JPH0751797Y2 - 縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は、LSIあるいは超LSI等を製造する縦型プラズ
マ処理機において、縦型に構成されているリアクター下
方に設置された縦型のウエハー支持具内に１枚毎にウエ
ハーを順次挿入しあるいは取出すに際し、ウエハーが収
納されているウエハーカセットから順次取出し、あるい
はウエハーカセットに収納させるようにウエハーを搬送
させる縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置に関す
る。

（従来の技術） 近時、LSIあるいは超LSI等を製造する際のウエハー表面
に対するアッシング、エッチングには、縦型に構成され
たプラズマ処理機が多用されつつある。

この縦型のプラズマ処理機は、プラズマ処理を行なわせ
るために密閉されるリアクターを上部に、リアクター内
外での半導体ウエハーの収納、取出しを行なわせる昇降
装置を下部に夫々配置して成る。そして、処理機前部に
配した搬送装置によって、ウエハーカセットからウエハ
ーを１枚毎に取出し、このようにして取出したウエハー
を、昇降装置に設置される縦型のウエハー支持具内に順
次挿入し、段状に支持させるようになっている。

こうした搬送装置として従来提案されているものは、例
えば、特公昭63−25500号公報のものがある。すなわ
ち、プラズマ処理機前部に張り出し状に設けたカセット
台上の左右にカセット載置部を設け、このカセット載置
部からカセット台の中央部に至るまでの第１の搬送部材
をカセット台の左右方向に沿って設け、この第１の搬送
部材によって、左右のカセット載置部からのウエハーを
カセット台中央部に搬送するようにしてある。そして、
カセット台中央部には、第１の搬送部材先端位置から、
処理機の奥部に配されているウエハー支持具に至るまで
の第２の搬送部材をカセット台の前後方向に沿って設
け、この第２の搬送部材によって、第１の搬送部材後端
からのウエハーをウエハー支持具位置までに搬送するよ
うにしてある。

（考案が解決しようとする課題） すなわち、この従来の搬送装置にあっての第１の搬送部
材は、カセット台の左右に配されたカセット載置部から
のウエハーカセットからウエハーを取出し、それをカセ
ット台中央部に配した第２の搬送部材前端位置に送り出
すものである。

したがって、左右のウエハーカセットから送り出された
ウエハーは、一旦は左右方向に沿って搬送された後、そ
の搬送方向を直交方向に強制的に変更されることにな
る。そのために、その搬送方向の変更部位である第１の
搬送部材後端と第２の搬送部位前端との間で同期してい
なかったり、搬送面に段差があったりして連繋が不十分
であると、ウエハーの搬送が不確実となる。その結果、
ウエハー支持具内に順次挿入されるときに、その昇降動
作との制御関連が一致しなくなることもある。また、こ
れを確実に作動させるようにするためには、複雑な制御
機構が必要になって、面倒なものであった。

なお、通常は、ウエハーカセットの収納容量は25枚に、
また、ウエハー支持具によるリアクターでの処理容量は
50枚に夫々設定されているから、２個のウエハーカセッ
トからリアクター内に供給される必要があるのである。
したがって、こうした２個のウエハーカセットからどの
ようにしてウエハーを取出し、また、処理後のウエハー
を収容するかが、問題となっていたものである。

そこで、この考案は、叙上のような従来存した諸事情に
鑑み案出されたもので、プラズマ処理機の奥部に設置さ
れているカセット支持具に対してウエハーを搬送するに
際し、ウエハーの搬送方向の前後にウエハーカセットを
配することで、搬送方向を変更することなくウエハーカ
セット内のウエハーを確実に搬送できるようにしたもの
であり、特に、ウエハーカセットからのプラズマ処理す
べきウエハーの取出し、あるいはプラズマ処理後のウエ
ハーカセットへの収納をウエハーの１枚毎に確実に行な
い。ウエハー支持具の昇降動作との確実な連繋制御を可
能にし、また、設置スペースも小さくできる縦型プラズ
マ処理機のウエハー搬送装置の提供を目的とする。

