JPH01291442A - 工程内搬送装置 - Google Patents
工程内搬送装置Info
- Publication number
- JPH01291442A JPH01291442A JP63123253A JP12325388A JPH01291442A JP H01291442 A JPH01291442 A JP H01291442A JP 63123253 A JP63123253 A JP 63123253A JP 12325388 A JP12325388 A JP 12325388A JP H01291442 A JPH01291442 A JP H01291442A
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- transfer
- transport
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Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウェハ工程内搬送装置に関するものである。
より詳しくは、一つの生産ブロックのストッカから製造
装置の近くのストッカに一時保管し迅速に供給するため
の工程内搬送装置に関するものである。
装置の近くのストッカに一時保管し迅速に供給するため
の工程内搬送装置に関するものである。
従来、ウェハ工程内搬送はウェハをテフロン製のカセッ
トに収納しただけで（ウェハボックスに収納しない状態
で）搬送している２゜従って、ウェハは外気にさらされ
ている。
トに収納しただけで（ウェハボックスに収納しない状態
で）搬送している２゜従って、ウェハは外気にさらされ
ている。
また、との種のウェハ製造装置においては、空調費を低
減する力め製造装置部分、搬送部分などはクリーン度を
高くしその他の一般通路部分のクリーン度は低くできる
のが望ましい。
減する力め製造装置部分、搬送部分などはクリーン度を
高くしその他の一般通路部分のクリーン度は低くできる
のが望ましい。
従来の工程内搬送装置は床上自走台車（Ａ Ｇ Ｖ）に
ロボットを搭載した方式が多いが、床上自走台車は一般
通路部分を走行するが、ウェハの部分が外気にさらされ
ぬように床上自走台車に防塵装置が必要となり、且つ床
上自走台車の通路すなわち製造装置に沿ってオペレータ
通路が必要であるため搬送装置設置のためのスペースが
大きくなり、そのためクリーンルームが大きくなる問題
点がある。
ロボットを搭載した方式が多いが、床上自走台車は一般
通路部分を走行するが、ウェハの部分が外気にさらされ
ぬように床上自走台車に防塵装置が必要となり、且つ床
上自走台車の通路すなわち製造装置に沿ってオペレータ
通路が必要であるため搬送装置設置のためのスペースが
大きくなり、そのためクリーンルームが大きくなる問題
点がある。
本発明は、工程間ストッカと工程内ストッカとの間の第
１搬送装置と、工程内ストッカと製造装置の間の第２搬
送装置をせまいスペースを利用して配置し、ウェハの搬
送にあたり高クリーン度の部分のみを通過させ全体とし
てコンパクトな配置とし、クリーンルームを小さくでき
る装置である。
１搬送装置と、工程内ストッカと製造装置の間の第２搬
送装置をせまいスペースを利用して配置し、ウェハの搬
送にあたり高クリーン度の部分のみを通過させ全体とし
てコンパクトな配置とし、クリーンルームを小さくでき
る装置である。
以下図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明す
る。
る。
第１図および第２図を参照して、１は工程間ストッカ、
２は工程内ストッカ、３は工程間ストッカ１と工程内ス
トッカ２との間の第１搬送装置、４は工程内ストッカ２
と製造装置５との間の第２搬送装置である。上述の各装
置は、高クリーン度域の製造装置ゾーンＰに配置されて
いる。第２図において、６は工程間搬送装置である。
２は工程内ストッカ、３は工程間ストッカ１と工程内ス
トッカ２との間の第１搬送装置、４は工程内ストッカ２
と製造装置５との間の第２搬送装置である。上述の各装
置は、高クリーン度域の製造装置ゾーンＰに配置されて
いる。第２図において、６は工程間搬送装置である。
上述の製造装置ゾーンＰの間にオペレータ通路ゾーンＱ
を配置するが、該オペレータ通路ゾーンＱは低クリーン
度域とし空調費を低減している。
を配置するが、該オペレータ通路ゾーンＱは低クリーン
度域とし空調費を低減している。
第１図および第３図において、７は製造装置上部ＨＥＰ
Ａ、８は床上自走台車通路及びオペレータ通路上部ＨＥ
ＰＡを示す。
Ａ、８は床上自走台車通路及びオペレータ通路上部ＨＥ
ＰＡを示す。
次に、本発明の実施にあたり第１図を参照して、第１搬
送装置３は第２搬送装置４の上方に配置する。第１搬送
装置３は実施例では磁性流体浮上式搬送装置とし、架台
３ｃに走行方向に搬送路３ａを配置し、テーブル３ｂは
図示しない搬送路３ａとテーブル３ｂの底面との間に介
在させた磁性流体と、テーブル３ｂの底面に設けた図示
しない磁石との相互作用により、テーブル３ｂは搬送路
３ａより浮上し、ワイヤーロープ駆動方式で水平方向に
走行させるようにしたものである。
送装置３は第２搬送装置４の上方に配置する。第１搬送
装置３は実施例では磁性流体浮上式搬送装置とし、架台
３ｃに走行方向に搬送路３ａを配置し、テーブル３ｂは
図示しない搬送路３ａとテーブル３ｂの底面との間に介
在させた磁性流体と、テーブル３ｂの底面に設けた図示
