図４に示すように搬送台車上に置
かれたウエハ５の下面に対応する部分に、置台１が通過
できる形状の開口部１０を有している。
【００１８】次に本実施例の動作について説明する。最
初の状態では置台１は下に下がっており、トンネル隔壁
８の開口部６に位置している。この状態で、搬送台車９
がウエハ５を搭載してウエハ５をプロセス装置Ｂに移送
するために所定の停止位置に停止する。図５に示すよう
に、トンネル隔壁８の開口部６から置台１が上昇し、搬
送台車９の開口部１０内を通ってウエハ５を図６に示す
位置まで持ち上げる。次に、図６に示すようにプロセス
装置Ｂのロボット１２のフィンガ１４が延びてウエハ５
の下に入る。次に図６に示すように、置台１を下げ、ウ
エハ５をロボット１２のフィンガ１４に支持させ、プロ
セス装置Ｂのロボット１２がウエハ５をプロセス装置Ｂ
内へ移送する。置台１は隔壁８の開口部６まで下がり、
搬送車９はトンネル７内を次の停止予定位置に走行す
る。
初の状態では置台１は下に下がっており、トンネル隔壁
８の開口部６に位置している。この状態で、搬送台車９
がウエハ５を搭載してウエハ５をプロセス装置Ｂに移送
するために所定の停止位置に停止する。図５に示すよう
に、トンネル隔壁８の開口部６から置台１が上昇し、搬
送台車９の開口部１０内を通ってウエハ５を図６に示す
位置まで持ち上げる。次に、図６に示すようにプロセス
装置Ｂのロボット１２のフィンガ１４が延びてウエハ５
の下に入る。次に図６に示すように、置台１を下げ、ウ
エハ５をロボット１２のフィンガ１４に支持させ、プロ
セス装置Ｂのロボット１２がウエハ５をプロセス装置Ｂ
内へ移送する。置台１は隔壁８の開口部６まで下がり、
搬送車９はトンネル７内を次の停止予定位置に走行す
る。
【００１９】なお、搬送台車９の形状は図４に示す第１
実施例の他に図８乃至図９に示すような種々のものが考
えられる。図８に示す第２実施例の搬送台車９では、ウ
エハ５が載置される置台１の上に天板２３を備えてい
る。これにより、被搬送物であるウエハ５の表面への塵
埃等の付着が防止される。
実施例の他に図８乃至図９に示すような種々のものが考
えられる。図８に示す第２実施例の搬送台車９では、ウ
エハ５が載置される置台１の上に天板２３を備えてい
る。これにより、被搬送物であるウエハ５の表面への塵
埃等の付着が防止される。
【００２０】図９は、第３実施例の搬送台車の形状を示
す。本実施例のように置台１が搬送方向に対して開口し
ている場合には、置台１がウエハ５を搬送台車９から持
ち上げた段階で搬送台車９は次の目的地へ走行でき、ウ
エハ５の授受の工程が終了するまでその場所へ止まる必
要がなくなり、ウエハの移送の速度を向上させることが
可能となる。
す。本実施例のように置台１が搬送方向に対して開口し
ている場合には、置台１がウエハ５を搬送台車９から持
ち上げた段階で搬送台車９は次の目的地へ走行でき、ウ
エハ５の授受の工程が終了するまでその場所へ止まる必
要がなくなり、ウエハの移送の速度を向上させることが
可能となる。
【００２１】図１０乃至図１１は、本発明の第３実施例
のトンネル搬送装置におけるプロセス装置Ａ，Ｂ間の境
界領域を示す。本実施例においては、トンネル隔壁８の
上面に開口２６を有し、置台１は該開口２６を介して上
下方向に移動可能となっている。置台１が、支持体２に
よりエレベータ４に接続され、エレベータ４が置台１を
上下方向に移動させ、ベローズ３により外気が遮断され
ている構造は前述の第１、第２の実施例と同様である。
図１１は、本実施例に置ける置台１の形状を示す斜視図
である。置台１にはウエハ５を支持するピン２１が配置
されている。ロボット１１のフィンガ１３は、置台１の
横方向からウエハ５を搬送しピン２１上に載置する。
のトンネル搬送装置におけるプロセス装置Ａ，Ｂ間の境
界領域を示す。本実施例においては、トンネル隔壁８の
上面に開口２６を有し、置台１は該開口２６を介して上
下方向に移動可能となっている。置台１が、支持体２に
よりエレベータ４に接続され、エレベータ４が置台１を
上下方向に移動させ、ベローズ３により外気が遮断され
ている構造は前述の第１、第２の実施例と同様である。
図１１は、本実施例に置ける置台１の形状を示す斜視図
である。置台１にはウエハ５を支持するピン２１が配置
されている。ロボット１１のフィンガ１３は、置台１の
横方向からウエハ５を搬送しピン２１上に載置する。
【００２２】本実施例においては、置台１は専らプロセ
ス装置Ａとプロセス装置Ｂ間へウエハ５を移送すること
に用いられる。動作の一例として、プロセス装置Ａから
フィンガ１３にウエハ５を載置しロボット１１のフィン
ガ１３を伸ばすことによりウエハ５を置台１に受け渡す
ことができる。置台１に載置されたウエハ５を、プロセ
ス装置Ｂのロボット１２のフィンガ１４がウエハ下面に
挿入され、ウエハ１を受取りプロセスＢ内にフィンガ１
４を引き戻すことにより、ウエハ５はプロセス装置Ｂ内
に受け渡される。
ス装置Ａとプロセス装置Ｂ間へウエハ５を移送すること
に用いられる。動作の一例として、プロセス装置Ａから
フィンガ１３にウエハ５を載置しロボット１１のフィン
ガ１３を伸ばすことによりウエハ５を置台１に受け渡す
ことができる。置台１に載置されたウエハ５を、プロセ
ス装置Ｂのロボット１２のフィンガ１４がウエハ下面に
挿入され、ウエハ１を受取りプロセスＢ内にフィンガ１