（課題を解決するための手段） 上述した目的を達成するため、この考案にあっては、次
のように構成される。

すなわち、プラズマ処理を行なうべく、縦型に構成され
たプラズマ処理機の前部であるリアクター１前方におい
て、リアクター１に対するウエハーＷの搬送方向の前後
で搬送方向に沿って、リアクター１に近い側に位置させ
て前段供給部10Aを、同じくリアクター１に遠い側に位
置させて後段供給部10Bを夫々順次に配すると共に、前
段供給部10Aの前端とリアクター１との間に搬送手段50
を介在させる。

これらの前後段の供給部10A,10B夫々は共に、前後部が
切欠状に快られている平面はほぼＨ字形のキャリアカセ
ットテーブル11に載置セットされたウエハーカセット３
を間欠的に昇降させる昇降機構15と、キャリアカセット
テーブル11の前後部内夫々に位置して、ウエハーカセッ
ト３内の最下位位置にあるウエハーＷ下面に接触する搬
送コンベア32を有する搬送機構30とを備えている。

そして、これらの前後段の供給部10A,10Bからリアクタ
ー１側へのウエハーＷの送り出し時は、後段供給部10B
からの送り出しが終了した後に前段供給部10Aからの送
り出しが開始されるようにしてある。すなわち、先ず、
前段供給部10Aのウエハーカセット３を上昇位置で待機
させておいて、その下方を経由して後段供給部10Bのウ
エハーカセット３を間欠下降させながら搬送機構30によ
って送り出すのであり、その送り出しが終了すると、同
様にして、前段供給部10Aのウエハーカセット３を間欠
下降させながら搬送機構30によって送り出すのである。

また、リアクター１側からのウエハーＷの取出し、収納
時は、最下位位置で待機していた前段供給部10Aのウエ
ハーカセット３を間欠上昇させながら搬送機構30によっ
てウエハーカセット３内に収納した後、これを上昇位置
で待機させる。この上昇位置の待機状態で、その下方を
経由して、同様に後段供給部10Bのウエハーカセット３
内に搬送機構30によって収納させるのであり、このと
き、昇降機構15は間欠上昇するようにしてある。

そして、搬送手段50は、前段供給部10Aのリアクター１
側の端部からリアクター１の手前まで延在するように配
置されている固定搬送コンベア51と、この固定搬送コン
ベア51内に格納される状態とリアクター１側に進出して
リアクター１内のウエハー支持具２内に先端が到達する
状態との間で進退自在な進退搬送コンベア52とを有して
成るものである。

（作用） この考案に係る縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置
にあって、リアクター１側へウエハーＷを供給するとき
は、前後段の供給部10A,10B夫々に、プラズマ処理すべ
きウエハーＷが収納されているウエハーカセット３が載
置セットされる。

そこで、先ず、前段供給部10Aではそのウエハーカセッ
ト３を上昇位置に保持させた状態で、後段供給部10Bか
らウエハーＷを１枚毎に送り出す。すなわち、後段供給
部10Bでは、その昇降機構15によってウエハーカセット
３を間欠的に下降させる一方、送り出し方向に駆動され
る搬送機構30の搬送コンベア32が、平面ほぼＨ字形のキ
ャリアカセットテーブル11における前後の切欠部内夫々
に位置していることでウエハーカセット３内の最下位位
置にあるウエハーＷの下面に確実に接触し、これを引き
出し、送り出すからである。後段供給部10Bからの繰り
出しが終了すると、今度は、前段供給部10Aから、同様
にして、昇降機構15がウエハーカセット３を間欠的に下
降させるのに伴ない、搬送機構30にてウエハーＷを１枚
毎に送り出す。このとき、搬送手段50における進退搬送
コンベア52がリアクター１内のウエハー支持具２内に進
入してウエハー支持具２の昇降と共にウエハーＷを所定
位置に順次に挿入するのであり、挿入作動終了後の進退
搬送コンベア52は固定搬送コンベア51内に格納される。

