JPH0881008A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
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- JPH0881008A JPH0881008A JP24204794A JP24204794A JPH0881008A JP H0881008 A JPH0881008 A JP H0881008A JP 24204794 A JP24204794 A JP 24204794A JP 24204794 A JP24204794 A JP 24204794A JP H0881008 A JPH0881008 A JP H0881008A
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- carrier
- wafer carrier
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハキャリアに歪みが生じた場合でも、ウ
エハを確実にウエハキャリアから出し入れすることがで
きるウエハ搬送装置を提供する。 【構成】 搬送台１３と、ウエハキャリア２を上下方向
に移動する昇降手段１２と、搬送台１３をウエハキャリ
ア２に抜き差しする挿抜手段１４と、ウエハキャリア２
の移動量を検出する回転式エンコーダ１５と、ウエハ３
ａ〜３ｆの位置を検出する反射型光電センサ１６と、回
転式エンコーダ１５及び反射型光電センサ１６からの信
号に基づき、各ウエハ毎に、搬送台１３をウエハキャリ
ア２に抜き差しする際のウエハキャリア２の基準移動量
を設定すると共に、所望のウエハを出し入れする際に、
所望のウエハに対応する基準移動量に基づき、昇降手段
１２及び挿抜手段１３の動作を制御するコントロール部
１８とを有する。
エハを確実にウエハキャリアから出し入れすることがで
きるウエハ搬送装置を提供する。 【構成】 搬送台１３と、ウエハキャリア２を上下方向
に移動する昇降手段１２と、搬送台１３をウエハキャリ
ア２に抜き差しする挿抜手段１４と、ウエハキャリア２
の移動量を検出する回転式エンコーダ１５と、ウエハ３
ａ〜３ｆの位置を検出する反射型光電センサ１６と、回
転式エンコーダ１５及び反射型光電センサ１６からの信
号に基づき、各ウエハ毎に、搬送台１３をウエハキャリ
ア２に抜き差しする際のウエハキャリア２の基準移動量
を設定すると共に、所望のウエハを出し入れする際に、
所望のウエハに対応する基準移動量に基づき、昇降手段
１２及び挿抜手段１３の動作を制御するコントロール部
１８とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のウエハが上下方
向に収納されたウエハキャリアから所望のウエハを出し
入れするウエハ搬送装置に関するものである。
向に収納されたウエハキャリアから所望のウエハを出し
入れするウエハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ウエハは、ウエハキャリアに所
定枚数毎に収納されて各工程間を搬送される。このウエ
ハキャリアには、両側面の内面にウエハを収納するため
の一対のスリットが上下方向に等間隔で形成されてお
り、このスリットにより、複数のウエハを上下方向に等
間隔で収納する。
定枚数毎に収納されて各工程間を搬送される。このウエ
ハキャリアには、両側面の内面にウエハを収納するため
の一対のスリットが上下方向に等間隔で形成されてお
り、このスリットにより、複数のウエハを上下方向に等
間隔で収納する。
【０００３】半導体製造工程では、各工程においてウエ
ハ搬送装置によりウエハキャリアからウエハを抜き出
し、処理室等に搬送する必要がある。従来のウエハ搬送
装置では、ウエハキャリアに形成されたスリットの間
隔、基準位置からウエハキャリアまでの距離等に基づ
き、ウエハキャリアにアームを差し込んだり抜き出した
りする際のアームの上下方向の移動量を予め設定してい
る。ウエハをウエハキャリアから抜き出すときには、そ
の予め設定された移動量に基づきアームを上下方向に移
動した後、アームをウエハキャリア内部に挿入すること
により、抜き出そうとしているウエハの裏面側にアーム
を移動する。次に、予め設定された移動量に基づきアー
ムを若干上方に移動してウエハをアーム上に載置した
後、アームをウエハキャリア内部から抜き出すことによ
り、ウエハを抜き出す。
ハ搬送装置によりウエハキャリアからウエハを抜き出
し、処理室等に搬送する必要がある。従来のウエハ搬送
装置では、ウエハキャリアに形成されたスリットの間
