KR100874287B1 - 캐리어 지지 장치 및 피처리체 반출 방법 - Google Patents

캐리어 지지 장치 및 피처리체 반출 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 캐리어 지지 장치(10)는, 복수의 대략 평판 형상의 피처리체(D)를 수직 방향으로 간격을 두고 수평 자세로 수납한 캐리어(C)를 지지한다. 캐리어는 수직 방향으로 간격을 두고 마련된 복수조의 지지단[홈(1A)의 하면]을 갖고, 각 지지단의 조가 각각 1개의 피처리체(D)의 저면 가장자리부를 지지하도록 구성되어 있다. 캐리어 지지 장치는, 캐리어(C)를 탑재하는 탑재대(11)와, 상기 탑재대에 대하여 승강 가능하게 마련된 지상 부재(12)와, 상기 지상 부재를 승강 구동하는 구동 기구를 구비하고 있다. 지상 부재(12)는, 상승시에, 캐리어(C)에 있어서 최하위의 지지단의 조에 지지되어 있던 피처리체(C)의 저면을 밀어 올려 이를 당해 지지단으로부터 상승 유지한다.

Description

캐리어 지지 장치 및 피처리체 반출 방법{CARRIER SUPPORT DEVICE}
본 발명은, 복수의 대략 평판 형상의 피처리체, 예를 들면 반도체 웨이퍼를 수직 방향으로 간격을 두고 수평 자세로 수납한 캐리어를 지지하기 위한 캐리어 지지 장치에 관한 것이다.
예컨대, 프로브 장치 등의 검사 장치를 이용하여 반도체 웨이퍼의 검사를 실행할 경우에는, 반송 아암에 의해 캐리어로부터 웨이퍼를 취출하여 검사 장치내로 반입하고, 그대로 검사를 실행한다. 이 경우, 웨이퍼 자체는 각각의 칩으로 절단되지 않고, 모든 칩이 웨이퍼로서 일체화한 것이다.
한편, 반도체 웨이퍼를 필름에 붙이고, 그 필름을 웨이퍼의 주위에서 다이싱 프레임(dicing frame)에 의해 지지한 상태로 상기 웨이퍼를 검사할 경우가 있다(본 명세서에서는, 이러한 상태의 웨이퍼, 필름 및 다이싱 프레임을 일괄하여「피처리체」라고 칭하는 동시에, 그러한 피처리체를 편의상, 단지「다이싱 프레임」이라고도 칭함). 이 경우, 다이싱 프레임에 있어서의 웨이퍼는, 전형적으로는 각각의 칩에 절단(즉, 다이싱)된 상태로 필름 위에 고정되어 있다. 검사 시에는, 예를 들면 25장의 다이싱 프레임을 전용의 캐리어내에 수직 방향으로 간격을 두고 수평 자세로 수납해 둔다. 이 캐리어를 검사 장치에 인접한 캐리어 지지 장치에 탑재한다. 그리고, 반송 아암을 이용하여 캐리어와 검사 장치와의 사이에서 각 다이싱 프레임을 반송한다.
예를 들면, 도 3에 도시하는 바와 같이, 다이싱 프레임 전용의 캐리어(C)는, 좌우 한쌍의 측판(1, 1)과, 이들 측판(1, 1)의 상단부 끼리를 연결하는 복수의 연결봉(2)을 갖고 있다. 또한, 캐리어(C)는 측판(1, 1)의 하단부 끼리를 연결하는 적어도 하나의 안내봉(3)을 갖고 있다. 안내봉(3)은 플랫 바아(3A)와, 플랫 바아(3A)의 하면을 따라 형성된 1조의 돌기부(3B)로 이루어진다. 그리고, 캐리어(C)는 안내봉(3)의 돌기부(3B)를 거쳐서 캐리어 지지 장치상의 소정의 장소에 위치 결정되어 탑재된다.
전형적인 캐리어(C)는, 수직 방향으로 간격을 두고 마련된 25조의 지지단(1A, 1A)을 갖고 있다. 그리고, 각 지지단(1A, 1A)의 조가 각각 하나의 다이싱 프레임(D)의 저면에 있어서의 좌우의 가장자리를 지지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 각 측판(1)의 내면에, 수직 방향으로 간격을 두고, 25개의 홈(1A)이 각각 마련되어 있다. 그리고, 각 홈(1A)의 하면이 각각 지지단을 형성하고 있다.