プラズマ処理が終了したウエハーＷが搬送手段50におけ
る進出した進退搬送コンベア52、固定搬送コンベア51に
よって取出されると、先ず、前段供給部10Aでは、ウエ
ハーカセット３を昇降機構15によって間欠的に上昇させ
ながらウエハーＷを１枚毎に、ウエハーカセット３内に
搬送機構30によって順次収納する。このようにして前段
供給部10Aのウエハーカセット３内への収納が終了する
と、前段供給部10Aは、ウエハーカセット３の上昇位置
が保持されたままとなる。次いで、同様に、後段供給部
10Bのウエハーカセット３内への収納が開始され、昇降
機構15によって間欠的に上昇させながら搬送機構30によ
ってウエハーＷを１枚毎にウエハーカセット３内に収納
する。

（実施例） 以下、図面を参照してこの考案の一実施例を説明する。

〈縦型プラズマ処理機〉 この考案ウエハー搬送装置は、第５図に示すように、プ
ラズマ処理を行なわせるためのリアクター１が上部に設
けられた縦型のプラズマ処理機において、リアクター１
内に装入され、取出されるよう昇降自在になっているウ
エハー支持具２内に半導体ウエハーＷを挿入し、また、
取出すために、リアクター１前方でのプラズマ処理機自
体の前部、すなわちウエハーカセット３がセットされる
カセット台４に設けられる。

しかして、リアクター１自体は、石英製の筒状に構成さ
れていて、フレーム５でのほぼ中央高さ位置で固定して
あるチャンバ下部バルクヘッド６上に立設固定されてい
る。そして、このチャンバ下部バルクヘッド６に開口し
てあるリアクター入口を開閉する昇降自在な可動バルク
ヘッド７上にウエハー支持具２が設置されるもので、こ
の可動バルクヘッド７は図示を省略した昇降装置によっ
てウエハーＷを保持間隔で間欠昇降されるようになって
いる。

また、リアクター１には、リアクター１を密着囲繞する
外部電極と、この外部電極に対して所定の間隔を隔てた
位置で配置された内部電極とで形成されるプラズマ生成
区域が得られるようにしてある。

〈ウエハー搬送装置の概要〉 そして、この考案に係る搬送装置は、図示のように、リ
アクター１側に位置される前段供給部10Aと、この前段
供給部10Aの後方に配置される後段供給部10Bと、前段供
給部10A前方のリアクター１側に介在される搬送手段50
とから成り、前後段の供給部10A,10B夫々は、載置セッ
トされたウエハーカセット３を、リアクター１側への供
給時では間欠的に下降させ、処理後のウエハーＷの収納
時では間欠的に上昇させる昇降機構15と、ウエハーカセ
ット３の昇降に伴ないウエハーＷを取出しあるいは収納
させる正逆転作動の搬送機構30とを有する。

〈前後段の供給部〉 しかして、これらの前後段の供給部10A,10Bは、プラズ
マ処理機の前部に設けられているカセット台４に組み込
み構成されている。

第５図に示すように、カセット台４は、プラズマ処理機
本体の前部に張り出し状にして構成されており、上面に
は、ウエハーカセット３を載置セットし、また、昇降さ
せる前後に一対のキャリアカセットテーブル11が、上方
あるいは下方に昇降されるよう、区画分割されて設けら
れたセットテーブル12が形成されている。この前後のキ
ャリアカセットテーブル11自体は、前後段の供給部10A,
10B夫々に関連して配置されており、第２図に示すよう
に、前後側がコ字形に快られた平面ほぼＨ字形を呈し、
ウエハーカセット３が自身の上面の所定位置にセットさ
れるようガイドを有する。

〈昇降機構〉 しかして、昇降機構15は、昇降モータ17の駆動によるネ
ジ送り作用で、キャリアカセットテーブル11上に載置セ
ットされたウエハーカセット３を間欠的に昇降させるよ
うにしてある。

