JPH088290B2 - 縦型拡散・ｃｖｄ装置のウェーハカセットロード・アンロード装置 - Google Patents
縦型拡散・ｃｖｄ装置のウェーハカセットロード・アンロード装置Info
- Publication number
- JPH088290B2 JPH088290B2 JP29830090A JP29830090A JPH088290B2 JP H088290 B2 JPH088290 B2 JP H088290B2 JP 29830090 A JP29830090 A JP 29830090A JP 29830090 A JP29830090 A JP 29830090A JP H088290 B2 JPH088290 B2 JP H088290B2
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- Japan
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- cassette
- wafer
- wafer cassette
- vertical
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、縦型拡散・CVD装置において、ウェーハカ
セットを装置内にロード・アンロードする装置に関す
る。
セットを装置内にロード・アンロードする装置に関す
る。
従来は、装置内にウェーハカセットをロード・アンロ
ードするのに、人間がウェーハ収納部にウェーハカセッ
トを収納したりこれより取り出したりする必要があっ
た。
ードするのに、人間がウェーハ収納部にウェーハカセッ
トを収納したりこれより取り出したりする必要があっ
た。
しかし、半導体デバイスの高集積化にともない、最大
の発塵源である人間が介在することを許されなくなって
きたため、自動化することが望まれていた。また、装置
単体の自動化だけではなく、製造ライン全体の自動化に
も対応する必要がでてきた。
の発塵源である人間が介在することを許されなくなって
きたため、自動化することが望まれていた。また、装置
単体の自動化だけではなく、製造ライン全体の自動化に
も対応する必要がでてきた。
現状では１個搬送のカセットローダはあるが、搬送に
時間がかかり、スループットが向上せず全自動化に対し
難点があった。
時間がかかり、スループットが向上せず全自動化に対し
難点があった。
本発明の目的は、縦型拡散・CVD装置において、ウェ
ーハカセットを装置内に自動でロード・アンロードする
ことによって、最大の発塵源である人間が介在すること
なく、かつ短時間でウェーハを取り扱えるようになし、
半導体製造ラインの全自動化に対応できる装置を提供す
ることである。
ーハカセットを装置内に自動でロード・アンロードする
ことによって、最大の発塵源である人間が介在すること
なく、かつ短時間でウェーハを取り扱えるようになし、
半導体製造ラインの全自動化に対応できる装置を提供す
ることである。
本発明装置は上記の課題を解決し、上記の目的を達成
するため、第１図及び第２図示のように縦型拡散・CVD
装置において、垂直状態のウェーハ７を収納したウェー
ハカセット６が載置されるカセット受台２と、該カセッ
ト受台２の回転によりウェーハカセット６を垂直状態か
ら水平状態に、逆に水平状態から垂直状態とする回転手
段３と、該カセット受台２を上下方向に移動させる上下
搬送手段５と、該カセット受台２を水平方向に送る水平
送り手段４とを有することを特徴とする。
するため、第１図及び第２図示のように縦型拡散・CVD
装置において、垂直状態のウェーハ７を収納したウェー
ハカセット６が載置されるカセット受台２と、該カセッ
ト受台２の回転によりウェーハカセット６を垂直状態か
ら水平状態に、逆に水平状態から垂直状態とする回転手
段３と、該カセット受台２を上下方向に移動させる上下
搬送手段５と、該カセット受台２を水平方向に送る水平
送り手段４とを有することを特徴とする。
ウェーハカセット６をロードする時は、カセット受台
２にウェーハカセット６を載置し、該カセット受台２を
上下搬送手段５により所望の高さまで上方又は下方へ搬
送し、カセット受台２を回転手段３により回転してウェ
ーハカセット６を垂直状態から水平状態にする。カセッ
ト受台２を水平送り手段４により水平方向に送ってウェ
ーハカセット６をロード先に送る。そしてカセット受台
２を上下搬送手段５により少し下降させることによって
ウェーハカセット６をロードする。ウェーハカセット６
をアンロードする時は、上記の逆の過程を経てアンロー
ドする。
２にウェーハカセット６を載置し、該カセット受台２を
上下搬送手段５により所望の高さまで上方又は下方へ搬
送し、カセット受台２を回転手段３により回転してウェ
ーハカセット６を垂直状態から水平状態にする。カセッ
ト受台２を水平送り手段４により水平方向に送ってウェ
ーハカセット６をロード先に送る。そしてカセット受台
２を上下搬送手段５により少し下降させることによって
ウェーハカセット６をロードする。ウェーハカセット６
をアンロードする時は、上記の逆の過程を経てアンロー
ドする。
即ち、ウェーハカセット６は、そのカセット受台２の
上下方向の搬送と、回転による姿勢変更と水平送りによ
りロード，アンロードされることになる。
上下方向の搬送と、回転による姿勢変更と水平送りによ
りロード，アンロードされることになる。
以下図面に基づいて本発明の実施例を説明する。
第１図は本発明装置の一実施例の構成を示すブロック
図、第２図は本実施例の斜視説明図である。
図、第２図は本実施例の斜視説明図である。
まず本実施例の構成を説明する。
本実施例な縦型拡散・CVD装置において、ウェーハカ
セット６の受渡しを検出する機能と，左右方向の位置決
