JPH1067428A - ウエハスライス収納・取出方法 - Google Patents
ウエハスライス収納・取出方法Info
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- JPH1067428A JPH1067428A JP11411697A JP11411697A JPH1067428A JP H1067428 A JPH1067428 A JP H1067428A JP 11411697 A JP11411697 A JP 11411697A JP 11411697 A JP11411697 A JP 11411697A JP H1067428 A JPH1067428 A JP H1067428A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer slice
- carrier box
- fork member
- wafer
- slice
- Prior art date
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハスライスのキャリアボックスに対する
収納・取出に際し、ウエハスライスの損傷を防止する。 【解決手段】 ウエハスライス４を収納するためのスリ
ット３が多段に形成されているキャリアボックス１を載
置する昇降テーブル６と、水平方向及び垂直方向に移動
可能であり、真空吸着によりウエハスライス４を保持す
るフォーク１０とを有し、ウエハスライス４がスリット
３内で浮いた状態で、フォーク１０をキャリアボックス
１に対して進入・退出させるので、ウエハスライス４が
スリット３に擦過して損傷を受けるということがない。
収納・取出に際し、ウエハスライスの損傷を防止する。 【解決手段】 ウエハスライス４を収納するためのスリ
ット３が多段に形成されているキャリアボックス１を載
置する昇降テーブル６と、水平方向及び垂直方向に移動
可能であり、真空吸着によりウエハスライス４を保持す
るフォーク１０とを有し、ウエハスライス４がスリット
３内で浮いた状態で、フォーク１０をキャリアボックス
１に対して進入・退出させるので、ウエハスライス４が
スリット３に擦過して損傷を受けるということがない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造に際して
使用されるウエハスライスの収納・取出方法に関するも
のであり、特に、ウエハスライス・キャリアボックスの
所望のスリットに対するウエハスライスの収納及び所望
のスリットからのウエハスライスの取出しを効率的に行
なうウエハスライス収納・取出方法に係わるものであ
る。
使用されるウエハスライスの収納・取出方法に関するも
のであり、特に、ウエハスライス・キャリアボックスの
所望のスリットに対するウエハスライスの収納及び所望
のスリットからのウエハスライスの取出しを効率的に行
なうウエハスライス収納・取出方法に係わるものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造分野においては、ウ
エハスライス・キャリアボックス内に垂直方向に多段に
形成された水平方向の収納用スリットごとに一定間隔で
ウエハスライスを一枚づつ挿入して多数積層した状態
で、これらを収納することが行われている。そして、該
キャリアボックスからウエハスライスを順次取出して、
これに所定の処理加工を施した後、再びキャリアボック
ス内に収納するものであった。
エハスライス・キャリアボックス内に垂直方向に多段に
形成された水平方向の収納用スリットごとに一定間隔で
ウエハスライスを一枚づつ挿入して多数積層した状態
で、これらを収納することが行われている。そして、該
キャリアボックスからウエハスライスを順次取出して、
これに所定の処理加工を施した後、再びキャリアボック
ス内に収納するものであった。
【０００３】そのようなウエハスライス収納・取出装置
としては、一対のエンドレスベルトを含むベルト搬送機
構を用いたものが知られており、図１にその従来例が示
されている。
としては、一対のエンドレスベルトを含むベルト搬送機
構を用いたものが知られており、図１にその従来例が示
されている。
【０００４】図１において、ウエハスライス・キャリア
ボックス１は前面開放された収納凹部２を有し、該収納
凹部２の壁面には、垂直方向に多段の水平方向のウエハ
スライス収納用スリット３が形成されていて、該スリッ
ト３内には、ウエハスライス４が一定間隔で積層される
ようにして収納されている。このキャリアボックス１は
昇降機構５の昇降テーブル６上に載置されて、該テーブ
ル６とともに昇降する。一方、上記キャリアボックス１
と対向して、一対のエンドレスベルト７を含むベルト搬
送機構８が配置されており、その一端は上記昇降テーブ
ル６の切欠き６ａ内に挿入され、キャリアボックス１内
の最下段のウエハスライス４の下方に位置している。
ボックス１は前面開放された収納凹部２を有し、該収納