しない磁石との相互作用により、テーブル３ｂは搬送路
３ａより浮上し、ワイヤーロープ駆動方式で水平方向に
走行させるようにしたものである。
駆動ワイヤーロープ等は装置下部ケース内１３に内装し
、外部に発塵を生じない構造とすることにより上方配置
が可能となった。
、外部に発塵を生じない構造とすることにより上方配置
が可能となった。
磁性流体浮上式搬送装置である第１搬送装置３のテーブ
ル３ｂがウェハカセット９を載置し搬送する。第１搬送
装置３のウェハカセットを載置するテーブル３ｂは上下
方向には昇降しないが、各カセット全段をカバーできる
位置に配置されている。第１搬送装置３上のウェハカセ
ット９はストッカのアーム１０で移動操作される。
ル３ｂがウェハカセット９を載置し搬送する。第１搬送
装置３のウェハカセットを載置するテーブル３ｂは上下
方向には昇降しないが、各カセット全段をカバーできる
位置に配置されている。第１搬送装置３上のウェハカセ
ット９はストッカのアーム１０で移動操作される。
第２搬送装置４は、掴み部１１を有するアーム１２が水
平方向に走行移動してウェハカセット９を搬送および各
ストッカ全段をカバーできるよう上下動させるが、アー
ム１２を走行駆動させるための駆動ワイヤロープ等は装
置下部のケース１３内に内装する。
平方向に走行移動してウェハカセット９を搬送および各
ストッカ全段をカバーできるよう上下動させるが、アー
ム１２を走行駆動させるための駆動ワイヤロープ等は装
置下部のケース１３内に内装する。
次に、本発明によるウェハの搬送を説明する。
工程間ストッカ１から送出されたウェハカセットは第１
搬送装置３（磁性流体浮上式搬送装置）のテーブル３ｂ
で工程内ストッカ２まで高クリーン度域内を搬送する。
搬送装置３（磁性流体浮上式搬送装置）のテーブル３ｂ
で工程内ストッカ２まで高クリーン度域内を搬送する。
工程内ストッカ２の位置で停止したテーブル３ｂより工
程内ストッカ２がウェハカセットを取込む、製造装置か
らの要求により工程内ストッカ２は棚内の適当なウェハ
カセットを取出し、工程内ストッカ２の前のテーブル１
５の上にウェハカセットを移載する。第２搬送装♂４は
そのウェハカセットを製造装置まで搬送する。
程内ストッカ２がウェハカセットを取込む、製造装置か
らの要求により工程内ストッカ２は棚内の適当なウェハ
カセットを取出し、工程内ストッカ２の前のテーブル１
５の上にウェハカセットを移載する。第２搬送装♂４は
そのウェハカセットを製造装置まで搬送する。
加工が駐了したウェハカセットは上記と逆の順序で工程
間ストッカ１に戻り、工程間搬送装ｒａ６の搬送台７等
により工程間搬送されて次工程に移動する。
間ストッカ１に戻り、工程間搬送装ｒａ６の搬送台７等
により工程間搬送されて次工程に移動する。
本発明は、工程内搬送にあたり第１搬送装置および第２
搬送装置のウェハカセット載置部をストッカ全段をカバ
ーできるようにせまいスペースを利用して配置できるよ
うにしたので、搬送装置の設置スペースを最小限にでき
る。
搬送装置のウェハカセット載置部をストッカ全段をカバ
ーできるようにせまいスペースを利用して配置できるよ
うにしたので、搬送装置の設置スペースを最小限にでき
る。
そのため、ウニ八カセットを高クリーン度域のみで搬送
させることができることになり、ウェハに付着するパー
ティクルが低減できると共に、搬送装置用に特別なＨＥ
ＰＡを要しないため、空調費の増加を必要とせず、搬送
装置の設置スペースのための通路を必要としないので、
高クリーン度を必要とするスペースが少なくなり、コン
パクトなりリーンルームで済み、建築費等の低減が計り
得る効果がある。
させることができることになり、ウェハに付着するパー
ティクルが低減できると共に、搬送装置用に特別なＨＥ
ＰＡを要しないため、空調費の増加を必要とせず、搬送
装置の設置スペースのための通路を必要としないので、
高クリーン度を必要とするスペースが少なくなり、コン
パクトなりリーンルームで済み、建築費等の低減が計り
得る効果がある。
また、オペレータ通路を製造装置の近くに配置できるの
で保守が容易となる効果も有する。
で保守が容易となる効果も有する。
第１図は本発明の実施例を示す工程内搬送装置の縦断面
図、第２図は同じく平面図である。 第３図はクリーンルームのエヤーの流れを示す略図であ
る。 １は工程間ストッカ、２は工程内ストッカ、３は第１搬
送装置、４は第２搬送装置、Ｐは製造装置ゾーン、Ｑは
オペレータ通路ゾーン
図、第２図は同じく平面図である。 第３図はクリーンルームのエヤーの流れを示す略図であ
る。 １は工程間ストッカ、２は工程内ストッカ、３は第１搬
送装置、４は第２搬送装置、Ｐは製造装置ゾーン、Ｑは
オペレータ通路ゾーン
Claims (3)
- （１）ウェハを工程間ストッカと工程内ストッカとの間
を搬送する第１搬送装置と、工程内ストッカと製造装置
との間を搬送する第２搬送装置とを有する搬送設備にお
いて、第１搬送装置のウェハ載置部は上下方向に昇降せ
ずストッカ全段をカバーできる位置に配置し、第２搬送
装置のウェハ載置部は上下方向に昇降可能でストッカ全
段をカバーできる位置に配置し、かつ前記搬送装置夫々
は水平方向に走行するようにしたことを特徴とする工程
内搬送装置。 - （２）ウェハを工程間ストッカと工程内ストッカとの間
を搬送する第１搬送装置と、工程内ストッカと製造装置
との間を搬送する第２搬送装置とを有する搬送設備にお
いて、前記搬送装置夫々のウェハ載置部を上下に配置し
、かつ前記搬送装置夫々の走行駆動部を下部に設けたこ
とを特徴とする工程内搬送装置。 - （３）第１搬送装置及び第２搬送装置と工程間ストッカ
及び工程内ストッカとのウェハ移載のため、前記各スト
ッカは掴み部を有し、かつ上下動するアームを備えたこ
とを特徴とする請求項１又は請求項２記載の工程内搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63123253A JPH01291442A (ja) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | 工程内搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63123253A JPH01291442A (ja) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | 工程内搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01291442A true JPH01291442A (ja) | 1989-11-24 |
Family
ID=14855997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63123253A Pending JPH01291442A (ja) | 1988-05-19 | 1988-05-19 | 工程内搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01291442A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08279546A (ja) * | 1995-03-28 | 1996-10-22 | Jenoptik Ag | 半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション |
| US6869263B2 (en) | 2002-07-22 | 2005-03-22 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and unloading station with buffer |
| US7677859B2 (en) | 2002-07-22 | 2010-03-16 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and uploading station with buffer |
-
1988
- 1988-05-19 JP JP63123253A patent/JPH01291442A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08279546A (ja) * | 1995-03-28 | 1996-10-22 | Jenoptik Ag | 半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション |
| US6071059A (en) * | 1995-03-28 | 2000-06-06 | Brooks Automation Gmbh | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| US6375403B1 (en) | 1995-03-28 | 2002-04-23 | Brooks Automation, Gmbh | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| US6461094B1 (en) | 1995-03-28 | 2002-10-08 | Jenoptik Ag | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| US6837663B2 (en) | 1995-03-28 | 2005-01-04 | Brooks Automation, Inc. | Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| US6869263B2 (en) | 2002-07-22 | 2005-03-22 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and unloading station with buffer |
| US7677859B2 (en) | 2002-07-22 | 2010-03-16 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and uploading station with buffer |
| US8454293B2 (en) | 2002-07-22 | 2013-06-04 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and unloading station with buffer |
| US9670010B2 (en) | 2002-07-22 | 2017-06-06 | Brooks Automation, Inc. | Substrate loading and unloading station with buffer |
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