다이싱 프레임(D)을 캐리어(C)에 수납할 경우에는, 반송 아암(20)에 지지된 다이싱 프레임(D)을 1조의 홈(1A, 1A)의 사이에 수평으로 삽입한 후, 반송 아암(20)을 하강시킨다. 이로써, 그 다이싱 프레임(D)을, 삽입된 1조의 홈(1A, 1A)의 하면인 지지단으로 지지시킨다. 한편, 캐리어(C)로부터 다이싱 프레임(D)을 취 출하는 경우에는, 반송 아암(20)을 소망의 다이싱 프레임(D)의 아래에 삽입한 후, 반송 아암(20)을 상승시키고, 다이싱 프레임(D)을 지지단(1A, 1A)으로부터 들어올린다. 그 후, 반송 아암(20)으로 지지된 다이싱 프레임(D)을 캐리어(C)로부터 수평으로 뽑아낸다.
이러한 캐리어(C)에 있어서는, 도 3의 (b)에 도시하는 바와 같이, 최하위의 지지단[즉, 최하위의 홈(1A)의 하면]과, 안내봉(3)의 플랫 바아(3A) 상면과의 사이의 간격(δ1)(예컨대, 3.49㎜)이, 이웃하는 지지단 사이의 간격(δ2)(예를 들면, 4.85㎜)보다 협소하게 되어 있다. 또한, 전자의 간격(δ1)은, 반송 아암의 두께(T)(예를 들면, 2.50㎜)보다 조금밖에 크지 않다. 이 때문에, 최하위의 다이싱 프레임(D)을 반출할 때, 다이싱 프레임(D) 및 안내봉(3)과 반송 아암(20)과의 사이의 합계 간격(δ1-T)이 지극히 작게되어 (예컨대, 3.49-2.50=0.99㎜) 버린다. 이 때문에, 반송 아암(20)의 제어가 지극히 어렵고, 반송 아암(20)이나 다이싱 프레임(D)을 손상시킬 우려도 있다. 따라서, 최하위의 다이싱 프레임(D)을 반송 아암(20)에 의해 지지해서 반출하는 것이 사실상 불가능하다.
이 때문에, 종래는 캐리어(C)에 25장의 다이싱 프레임(D)을 수납해야 할 때, 최하위의 지지단(1A, 1A)을 사용하지 않고, 24장의 다이싱 프레임(D)을 수납하고 있다. 이 때문에, 캐리어(C)에 있어서의 다이싱 프레임(D)의 수납 효율이 나쁘다고 하는 과제가 있다.
발명의 요약
그래서 본 발명은, 복수의 다이싱 프레임 등의 대략 평판 형상의 피처리체를 수직 방향으로 간격을 두고 수평 자세로 수납한 캐리어를 지지하기 위한 캐리어 지지 장치에 있어서, 캐리어에 있어서의 최하위의 피처리체라 하여도 반송 아암으로 지지해서 반출할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.
이 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 복수의 대략 평판 형상의 피처리체를 수직 방향으로 간격을 두고 수평 자세로 수납한 캐리어를 지지하기 위한 캐리어 지지 장치로서, 상기 캐리어는 수직 방향으로 간격을 두고 마련된 복수조의 지지단을 갖고, 각 지지단의 조가 각각 1개의 피처리체의 저면 가장자리를 지지하도록 구성되어 있는, 지지 장치에 있어서,
상기 캐리어를 탑재하는 탑재대와,
이 탑재대에 대하여 승강할 수 있도록 마련되고, 상승시에, 상기 캐리어에 있어서의 최하위의 지지단의 조에 지지되어 있던 피처리체의 저면을 밀어 올려서 이를 상기 지지단으로부터 들어 올리는 지상 부재와,
이 지상 부재를 승강 구동하는 구동 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 캐리어 지지 장치를 제공한다.
이 캐리어 지지 장치에 의하면, 구동 장치에서 승강 구동되는 지상 부재에 의해, 캐리어에 있어서의 최하위의 지지단에 지지되어 있던 최하위의 다이싱 프레임의 저면을 밀어 올려서 이를 상기 지지단으로부터 들어 올릴 수 있다. 이로써, 최하위의 다이싱 프레임 아래에 반송 아암을 삽입하는데도 충분한 간격을 확보할 수 있다. 따라서, 캐리어에 있어서의 최하위의 다이싱 프레임이라도, 반송 아암이나 다이싱 프레임을 파손시키지 않고, 반송 아암으로 지지해서 확실하게 반출할 수 있다.