凹部２の壁面には、垂直方向に多段の水平方向のウエハ
スライス収納用スリット３が形成されていて、該スリッ
ト３内には、ウエハスライス４が一定間隔で積層される
ようにして収納されている。このキャリアボックス１は
昇降機構５の昇降テーブル６上に載置されて、該テーブ
ル６とともに昇降する。一方、上記キャリアボックス１
と対向して、一対のエンドレスベルト７を含むベルト搬
送機構８が配置されており、その一端は上記昇降テーブ
ル６の切欠き６ａ内に挿入され、キャリアボックス１内
の最下段のウエハスライス４の下方に位置している。
【０００５】上記構成において、ウエハスライス４の取
出しに際しては、キャリアボックス１を所定位置まで降
下させ、最下段のウエハスライス４をベルト７に当接さ
せる。この状態で、ベルト７を駆動して、ウエハスライ
ス４をキャリアボックス１のスリット３から取出して、
ベルトの一端から他端まで搬送するものである。
出しに際しては、キャリアボックス１を所定位置まで降
下させ、最下段のウエハスライス４をベルト７に当接さ
せる。この状態で、ベルト７を駆動して、ウエハスライ
ス４をキャリアボックス１のスリット３から取出して、
ベルトの一端から他端まで搬送するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術においては、最下段のウエハスライスしか取出す
ことができず、しかも順次下方のものからしか取出せな
いので、作業順序が常に一定のものとなり、作業上著し
い制約を受けるという欠点があった。また、キャリアボ
ックスから全部のウエハを取出した後でないと、処理済
のウエハを再びこれに収納することができないので、処
理後のウエハを収納するためには、結局、別のキャリア
ボックスが少なくてももう一つ必要になるという不利点
もあった。
来技術においては、最下段のウエハスライスしか取出す
ことができず、しかも順次下方のものからしか取出せな
いので、作業順序が常に一定のものとなり、作業上著し
い制約を受けるという欠点があった。また、キャリアボ
ックスから全部のウエハを取出した後でないと、処理済
のウエハを再びこれに収納することができないので、処
理後のウエハを収納するためには、結局、別のキャリア
ボックスが少なくてももう一つ必要になるという不利点
もあった。
【０００７】そして、このような不利点は、近年の傾向
がそうであるように、大径のウエハスライスに対して加
工処理を施す場合には、ウエハスライスの径に応じてキ
ャリアボックスも大形化し、コスト高となるので、スベ
ースファクタや経済性の観点から深刻に捕えられてい
た。
がそうであるように、大径のウエハスライスに対して加
工処理を施す場合には、ウエハスライスの径に応じてキ
ャリアボックスも大形化し、コスト高となるので、スベ
ースファクタや経済性の観点から深刻に捕えられてい
た。
【０００８】更には、キャリアボックス内のスリットに
よるウエハスライスの摩擦係止に抗してこれをスリット
から引き抜くようにして取出すものであるので、ウエハ
スライスが該スリットと擦過して損傷を受け易いという
欠点もあった。
よるウエハスライスの摩擦係止に抗してこれをスリット
から引き抜くようにして取出すものであるので、ウエハ
スライスが該スリットと擦過して損傷を受け易いという
欠点もあった。
【０００９】
【発明の目的】この発明の目的は、上記従来技術に基づ
くウエハスライス収納・取出装置の構造上の制約による
非効率的な作業等の問題点に鑑み、キャリアボックスに
進入退出するウエハスライス収納・取出用フォークを備
える構成とすることにより、上記欠点を削除し不利点を
解消して、効率的でかつウエハを傷つけることのない優
れたウエハスライス収納・取出方法を提供せんとするも
のである。
くウエハスライス収納・取出装置の構造上の制約による
非効率的な作業等の問題点に鑑み、キャリアボックスに
進入退出するウエハスライス収納・取出用フォークを備
える構成とすることにより、上記欠点を削除し不利点を
解消して、効率的でかつウエハを傷つけることのない優
れたウエハスライス収納・取出方法を提供せんとするも
のである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、ウエハスライスを収納す
るためのスリットが多段に形成されているキャリアボッ
クスを載置する載置テーブルと、水平方向及び垂直方向
に移動可能であり、真空吸着によりウエハスライスを保
持するフォーク部材とを有し、上記キャリアボックスの
所望のスリットに対してウエハスライスを収納する又は
上記キャリアボックスの所望のスリットからウエハスラ
イスを取り出すウエハスライス収納・取出方法であっ
て、上記キャリアボックスの所望のスリットに対するウ
エハスライスの収納は、上記フォーク部材に保持されて
いるウエハスライスが上記キャリアボックスの所望のス
リットのほぼ中間位置に位置する高さにおいて上記フォ
ーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボックス内