隔、基準位置からウエハキャリアまでの距離等に基づ
き、ウエハキャリアにアームを差し込んだり抜き出した
りする際のアームの上下方向の移動量を予め設定してい
る。ウエハをウエハキャリアから抜き出すときには、そ
の予め設定された移動量に基づきアームを上下方向に移
動した後、アームをウエハキャリア内部に挿入すること
により、抜き出そうとしているウエハの裏面側にアーム
を移動する。次に、予め設定された移動量に基づきアー
ムを若干上方に移動してウエハをアーム上に載置した
後、アームをウエハキャリア内部から抜き出すことによ
り、ウエハを抜き出す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ウエハキャ
リアは、熱により、あるいは長年月の使用により歪みが
生じることがある。このようにウエハキャリアが歪む
と、従来のウエハ搬送装置では、予め設定されたアーム
の上下方向の移動量と、実際にアームの抜き差しを行う
際に必要とされるアームの上下方向の移動量との間に誤
差が生じるので、アームをウエハキャリア内部に差し込
む際にアームとウエハとが接触してウエハの裏面に傷を
付けたり、アームをウエハキャリア内部から抜き出す際
にウエハがアームから落下したりすることがある。
リアは、熱により、あるいは長年月の使用により歪みが
生じることがある。このようにウエハキャリアが歪む
と、従来のウエハ搬送装置では、予め設定されたアーム
の上下方向の移動量と、実際にアームの抜き差しを行う
際に必要とされるアームの上下方向の移動量との間に誤
差が生じるので、アームをウエハキャリア内部に差し込
む際にアームとウエハとが接触してウエハの裏面に傷を
付けたり、アームをウエハキャリア内部から抜き出す際
にウエハがアームから落下したりすることがある。
【０００５】上記問題を解決するウエーハ搬送装置とし
て、ウエーハが装着される載置溝を、ウエーハを着脱す
るウエーハフォークを上下移動させて精度良く検知し、
各ウエーハを着脱するときのウエーハフォークの位置を
決定するもの（特開平５─１９８６５８号）がある。し
かし、特開平５─１９８６５８号記載のウエーハ搬送装
置では、カセットに形成された載置溝を検出することに
より、カセットからウエーハを着脱する際のウエーハフ
ォークの位置を決定するので、熱等によりカセットの載
置溝が歪んだ場合に、やはり上記と同様の問題が生じ
る。
て、ウエーハが装着される載置溝を、ウエーハを着脱す
るウエーハフォークを上下移動させて精度良く検知し、
各ウエーハを着脱するときのウエーハフォークの位置を
決定するもの（特開平５─１９８６５８号）がある。し
かし、特開平５─１９８６５８号記載のウエーハ搬送装
置では、カセットに形成された載置溝を検出することに
より、カセットからウエーハを着脱する際のウエーハフ
ォークの位置を決定するので、熱等によりカセットの載
置溝が歪んだ場合に、やはり上記と同様の問題が生じ
る。
【０００６】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、ウエハキャリアに歪みが生じた場合でも、ウエ
ハを傷つけることなく確実にウエハキャリアから出し入
れすることができるウエハ搬送装置を提供することを目
的とする。
であり、ウエハキャリアに歪みが生じた場合でも、ウエ
ハを傷つけることなく確実にウエハキャリアから出し入
れすることができるウエハ搬送装置を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の発明のウエハ搬送装置は、複数のウエ
ハが上下方向に収納されたウエハキャリアから所望のウ
エハを出し入れするウエハ搬送装置において、前記ウエ
ハキャリアに収納されたウエハを載置して搬送する搬送
台と、前記ウエハキャリア又は前記搬送台を上下方向に
移動する昇降手段と、前記搬送台を前記ウエハキャリア
から抜き出したり、差し込んだりする挿抜手段と、前記
昇降手段による前記ウエハキャリア又は前記搬送台の移
動量を検出する移動量検出手段と、前記搬送台と所定の
間隔を保つように設置された、前記ウエハキャリア及び
前記ウエハキャリアに収納された前記複数のウエハの位
置を検出する検出手段と、前記昇降手段により前記ウエ
ハキャリア又は前記搬送台を移動し、前記移動量検出手
段及び前記検出手段から出力された信号に基づき、前記
ウエハキャリアに収納された各ウエハ毎に、前記搬送台
を抜き差しする際の基準移動量を設定する設定手段と、
前記ウエハキャリアから所望のウエハを出し入れする際
に、前記設定手段で設定された前記所望のウエハに対応
する前記基準移動量に基づき、前記昇降手段及び前記挿
抜手段の動作を制御する制御手段と、を有することを特