일 실시형태에 있어서, 상기 탑재대는, 개구가 형성된 상판을 갖고, 이 상판의 개구를 통해서 상기 지상 부재가 오르도록 구성되어 있다.
그 경우, 상기 지상 부재에 긴 구멍이 형성되는 동시에, 이 긴 구멍을 관통해서 상기 지상 부재를 안내하는 축부재가, 상기 상판에 대하여 고정되는 것이 바람직하다. 본 발명의 캐리어 지지 장치는 복수의 상기 지상 부재를 구비하고, 상기 구동 장치는, 각 지상 부재가 연결된 무단 벨트와, 이 벨트에 연결된 실린더 기구를 갖는 것이 바람직하다.
전형적으로는, 상기 피처리체는 반도체 웨이퍼와, 이 웨이퍼가 부착된 필름과, 상기 웨이퍼의 주위에서 상기 필름을 지지하는 다이싱 프레임을 갖는다.
도 1은 본 발명의 캐리어 지지 장치의 일 실시형태를 모식적으로 도시한 도면으로, (a)는 내부 기구를 투시해서 도시하는 평면도, (b)는 종단면도,
도 2는 도 1에 도시된 캐리어 지지 장치에 의해 지지된 캐리어에 있어서의 최하위의 다이싱 프레임을 반출하는 공정을 (a) 내지 (c)의 순서로 도시하는 요점부 종단면도,
도 3은 일반적인 다이싱 프레임 전용 캐리어를 도시한 도면으로, (a)는 정면도, (b)는 (a)의 B 부분을 다이싱 프레임을 수납한 상태로 확대해서 도시한 도면, (c)는 측면도.
이하, 본 발명의 실시형태로서, 도 3에 도시하는 다이싱 프레임 전용의 캐리어(C)를 지지하기 위한, 도 1 및 도 2에 도시하는 것과 같은 캐리어 지지 장치(10)에 대해서 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 8인치 및 6인치의 웨이퍼에 대응하는 다이싱 프레임을, 각각 8인치·다이싱 프레임 및 6인치·다이싱 프레임이라고 칭한다.
도 1 및 도 2에 도시하는 캐리어 지지 장치(10)는 캐리어(C)를 탑재하는 탑재대(11)와, 이 탑재대(11)에 대하여 승강할 수 있게 마련된 복수의 지상 부재(12)를 구비하고 있다. 또한, 캐리어 지지 장치(10)는 탑재대(11)의 내부에 배치되어서 각 지상 부재(12)를 승강 구동하는 구동 장치(13, 14)를 구비하고 있다. 이 캐리어 지지 장치(10)는 예를 들면, 프로브 장치(도시하지 않음)에 있어서 검사실에 인접하는 로더실내에 배치되어서, 상기 프로브 장치의 일부를 구성한다. 그 경우, 다이싱 프레임(D)을 반송하는 반송 아암(20)(도 2)이 로더실내에 마련된다. 그리고 다이싱 프레임(D)을 반송 아암(20)으로 지지하고, 캐리어(C)와 검사실과의 사이에서 반송한다. 검사실에 있어서, 다이싱 프레임(D)에 유지된 웨이퍼 칩의 전기적 특성 검사가 행하여진다.
이 캐리어 지지 장치(10)는 8인치·다이싱 프레임을 수납하는 캐리어와, 6인치·다이싱 프레임을 수납하는 캐리어의 양자에 대응하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 이 캐리어 지지 장치(10)는 8인치·다이싱 프레임용의 4개의 지상 부재(12)와, 6인치·다이싱 프레임용의 4개의 지상 부재(12)를 구비하고 있다.
각 지상 부재(12)는 가늘고 긴 평판 형상의 바아로서 형성되어 있다. 각 지상 부재(12)의 상부에는, 세로 방향으로 연장되는 긴 구멍(12A)[도 1의 (b)]이 형성되어 있다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 각 지상 부재(12)는 구동 장치(13, 14)의 승강 구동에 의해, 탑재대(11)의 상판(11A)에 형성된 슬릿 형상의 개구(11B)를 통해서 상부가 출몰하도록 승강한다.