に進入する段階と、上記フォーク部材の上記ウエハスラ
イスに対する真空吸着が解除される段階と、上記ウエハ
スライスが上記所望のスリットに担持されるように上記
フォーク部材が微降下する段階と、上記フォーク部材が
水平方向に移動して上記キャリアボックス内から退出す
る段階との一連の動作により行われ、上記キャリアボッ
クスの所望のスリットからのウエハスライスの取り出し
は、上記所望のスリットに担持されているウエハスライ
スの下面よりも若干低い高さにおいて上記フォーク部材
が水平方向に移動して上記キャリアボックス内に進入す
る段階と、上記ウエハスライスが上記所望のスリットの
ほぼ中間位置の高さにおいて上記フォーク部材に担持さ
れるように上記フォーク部材が微上昇する段階と、上記
フォーク部材の上記ウエハスライスに対する真空吸着が
なされる段階と、上記フォーク部材が水平方向に移動し
て上記キャリアボックス内から退出する段階との一連の
動作により行われることを特徴とする。
に、請求項１に記載の発明は、ウエハスライスを収納す
るためのスリットが多段に形成されているキャリアボッ
クスを載置する載置テーブルと、水平方向及び垂直方向
に移動可能であり、真空吸着によりウエハスライスを保
持するフォーク部材とを有し、上記キャリアボックスの
所望のスリットに対してウエハスライスを収納する又は
上記キャリアボックスの所望のスリットからウエハスラ
イスを取り出すウエハスライス収納・取出方法であっ
て、上記キャリアボックスの所望のスリットに対するウ
エハスライスの収納は、上記フォーク部材に保持されて
いるウエハスライスが上記キャリアボックスの所望のス
リットのほぼ中間位置に位置する高さにおいて上記フォ
ーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボックス内
に進入する段階と、上記フォーク部材の上記ウエハスラ
イスに対する真空吸着が解除される段階と、上記ウエハ
スライスが上記所望のスリットに担持されるように上記
フォーク部材が微降下する段階と、上記フォーク部材が
水平方向に移動して上記キャリアボックス内から退出す
る段階との一連の動作により行われ、上記キャリアボッ
クスの所望のスリットからのウエハスライスの取り出し
は、上記所望のスリットに担持されているウエハスライ
スの下面よりも若干低い高さにおいて上記フォーク部材
が水平方向に移動して上記キャリアボックス内に進入す
る段階と、上記ウエハスライスが上記所望のスリットの
ほぼ中間位置の高さにおいて上記フォーク部材に担持さ
れるように上記フォーク部材が微上昇する段階と、上記
フォーク部材の上記ウエハスライスに対する真空吸着が
なされる段階と、上記フォーク部材が水平方向に移動し
て上記キャリアボックス内から退出する段階との一連の
動作により行われることを特徴とする。
【００１１】また、請求項２に記載の発明は、ウエハス
ライスを収納するためのスリットが多段に形成されてい
るキャリアボックスを載置する載置テーブルと、上記載
置テーブルを垂直方向に昇降させるための昇降機構と、
水平方向及び垂直方向に移動可能であり、真空吸着によ
りウエハスライスを保持するフォーク部材とを有し、上
記キャリアボックスの所望のスリットに対してウエハス
ライスを収納する又は上記キャリアボックスの所望のス
リットからウエハスライスを取り出すウエハスライス収
納・取出方法であって、上記キャリアボックスの所望の
スリットに対するウエハスライスの収納は、上記フォー
ク部材に保持されているウエハスライスが上記キャリア
ボックスの所望のスリットのほぼ中間位置に位置するよ
うに、上記昇降機構が上記載置テーブルを垂直方向に移
動させる段階と、上記フォーク部材が水平方向に移動し
て上記キャリアボックス内に進入する段階と、上記フォ
ーク部材の上記ウエハスライスに対する真空吸着が解除
される段階と、上記ウエハスライスが上記所望のスリッ
トに担持されるように上記フォーク部材が微降下する段
階と、上記フォーク部材が水平方向に移動して上記キャ
リアボックス内から退出する段階との一連の動作により
行われ、上記キャリアボックスの所望のスリットからの
ウエハスライスの取り出しは、上記フォーク部材が上記
所望のスリットに担持されているウエハスライスの下面
よりも若干低い高さに位置するように、上記昇降機構が
上記載置テーブルを垂直方向に移動させる段階と、上記
フォーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボック
ス内に進入する段階と、上記ウエハスライスが上記所望
のスリットのほぼ中間位置の高さにおいて上記フォーク
部材に担持されるように上記フォーク部材が微上昇する
段階と、上記フォーク部材の上記ウエハスライスに対す
る真空吸着がなされる段階と、上記フォーク部材が水平
方向に移動して上記キャリアボックス内から退出する段
階との一連の動作により行われることを特徴とする。
ライスを収納するためのスリットが多段に形成されてい