４を引き戻すことにより、ウエハ５はプロセス装置Ｂ内
に受け渡される。
【００２３】尚、搬送トンネル内の雰囲気は、真空等の
高度の清浄雰囲気となっている。本発明の趣旨は上記実
施例に限定されるものでなく種々の変形が可能であるこ
とは云うまでもない。又、各図中同一の符号は同一又は
相当部分を示す。
高度の清浄雰囲気となっている。本発明の趣旨は上記実
施例に限定されるものでなく種々の変形が可能であるこ
とは云うまでもない。又、各図中同一の符号は同一又は
相当部分を示す。
【００２４】
【発明の効果】以上に説明したように本発明の搬送装置
によれば、第１にトンネル搬送装置の両側に配置された
プロセス装置間でウエハの搬送を置台を経由することに
よって搬送台車を用いることなく行うことができる。ま
た、第２にプロセス装置間のウエハの搬送高さが異なる
ような場合でも、置台は上下の移動機構を備えているこ
とから容易に搬送面の高さを調整することができる。こ
れにより、プロセス装置間でスムーズに被搬送物を移送
することが可能となる。
によれば、第１にトンネル搬送装置の両側に配置された
プロセス装置間でウエハの搬送を置台を経由することに
よって搬送台車を用いることなく行うことができる。ま
た、第２にプロセス装置間のウエハの搬送高さが異なる
ような場合でも、置台は上下の移動機構を備えているこ
とから容易に搬送面の高さを調整することができる。こ
れにより、プロセス装置間でスムーズに被搬送物を移送
することが可能となる。
【図１】本発明の各実施例のトンネル搬送装置とプロセ
ス装置の配置の関係を示す説明図。
ス装置の配置の関係を示す説明図。
【図２】本発明の第１実施例のトンネル搬送装置の図１
におけるＡＡ線に沿った断面構成図であり、置台を介し
てウエハが移送される状態を示す。
におけるＡＡ線に沿った断面構成図であり、置台を介し
てウエハが移送される状態を示す。
【図３】図２における搬送台車からプロセス装置にウエ
ハが移送される状態を示す。
ハが移送される状態を示す。
【図４】第１実施例の搬送台車の形状を示す斜視図。
【図５】本発明の第２実施例のトンネル搬送装置の図１
におけるＡＡ線に沿った断面構成図。
におけるＡＡ線に沿った断面構成図。
【図６】図５におけるウエハが置台により持ち上げられ
た状態を示す。
た状態を示す。
【図７】図７におけるプロセス装置Ｂにウエハが移送さ
れる状態を示す。
れる状態を示す。
【図８】第２実施例の搬送台車の形状を示す斜視図及び
横断面図。
横断面図。
【図９】第３実施例の搬送台車の形状を示す斜視図及び
横断面図。
横断面図。
【図１０】本発明の第３実施例のトンネル搬送装置の図
１におけるＡＡ線に沿った断面構成図。
１におけるＡＡ線に沿った断面構成図。
【図１１】第３実施例のトンネル搬送装置におけるウエ
ハ置台の形状を示す斜視図。
ハ置台の形状を示す斜視図。
【図１２】従来のトンネル搬送装置とプロセス装置の配
置の関係を示す説明図。
置の関係を示す説明図。
【図１３】従来のトンネル搬送装置の図１におけるＡＡ
線に沿った断面構成図。
線に沿った断面構成図。
【図１４】図１３における両側のプロセス装置間に直接
ロボットフィンガによりウエハの移送を行う状態を示
す。
ロボットフィンガによりウエハの移送を行う状態を示
す。
【図１５】図１４におけるロボットフィンガとウエハと
の関係を示す上面図。
の関係を示す上面図。
【図１６】図１２において、中間ロボットチャンバをプ
ロセス装置とトンネル搬送装置間に配置した状態を示す
説明図。
ロセス装置とトンネル搬送装置間に配置した状態を示す
説明図。
【図１７】プロセス装置とトンネル搬送装置間に中間ロ
ボットチャンバを設けた場合の図１６のＢＢ線の断面構
成図。
ボットチャンバを設けた場合の図１６のＢＢ線の断面構
成図。
１ 置台
２ 支持体
３ ベローズ
４ エレベータ
５ ウエハ
６ トンネル隔壁の開口部
７ 搬送トンネル
８ トンネル隔壁
９ 搬送台車
１０ 開口部
１１，１２ ロボット
１３，１４ ロボットフィンガ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 松村 正夫
神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号
株式会社 荏原総合研究所内
(72)発明者 吉岡 毅
神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号
株式会社 荏原総合研究所内
(56)参考文献 特開 平１−228530（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−132142（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01J 3/00 - 3/04
B65G 49/07
H01L 21/68
Claims (6)
- 【請求項１】 トンネル隔壁でもってトンネル外部と区
分されるトンネル内部に、被搬送物を搭載して搬送する
搬送台車が配置されたトンネル搬送装置において、前記
トンネル隔壁の両側部に被搬送物を移送するロボットが
配置され、両方のロボット間のトンネル内部に上下方向
に移動可能な被搬送物の置台が設けられていることを特
徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記搬送台車には上下方向に貫通する開
口部が設けられ、前記置台が該開口部内を上下方向に移
動可能であることを特徴とする請求項１記載のトンネル
搬送装置。 - 【請求項３】 前記置台は、前記トンネル隔壁の下部又
は上部の開口部にベローズ機構及びエレベータ機構で機
密封止されると共に上下方向に移動可能に支持されたも
のであることを特徴とする請求項１または２記載のトン
ネル搬送装置。 - 【請求項４】 前記トンネル内部の雰囲気は真空であ
り、トンネル外部の雰囲気は大気であることを特徴とす
る請求項１または２記載のトンネル搬送装置。 - 【請求項５】 トンネル隔壁でもってトンネル外部と区
分されるトンネル内部に、被搬送物を搭載して搬送する
搬送台車が配置されたトンネル搬送装置と、前記トンネ
ル隔壁の両側部に配置された被搬送物を移送するロボッ
トと、前記ロボット間のトンネル内部に設けられた上下
方向に移動可能な被搬送物の置台とを備えた搬送装置に
おいて、 まず前記置台が所定の高さに移動し、次に第１のロボッ
トが前記置台の上に被搬送物を載置し、その後第２のロ
ボットが被搬送物を前記置台から取り上げ、プロセス装
置内に移送した後、前記置台が搬送台車の通行を妨げな
い位置に移動することを特徴とする搬送方法。 - 【請求項６】 トンネル隔壁でもってトンネル外部と区
分されるトンネル内部に、被搬送物を搭載して搬送する
搬送台車が配置されたトンネル搬送装置と、前記トンネ
ル隔壁の両側部に配置された被搬送物を移送するロボッ
トと、前記ロボット間のトンネル内部に設けられた上下
方向に移動可能な被搬送物の置台とを備えた搬送装置に
おいて、 前記搬送台車には置台が通過できる形状の開口部を備
え、まず前記置台が前記搬送台車の通行を妨げない位置
にあり、前記被搬送物を搭載した搬送台車が前記所定の
停止位置に停止し、次に前記置台が前記搬送台車の開口
部を通過して前記被搬送物を搭載して所定の高さまで上
昇し、その後いずれか一方の前記ロボットが被搬送物を
前記置台から取り上げ、プロセス装置内に移送した後、
前記置台が前記搬送台車の通行を妨げない位置に移動す
ることを特徴とする搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27615093A JP3364294B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 搬送装置および搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27615093A JP3364294B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 搬送装置および搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07108159A JPH07108159A (ja) | 1995-04-25 |
| JP3364294B2 true JP3364294B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=17565461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27615093A Expired - Fee Related JP3364294B2 (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 搬送装置および搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3364294B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3850281B2 (ja) * | 2001-12-11 | 2006-11-29 | 東京応化工業株式会社 | 基板処理システム |
| JP4389424B2 (ja) | 2001-12-25 | 2009-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送機構及び処理システム |
| TWI475627B (zh) | 2007-05-17 | 2015-03-01 | Brooks Automation Inc | 基板運送機、基板處理裝置和系統、於基板處理期間降低基板之微粒污染的方法，及使運送機與處理機結合之方法 |
| KR102110585B1 (ko) * | 2007-05-17 | 2020-05-13 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 측면 개방형 기판 캐리어 및 로드 포트 |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP27615093A patent/JP3364294B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07108159A (ja) | 1995-04-25 |
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