8인치·다이싱 프레임용의 4개의 지상 부재(12)를 구동하는 구동 장치(13)는 각 지상 부재(12)가 연결된 무단 벨트(13B)와, 이 벨트(13B)에 연결된 로드를 갖는 실린더 기구(13C)를 포함하고 있다. 무단 벨트(13B)는 탑재대(11)의 4곳의 코너에 배치된 4개의 풀리(13A)에 걸려 회전된다. 제어 장치(도시하지 않음)에 의해 실린더 기구(13C)의 작동을 제어하는 것으로, 무단 벨트(13B)를 정역 방향으로 회전시킬 수 있게 되어 있다.
도 1의 (b)에 도시하는 바와 같이, 각 지상 부재(12)의 하단부는, 각각 축부재(13D)를 거쳐서 무단 벨트(13B)에 연결되어 있다. 각 개구(11B)의 길이 방향 중앙을 가로 지르는 축부재(13E)가, 각각 상판(11A)에 대하여 고정하여 마련되어 있다. 각 축부재(13E)는, 대응하는 지상 부재(12)의 긴 구멍(12A)을 관통하고, 상대적으로 상기 지상 부재(12)를 안내한다. 각 지상 부재(12)의 하단부와 무단 벨트(13B)를 연결하는 축부재(13D)에는 각각 베어링(13H)이 부착되어 있다. 각 베어링(13H)은 각각 지지 부재(13F)에 의해 수평 방향으로 회전 가능하게 지지된다. 각 지지 부재(13F)는 탑재대(11) 내부에 수평으로 부착된 판부재(13G)에 대하여 고정된다. 또한, 구동 장치(13)의 각 풀리(13A)도 이 판부재(13G)에 부착되어 있다.
무단 벨트(13B)의 역회전에 의해, 4개의 지상 부재(12)가 동시에, 일점 쇄선으로 도시하는 경사 상태와, 실선으로 도시하는 수직 상태와의 사이에서 요동하면서, 상단부가 개구(11B)를 통해서 출몰하도록 승강한다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 지상 부재(12)는 수직 상태로 개구(11B)로부터 최대한 돌출했을 때[도 2의 (b)], 캐리어(C)에 수납된 최하위의 다이싱 프레임(D)을 가장 윗쪽까지 들어올린 상태가 된다.
도 1의 (a)에 도시하는 바와 같이, 8인치·다이싱 프레임용 구동 장치(13)의 내측에는 6인치·다이싱 프레임용 구동 장치(14)가 마련되어 있다. 이 구동 장치(14)는 상기 구동 장치(13)와 같이, 풀리(14A), 무단 벨트(14B) 및 실린더 기구(14C)를 갖고 있다. 또한, 이 구동 장치(14)에 의해 대응하는 지상 부재(12)를 구동하기 위한 구성 역시, 도 1의 (b)에 도시한 구성과 실질적으로 동일하므로 설명을 생략한다.
또한, 도시하지 않았지만, 탑재대(11)내에는, 안내봉(3)[도 1의 (b), 도 3]을 거쳐서 상판(11A) 위로 위치 결정된 캐리어(C)를 상판(11A)에 고정하기 위한 클램프 기구가 마련되어 있다.
다음에, 캐리어 지지 장치(10)의 동작에 대해서, 8인치·다이싱 프레임용 캐리어(C)를 사용할 경우를 예로 들어서 설명한다.
우선, 캐리어(C)를 안내봉(3)을 거쳐서 캐리어 지지 장치(10)의 탑재대(11) 상에서 위치 결정한다. 그리고, 클램프 기구에 의해 캐리어(C)를 탑재대(11)의 상판(11A) 위에 고정한다. 캐리어(C)내에는 25장의 다이싱 프레임(D)이 수납되어 있다. 그리고, 다이싱 프레임(D)의 전기적 특성 검사를 실행할 경우에는, 반송 아암(20)에 의해 캐리어(C)로부터 다이싱 프레임(D)을 반출해서 검사실로 반송한다.
캐리어(C)내의 최하위 이외의 다이싱 프레임(D)을 취출할 때에는, 각 다이싱 프레임(D) 밑에 그대로 반송 아암(20)을 삽입하고, 반송 아암(20)에 의해 다이싱 프레임(D)을 지지해서 캐리어(C)로부터 검사실로 반송할 수 있다. 한편, 최하위의 다이싱 프레임(D)을 취출할 때에는, 상술한 바와 같이, 상기 다이싱 프레임(D)과 안내봉(3) 사이에 반송 아암(20)을 삽입하기 위한 충분한 간격이 없어, 그대로는 다이싱 프레임(D)의 반출이 곤란하다.