徴とするものである。
に請求項１記載の発明のウエハ搬送装置は、複数のウエ
ハが上下方向に収納されたウエハキャリアから所望のウ
エハを出し入れするウエハ搬送装置において、前記ウエ
ハキャリアに収納されたウエハを載置して搬送する搬送
台と、前記ウエハキャリア又は前記搬送台を上下方向に
移動する昇降手段と、前記搬送台を前記ウエハキャリア
から抜き出したり、差し込んだりする挿抜手段と、前記
昇降手段による前記ウエハキャリア又は前記搬送台の移
動量を検出する移動量検出手段と、前記搬送台と所定の
間隔を保つように設置された、前記ウエハキャリア及び
前記ウエハキャリアに収納された前記複数のウエハの位
置を検出する検出手段と、前記昇降手段により前記ウエ
ハキャリア又は前記搬送台を移動し、前記移動量検出手
段及び前記検出手段から出力された信号に基づき、前記
ウエハキャリアに収納された各ウエハ毎に、前記搬送台
を抜き差しする際の基準移動量を設定する設定手段と、
前記ウエハキャリアから所望のウエハを出し入れする際
に、前記設定手段で設定された前記所望のウエハに対応
する前記基準移動量に基づき、前記昇降手段及び前記挿
抜手段の動作を制御する制御手段と、を有することを特
徴とするものである。
【０００８】
【作用】請求項１記載の発明のウエハ搬送装置は、ウエ
ハキャリア又は搬送台を移動し、移動量検出手段及び検
出手段から出力された信号に基づき、ウエハキャリアに
収納された各ウエハ毎に、搬送台を抜き差しする際の基
準移動量を設定する設定手段と、ウエハキャリアからウ
エハを出し入れする際に、設定手段で設定されたこの各
ウエハに対応する基準移動量に基づき、昇降手段及び挿
抜手段の動作を制御する制御手段と、を設けたことによ
り、ウエハキャリアに収納された各ウエハに対応した適
切な位置で搬送台をウエハキャリアに差し込んだり、抜
き出したりすることができるので、ウエハキャリアに歪
みが生じた場合でも、ウエハを傷つけることなくウエハ
キャリアから確実に出し入れすることができる。
ハキャリア又は搬送台を移動し、移動量検出手段及び検
出手段から出力された信号に基づき、ウエハキャリアに
収納された各ウエハ毎に、搬送台を抜き差しする際の基
準移動量を設定する設定手段と、ウエハキャリアからウ
エハを出し入れする際に、設定手段で設定されたこの各
ウエハに対応する基準移動量に基づき、昇降手段及び挿
抜手段の動作を制御する制御手段と、を設けたことによ
り、ウエハキャリアに収納された各ウエハに対応した適
切な位置で搬送台をウエハキャリアに差し込んだり、抜
き出したりすることができるので、ウエハキャリアに歪
みが生じた場合でも、ウエハを傷つけることなくウエハ
キャリアから確実に出し入れすることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例であるウエハ搬送装
置について図１乃至図３を参照して説明する。図１は本
発明の一実施例であるウエハ搬送装置の概略斜視図、図
２は図１に示すウエハ搬送装置において、ウエハキャリ
ア内のウエハ、搬送台及び反射型光電センサの配置を説
明するための図、図３は図１に示すウエハ搬送装置のコ
ントロール部の概略ブロック図である。
置について図１乃至図３を参照して説明する。図１は本
発明の一実施例であるウエハ搬送装置の概略斜視図、図
２は図１に示すウエハ搬送装置において、ウエハキャリ
ア内のウエハ、搬送台及び反射型光電センサの配置を説
明するための図、図３は図１に示すウエハ搬送装置のコ
ントロール部の概略ブロック図である。
【００１０】図１に示すウエハ搬送装置１は、複数のウ
エハ３ａ〜３ｆが上下方向に収納されたウエハキャリア
２を載置する架台１１と、架台１１を上下方向に移動す
る昇降手段１２と、ウエハ３ａ〜３ｆを載置する搬送台
１３と、搬送台１３をウエハキャリア２に差し込んだ
り、抜き出したりする挿抜手段１４と、回転式エンコー
ダ１５と、反射型光電センサ１６と、管１７ａを介し
て、搬送台１３の先端部に形成された穴１３ａから空気
を吸引する真空発生器１７と、コントロール部１８とを
備えて構成される。
エハ３ａ〜３ｆが上下方向に収納されたウエハキャリア
２を載置する架台１１と、架台１１を上下方向に移動す
る昇降手段１２と、ウエハ３ａ〜３ｆを載置する搬送台
１３と、搬送台１３をウエハキャリア２に差し込んだ
り、抜き出したりする挿抜手段１４と、回転式エンコー
ダ１５と、反射型光電センサ１６と、管１７ａを介し
て、搬送台１３の先端部に形成された穴１３ａから空気
を吸引する真空発生器１７と、コントロール部１８とを
備えて構成される。
【００１１】ウエハキャリア２には、両側面の内面にウ
エハ３ａ〜３ｆを収納するための一対のスリット２ａ，