るキャリアボックスを載置する載置テーブルと、上記載
置テーブルを垂直方向に昇降させるための昇降機構と、
水平方向及び垂直方向に移動可能であり、真空吸着によ
りウエハスライスを保持するフォーク部材とを有し、上
記キャリアボックスの所望のスリットに対してウエハス
ライスを収納する又は上記キャリアボックスの所望のス
リットからウエハスライスを取り出すウエハスライス収
納・取出方法であって、上記キャリアボックスの所望の
スリットに対するウエハスライスの収納は、上記フォー
ク部材に保持されているウエハスライスが上記キャリア
ボックスの所望のスリットのほぼ中間位置に位置するよ
うに、上記昇降機構が上記載置テーブルを垂直方向に移
動させる段階と、上記フォーク部材が水平方向に移動し
て上記キャリアボックス内に進入する段階と、上記フォ
ーク部材の上記ウエハスライスに対する真空吸着が解除
される段階と、上記ウエハスライスが上記所望のスリッ
トに担持されるように上記フォーク部材が微降下する段
階と、上記フォーク部材が水平方向に移動して上記キャ
リアボックス内から退出する段階との一連の動作により
行われ、上記キャリアボックスの所望のスリットからの
ウエハスライスの取り出しは、上記フォーク部材が上記
所望のスリットに担持されているウエハスライスの下面
よりも若干低い高さに位置するように、上記昇降機構が
上記載置テーブルを垂直方向に移動させる段階と、上記
フォーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボック
ス内に進入する段階と、上記ウエハスライスが上記所望
のスリットのほぼ中間位置の高さにおいて上記フォーク
部材に担持されるように上記フォーク部材が微上昇する
段階と、上記フォーク部材の上記ウエハスライスに対す
る真空吸着がなされる段階と、上記フォーク部材が水平
方向に移動して上記キャリアボックス内から退出する段
階との一連の動作により行われることを特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明では、ウエハスライスを収納するための
スリットが多段に形成されているキャリアボックスを載
置する載置テーブルと、水平方向及び垂直方向に移動可
能であり、真空吸着によりウエハスライスを保持するフ
ォーク部材とを有し、ウエハスライスがスリット内で浮
いた状態で、フォーク部材をキャリアボックスに対して
進入・退出させるので、ウエハスライスがスリットに擦
過して損傷を受けるということがない。
スリットが多段に形成されているキャリアボックスを載
置する載置テーブルと、水平方向及び垂直方向に移動可
能であり、真空吸着によりウエハスライスを保持するフ
ォーク部材とを有し、ウエハスライスがスリット内で浮
いた状態で、フォーク部材をキャリアボックスに対して
進入・退出させるので、ウエハスライスがスリットに擦
過して損傷を受けるということがない。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、この発明の実施例を図２及
び図３に基づいて説明すれば以下の通りである。
び図３に基づいて説明すれば以下の通りである。
【００１４】図２において、昇降機構５の昇降テーブル
６上に載置されたキャリアボックス１に対向配置された
一対のエンドレスベルト７のキャリアボックス１側の一
端、即ち、搬送開始点に、ベルト間に位置して、ウエハ
スライス収納・取出用のフォーク１０が配設されてい
る。該フォーク１０は中空状に形成されていて、その内
部は可撓管１１を介して適宜の真空源に連通されてお
り、その上面には、吸着孔１２が穿設されている。そし
て、該フォーク１０は、昇降可能で、かつ、キャリアボ
ックス１方向に対して前進後退可能に支持されるもので
あって、例えば、モーター１４のリードスクリュー１４
ａの回転により上下動する昇降板１５にフォーク１０が
取付けられるとともに、該モーター１４が、シリンダー
１６によってガイド棒１７上を前進後退するスライダー
１８に取付けられているものである。尚、キャリアボッ
クス１の前後には、投光部２０ａと受光部２０ｂとから
成るウエハ検出センサー２０が対向配置されている。他
の構成要素は図１において同一の符号が示す構成要素と
それそれ同一である。
６上に載置されたキャリアボックス１に対向配置された
一対のエンドレスベルト７のキャリアボックス１側の一
端、即ち、搬送開始点に、ベルト間に位置して、ウエハ
スライス収納・取出用のフォーク１０が配設されてい
る。該フォーク１０は中空状に形成されていて、その内
部は可撓管１１を介して適宜の真空源に連通されてお
り、その上面には、吸着孔１２が穿設されている。そし
て、該フォーク１０は、昇降可能で、かつ、キャリアボ
ックス１方向に対して前進後退可能に支持されるもので
あって、例えば、モーター１４のリードスクリュー１４
ａの回転により上下動する昇降板１５にフォーク１０が
取付けられるとともに、該モーター１４が、シリンダー
１６によってガイド棒１７上を前進後退するスライダー
