JPH0648847Y2

JPH0648847Y2 - 縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置

Info

Publication number: JPH0648847Y2
Application number: JP5655789U
Authority: JP
Inventors: 義雄岩城
Original assignee: ラムコ株式会社
Priority date: 1989-05-17
Filing date: 1989-05-17
Publication date: 1994-12-12
Anticipated expiration: 2004-05-17
Also published as: JPH02146443U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）この考案は、LSIあるいは超LSI等を製造する縦型プラズ
マ処理機においては、収納されていたウエハーカセット
から順次取り出されて搬送されてくるウエハーを、縦型
に構成されているリアクター下方に設置された縦型のウ
エハー支持具内に１枚毎に順次挿入し、また、ウエハー
支持具内から取出すようにした縦型プラズマ処理機のウ
エハー搬送装置に関する。

（従来の技術）近時、LSIあるいは超LSI等を製造する際のウエハー表面
に対するアッシング、エッチングには、縦型に構成され
たプラズマ処理機が多用されつつある。

この縦型のプラズマ処理機は、プラズマ処理を行なわせ
るために密閉されるリアクターを上部に、リアクター内
外での半導体ウエハーの収納、取出しを行なわせる昇降
装置を下部に夫々配置して成る。そして、処理機前部に
配した搬送装置によって、ウエハーカセットからウエハ
ーを、１枚毎に取出し、このようにして取出したウエハ
ーを、昇降装置に設置される縦型のウエハー支持具内に
順次挿入し、段状に支持させるようになっている。

こうした搬送装置として従来提案されているものは、例
えば、特公昭63−25500号公報のものがある。すなわ
ち、プラズマ処理機前部に張り出し状に設けたカセット
台上の左右にカセット載置部を設け、このカセット載置
部からカセット台の中央部に至るまでの第１の搬送部材
をカセット台の左右方向に沿って設け、この第１の搬送
部材によって、左右のカセット載置部からのウエハーを
カセット台中央部に搬送するようにしてある。そして、
カセット台中央部には、第１の搬送部材先端位置から、
処理機の奥部に配されているウエハー支持具に至るまで
の第２の搬送部材をカセット台の前後方向に沿って設
け、この第２の搬送部材によって、第１の搬送部材後端
からのウエハーをウエハー支持具位置までに搬送するよ
うにしてある。

（考案が解決しようとする課題）すなわち、この従来の搬送装置にあっての第２の搬送部
材は、第１の搬送部材の搬送面に対して昇降するベルト
構造の昇降部材と、この昇降部材に沿って配置されてい
て、ウエハー支持具側に進退するアーム部材とから構成
されている。そして、ウエハー支持具内にウエハーを送
り込む時は、昇降部材は若干上昇することで第１の搬送
部材先端位置にあるウエハーを受け取り、昇降部材自体
の先端位置まで搬送させると、今度は若干下降すること
でアーム部材先端に載り移らせる。すると、アーム部材
は、ウエハー支持具側に向かって移動してウエハー支持
具内にウエハーを送り込む。また、逆に、ウエハー支持
具内からウエハーを取出すときは、アーム部材がウエハ
ーを引き出し受け取り後、後退して昇降部材上に載り移
らせてこれを搬出するものである。

したがって、この従来の搬送装置によると、ウエハー支
持具内へのウエハーの送り込みあるいは引き出しに際
し、その１枚毎にアーム部材が進退し、これと関連して
昇降部材が昇降するから、これらの間での連繋を確実に
するために構造的に複雑になり、全体の制御機構が複雑
になるものであった。また、送り込みあるいは引き出す
ウエハーの１枚毎にこれらの動作が行なわれるから、時
間的に無駄が生じ、非能率的なものであった。

そこで、この考案は、叙上のような従来存した諸事情に
鑑み案出されたもので、１回毎にプラズマ処理される所
定単位枚数の全量のウエハーを搬送する１工程での開始
時、終了時にのみ進退し、その全量の送り込みあるいは
引き出しが終了するまでは前進した位置で停止したまま
搬送作動することで、進退動作回数を少なくして構成を
簡素化し、全体の作動制御を容易にし、また、ウエハー
カセットからの引き出しあるいは送り出しを行なう他の
搬送装置との一連の搬送中継を確実にする縦型プラズマ
処理機のウエハー搬送装置の提供を目的とする。