２ｂが上下方向に等間隔で形成されている。これによ
り、図２に示すように、複数のウエハ３ａ〜３ｆを上下
方向に等間隔で収納する。
エハ３ａ〜３ｆを収納するための一対のスリット２ａ，
２ｂが上下方向に等間隔で形成されている。これによ
り、図２に示すように、複数のウエハ３ａ〜３ｆを上下
方向に等間隔で収納する。
【００１２】昇降手段１２は、表面にネジ溝が形成され
た軸１２１と、軸１２１に固定されたプーリー１２２
と、ベルト１２３及びプーリー１２２を介して軸１２１
を回転駆動するモータ１２４と、架台１１に形成された
孔１１４を貫通するように設けられたガイド棒１２５
と、を有する。軸１２１は、架台１１に形成されたネジ
孔１１２と螺合している。昇降手段１２は、モータ１２
４によって軸１２１を回転駆動することにより、架台１
１を上下方向に移動する。
た軸１２１と、軸１２１に固定されたプーリー１２２
と、ベルト１２３及びプーリー１２２を介して軸１２１
を回転駆動するモータ１２４と、架台１１に形成された
孔１１４を貫通するように設けられたガイド棒１２５
と、を有する。軸１２１は、架台１１に形成されたネジ
孔１１２と螺合している。昇降手段１２は、モータ１２
４によって軸１２１を回転駆動することにより、架台１
１を上下方向に移動する。
【００１３】挿抜手段１４は、搬送台１３が水平に取り
付けられた移動台１４６と、表面にネジ溝が形成された
軸１４１と、軸１４１に固定されたプーリー１４２と、
ベルト１４３及びプーリー１４２を介して軸１４１を回
転駆動するモータ１４４と、移動台１４６に形成された
孔１４６ａを貫通するように設けられたガイド棒１４５
と、を有する。軸１４１は、移動台１４６に形成された
ネジ孔１４６ｂと螺合している。挿抜手段１４は、モー
タ１４４によって軸１４１を回転駆動することにより、
移動台１４６を水平方向に移動する。これにより、搬送
台１３をウエハキャリア２に差し込んだり、抜き出した
りする。
付けられた移動台１４６と、表面にネジ溝が形成された
軸１４１と、軸１４１に固定されたプーリー１４２と、
ベルト１４３及びプーリー１４２を介して軸１４１を回
転駆動するモータ１４４と、移動台１４６に形成された
孔１４６ａを貫通するように設けられたガイド棒１４５
と、を有する。軸１４１は、移動台１４６に形成された
ネジ孔１４６ｂと螺合している。挿抜手段１４は、モー
タ１４４によって軸１４１を回転駆動することにより、
移動台１４６を水平方向に移動する。これにより、搬送
台１３をウエハキャリア２に差し込んだり、抜き出した
りする。
【００１４】回転式エンコーダ１５は、軸１４１の下端
部に取り付けられており、軸１４１が０．１ｍｍ移動す
る毎にパルス信号を出力する。反射型光電センサ１６
は、図２に示すように、昇降手段１２により架台１１を
最も上方に移動したときに、架台１１より下方に位置す
るように取り付けられている。尚、本実施例では、搬送
台１３の上面より２５ｍｍ下方の位置に、スポット径が
φ０．３〜０．０５ｍｍ、レーザ光の波長が６００〜８
００ｎｍ，検出距離が３０〜７０ｍｍの反射型光電セン
サを取り付けた。
部に取り付けられており、軸１４１が０．１ｍｍ移動す
る毎にパルス信号を出力する。反射型光電センサ１６
は、図２に示すように、昇降手段１２により架台１１を
最も上方に移動したときに、架台１１より下方に位置す
るように取り付けられている。尚、本実施例では、搬送
台１３の上面より２５ｍｍ下方の位置に、スポット径が
φ０．３〜０．０５ｍｍ、レーザ光の波長が６００〜８
００ｎｍ，検出距離が３０〜７０ｍｍの反射型光電セン
サを取り付けた。
【００１５】コントロール部１８は、図３に示すよう
に、回転式エンコーダ１５から出力されたパルス数をカ
ウントするパルスカウンタ１８１と、反射型光電センサ
１６から出力された信号に基づいて、パルス信号を発生
するパルス信号発生手段１８２と、設定手段１８３と、
記憶手段１８４と、モータ１２４，１４４の動作を制御
する制御手段１８５とを有する。設定手段１８３は、昇
降手段１２によりウエハキャリア２を移動した際に出力
された、パルスカウンタ１８１のカウント値及びパルス
信号発生手段１８２のパルス信号に基づき、ウエハキャ
リア２に収納された各ウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリ
ア２から出し入れする際の軸１２１の基準移動量を設定
する。記憶手段１８４は、設定手段１８３により設定さ
れた各ウエハ３ａ〜３ｆに対応した基準移動量を記憶す
る。制御手段１８５は、ウエハキャリア２に収納された
各ウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリア２から出し入れす