１８に取付けられているものである。尚、キャリアボッ
クス１の前後には、投光部２０ａと受光部２０ｂとから
成るウエハ検出センサー２０が対向配置されている。他
の構成要素は図１において同一の符号が示す構成要素と
それそれ同一である。
【００１５】次に、上記構成における動作を図３の動作
説明図を参照しつつ説明すると以下のとおりである。
説明図を参照しつつ説明すると以下のとおりである。
【００１６】未処理のウエハスライス４が収納されたキ
ャリアボックス１を昇降機構５の昇降テーブル６上に載
置し（図３（Ａ））、該昇降機構５を駆動して、キャリ
アボックス１を所定の位置まで移動させることで、処理
のために取出すべき任意のウエハスライス４を所定の取
出し高さに位置させる（図３（Ｂ））。このとき、上下
方向に位置決めされたキャリアボックス１内の所定箇所
に取出すべきウエハスライス４が存在するか否かをウエ
ハ検出センサー２０によって検出し（図３（Ｃ））、も
しウエハスライス４が無い場合には、再度昇降機構５を
駆動する。ウエハスライス４の存在が確認されたとき
は、モーター１４を駆動して昇降板１５を上昇させ、ウ
エハスライス収納・取出用のフォーク１０をベルト７の
ベルト面位置まで上昇させる（図３（Ｄ））。これによ
って、該フォーク１０は取出対象のウエハスライス４の
若干下方の高さに位置決められる。次いで、シリンダー
１６を駆動してスライダー１８を押し進めることによ
り、フォーク１０を前進させてキャリアボックス１内に
進入させ、ウエハスライス４の直下に位置させて停止さ
せる（図３（Ｅ））。
ャリアボックス１を昇降機構５の昇降テーブル６上に載
置し（図３（Ａ））、該昇降機構５を駆動して、キャリ
アボックス１を所定の位置まで移動させることで、処理
のために取出すべき任意のウエハスライス４を所定の取
出し高さに位置させる（図３（Ｂ））。このとき、上下
方向に位置決めされたキャリアボックス１内の所定箇所
に取出すべきウエハスライス４が存在するか否かをウエ
ハ検出センサー２０によって検出し（図３（Ｃ））、も
しウエハスライス４が無い場合には、再度昇降機構５を
駆動する。ウエハスライス４の存在が確認されたとき
は、モーター１４を駆動して昇降板１５を上昇させ、ウ
エハスライス収納・取出用のフォーク１０をベルト７の
ベルト面位置まで上昇させる（図３（Ｄ））。これによ
って、該フォーク１０は取出対象のウエハスライス４の
若干下方の高さに位置決められる。次いで、シリンダー
１６を駆動してスライダー１８を押し進めることによ
り、フォーク１０を前進させてキャリアボックス１内に
進入させ、ウエハスライス４の直下に位置させて停止さ
せる（図３（Ｅ））。
【００１７】ここで、フォーク１０を最上位置まで微上
昇させて、その上面にウエハスライス４を乗せて担持す
るとともに、該ウエハスライス４をスリット３内で浮か
せる（図３（Ｆ））。そして、該フォーク１０を適宜の
真空源に連通させて真空を作用させ、フォーク１０上の
ウエハスライス４を吸着保持する（図３（Ｇ））。再び
シリンダー１６を駆動してフォーク１０を後退させて、
キャリアボックス１外に退出させることにより、これを
ベルト搬送機構８のベルト７のキャリアボックス１側の
一端、即ち、搬送始端に位置させる（図３（Ｈ））。こ
のとき、フォーク１０はベルト７のベルト面よりも若干
上方の最上位置に位置するので、取出したウエハスライ
ス４がベルト７と干渉することはない。この位置でフォ
ーク１０に対する真空を解除し（図３（Ｉ））、モータ
ー１４により昇降板１５を介して該フォーク１０をベル
ト７以下の原位置まで降下させると（図３（Ｊ））、そ
の降下の途中で、フォーク１０上のウエハスライス４が
ベルト７上に載置される。
昇させて、その上面にウエハスライス４を乗せて担持す
るとともに、該ウエハスライス４をスリット３内で浮か
せる（図３（Ｆ））。そして、該フォーク１０を適宜の
真空源に連通させて真空を作用させ、フォーク１０上の
ウエハスライス４を吸着保持する（図３（Ｇ））。再び
シリンダー１６を駆動してフォーク１０を後退させて、
キャリアボックス１外に退出させることにより、これを
ベルト搬送機構８のベルト７のキャリアボックス１側の
一端、即ち、搬送始端に位置させる（図３（Ｈ））。こ
のとき、フォーク１０はベルト７のベルト面よりも若干
上方の最上位置に位置するので、取出したウエハスライ
ス４がベルト７と干渉することはない。この位置でフォ
ーク１０に対する真空を解除し（図３（Ｉ））、モータ
ー１４により昇降板１５を介して該フォーク１０をベル
ト７以下の原位置まで降下させると（図３（Ｊ））、そ
の降下の途中で、フォーク１０上のウエハスライス４が
ベルト７上に載置される。
【００１８】そして、ベルト７を駆動しウエハスライス
４を搬送し（図３（Ｋ））、これが右端の搬送終端に位
置したとき、ベルト７を停止する（図３（Ｌ））。
４を搬送し（図３（Ｋ））、これが右端の搬送終端に位
置したとき、ベルト７を停止する（図３（Ｌ））。
【００１９】このようにして、キャリアボックス１から