（課題を解決するための手段）上述した目的を達成するため、この考案にあっては、次
のように構成される。

すなわち、プラズマ処理すべきウエハーＷを収納する所
定のウエハーカセット３の載置セット面に連続し、正逆
転可能な搬送面（19）を有する固定搬送機構15と、この
固定搬送機構15の搬送面（19）に連続する正逆転可能な
搬送面（32）を有し、プラズマナ処理を行なうリアクタ
ー１内に装入され、取出されるウエハー支持具２内に先
端が到達する進退自在な進退搬送機構25とを備えて成
る。そして、後退作動位置にあるときの進退搬送機構25
は、固定搬送機構15に格納されるようにしてあるもので
ある。

また、進退搬送機構25は狭い幅員に形成され、一方、固
定搬送機構15には、進退搬送機構25が格納される格納空
間を中央部に形成してあって、後退作動位置にある進退
搬送機構25は、固定搬送機構15内に格納されるように構
成することができる。

更に、進退搬送機構25は、正逆方向に走行される搬送面
（32）を有するモータ（27）駆動の搬送コンベア28を搬
送方向の前後に沿って配列した搬送手段26と、この搬送
手段26をウエハーＷの搬送方向の前後に沿って進退動作
させるモータ（37）駆動の進退手段35とを備えて成り、
処理すべき所定単位枚数毎のウエハーＷの挿入、引き出
し作動中の搬送手段26は、その搬送コンベア28先端をウ
エハー支持具２内に位置させた状態で、停止保持される
ように構成することができる。

（作用）この考案に係る縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置
にあって、ウエハー支持具２内への挿入あるいはウエハ
ー支持具２内からの引き出しに際し、その開始時に進退
手段35が作動して搬送手段26を前進させ、その搬送面
（32）先端をウエハー支持具２内に到達させておく。

ウエハーＷの挿入時には、ウエハー支持具２側へ搬送作
動している固定搬送機構15の搬送面（19）によってウエ
ハーＷが搬送されてくると、搬送面（32）上に載り移ら
されたウエハーＷをそのままウエハー支持具２内に挿入
し、その内部に保持させる。こうしたウエハーＷの挿入
作動は、ウエハー支持具２の間欠上昇に対応して行なわ
れる。

最終のウエハーＷがウエハー支持具２内の最下段位置に
格納されると、搬送手段26は後退し、固定搬送機構15内
に格納される。

また、プラズマ処理の終了後は、所定の引き出し作業位
置まで下降されたウエハー支持具２内に搬送手段26を前
進させ、その搬送面（32）先端をウエハー支持具２内に
到達させておく。

次いで、搬送手段26をウエハー支持具２側からウエハー
Ｗを引き出すべく搬送作動させておいて、搬送面（32）
上に最下段位置のウエハーＷ下面を接触させるようウエ
ハー支持具２を下降させて引き出し、搬送コンベア28上
に載り移らせる。載り移らされたウエハーＷは、搬送面
（32）によってそのままその後方にある固定搬送機構15
の搬送面（19）上に搬送される。

こうしたウエハーＷの引き出し作業は、ウエハー支持具
２の間欠下降に対応して行なわれる。

このように、搬送作動中の進退搬送機構25の搬送面（3
2）は、その開始時、終了時を除いてその位置が前進し
た状態で停止保持されていて、搬送作動のみを行なう。

（実施例）以下、図面を参照してこの考案の一実施例を説明する。

＜縦型プラズマ処理機＞この考案ウエハー搬送装置は、第４図に示すように、プ
ラズマ処理を行なわせるためのリアクター１が上部に設
けられた縦型のプラズマ処理機において、リアクター１
内に装入され、取出されるよう昇降自在になっているウ
エハー支持具２内に半導体ウエハーＷを挿入し、また、
取出すために、リアクター１前方でのプラズマ処理機自
体のほぼ中央部に設けられる。すなわち、ウエハーＷが
収納されているウエハーカセット３が載置セットされる
よう、プラズマ処理機の前部に設けられたカセット台４
と、所定枚数のウエハーＷを段状に保持して、昇降する
ウエハー支持具２との間に配置され、ウエハーカセット
３から取出されたウエハーＷをウエハー支持具２に挿入
し、逆に、処理後のウエハーＷをウエハー支持具２から
取出してウエハーカセット４側に搬送する。