る際に、記憶手段１８４に記憶された各ウエハ３ａ〜３
ｆに対応した基準移動量に基づき、モータ１２４，１４
４の動作を制御する。
に、回転式エンコーダ１５から出力されたパルス数をカ
ウントするパルスカウンタ１８１と、反射型光電センサ
１６から出力された信号に基づいて、パルス信号を発生
するパルス信号発生手段１８２と、設定手段１８３と、
記憶手段１８４と、モータ１２４，１４４の動作を制御
する制御手段１８５とを有する。設定手段１８３は、昇
降手段１２によりウエハキャリア２を移動した際に出力
された、パルスカウンタ１８１のカウント値及びパルス
信号発生手段１８２のパルス信号に基づき、ウエハキャ
リア２に収納された各ウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリ
ア２から出し入れする際の軸１２１の基準移動量を設定
する。記憶手段１８４は、設定手段１８３により設定さ
れた各ウエハ３ａ〜３ｆに対応した基準移動量を記憶す
る。制御手段１８５は、ウエハキャリア２に収納された
各ウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリア２から出し入れす
る際に、記憶手段１８４に記憶された各ウエハ３ａ〜３
ｆに対応した基準移動量に基づき、モータ１２４，１４
４の動作を制御する。
【００１６】次に、図１に示すウエハ搬送装置１におい
てウエハキャリア２から所望のウエハ３ａ〜３ｆを取り
出すときの動作について図４及び図５を参照して説明す
る。尚、図４は図１に示すウエハ搬送装置において、ウ
エハキャリアを移動した際にパルス信号発生手段及び回
転式エンコーダから出力されたパルス信号のタイミング
を表した図、図５は図１に示すウエハ搬送装置におい
て、ウエハキャリアから所望のウエハを取り出すときの
動作の流れを説明するための図である。
てウエハキャリア２から所望のウエハ３ａ〜３ｆを取り
出すときの動作について図４及び図５を参照して説明す
る。尚、図４は図１に示すウエハ搬送装置において、ウ
エハキャリアを移動した際にパルス信号発生手段及び回
転式エンコーダから出力されたパルス信号のタイミング
を表した図、図５は図１に示すウエハ搬送装置におい
て、ウエハキャリアから所望のウエハを取り出すときの
動作の流れを説明するための図である。
【００１７】初期状態では、架台１１は、図２に示すよ
うに、反射型光電センサ１６より上方に位置するものと
する。ステップＳ１では、制御手段１８５は、モータ１
２４を回転駆動して架台１１を下方に移動する。これに
より、ウエハキャリア２を下方に移動する。この際、パ
ルスカウンタ１８１は、回転式エンコーダ１５によって
出力された図４に示すパルス信号Ｐb の出力回数をカウ
ントする。また、架台１１及びウエハ３ａ〜３ｆが反射
型光電センサ１６に対向する位置に移動すると、パルス
信号発生手段１８２は、反射型光電センサ１６からの信
号に基づき、図４に示すパルス信号Ｐa を出力する。パ
ルス信号Ｐa において、Ｐa1は、反射型光電センサ１６
が架台１１の側面１１ａ及びウエハキャリア２の底面の
側面２ｃを検出したときに出力されたパルス信号、Ｐa2
〜Ｐa7は、反射型光電センサ１６がそれぞれウエハ３ａ
〜３ｆを検出したときに出力されたパルス信号である。
うに、反射型光電センサ１６より上方に位置するものと
する。ステップＳ１では、制御手段１８５は、モータ１
２４を回転駆動して架台１１を下方に移動する。これに
より、ウエハキャリア２を下方に移動する。この際、パ
ルスカウンタ１８１は、回転式エンコーダ１５によって
出力された図４に示すパルス信号Ｐb の出力回数をカウ
ントする。また、架台１１及びウエハ３ａ〜３ｆが反射
型光電センサ１６に対向する位置に移動すると、パルス
信号発生手段１８２は、反射型光電センサ１６からの信
号に基づき、図４に示すパルス信号Ｐa を出力する。パ
ルス信号Ｐa において、Ｐa1は、反射型光電センサ１６
が架台１１の側面１１ａ及びウエハキャリア２の底面の
側面２ｃを検出したときに出力されたパルス信号、Ｐa2
〜Ｐa7は、反射型光電センサ１６がそれぞれウエハ３ａ
〜３ｆを検出したときに出力されたパルス信号である。
【００１８】ステップＳ２では、設定手段１８３は、図
４に示すように、パルス信号発生手段１８２から最初に
出力されたパルス信号Ｐa1の立ち上がりを基準（このと
きのパルスカウンタ１８１の値を零とする）として、パ
ルス信号発生手段１８２から後に出力されるパルス信号
Ｐa2〜Ｐa7の立ち上がり時におけるパルスカウンタ１８
のカウント値Ｃを検出する。そして、各パルス信号Ｐa2
〜Ｐa7についてのカウント値Ｃから、搬送台１３の上面
と反射型光電センサ１６との間の距離に相当する（回転
式エンコーダ１５から出力される）パルス信号Ｐb のパ
ルス数を引き算する。これにより、各ウエハ３ａ〜３ｆ
をウエハキャリア２から出し入れする際の架台１１の基
準移動量を設定する。ここで、基準移動量は、図４に示
すパルス信号Ｐa1の立ち上がり時、すなわち、反射型光
電センサ１６が図２に示す架台１１の側面１１ａの下端
を検出した位置を基準としている。尚、本実施例では、
反射型光電センサ１６を搬送台１３の上面から２５ｍｍ
下方の位置に設置した。パルス信号Ｐb は軸１２１が
０．１ｍｍ移動する毎に出力されるので、搬送台１３の
上面と反射型光電センサ１６との間の距離に相当するパ
ルス信号Ｐb のパルス数は２５０である。したがって、
本実施例において、各ウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリ
ア２から出し入れする際の架台１１の基準移動量は、図
４に示す各パルス信号Ｐa2〜Ｐa7についてのカウント値
Ｃからそれぞれ２５０を引いた値となる。すなわち、ウ
エハ３ａに対応する基準移動量は０、ウエハ３ｂに対応
する基準移動量は４６、ウエハ３ｃに対応する基準移動
量は９２、ウエハ３ｄに対応する基準移動量は１３８、
ウエハ３ｅに対応する基準移動量は１８４、ウエハ３ｆ
に対応する基準移動量は２３０である。
４に示すように、パルス信号発生手段１８２から最初に
出力されたパルス信号Ｐa1の立ち上がりを基準（このと
きのパルスカウンタ１８１の値を零とする）として、パ
ルス信号発生手段１８２から後に出力されるパルス信号
Ｐa2〜Ｐa7の立ち上がり時におけるパルスカウンタ１８
のカウント値Ｃを検出する。そして、各パルス信号Ｐa2
〜Ｐa7についてのカウント値Ｃから、搬送台１３の上面
と反射型光電センサ１６との間の距離に相当する（回転
式エンコーダ１５から出力される）パルス信号Ｐb のパ
ルス数を引き算する。これにより、各ウエハ３ａ〜３ｆ
をウエハキャリア２から出し入れする際の架台１１の基
準移動量を設定する。ここで、基準移動量は、図４に示
すパルス信号Ｐa1の立ち上がり時、すなわち、反射型光
電センサ１６が図２に示す架台１１の側面１１ａの下端
を検出した位置を基準としている。尚、本実施例では、
反射型光電センサ１６を搬送台１３の上面から２５ｍｍ
下方の位置に設置した。パルス信号Ｐb は軸１２１が
０．１ｍｍ移動する毎に出力されるので、搬送台１３の
上面と反射型光電センサ１６との間の距離に相当するパ
ルス信号Ｐb のパルス数は２５０である。したがって、
本実施例において、各ウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリ
ア２から出し入れする際の架台１１の基準移動量は、図
４に示す各パルス信号Ｐa2〜Ｐa7についてのカウント値
Ｃからそれぞれ２５０を引いた値となる。すなわち、ウ
エハ３ａに対応する基準移動量は０、ウエハ３ｂに対応
する基準移動量は４６、ウエハ３ｃに対応する基準移動
量は９２、ウエハ３ｄに対応する基準移動量は１３８、
ウエハ３ｅに対応する基準移動量は１８４、ウエハ３ｆ
に対応する基準移動量は２３０である。
【００１９】ステップＳ３では、設定手段１８３により
設定された、各ウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリア２か
ら出し入れする際の架台１１の基準移動量を記憶手段１
８４に記憶する。
設定された、各ウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリア２か
ら出し入れする際の架台１１の基準移動量を記憶手段１
８４に記憶する。
【００２０】ステップＳ４では、制御手段１８５は、モ
ータ１２４を回転駆動して軸１２１を上方に移動する。
これにより、架台１１を反射型光電センサ１６が図２に
示す架台１１の側面１１ａの下端を検出した位置に移動
する。
ータ１２４を回転駆動して軸１２１を上方に移動する。
これにより、架台１１を反射型光電センサ１６が図２に
示す架台１１の側面１１ａの下端を検出した位置に移動
する。
【００２１】ステップＳ５では、制御手段１８５は、記
憶手段１８４に記憶された所望のウエハ３ａ〜３ｆに対
応した基準移動量に基づき、モータ１２４を回転駆動す
ることにより、架台１１を下方に移動する。例えば、ウ
エハキャリア２からウエハ３ｂを取り出す場合、反射型
光電センサ１６が図２に示す架台１１の側面１１ａの下
端を検出した位置から、回転式エンコーダ１５から出力
されるパルス信号Ｐbの４６パルス数（Ｐa3−Ｐa2）に
相当する距離、即ち４．６ｍｍだけ下方に架台１１を移
動する。これにより、ウエハ３ｂの裏面と搬送台１３の
上面との上下方向における位置は一致する。
憶手段１８４に記憶された所望のウエハ３ａ〜３ｆに対
応した基準移動量に基づき、モータ１２４を回転駆動す
ることにより、架台１１を下方に移動する。例えば、ウ
エハキャリア２からウエハ３ｂを取り出す場合、反射型
光電センサ１６が図２に示す架台１１の側面１１ａの下
端を検出した位置から、回転式エンコーダ１５から出力
されるパルス信号Ｐbの４６パルス数（Ｐa3−Ｐa2）に
相当する距離、即ち４．６ｍｍだけ下方に架台１１を移
動する。これにより、ウエハ３ｂの裏面と搬送台１３の
上面との上下方向における位置は一致する。
【００２２】ステップＳ６では、制御手段１８５は、モ
ータ１２４を回転駆動することにより、架台１１を若干
上方に移動する。これは、搬送台１３をウエハキャリア
２に差し込んだ際に、搬送台１３の上面とウエハキャリ
ア２に収納されたウエハの裏面とが接触してウエハの裏
面を傷付けるのを防止するためである。本実施例では、
回転式エンコーダ１５から出力されるパルス信号Ｐb の
９パルス数に相当する距離、即ち０．９ｍｍだけ上方に
移動するようにした。この値は、状況に応じて任意に設
定することができる。
ータ１２４を回転駆動することにより、架台１１を若干
上方に移動する。これは、搬送台１３をウエハキャリア
２に差し込んだ際に、搬送台１３の上面とウエハキャリ
ア２に収納されたウエハの裏面とが接触してウエハの裏
面を傷付けるのを防止するためである。本実施例では、
回転式エンコーダ１５から出力されるパルス信号Ｐb の
９パルス数に相当する距離、即ち０．９ｍｍだけ上方に
移動するようにした。この値は、状況に応じて任意に設
定することができる。
【００２３】ステップＳ７では、制御手段１８５は、モ
ータ１４４を回転駆動して移動台１４６を水平方向に移
動する。これにより、搬送台１３をウエハキャリア２に
差し込む。
ータ１４４を回転駆動して移動台１４６を水平方向に移
動する。これにより、搬送台１３をウエハキャリア２に
差し込む。
【００２４】ステップＳ８では、制御手段１８５は、モ
ータ１２４を回転駆動することにより、架台１１を若干
下方に移動する。これにより、搬送台１３は、ウエハキ
ャリア２を載置する。架台１１の移動量は、ステップＳ
６における架台１１の移動量より多く、且つ、ステップ
Ｓ６における架台１１の移動量にウエハキャリア２の両
側面に形成されたスリット２ａ，２ｂの幅を加えた量よ
り少なくなければならない。これは、搬送台１３の上面
とウエハの裏面とを当接させると共に、搬送台１３の上
面とウエハの裏面とを当接させた際に、ウエハの表面が
スリット２ａ，２ｂの上面に当接しないようにするため
である。本実施例では、回転式エンコーダ１５から出力
されるパルス信号Ｐb の１５パルス数に相当する距離、
即ち１．５ｍｍだけ下方に移動するようにした。尚、真
空発生器１７により、搬送台１３の先端部に形成された
穴１３ａから空気が吸引されているので、搬送台１３の
上面とウエハの裏面とを当接させることにより、ウエハ
を搬送台１３上に吸着・載置することができる。尚、管
１７ａ等の圧力値の変化を検出することにより、ウエハ
が搬送台１３上に吸着されているか否かを判断すること
も可能である。
ータ１２４を回転駆動することにより、架台１１を若干
下方に移動する。これにより、搬送台１３は、ウエハキ
ャリア２を載置する。架台１１の移動量は、ステップＳ
６における架台１１の移動量より多く、且つ、ステップ
Ｓ６における架台１１の移動量にウエハキャリア２の両
側面に形成されたスリット２ａ，２ｂの幅を加えた量よ
り少なくなければならない。これは、搬送台１３の上面
とウエハの裏面とを当接させると共に、搬送台１３の上
面とウエハの裏面とを当接させた際に、ウエハの表面が
スリット２ａ，２ｂの上面に当接しないようにするため
である。本実施例では、回転式エンコーダ１５から出力
されるパルス信号Ｐb の１５パルス数に相当する距離、
即ち１．５ｍｍだけ下方に移動するようにした。尚、真
空発生器１７により、搬送台１３の先端部に形成された
穴１３ａから空気が吸引されているので、搬送台１３の
上面とウエハの裏面とを当接させることにより、ウエハ
を搬送台１３上に吸着・載置することができる。尚、管
１７ａ等の圧力値の変化を検出することにより、ウエハ
が搬送台１３上に吸着されているか否かを判断すること
も可能である。
【００２５】ステップＳ９では、制御手段１８５は、モ
ータ１４４を回転駆動して移動台１４６を水平方向に移
動することにより、ウエハキャリア２に差し込んだ搬送