め機能と，前後方向の位置決め機能とを有し，ウェーハ
カセット６の受渡しがウェーハ７の垂直状態で行われる
カセット受台２と、このカセット受台２にウェーハカセ
ット６の受渡しをウェーハ７の垂直状態で行うカセット
受渡し手段１と、カセット受台２を回転してウェーハカ
セット６を垂直状態から水平状態に，逆に水平状態から
垂直状態にするカセット回転手段３と、ウェーハカセッ
ト６を水平方向に送るカセット水平送り手段４と、ウェ
ーハ受台2,カセット回転手段３及びカセット水平送り手
段４を受渡し位置と装置内のカセット収納位置との間を
上下方向に搬送するカセット上下搬送手段（エレベー
タ）５とよりなる。
セット６の受渡しを検出する機能と，左右方向の位置決
め機能と，前後方向の位置決め機能とを有し，ウェーハ
カセット６の受渡しがウェーハ７の垂直状態で行われる
カセット受台２と、このカセット受台２にウェーハカセ
ット６の受渡しをウェーハ７の垂直状態で行うカセット
受渡し手段１と、カセット受台２を回転してウェーハカ
セット６を垂直状態から水平状態に，逆に水平状態から
垂直状態にするカセット回転手段３と、ウェーハカセッ
ト６を水平方向に送るカセット水平送り手段４と、ウェ
ーハ受台2,カセット回転手段３及びカセット水平送り手
段４を受渡し位置と装置内のカセット収納位置との間を
上下方向に搬送するカセット上下搬送手段（エレベー
タ）５とよりなる。
次に本実施例の動作を説明する。
第３図は本実施例の動作説明用フローチャートであ
る。
る。
カセット受台２にウェーハカセット６がカセット受渡
し手段１によりウェーハ７の垂直状態で供給されると、
ウェーハカセット６が置かれたことが検出され、ウェー
ハカセット６の左右位置決めがなされる。左右位置決め
が完了したらウェーハカセット６の前後位置決めがなさ
れ、前後位置決めが完了したらウェーハカセット６は、
カセット受台２が回転されて垂直状態から水平状態にさ
れる。
し手段１によりウェーハ７の垂直状態で供給されると、
ウェーハカセット６が置かれたことが検出され、ウェー
ハカセット６の左右位置決めがなされる。左右位置決め
が完了したらウェーハカセット６の前後位置決めがなさ
れ、前後位置決めが完了したらウェーハカセット６は、
カセット受台２が回転されて垂直状態から水平状態にさ
れる。
この水平状態にする回転が完了したらウェーハカセッ
ト６がカセット受台2,カセット回転手段３及びカセット
水平送り手段４と共にエレベータ５により受渡し位置か
ら所定収納位置まで上方又は下方へ移動され、所定収納
位置になったら、ウェーハカセット６がカセット水平送
り手段４によりカセット収納部へ水平送りされる。
ト６がカセット受台2,カセット回転手段３及びカセット
水平送り手段４と共にエレベータ５により受渡し位置か
ら所定収納位置まで上方又は下方へ移動され、所定収納
位置になったら、ウェーハカセット６がカセット水平送
り手段４によりカセット収納部へ水平送りされる。
水平送りが完了したらカセット左右位置決めが解除さ
れ、解除したら、エレベータ５により上記と同様にウェ
ーハカセット６が微小下降され、微小下降が完了した
ら、ウェーハカセット６がカセット収納部に正しく収納
されたかどうか判断される。正しく収納されていなけれ
ばアラームを発してその旨、知らせる。
れ、解除したら、エレベータ５により上記と同様にウェ
ーハカセット６が微小下降され、微小下降が完了した
ら、ウェーハカセット６がカセット収納部に正しく収納
されたかどうか判断される。正しく収納されていなけれ
ばアラームを発してその旨、知らせる。
正しく収納されていたらカセット水平送りが元に戻
り、元に戻ったらエレベータ５をカセット受渡し位置ま
で戻し、カセット受渡し位置のときはカセット回転を元
に戻し、元に戻ったら、カセット前後位置決めを解除
し、解除されたとき、一連の動作が終了したことにな
る。
り、元に戻ったらエレベータ５をカセット受渡し位置ま
で戻し、カセット受渡し位置のときはカセット回転を元
に戻し、元に戻ったら、カセット前後位置決めを解除
し、解除されたとき、一連の動作が終了したことにな
る。
本実施例では第１図，第２図示のようにカセット受渡
し手段1,カセット受台2,カセット回転手段３及びカセッ
ト水平送り手段４を２つずつ並設すればウェーハカセッ
ト６を２個同時に処理でき、ウェーハカセット６が１個
でも勿論可能である。
し手段1,カセット受台2,カセット回転手段３及びカセッ
ト水平送り手段４を２つずつ並設すればウェーハカセッ
ト６を２個同時に処理でき、ウェーハカセット６が１個
でも勿論可能である。
上述のように本発明によれば、垂直状態のウェーハ７
を収納したウェーハカセット６が載置されるカセット受
台２と、該カセット受台２の回転によりウェーハカセッ
ト６を垂直状態から水平状態に、逆に水平状態から垂直
状態とする回転手段３と、該カセット受台２を上下方向
に移動させる上下搬送手段５と、該カセット受台２を水
平方向に送る水平送り手段４とを有することを特徴とす
るので、 人間が介在することなくウェーハカセット６のロー
ド・アンロードを短時間ででき、スループットを向上で
きると共に半導体製造ラインの全自動化に対応すること
ができる。
を収納したウェーハカセット６が載置されるカセット受
台２と、該カセット受台２の回転によりウェーハカセッ
ト６を垂直状態から水平状態に、逆に水平状態から垂直
状態とする回転手段３と、該カセット受台２を上下方向
に移動させる上下搬送手段５と、該カセット受台２を水
平方向に送る水平送り手段４とを有することを特徴とす
るので、 人間が介在することなくウェーハカセット６のロー
ド・アンロードを短時間ででき、スループットを向上で
きると共に半導体製造ラインの全自動化に対応すること
ができる。
最大の発塵源の人間が介在しないため、パーティク