しかして、リアクター１自体は、石英製の筒状に構成さ
れていて、フレーム５でのほぼ中央高さ位置で固定して
あるチャンバ下部バルクヘッド６上に立設固定されてい
る。そして、このチャンバ下部バルクヘッド６に開口し
てあるリアクター入口を開閉する昇降自在な可動バルク
ヘッド７上にウエハー支持具２が設置されるもので、こ
の可動バルクヘッド７は図示を省略した昇降装置によっ
てウエハーＷの保持間隔で間欠昇降されるようになって
いる。

また、リアクター１には、リアクター１を密着囲繞する
外部電極と、この外部電極に対して所定の間隔を隔てた
位置で配置された内部電極とで形成されるプラズマ生成
区域が得られるようにしてある。

＜ウエハー搬送装置の概要＞そして、この考案に係る搬送装置は、図示のように、正
逆転可能な搬送面（19）を有する固定搬送機構15と、こ
の固定搬送機構15の搬送面（19）に連続する搬送面（3
2）を有して、ウエハー支持具２内に先端が到達する進
退自在な進退搬送機構25とを備えて成り、後退作動位置
にある狭い幅員に形成された進退搬送機構25は、広い幅
員に形成された固定搬送機構15内に格納されるようにな
っている。

これらの固定搬送機構15と進退搬送機構25とは、機器フ
レームに適宜固定された搬送機構ベース11に組み込まれ
ており、それらの搬送面（19,32）は、第４図に示すよ
うに、カセット台４に載置セットされたウエハーカセッ
ト３からのウエハーＷの引き出しあるいはこれへの収納
を行なう他の搬送装置50の搬送面と段差がなく連続され
ている。

＜固定搬送機構＞固定搬送機構15は、図示にように、ウエハーＷの搬送レ
ベル位置に設定されて、正逆方向に走行される搬送面
（19）を有する搬送コンベア17を搬送方向の前後に沿っ
て配列し、この搬送コンベア17を搬送モータ16によって
作動させるようにして成る。

なお、搬送モータ16は、第３図に示すように、前記カセ
ット台４上面とほぼ連続されている取付板12裏面に固定
されている。

一方、搬送コンベア17は、搬送すべきウエハーＷの幅員
に比し大きくはない間隔を隔てて左右に一対にして設け
られている。すなわち、第２図、第３図に示すように、
夫々は、搬送方向の前後に沿って左右の取付板12内縁に
配列支承された搬送プーリ18相互間に搬送ベルト19を掛
け渡して成り、左右の搬送ベルト19相互間は、後述する
進退搬送機構25を格納するのに十分な広さの格納空間を
形成するものとなっている。

搬送ベルト19は、断面が円形で、ループ状に形成されて
おり、例えばウエハーＷ下面との接触摩擦係数が高い素
材によって形成されるものとし、その接触によってウエ
ハーＷの引き取り、搬送が確実に行なわれるようにして
ある。

そして、搬送モータ16のモータ軸と搬送コンベア17と
は、ループベルト、タイミングベルト・プーリ、歯車そ
の他の伝達手段21を介して連繋されている。

また、第２図に示すように、搬送ベルト19は、その左右
においての前部、中央部、後部夫々に支承した複溝構造
の搬送プーリ18相互間で前後に掛け渡され、更に、後部
位置の左右の搬送プーリ18相互間は中継軸22によって一
体駆動回転されるように連繋されており、いずれかの搬
送プーリ18を伝達手段21によって従動回転させること
で、全部の搬送プーリ18、搬送ベルト19が同期駆動され
るようになっている。

なお、図中23はウエハーガイドである。

更に、搬送コンベア17側方には、検出手段24を設けてあ
って、固定搬送機構15上でのウエハーＷの搬送状態を検
出し、これを制御する。

＜進退搬送機構＞一方、進退搬送機構25は、図示のように、ウエハーＷの
搬送レベル位置に設定されて、正逆方向に走行される搬
送面（32）を有する搬送コンベア28を搬送方向の前後に
沿って配列し、この搬送コンベア28を搬送モータ27によ
って作動させるようにした搬送手段26と、この搬送手段
26をウエハーＷの搬送方向の前後に沿って進退動作をさ
せるモータ（37）駆動の進退手段35とを備えて成る。

しかして、搬送手段26の搬送コンベア28は、搬送方向の
前後に沿って長く、また、固定搬送機構15の格納空間に
格納可能になっている狭幅のコンベアサポート29を形成
し、このコンベアサポート29の左右両側に配列支承され
た搬送プーリ31相互間で搬送ベルト32を掛け渡して成
る。