取出されたウエハスライス４は、これに適宜の処理加工
が施された後、再びキャリアボックス１内に収納される
べく、ベルト７の右端に載置される。そして、ウエハス
ライス４のキャリアボックス１内への収納は、上記取出
動作と逆の動作によって達成される。即ち、ベルト７を
逆動させて、ウエハスライス４を左端に移動させて（図
３（Ｍ））、ベルト７を停止させ（図３（Ｎ））、フォ
ーク１０を最上位置まで上昇させて（図３（Ｏ））、そ
の上面にウエハスライス４を載置した後、該フォーク１
０に真空を作用させてウエハスライス４を吸着保持する
（図３（Ｐ））。そして、フォーク１０を前進させてウ
エハスライス４をキャリアボックス１内に進入させる
（図３（Ｑ））。このとき、ウエハスライス４はキャリ
アボックス１の適宜のスリット３内に挿入される。ここ
で、フォーク１０への真空を解除した（図３（Ｒ））
後、フォーク１０をベルト面位置まで微降下させて（図
３（Ｓ））、ウエハスライス４をスリット３に収納し、
これを支持させる。次いで、フォーク１０をベルト７の
左端位置まで後退させ（図３（Ｔ））、ここで降下させ
て（図３（Ｕ））、原位置に復帰させるものである。
取出されたウエハスライス４は、これに適宜の処理加工
が施された後、再びキャリアボックス１内に収納される
べく、ベルト７の右端に載置される。そして、ウエハス
ライス４のキャリアボックス１内への収納は、上記取出
動作と逆の動作によって達成される。即ち、ベルト７を
逆動させて、ウエハスライス４を左端に移動させて（図
３（Ｍ））、ベルト７を停止させ（図３（Ｎ））、フォ
ーク１０を最上位置まで上昇させて（図３（Ｏ））、そ
の上面にウエハスライス４を載置した後、該フォーク１
０に真空を作用させてウエハスライス４を吸着保持する
（図３（Ｐ））。そして、フォーク１０を前進させてウ
エハスライス４をキャリアボックス１内に進入させる
（図３（Ｑ））。このとき、ウエハスライス４はキャリ
アボックス１の適宜のスリット３内に挿入される。ここ
で、フォーク１０への真空を解除した（図３（Ｒ））
後、フォーク１０をベルト面位置まで微降下させて（図
３（Ｓ））、ウエハスライス４をスリット３に収納し、
これを支持させる。次いで、フォーク１０をベルト７の
左端位置まで後退させ（図３（Ｔ））、ここで降下させ
て（図３（Ｕ））、原位置に復帰させるものである。
【００２０】なお、上記実施例の説明においては、フォ
ーク１０の昇降手段としてモーター１４とリードスクリ
ュー１４ａを、また、前進後退手段としてシリンダー１
６を用いたものを説明したが、これらに限られるもので
はないことは勿論のことである。
ーク１０の昇降手段としてモーター１４とリードスクリ
ュー１４ａを、また、前進後退手段としてシリンダー１
６を用いたものを説明したが、これらに限られるもので
はないことは勿論のことである。
【００２１】
【発明の効果】上記のようにこの発明によれば、ウエハ
スライスを収納するためのスリットが多段に形成されて
いるキャリアボックスを載置する載置テーブルと、水平
方向及び垂直方向に移動可能であり、真空吸着によりウ
エハスライスを保持するフォーク部材とを有する構成と
したことにより、フォークを昇降および前進後退させる
ことによってキャリアボックス内の任意のウエハスライ
スを取出すことができ、ウエハスライス取出し順序がキ
ャリアボックス内でのウエハスライスの配列によって拘
束されることなく、全く自由であるので、作業性が著し
く改善されて、効率的になるという優れた効果を奏す
る。
スライスを収納するためのスリットが多段に形成されて
いるキャリアボックスを載置する載置テーブルと、水平
方向及び垂直方向に移動可能であり、真空吸着によりウ
エハスライスを保持するフォーク部材とを有する構成と
したことにより、フォークを昇降および前進後退させる
ことによってキャリアボックス内の任意のウエハスライ
スを取出すことができ、ウエハスライス取出し順序がキ
ャリアボックス内でのウエハスライスの配列によって拘
束されることなく、全く自由であるので、作業性が著し
く改善されて、効率的になるという優れた効果を奏す
る。
【００２２】また、ウエハスライスをキャリアボックス
内の任意の箇所から取出し、処理後にも任意の箇所に収
納できるので、一つのキャリアボックスを用意すれば足
りるという利点がある。
内の任意の箇所から取出し、処理後にも任意の箇所に収
納できるので、一つのキャリアボックスを用意すれば足
りるという利点がある。
【００２３】その上、キャリアボックス内でフォークを
微上昇させて、ウエハスライスをスリット内で浮かせて
から、進入退出させるので、取出し時あるいは収納時に
ウエハスライスがスリット壁と擦過することがなく、ウ
エハスライスが損傷を受けることがないという効果もあ
る。
微上昇させて、ウエハスライスをスリット内で浮かせて
から、進入退出させるので、取出し時あるいは収納時に
ウエハスライスがスリット壁と擦過することがなく、ウ
エハスライスが損傷を受けることがないという効果もあ
る。
【００２４】更に、フォークに真空を作用させてウエハ
スライスを真空吸着して保持するので、取出しおよび収
納時に、ウエハスライスが不用意にフォークから落下す
ることがないという効果もある。
スライスを真空吸着して保持するので、取出しおよび収
納時に、ウエハスライスが不用意にフォークから落下す
ることがないという効果もある。
【図１】 従来例を示す斜視図である。
【図２】 この発明の実施例を示す斜視図である。
【図３】 この発明の実施例を示す動作説明図である。
１・・・ウエハスライス・キャリアボックス ３・・・ウエハスライス収納用スリット ５・・・昇降機構 ６・・・昇降テーブル ７・・・ベルト ８・・・ベルト搬送機構 １０・・・ウエハスライス収納・取出用フォーク １２・・・吸着孔
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエハスライスを収納するためのスリッ
トが多段に形成されているキャリアボックスを載置する
載置テーブルと、水平方向及び垂直方向に移動可能であ
り、真空吸着によりウエハスライスを保持するフォーク
部材とを有し、上記キャリアボックスの所望のスリット
に対してウエハスライスを収納する又は上記キャリアボ
ックスの所望のスリットからウエハスライスを取り出す
ウエハスライス収納・取出方法であって、 上記キャリアボックスの所望のスリットに対するウエハ
スライスの収納は、 上記フォーク部材に保持されているウエハスライスが上
記キャリアボックスの所望のスリットのほぼ中間位置に
位置する高さにおいて上記フォーク部材が水平方向に移
動して上記キャリアボックス内に進入する段階と、 上記フォーク部材の上記ウエハスライスに対する真空吸
着が解除される段階と、 上記ウエハスライスが上記所望のスリットに担持される
ように上記フォーク部材が微降下する段階と、 上記フォーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボ
ックス内から退出する段階との一連の動作により行わ
れ、 上記キャリアボックスの所望のスリットからのウエハス
ライスの取り出しは、 上記所望のスリットに担持されているウエハスライスの
下面よりも若干低い高さにおいて上記フォーク部材が水
平方向に移動して上記キャリアボックス内に進入する段
階と、 上記ウエハスライスが上記所望のスリットのほぼ中間位
置の高さにおいて上記フォーク部材に担持されるように
上記フォーク部材が微上昇する段階と、 上記フォーク部材の上記ウエハスライスに対する真空吸
着がなされる段階と、 上記フォーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボ
ックス内から退出する段階との一連の動作により行われ
ることを特徴とするウエハスライス収納・取出方法。 - 【請求項２】 ウエハスライスを収納するためのスリッ
トが多段に形成されているキャリアボックスを載置する
載置テーブルと、上記載置テーブルを垂直方向に昇降さ
せるための昇降機構と、水平方向及び垂直方向に移動可
能であり、真空吸着によりウエハスライスを保持するフ
ォーク部材とを有し、上記キャリアボックスの所望のス
リットに対してウエハスライスを収納する又は上記キャ
リアボックスの所望のスリットからウエハスライスを取
り出すウエハスライス収納・取出方法であって、 上記キャリアボックスの所望のスリットに対するウエハ
スライスの収納は、 上記フォーク部材に保持されているウエハスライスが上
記キャリアボックスの所望のスリットのほぼ中間位置に
位置するように、上記昇降機構が上記載置テーブルを垂
直方向に移動させる段階と、 上記フォーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボ
ックス内に進入する段階と、 上記フォーク部材の上記ウエハスライスに対する真空吸
着が解除される段階と、 上記ウエハスライスが上記所望のスリットに担持される
ように上記フォーク部材が微降下する段階と、 上記フォーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボ
ックス内から退出する段階との一連の動作により行わ
れ、 上記キャリアボックスの所望のスリットからのウエハス
ライスの取り出しは、 上記フォーク部材が上記所望のスリットに担持されてい
るウエハスライスの下面よりも若干低い高さに位置する
ように、上記昇降機構が上記載置テーブルを垂直方向に
移動させる段階と、 上記フォーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボ
ックス内に進入する段階と、 上記ウエハスライスが上記所望のスリットのほぼ中間位
置の高さにおいて上記フォーク部材に担持されるように
上記フォーク部材が微上昇する段階と、 上記フォーク部材の上記ウエハスライスに対する真空吸
着がなされる段階と、 上記フォーク部材が水平方向に移動して上記キャリアボ
ックス内から退出する段階との一連の動作により行われ