거기에, 캐리어(C) 내의 최하위의 다이싱 프레임(D)을 반출할 때에는, 제어 장치가 구동 장치(13)의 실린더 기구(13C)를 구동시킨다. 실린더 기구(13C)가 구동해 실린더 로드가 신장하면, 무단 벨트(13B)가 도 1의 (a)의 반시계 방향으로 회전한다. 이로써, 각 지상 부재(12)는 그 하단이 수평 방향으로 이동하고, 도 1의 (b)에 일점 쇄선으로 도시하는 상태[도 2의 (a)]로부터 서서히 일어선다. 각 지상 부재(12)가 일어서고, 그 상단이 탑재대 상판(11A)의 개구(11B)로부터 돌출하여, 캐리어(C) 내의 최하위의 다이싱 프레임(D)의 저면을 밀어 올린다[도 2의 (b)]. 이로써, 캐리어(C)에 있어서의 최하위의 지지단의 조(1A, 1A)에 지지되어 있던 상기 다이싱 프레임(D)을, 수평 자세로 유지한 채 서서히 들어 올린다.
그리고, 각 지상 부재(12)가 도 1의 (b)에 실선으로 도시하는 수직 상태가 된 때에는, 상기 다이싱 프레임(D)은, 도 2의 (b)에 도시하는 바와 같이 최하위의 홈(1A, 1A)의 상면에 접촉하던지 혹은 그 직전에서 정지한다. 이로써, 최하위의 다이싱 프레임(D)과 안내봉(3) 사이에 반송 아암(20)을 삽입하는데도 충분한 간격을 확보한다. 그리고, 반송 아암(20)을 최하위의 다이싱 프레임(D)과 안내봉(3) 사이에 진입시킨다.
다음으로, 제어 장치는 구동 장치(13)의 실린더 기구(13C)를 역 방향으로 구동시켜, 무단 벨트(13B)를 도 1의 (a)의 시계 방향으로 회전시킨다. 이로써, 각 지상 부재(12)가 탑재대 상판(11A)의 개구(11B) 내로 퇴거하고, 최하위의 다이싱 프레임(D)을 반송 아암(20) 위에 탑재한다. 이어서, 반송 아암(20)에 의해 상기 다이싱 프레임(D)을 캐리어(C)로부터 반출하고, 검사실까지 반송한다.
검사후의 다이싱 프레임(D)은 반송 아암(20)에 의해 캐리어(C)의 최하위의 지지단의 조(1A, 1A) 위로 되돌려진다. 이 때에는, 최하위보다 하나 위의 다이싱 프레임(D)과 안내봉(3) 사이에는 반송 아암(20)을 삽입하기 위한 충분한 간격이 있다. 이 때문에, 최하위의 다이싱 프레임(D)을 다른 다이싱 프레임(D)과 같이 해서 캐리어(C)로 되돌릴 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 구동 장치(13, 14)로 승강 구동되는 복수의 지상 부재(12)에 의해, 캐리어(C)에 있어서의 최하위의 지지단의 조(1A, 1A)에 지지되어 있던 최하위의 다이싱 프레임(D)의 저면을 밀어 올려서 이를 상기 지지단의 조(1A, 1A)로부터 들어 올릴 수 있다. 이로써, 최하위의 다이싱 프레임(D)과 안내봉(3) 사이에 반송 아암(20)을 삽입하는데도 충분한 간격을 확보할 수 있다. 따라서, 캐리어(C)에 있어서의 최하위의 다이싱 프레임(D)이여도, 반송 아암(20)이나 다이싱 프레임(D)을 파손시키는 일없이, 반송 아암(20)으로 지지해서 확실하게 반출할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면, 각 지상 부재(12)는 그 긴 구멍(12A)을 관통해서 상기 지상 부재(12)를 안내하는 축부재(13E)가, 상판(11A)에 대하여 고정되어 있다. 이 때문에, 각 지상 부재(12)는 상판(11A)에 대하여 안내된 상태에서, 상판(11A)의 개구(11B)를 통해서 안정적으로 승강할 수 있다. 또한, 구동 장치(13, 14)는 각각 복수의 지상 부재(12)가 연결된 무단 벨트(13B, 14B)와, 이에 연결된 실린더 기구(13C, 14C)를 갖기 때문에, 각 지상 부재(12)를 확실하게 동기해서 승강 구동할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 전혀 제한되는 것은 아니다. 예를 들면, 대략 평판 형상의 피처리체는, 다이싱 프레임에 한하지 않고, 단일체의 반도체 웨이퍼나 유리 기판이여도 좋다. 또한, 지상 부재를 승강 구동하는 구동 장치는, 무단 벨트와 실린더 기구를 사용한 것에 한하지 않고, 각 지상 부재에 각각 직접 접속된 실린더 기구를 사용하는 것이여도 좋다.

Claims (6)

  1. 복수의 평판 형상의 피처리체를 수직 방향으로 간격을 두고 수평 자세로 수납한 캐리어(C)를 지지하기 위한 캐리어 지지 장치(10)로서, 상기 캐리어(C)는 수직 방향으로 간격을 두고 마련된 복수조의 지지단(1A)과, 최하위의 상기 지지단(1A)보다도 하방에 마련된 수평한 안내봉(3)을 구비하며, 각 지지단(1A)의 조(組)가 각각 1개의 피처리체의 저면 가장자리부를 지지하도록 구성되며, 상기 최하위의 지지단(1A)과 상기 안내봉(3) 사이의 간격이, 인접하는 상기 지지단(1A) 사이의 간격보다 좁게 되어 있는, 캐리어 지지 장치(1)에 있어서,
    상기 캐리어(C)를 탑재하는 탑재대(11)와,
    상기 탑재대(11)에 대하여 승강 가능하게 마련되고, 상승시에, 상기 캐리어(C)에 있어서의 최하위의 지지단(1A)의 조에 지지되어 있던 최하위의 피처리체만의 저면을 밀어 올려서 상기 피처리체를 상기 지지단(1A)으로부터 들어올리는 지상 부재(12)와,
    상기 지상 부재(12)를 승강 구동하는 구동 장치(13, 14)를 구비하며,
    상기 탑재대(11)는 개구(11B)가 형성된 상판(11A)을 갖고, 상기 상판(11A)의 개구(11B)를 통해서 상기 지상 부재(12)가 승강하도록 구성되며,
    상기 지상 부재(12)에 긴 구멍(12A)이 형성되는 동시에,
    상기 긴 구멍(12A)을 관통해서 상기 지상 부재(12)를 안내하는 축부재(13E)가 상기 상판(11A)에 대하여 고정되어 있는 것을 특징으로 하는
    캐리어 지지 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    복수의 상기 지상 부재(12)를 구비하고,
    상기 구동 장치(13, 14)는,
    각 지상 부재(12)가 연결된 무단 벨트(13B)와,
    상기 무단 벨트(13B)에 연결된 실린더 기구(13C)를 갖는 것을 특징으로 하는
    캐리어 지지 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 피처리체는 반도체 웨이퍼와, 상기 웨이퍼가 부착된 필름과, 상기 웨이퍼의 주위에서 상기 필름을 지지하는 다이싱 프레임을 갖는 것을 특징으로 하는
    캐리어 지지 장치.
  6. 복수의 평판 형상의 피처리체를 수직 방향으로 간격을 두고 수평 자세로 수납한 캐리어(C)로부터 피처리체를 반출하는 방법으로서, 상기 캐리어(C)는 수직 방향에 간격을 두고 설치되는 복수조의 지지단(1A)과, 최하위의 상기 지지단(1A)보다도 하방에 설치된 수평한 안내봉(3)을 구비하며, 각 지지단(1A)의 조(組)가 각각 1개의 피처리체의 저면 가장자리부를 지지하도록 구성되며, 상기 최하위의 지지단(1A)과 상기 안내봉(3) 사이의 간격이 인접하는 상기 지지단(1A) 사이의 간격보다 좁게 되어 있는, 피처리체의 반출 방법에 있어서,
    상기 캐리어(C)에 있어서의 최하위의 지지단(1A)의 조에 지지되어 있던 최하위의 피처리체만을 상기 지지단(1A)으로부터 들어올리는 공정과,
    들어올린 상기 최하위의 피처리체의 저면과 상기 캐리어(C)의 안내봉(3) 사이에 반송 아암(20)을 진입시키는 공정과,
    상기 최하위의 피처리체를 하강시켜 상기 반송 아암(2)상에 탑재하는 공정과,
    상기 반송 아암(20)에 의해 상기 최하위의 피처리체를 상기 캐리어(C)로부터 반출하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는
    피처리체 반출 방법.
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