また、搬送モータ27は、第１図、第３図に示すように、
コンベアサポート29自体を支持して進退自在に構成され
ているコンベア支板33に固定されている。

そして、搬送モータ27の駆動力は、モータ軸と搬送コン
ベア28とを連繋する伝達手段34によって搬送コンベア28
に駆動伝達されるようになっており、搬送コンベア28の
走行連繋は、前記の固定搬送機構15における搬送コンベ
ア17と同様に行なわれるようになっている。

なお、搬送モータ27は、搬送コンベア28を作動させると
き、ウエハー支持具２内へのウエハーＷの挿入時では、
ウエハー支持具２内の所定位置にウエハーＷが到達する
と、ウエハー支持具２にウエハーＷが衝突しないよう
に、その搬送速度が遅くなるよう制御作動されるように
なっている。

また、進退手段35は、前記コンベア支板33を進退させる
ことによって搬送手段26全体を搬送方向に沿って前進さ
せて、搬送コンベア28先端をウエハー支持具２内の所定
位置に到達せしめ、また、後退させて固定搬送機構15に
搬送コンベア28を格納させる。

そのため、図示のように、搬送方向の前後に配した前・
後板13相互間に横架したリニアガイド36に前記コンベア
支板33をスライド自在に嵌め合わせる。そして、搬送機
構ベース11に固定した進退モータ37によって駆動回転さ
れる送りネジシャフト38を前・後板13相互間に回転自在
のして支承し、コンベア支板33に連繋した送りハウジン
グ39に内蔵させたボールネジ構造の送りナットを、送り
ネジシャフト38に噛み合わせたものである。

なお、図示を省略したが、コンベア支板33の進退動作に
際し、こうした送りネジ手段によらず、前・後板13に支
承した前後のプーリ相互間に掛け渡したベルトによって
進退動作させるようにすることも可能である。

また、搬送コンベア28の先端には、検出手段41を設けて
あり、この検出手段41は、ウエハーＷの挿入時での収納
作動の終了を検知して、あるいは引き出し時での引き出
し作動の終了を検知して、ウエハー支持具２の間欠昇降
を制御する。

＜進退搬送機構による搬送作動＞ウエハーＷを搬送、すなわちウエハー支持具２内への段
状の挿入収納、ウエハー支持具２内からの引き出しに際
し、一定枚数を１単位としての１回毎の収納あるいは引
き出し工程を行なうとき、その開始時、終了時にのみ、
進退搬送機構25は進退動作される。

すなわち、ウエハー支持具２内への収納に際し、ウエハ
ー支持具２が最下位位置にあるときの収納作業の開始時
に、進退手段35が作動して搬送手段26を前進させ、その
搬送コンベア28先端をウエハー支持具２内の上部でのほ
ぼ中心位置に到達させておく、次いで、ウエハー支持具
２側へ搬送作動している固定搬送機構15によってウエハ
ーＷが搬送されてくると、搬送コンベア28上に載り移ら
されたウエハーＷは、同じくウエハー支持具２側へ搬送
作動しているこの搬送コンベア28によってそのままウエ
ハー支持具２内に挿入され、ウエハー支持具２内の溝
状、突起状の保持部上に保持される。すると、ウエハー
支持具２は、図示を省略した昇降装置によって、ウエハ
ーＷの保持間隔に対応してその１段分だけ上昇される。
次いで、次のウエハーＷの挿入作動が開始され、その挿
入が終了すると、ウエハー支持具２がまた上昇するので
あり、このように、ウエハー支持具２の間欠上昇に対応
して、ウエハーＷの挿入作動が行なわれる。このように
して最終のウエハーＷがウエハー支持具２内の最下段位
置に収納されると、搬送手段26は後退し、固定搬送機構
15内に格納されるもので、挿入作動中の進退搬送機構25
にあっての搬送コンベア28は、その位置が停止されてい
て、搬送作動のみを行なう、その後、前記可動バルクヘ
ッド７が上昇してリアクター１入口を閉塞し、リアクタ
ー１では所定のプラズマ処理が行なわれる。

また、プラズマ処理の終了後は、可動バルクヘッド７が
下降してリアクター１入口を開口し、所定の引き出し作
業位置までウエハー支持具２を下降させる。そこで、進
退手段35が作動して搬送手段26を前進させ、その搬送コ
ンベア28先端をウエハー支持具２内の底部でのほぼ中心
位置に到達させておく。次いで、搬送手段26をウエハー
支持具２側からウエハーＷを引き出すべく搬送作動させ
ておいて、搬送コンベア28の搬送面上に最下段位置のウ
エハーＷ下面を接触させるようウエハー支持具２を下降
させる。すると、その接触摩擦によってウエハーＷがウ
エハー支持具２内から引き出され、搬送コンベア28上に
載り移らされたウエハーＷは、この搬送コンベア28によ
ってそのままその後方にある固定搬送機構15側へ搬送さ
れる。すると、ウエハー支持具２は、昇降装置によって
ウエハーＷの保持間隔に対応してその１段分だけ下降さ
れる。次いで、次のウエハーＷの引き出し作動が開始さ
れ、その引き出しが終了すると、ウエハー支持具２がま
た下降する。こうして、ウエハー支持具２の間欠下降に
対応してウエハーＷの引き出し作動が行なわれること
で、ウエハー支持具２内の最上段位置にウエハーＷが引
き出される。このように、引き出し作動中の進退搬送機
構25にあっての搬送コンベア28は、その位置が停止され
ていて、搬送作動のみを行なう。

なお、ウエハー支持具２からのウエハーＷの引き出し作
業の完了後は、必要があれば、搬送手段26を後退させ、
固定搬送機構15内に格納させておいて次動作のため待機
させるようにしてもよい。一方、引き出し作業の終了後
での可動バルクヘッド７は、その位置で停止し、再度の
プラズマ処理のため、次回のウエハーＷの収納作業が開
始されるまで待機する。

＜ウエハーカセットからの搬出、あるいはこれへの搬入
連繋＞更に、カセット台４に載置セットされたウエハーカセッ
ト３からウエハーＷを引き出し、この考案搬送装置へ搬
出させ、また、プラズマ処理後のウエハーＷをウエハー
カセット３に収納させるには、この考案搬送装置の構成
位置の後方であるカセット台４に組み込まれる別の搬送
装置50によって行なわれる。

すなわち、この別の搬送装置50は、第２図、第４図に示
すように、カセット台４に載置セットされたウエハーカ
セット３を間欠的に昇降させる昇降機構51と、ウエハー
カセット３内の最下位位置にあるウエハーＷ下面に接触
する搬送面を有する搬送機構52とを備えた前後段の供給
部53A,53Bを、プラズマ処理を行なうリアクター１、す
なわち昇降するウエハー支持具２に対する搬送方向の前
後に配する。そして、リアクター１側へのウエハーＷの
送り出し時は、前段供給部53Aのウエハーカセット３を
上昇位置で待機させておいて、その下方を経由して後段
供給部53Bのウエハーカセット３を間欠下降させながら
搬送機構52によってウエハーＷを送り出した後、同様に
前段供給部53Aから送り出すようにしてある。また、リ
アクター１側からのウエハーＷの取出し、収納時は、前
段供給部53Aのウエハーカセット３を間欠上昇させなが
ら搬送機構52によってウエハーカセット３内にウエハー
Ｗを収納した後、これを上昇位置で待機させ、その下方
を経由して同様に後段供給部53Bのウエハーカセット３
内に搬送機構52によって収納させるようにしてあるもの
である。

なお、これらの前後段の供給部53A,53Bにおける搬送機
構52は、前記した固定搬送機構15、進退搬送機構25にお
けると同様な搬送ベルト構造を有しており、ウエハーＷ
下面との摩擦接触によってウエハーＷを引き出し、収納
する。

このように、プラズマ処理を行なうべきウエハーＷを収
納した２個のウエハーカセット３を前後に配すること
で、ウエハーカセット３内のウエハーＷを搬送方向を変
更することなく、確実に搬送できるものである。

（考案の効果）この考案は以上のように構成されているから、アッシン
グ、エッチング等のプラズマ処理を行なわせるリアクタ
ー１に対して、これの内部に装入され、取出されるウエ
ハー支持具２へのウエハーＷの挿入あるいはウエハー支
持具２からの引き出しを１枚毎に確実に行なうことがで
き、しかも、１回毎に処理される単位枚数の全量の挿
入、引き出しに際し、その開始時、終了時のみに進退搬
送機構25が進退するから、機構が簡素化され、確実に作
動し、処理時間を大巾に短縮することができる。