ることを特徴とするウエハスライス収納・取出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11411697A JPH1067428A (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | ウエハスライス収納・取出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11411697A JPH1067428A (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | ウエハスライス収納・取出方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60027707A Division JPS61188331A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 物体取出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1067428A true JPH1067428A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=14629545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11411697A Pending JPH1067428A (ja) | 1997-03-28 | 1997-03-28 | ウエハスライス収納・取出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1067428A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001253541A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-18 | Daifuku Co Ltd | 板状体移載搬送装置 |
| CN112061795A (zh) * | 2020-08-20 | 2020-12-11 | 宝利根(成都)精密工业有限公司 | 用于自动分离料盘的分盘装置 |
| CN114408579A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-04-29 | 苏州密卡特诺精密机械有限公司 | 一种片状产品上料机 |
| US11972962B2 (en) | 2020-08-12 | 2024-04-30 | Dly Technologies Inc. | Adjustable device and an adjustable storage box |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5720444A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-02 | Citizen Watch Co Ltd | Feeding device for semiconductor wafer |
| JPS59175740A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Telmec Co Ltd | ウエハ検出装置 |
| JPH059333A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-19 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 通気性栓の製造方法 |
-
1997
- 1997-03-28 JP JP11411697A patent/JPH1067428A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5720444A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-02 | Citizen Watch Co Ltd | Feeding device for semiconductor wafer |
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| CN112061795A (zh) * | 2020-08-20 | 2020-12-11 | 宝利根(成都)精密工业有限公司 | 用于自动分离料盘的分盘装置 |
| CN114408579A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-04-29 | 苏州密卡特诺精密机械有限公司 | 一种片状产品上料机 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001219 |