すなわち、カセット台４下部に固定した供給機構ベース
16上に昇降モータ17を固定し、そのモータ軸を供給機構
ベース16下方に突出させる。また、供給機構ベース16と
カセットテーブル12との間には立設状にして適数本のガ
イドシャフト18を連結し、このガイドシャフト18には、
これ18によって上下方向に摺動案内されるエレベーター
台座19を、リニアガイド21を介して嵌め合せ配置し、エ
レベーター台座19には前記キャリアカセットテーブル11
を連結してある。

一方、供給機構ベース16とセットテーブル12との間には
上下方向に沿っての送りネジシャフト22を回転自在にし
て立設状に支承し、エレベータ台座19に連繋した送りハ
ウジング23に内蔵させたボールネジ構造の送りナットに
噛み合せる。送りネジシャフト22自体は、その下端が供
給機構ベース16に支承されていて、供給機構ベース16下
方への突出部分は、前記モータ軸とタイミングベルト・
プーリー、歯車その他の伝達手段24を介して連繋されて
いる。

また、キャリアカセットテーブル11での昇降は、このキ
ャリアカセットテーブル11上に載置セットされるウエハ
ーカセット３でのウエハーＷの保持間隔に対応して間欠
的に行なわれる。すなわち、搬送機構による１枚毎のウ
エハーＷのリアクター１側への送り出し、あるいはリア
クター１側から送り出された後のウエハーカセット３内
への収納に対応して間欠的に昇降されるもので、その制
御は、第１図に示すように、昇降間隔を検出する位置検
出手段25による。この位置検出手段25は、供給機構ベー
ス16を支持している鉛直方向の支柱26に付設された遮蔽
板27に、ウエハーカセット３でのウエハーＷの保持間隔
に対応した多数の切欠を列設し、例えば前記リニアガイ
ド21に配設した位置検出センサー28によって切欠位置を
検出するようにしてある。そして、位置の検出毎に、昇
降作動を一旦停止させ、搬送機構30によるウエハーＷの
１枚毎の搬送終了後に再度昇降作動をさせるようになっ
ている。

〈搬送機構〉 一方、搬送機構30は、ウエハーＷの送り出し、収納作動
中は、回転駆動されており、その搬送コンベア32の搬送
ベルト35は、第１図、第３図に示すように、セットテー
ブル12上面の若干上方位置に設定されている。そして、
その搬送面は、キャリアカセットテーブル11上に載置セ
ットされたウエハーカセット３内における送り出しある
いは収納するウエハーＷ位置に対応して前記キャリアカ
セットテーブル11の前後部の切欠部内夫々に計４個にす
ることで位置しており、ウエハーカセット３が間欠的に
昇降することで、ウエハーＷ下面に接触して送り出し、
収納を行なうようになっている。また、この搬送機構30
は、第２図、第５図に示すように、後述するウエハー支
持具２に対して直接に挿入する搬送手段50と連動し、ウ
エハーＷの送り出し時はこの搬送手段50に搬出し、収納
時はこの搬送手段50から搬入されるようにしてある。

すなわち、ウエハーカセット３によって保持されたウエ
ハーＷの下方に位置する搬送コンベア32を、搬送方向の
前後に沿って搬送面（35）に配列し、これらの搬送コン
ベア32を搬送モータ31によって作動させるようにして成
る。

なお、搬送モータ31は、前記供給機構ベース16上に固定
されている。

一方、搬送コンベア32は、前記キャリアカセットテーブ
ル11の前後に設けられている切欠部内夫々に位置するよ
うにした前後に一対にして配列構成されている。図示の
ように、夫々は、供給機構ベース16あるいはセットテー
ブル12から適当に支持されたプーリハウジング33の前後
に支承した搬送プーリ34相互間に、搬送面に臨む左右一
対の搬送ベルト35を掛け渡して成る。搬送ベルト35は、
断面が円形で、ループ状に形成されており、例えばウエ
ハーＷ下面との接触摩擦係数が高い素材によって形成さ
れるものとし、その接触によってウエハーＷの引き出
し、搬送が確実に行なわれるようにしてある。

そして、搬送モータ31のモータ軸と搬送コンべア32と
は、ループベルト、タイミングベルト・プーリ、歯車そ
の他の伝達手段36を介して連繋されている。図示にあっ
ての伝達手段36は、モータ軸に固着した駆動プーリ37
と、前後夫々の搬送コンベア32に設けられた搬送プーリ
34とを、搬送プーリ34夫々に連繋されている前後の従動
プーリ38が配列されている中継ドライブ39を介して伝達
構成したものであり、全体が一連に同期作動される。

したがって、ウエハーＷの送り出し作動中では、キャリ
アカセットテーブル11上に載置セットされたウエハーカ
セット３内に保持されている最下位位置のウエハーＷ下
面に搬送機構30の搬送面、すなわち搬送ベルト35が接触
すると、これＷをウエハーカセット３内から引き出して
送り出す。送り出し後にウエハーカセット３が間欠下降
して搬送ベルト35に上位のウエハーＷが接触すると、こ
れＷを再度引き出し、送り出す。また、収納作動中で
は、搬送ベルト35によって搬送された来たウエハーＷが
ウエハーカセット３内の保持溝に送り込まれると、ウエ
ハーカセット３が間欠上昇して搬送面位置に下位の保持
溝を合致させて待機したものとなっていると、再度送り
込まれるウエハーＷがウエハーカセット３内の保持溝内
に収納される。

以上説明した昇降機構15、搬送機構30は、前後段の供給
部10A,10B夫々に共通しており、ただ、それらの昇降機
構15の間欠昇降の作動時期に相違があるにすぎない。

〈前後段の供給部による搬送動作〉 また、前後段の供給部10A,10B夫々は、ウエハーＷをリ
アクター１側へ供給するときは、先ず、前段供給部10A
ではそのウエハーカセット３が上昇位置に保持されてい
て、そのキャリアカセットテーブル11下方には、後段の
供給部10BのウエハーＷの搬送空間が確保されている
（第１図、第５図参照）。そして、後段供給部10Bから
ウエハーＷが送り出されるのであり、このとき、送り出
されるウエハーＷは、送り出し方向に駆動される搬送機
構30によって前段供給部10Aのキャリアカセットテーブ
ル11下方を経由して搬送される。このようにして、後段
供給部10Bからの送り出しが終了すると、今度は、前段
供給部10AからウエハーＷを１枚毎に搬送機構30にて送
り出す。

逆に、処理後のウエハーＷがリアクター１側から送り出
されると、先ず、最下位位置で待機していた前段供給部
10Aのウエハーカセット３内に間欠的に上昇させながら
ウエハーＷを１枚毎に、収納方向に駆動する搬送機構30
によって収納する。前段供給部10Aのウエハーカセット
３内への収納が終了すると、前段供給部10Aは、その上
昇位置が保持され、また、若干上昇して、そのキャリア
カセットテーブル11下方には、後段の供給部10Bのウエ
ハーＷの搬送空間が確保される。すると、今度は、後段
供給部10Bのウエハーカセット３内への収納が開始さ
れ、前段供給部10Aのキャリアカセットテーブル11下方
を経由して搬送されたウエハーＷが、間欠的に上昇され
るウエハーカセット３内に１枚毎に収納される。

〈ウエハー支持具への搬出、あるいはこれからの搬入連
繋〉 更に、リアクター１下方に位置されて、このリアクター
１内にウエハーＷを装入、取出すべく昇降されるウエハ
ー支持具２へのウエハーＷの搬出あるいはこれ２からの
搬入は、第２図、第５図に示される別の搬送手段50によ
って行なわれる。

この搬送手段50は、前段供給部10Aの前端、すなわちリ
アクター１側の端部からリアクター１の手前まで延在す
るように配置されている固定搬送コンベア51と、この固
定搬送コンベア51内にウエハーＷが格納される状態とリ
アクター１側に進出してリアクター１内のウエハー支持
具２内に先端が到達する状態との間で進退自在な進退搬
送コンベア52とを有するもので、後退位置にある狭い幅
員に形成された進退搬送コンベア52は、広い幅員に形成
された固定搬送コンベア51内に格納されるようになって
いるものである。

なお、これらの固定搬送コンベア51と進退搬送コンベア
52とは、前記した搬送機構30におけると同様な搬送ベル
ト構造を有しており、ウエハーＷ下面との摩擦接触によ
ってウエハーＷを搬送する。

更に、以上の実施例の説明においては、リアクター１へ
のウエハーＷの送り出しに際し、後段供給部10Bから送
り出した後に前段供給部10Aから送り出すものとしてあ
るが、これを逆にして前段供給部10Aからの送り出し後
に後段供給部10Bから送り出すようにしてもよく、ま
た、ウエハーカセット３への収納に際し、前段供給部10
Aに収納した後に後段供給部10Bに収納するものとしてあ
るが、これも同様に逆にして後段供給部10Bへの収納後
に前段供給部10Aに収納するようにしてもよいものであ
る。

（考案の効果） この考案は以上のように構成されているから、アッシン
グ、エッチング等のプラズマ処理を行なわせるリアクタ
ー１に対してウエハーＷを搬送するとき、そのウエハー
Ｗの搬送方向の前後に沿って２個のウエハーカセット３
を配することができ、したがって、これらの２個のウエ
ハーカセット３内のウエハーＷを搬送方向を変更するこ
となく、確実に搬送できるものである。しかも、前後に
配される２個のウエハーカセット３は、リアクター１前
方位置で左右に広がることなく設けられているキャリア
カセットテーブル11上に載置セットされるから、全体装
置の間口が狭く、小さくて済み、例えば設置場所である
クリーンルーム内での配置構成に際し、極めて有利であ
る。

特に、プラズマ処理すべきウエハーＷのウエハーカセッ
ト３からの取出し、あるいはプラズマ処理後のウエハー
Ｗのウエハーカセット３への収納を１枚毎に確実に行な
えるから、リアクター１内に装入され、また、取出され
るウエハー支持具２の間欠的な昇降動作との確実な連繋
制御を可能にし、また、設置スペースも小さくできるも
のである。

すなわち、これは、この考案が、設置セットされたウエ
ハーカセット３を間欠的に昇降させる昇降機構15と、ウ
エハーカセット３内の最下位位置にあるウエハーＷ下面
に接触する搬送面（35）を有する搬送機構30とを備えた
前後段の供給部10A,10Bを、プラズマ処理を行なうリア
クター１に対する搬送方向の前後に配し、リアクター１
側へのウエハーＷの送り出し時は、前段供給部10Aのウ
エハーカセット３を上昇位置で待機させておいて、その
下方を経由して後段供給部10Bのウエハーカセット３を
間欠下降させながら搬送機構30によってウエハーＷを送
り出した後、同様に前段供給部10Aから送り出すように
し、また、リアクター１側からのウエハーＷの取出し、
収納時は、前段供給部10Aのウエハーカセット３を間欠
上昇させながら搬送機構30によってウエハーカセット３
内にウエハーＷを収納した後、これを上昇位置で待機さ
せ、その下方を経由して同様に後段供給部10Bのウエハ
ーカセット３内に搬送機構30によって収納させるように
したからであり、ウエハーＷの１枚毎にウエハー支持具
２に順次挿入するに際し、ウエハーＷが収納されている
ウエハーカセット３からウエハーＷを順次取り出して搬
送させ、また、収納する一連の作動を極めて円滑にする
優れた効果を奏するものである。

そればかりでなく、ウエハーカセット３が載置されるキ
ャリアカセットテーブル11は、前後部が切欠状に快られ
ている平面ほぼＨ字形で、また、この切欠部内夫々に搬
送機構30の搬送コンベア32が位置することで、キャリア
カセットテーブル11上でのウエハーカセット３の載置状
態が安定化していることと相俟ち、ウエハーカセット３
に対するウエハーＷの送り出し、挿入はいずれも確実に
行なわれるのである。また、搬送機構30とリアクター１
との間に介在の搬送手段50は、前段供給部10Aのリアク
ター１側の端部からリアクター１の手前まで延在するよ
うに配置されている固定搬送コンベア51と、この固定搬
送コンベア51内に格納される状態とリアクター１側に進
出してリアクター１内のウエハー支持具２内に先端が到
達する状態との間で進退自在な進退搬送コンベア52とを
有するから、搬送機構30とウエハー支持具２相互間での
ウエハーＷの授受を確実にし、しかも、直線的な搬送経
路を形成していることで搬送作動に混乱を生じさせず、
ウエハー支持具２の昇降にも対応でき、また、プラズマ
処理時のリアクター１内からの退避も容易で、プラズマ
処理時に邪魔になることもない。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１図は要部
側断面図、第２図は平面図、第３図は正面図、第４図は
昇降機構の要部平面図、第５図はプラズマ処理機全体の
概略側断面図である。 Ｗ…ウエハー、１…リアクター、２…ウエハー支持具、
３…ウエハーカセット、４…カセット台、５…フレー
ム、６…チャンバ下部バルクヘッド、７…可動バルクヘ
ッド、10A…前段供給部、10B…後段供給部、11…キャリ
アカセットテーブル、12…セットテーブル、15…昇降機
構、16…供給機構ベース、17…昇降モータ、18…ガイド
シャフト、19…エレベーター台座、21…リニアガイド、
22…送りネジシャフト、23…送りハウジング、24…伝達
手段、25…位置検出手段、26…支柱、27…遮蔽板、28…
位置検出センサー、30…搬送機構、31…搬送モータ、32
…搬送コンベア、33…プーリハウジング、34…搬送プー
リ、35…搬送ベルト、36…伝達手段、37…駆動プーリ、
38…従動プーリ、39…中継ドライブ、50…搬送手段、51
…固定搬送コンベア、52…進退搬送コンベア。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/3065

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】縦型プラズマ処理機におけるリアクター内
   のウエハー支持具に対してウエハーを挿入し、また、取
   出すウエハー搬送装置であって、前後部が切欠状に快ら
   れている平面ほぼＨ字形のキャリアカセットテーブルに
   載置セットされたウエハーカセットを間欠的に昇降させ
   る昇降機構と、キャリアカセットテーブルの前後部内夫
   々に位置してウエハーカセット内の最下位位置にあるウ
   エハー下面に接触する搬送コンベアを有する搬送機構と
   を共に備えていて、プラズマ処理を行なうリアクターに
   近い側に位置する前段供給部、同じくリアクターに遠い
   側に位置する後段供給部夫々を順次に配すると共に、前
   段供給部とリアクターとの間に搬送手段を介在させて成
   り、リアクター側へのウエハーの送り出し時は、前段供
   給部のウエハーカセットを上昇位置で待機させておい
   て、その下方を経由して後段供給部のウエハーカセット
   を間欠下降させながら搬送機構によってウエハーを送り
   出した後、同様に前段供給部から送り出すようにし、ま
   た、リアクター側からのウエハーの取出し、収納時は、
   前段供給部のウエハーカセットを間欠上昇させながら搬
   送機構によってウエハーカセット内にウエハーを収納し
   た後、これを上昇位置で待機させ、その下方を経由して
   同様に後段供給部のウエハーカセット内に搬送機構によ
   って収納させるようにし、また、搬送手段は、前段供給
   部のリアクター側の端部からリアクターの手前まで延在
   するように配置されている固定搬送コンベアと、この固
   定搬送コンベア内に格納される状態とリアクター側に進
   出してリアクター内のウエハー支持具内に先端が到達す
   る状態との間で進退自在な進退搬送コンベアとを有する
   ことを特徴とする縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装
   置。