ルを減少する（10個以内／ウェーハ,0.28μ）ことがで
きる。
ルを減少する（10個以内／ウェーハ,0.28μ）ことがで
きる。
（３） ウェーハカセット６の複数個同時搬送が可能な
ので、スループットの向上を一層高めることができると
共に、半導体工場内のAGVなどのカセット搬送装置の負
荷を軽減することができる。
ので、スループットの向上を一層高めることができると
共に、半導体工場内のAGVなどのカセット搬送装置の負
荷を軽減することができる。
第１図は本発明装置の一実施例の構成を示すブロック
図、第２図は本実施例の斜視説明図、第３図は本実施例
の動作説明用フローチャートである。 １……カセット受渡し手段、２……カセット受台、３…
…カセット回転手段、４……カセット水平送り手段、５
……カセット上下搬送手段（エレベータ）、６……ウェ
ーハカセット、７……ウェーハ。
図、第２図は本実施例の斜視説明図、第３図は本実施例
の動作説明用フローチャートである。 １……カセット受渡し手段、２……カセット受台、３…
…カセット回転手段、４……カセット水平送り手段、５
……カセット上下搬送手段（エレベータ）、６……ウェ
ーハカセット、７……ウェーハ。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１ Ｊ
Claims (2)
- 【請求項１】縦型拡散・CVD装置において、 垂直状態のウェーハを収納したウェーハカセットが載置
されるカセット受台と、該カセット受台の回転によりウ
ェーハカセットを垂直状態から水平状態に、逆に水平状
態から垂直状態とする回転手段と、 該カセット受台を上下方向に移動させる上下搬送手段
と、 該カセット受台を水平方向に送る水平送り手段と、 を有することを特徴とする縦型拡散・CVD装置のウェー
ハカセットロード・アンロード装置。 - 【請求項２】前記カセット受台は、ウェーハカセット受
渡し検出機能と、左右方向の位置決め機能と、前後方向
の位置決め機能と、 を有する請求項１記載の縦型拡散・CVD装置のウェーハ
カセットロード・アンロード装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29830090A JPH088290B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 縦型拡散・ｃｖｄ装置のウェーハカセットロード・アンロード装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29830090A JPH088290B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 縦型拡散・ｃｖｄ装置のウェーハカセットロード・アンロード装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34980696A Division JPH09172051A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 縦型処理装置におけるウェーハカセット搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04171716A JPH04171716A (ja) | 1992-06-18 |
| JPH088290B2 true JPH088290B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=17857866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29830090A Expired - Fee Related JPH088290B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 縦型拡散・ｃｖｄ装置のウェーハカセットロード・アンロード装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088290B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2807150B2 (ja) * | 1992-08-31 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 環境制御装置 |
| US6579052B1 (en) | 1997-07-11 | 2003-06-17 | Asyst Technologies, Inc. | SMIF pod storage, delivery and retrieval system |
| FR2844258B1 (fr) * | 2002-09-06 | 2005-06-03 | Recif Sa | Systeme de transport et stockage de conteneurs de plaques de semi-conducteur, et mecanisme de transfert |
| KR100851391B1 (ko) * | 2007-04-27 | 2008-08-08 | 세메스 주식회사 | 탄소나노튜브 합성장치 및 방법 |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP29830090A patent/JPH088290B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04171716A (ja) | 1992-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |