JPH02265828A - ウェハの搬送装置 - Google Patents
ウェハの搬送装置Info
- Publication number
- JPH02265828A JPH02265828A JP8722589A JP8722589A JPH02265828A JP H02265828 A JPH02265828 A JP H02265828A JP 8722589 A JP8722589 A JP 8722589A JP 8722589 A JP8722589 A JP 8722589A JP H02265828 A JPH02265828 A JP H02265828A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- wafer cassette
- cassettes
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 241001061260 Emmelichthys struhsakeri Species 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
この発明はウェハブローバまでウェハを運ぶためのウェ
ハの搬送装置に関する。
ハの搬送装置に関する。
この発明はウエハブローバまでウェハを運ぶためのウェ
ハ搬送装置において、ウェハカセ７）の形状を底と天井
の部分がなく縦に重ねられるものにし、なおかつカセッ
ト台が複数のウェハカセットの長さ骨上下動作すること
により、複数のウェハカセットからウェハを搬送できる
ようにしたものである。
ハ搬送装置において、ウェハカセ７）の形状を底と天井
の部分がなく縦に重ねられるものにし、なおかつカセッ
ト台が複数のウェハカセットの長さ骨上下動作すること
により、複数のウェハカセットからウェハを搬送できる
ようにしたものである。
第２図ｔａｇ、 （ｂｌは、それぞれ従来の搬送装置の
正面図と平面図である。
正面図と平面図である。
第２図ｆａ＋、 （ｂｌに示すようにウェハ搬送装置は
ウェハカセット２ａ、２ｂの天井の底の部分にバイブ５
ａ、５ｂが入っている。また複数のウェハカセット２ａ
に対し横にウェハカセット２ｂをならべる方法が知られ
ていた。
ウェハカセット２ａ、２ｂの天井の底の部分にバイブ５
ａ、５ｂが入っている。また複数のウェハカセット２ａ
に対し横にウェハカセット２ｂをならべる方法が知られ
ていた。
なお、４はウェハ、３はベルトコンベアである。
しかし従来の技術の搬送方法は各カセットごとにカセッ
ト台とベルトコンベアが必要になるためウェハブローバ
のコストが上がり、床面積が広くなる欠点があった。
ト台とベルトコンベアが必要になるためウェハブローバ
のコストが上がり、床面積が広くなる欠点があった。
上記課題を解決するために、ウェハカセ７）の形状を底
と天井の部分がなく縦に重ねられるものにして、カセッ
ト台が複数のウェハカセットの長さ骨上下に動作するよ
うにした。
と天井の部分がなく縦に重ねられるものにして、カセッ
ト台が複数のウェハカセットの長さ骨上下に動作するよ
うにした。
ウェハカセットからベルトコンベアによりウェハが取り
出されるとカセット台が１段下がる、これを繰り返しウ
ェハカセン）１個分が終わり次のウェハカセットに移る
時、ウェハカセットの形状が底と天井部分がないもので
あるため、ベルトコンベアを邪魔する部分がないので次
のウェハカセットに移ることができる。
出されるとカセット台が１段下がる、これを繰り返しウ
ェハカセン）１個分が終わり次のウェハカセットに移る
時、ウェハカセットの形状が底と天井部分がないもので
あるため、ベルトコンベアを邪魔する部分がないので次
のウェハカセットに移ることができる。
以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図（姐中）は本発明の搬送装置の概略図であり、それ
ぞれ搬送装置の正面図と平面図である。
１図（姐中）は本発明の搬送装置の概略図であり、それ
ぞれ搬送装置の正面図と平面図である。
カセット台１の上にウェハ４の入ったウェハカセット２
ａを乗せ、ウェハカセット２ａの上にウェハカセッ）２
ｂを重ねる。ウェハ４がベルトコンベア３によって取り
出されるとカセット台１が１段下がる。
ａを乗せ、ウェハカセット２ａの上にウェハカセッ）２
ｂを重ねる。ウェハ４がベルトコンベア３によって取り
出されるとカセット台１が１段下がる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明は複数のウェハカセット
を縦に重ねておき、カセット台の上下動作で、複数のウ
ェハカセットからウェハを搬送するために、カセット台
とベルトコンベア部分が従来技術のウェハカセット１個
分で済み、ウヱハブローバのコストを下げ、床面積を小
さくする効果がある。
を縦に重ねておき、カセット台の上下動作で、複数のウ
ェハカセットからウェハを搬送するために、カセット台
とベルトコンベア部分が従来技術のウェハカセット１個
分で済み、ウヱハブローバのコストを下げ、床面積を小
さくする効果がある。
第１図（ａ）、 （ｂｌはそれぞれ本発明の搬送装置の
正面図と平面図、第２図ｆａｎ、 （ｂｌはそれぞれ従
来の搬送装置の正面図と平面図である。 １・・・カセット台 ２・・・ウェハカセット ３・・・ベルトコンベア ４・・・ウェハ ５・・・バイブ 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助 ４″７エバ ３ペルＦコンベア ウェハ搬送槙ＪＬｆ仰１各図 弔１図 １疋来の搬送装置の徊獲証 第２図
正面図と平面図、第２図ｆａｎ、 （ｂｌはそれぞれ従
来の搬送装置の正面図と平面図である。 １・・・カセット台 ２・・・ウェハカセット ３・・・ベルトコンベア ４・・・ウェハ ５・・・バイブ 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助 ４″７エバ ３ペルＦコンベア ウェハ搬送槙ＪＬｆ仰１各図 弔１図 １疋来の搬送装置の徊獲証 第２図
Claims (1)
- ウェハカセットとカセット台とベルトコンベアを持つウ
ェハ搬送装置において、複数のウェハカセットを縦に重
ね、カセット台の上下動作で複数のウェハカセットから
ウェハを搬送することを特徴とするウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8722589A JPH02265828A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | ウェハの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8722589A JPH02265828A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | ウェハの搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02265828A true JPH02265828A (ja) | 1990-10-30 |
Family
ID=13908936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8722589A Pending JPH02265828A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | ウェハの搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02265828A (ja) |
-
1989
- 1989-04-06 JP JP8722589A patent/JPH02265828A/ja active Pending
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