すなわち、これは、この考案が、プラズマ処理すべきウ
エハーＷを収納する所定のウエハーカセット３の載置セ
ット面に連続し、正逆転可能な搬送面（19）を有する固
定搬送機構15と、この固定搬送機構15の搬送面（19）に
連続する正逆転可能な搬送面（32）を有し、プラズマ処
理を行なうリアクター１内に装入され、取出されるウエ
ハー支持具２内に先端が到達する進退自在な進退搬送機
構25とを備えているからである。

特に、進退搬送機構25の搬送面（32）は正逆転可能に形
成してあるから、プラズマ処理される所定枚数のウエハ
ーＷが１回毎の全量の送り込みあるいは引き出しが終了
するまでは、その搬送面（32）先端がウエハー支持具２
内に位置した前進位置状態で停止されていても、送り込
みあるいは引き出しを確実に行なうことができる。しか
も、従来のように、搬送するウエハーＷの１枚毎に進退
する必要がなく、進退動作回数が少なくなって構成が簡
素化され、全体の作動制御を容易にしているのである。

また、ウエハー支持具２内へのウエハーＷの挿入、ウエ
ハー支持具２内からのウエハーＷの引き出しが終了し
て、後退作動位置にあるときの進退搬送機構25は、固定
搬送機構15に格納されるようにしてあるから、リアクタ
ー１へのウエハー支持具２の装入、取り出しに際し、進
退搬送機構25自体が邪魔になることはない。

更に、固定搬送機構15の搬送面（19）、進退搬送機構25
の搬送面（32）夫々は、それら自体が上下に昇降する必
要がないから、ウエハーカセット３からの引き出しある
いは送り出しを行なう他の搬送装置50との一連の搬送中
継を確実にすることもできる等の優れた効果を奏するも
のである。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１図は側断
面図、第２図はこの考案装置と連動する他の搬送装置と
組み合わせた場合での平面図、第３図は正面図、第４図
はプラズマ処理機全体の概略側断面図である。Ｗ……ウエハー、１……リアクター、２……ウエハー支持具、３……ウエ
ハーカセット、４……カセット台、５……フレーム、６
……チャンバ下部バルクヘッド、７……可動バルクヘッ
ド、 11……搬送機構ベース、12……取付板、13……前・後
板、 15……固定搬送機構、16……搬送モータ、17……搬送コ
ンベア、18……搬送プーリ、19……搬送ベルト、21……
伝達手段、22……中継軸、23……ウエハーガイド、24…
…検出手段、 25……進退搬送機構、26……搬送手段、27……搬送モー
タ、28……搬送コンベア、29……コンベアサポート、31
……搬送プーリ、32……搬送ベルト、33……コンベア支
板、34……伝達手段、35……進退手段、36……リニアガ
イド、37……進退モータ、38……送りネジシャフト、39
……送りハウジング、41……検出手段、 50……搬送装置、51……昇降機構、52……搬送機構、53
A……前段供給部、53B……後段供給部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｄ

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】プラズマ処理すべきウエハーを収納する所
定のウエハーカセットの載置セット面に連続し、正逆転
可能な搬送面を有する固定搬送機構と、この固定搬送機
構の搬送面に連続する正逆転可能な搬送面を有し、プラ
ズマ処理を行なうリアクター内に装入され、取出される
ウエハー支持具内に先端が到達する進退自在な進退搬送
機構とを備えて成り、後退作動位置にあるときの進退搬
送機構は、固定搬送機構に格納されるようにしてあるこ
とを特徴とする縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装
置。
【請求項２】進退搬送機構は狭い幅員に形成され、固定
搬送機構には、進退搬送機構が格納される格納空間を中
央部に形成してあって、後退作動位置にある進退搬送機
構は、固定搬送機構内に格納されるようにしてある請求
項１記載の縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置。
【請求項３】進退搬送機構は、正逆方向に走行される搬
送面を有するモータ駆動の搬送コンベアを搬送方向の前
後に沿って配列した搬送手段と、この搬送手段をウエハ
ーの搬送方向の前後に沿って進退動作させるモータ駆動
の進退手段とを備えて成り、処理すべき所定単位枚数毎
のウエハーの挿入、引き出し作動中の搬送手段は、その
搬送コンベア先端をウエハー支持具内に位置させた状態
で、停止保持されるようにしてある請求項１または２記
載の縦型プラズマ処理機のウエハー搬送装置。