台１３を抜き出す。これにより、ウエハキャリア２に収
納された所望のウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリア２か
ら取り出すことができる。
ータ１４４を回転駆動して移動台１４６を水平方向に移
動することにより、ウエハキャリア２に差し込んだ搬送
台１３を抜き出す。これにより、ウエハキャリア２に収
納された所望のウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリア２か
ら取り出すことができる。
【００２６】次に、上記のようにしてウエハキャリア２
から取り出したウエハ３ａ〜３ｆを、ウエハキャリア２
に再び挿入するときの動作について図６に示すフローに
従って説明する。
から取り出したウエハ３ａ〜３ｆを、ウエハキャリア２
に再び挿入するときの動作について図６に示すフローに
従って説明する。
【００２７】初期状態では、架台１１は、図２に示すよ
うに、反射型光電センサ１６より上方に位置するものと
する。ステップＳ１では、制御手段１８５は、モータ１
２４を回転駆動して軸１２１を下方に移動する。これに
より、架台１１を反射型光電センサ１６が図２に示す架
台１１の側面１１ａの下端を検出した位置に移動する。
うに、反射型光電センサ１６より上方に位置するものと
する。ステップＳ１では、制御手段１８５は、モータ１
２４を回転駆動して軸１２１を下方に移動する。これに
より、架台１１を反射型光電センサ１６が図２に示す架
台１１の側面１１ａの下端を検出した位置に移動する。
【００２８】ステップＳ２では、制御手段１８５は、記
憶手段１８４に記憶された、ウエハキャリア２から取り
出されたウエハ３ａ〜３ｆに対応した基準移動量に基づ
き、モータ１２４を回転駆動することにより、架台１１
を下方に移動する。たとえば、ウエハキャリア２から取
り出されたウエハ３ｂをウエハキャリア２に再び挿入す
る場合、反射型光電センサ１６が図２に示す架台１１の
側面１１ａの下端を検出した位置から、回転式エンコー
ダ１５から出力されるパルス信号Ｐb の４６パルス数
（Ｐa3−Ｐa2）に相当する距離、即ち４．６ｍｍだけ下
方に架台１１を移動する。
憶手段１８４に記憶された、ウエハキャリア２から取り
出されたウエハ３ａ〜３ｆに対応した基準移動量に基づ
き、モータ１２４を回転駆動することにより、架台１１
を下方に移動する。たとえば、ウエハキャリア２から取
り出されたウエハ３ｂをウエハキャリア２に再び挿入す
る場合、反射型光電センサ１６が図２に示す架台１１の
側面１１ａの下端を検出した位置から、回転式エンコー
ダ１５から出力されるパルス信号Ｐb の４６パルス数
（Ｐa3−Ｐa2）に相当する距離、即ち４．６ｍｍだけ下
方に架台１１を移動する。
【００２９】ステップＳ３では、制御手段１８５は、モ
ータ１２４を回転駆動することにより、架台１１を若干
下方に移動する。これは、搬送台１３をウエハキャリア
２に差し込んだ際に、搬送台１３上に載置されたウエハ
の両端部をウエハキャリア２に形成された対応するスリ
ット２ａ，２ｂの上面及び下面に接触させることなく挿
入するためである。本実施例では、回転式エンコーダ１
５から出力されるパルス信号Ｐb の６パルス数に相当す
る距離、即ち０．６ｍｍだけ下方に移動するようにし
た。
ータ１２４を回転駆動することにより、架台１１を若干
下方に移動する。これは、搬送台１３をウエハキャリア
２に差し込んだ際に、搬送台１３上に載置されたウエハ
の両端部をウエハキャリア２に形成された対応するスリ
ット２ａ，２ｂの上面及び下面に接触させることなく挿
入するためである。本実施例では、回転式エンコーダ１
５から出力されるパルス信号Ｐb の６パルス数に相当す
る距離、即ち０．６ｍｍだけ下方に移動するようにし
た。
【００３０】ステップＳ４では、制御手段１８５は、モ
ータ１４４を回転駆動して移動台１４６を水平方向に移
動する。これにより、ウエハを載置した搬送台１３をウ
エハキャリア２に差し込む。
ータ１４４を回転駆動して移動台１４６を水平方向に移
動する。これにより、ウエハを載置した搬送台１３をウ
エハキャリア２に差し込む。
【００３１】ステップＳ５では、制御手段１８５は、モ
ータ１２４を回転駆動することにより、架台１１を若干
上方に移動する。これにより、搬送台１３からウエハを
離して、ウエハの裏面の両端部をウエハキャリア２に形
成された対応するスリット２ａ，２ｂの下面に載置す
る。架台１１の移動量は、ステップＳ３における架台１
１の移動量より若干多くなければならない。これは、搬
送台１３上に載置されたウエハの裏面の両端部とウエハ
キャリア２に形成された対応するスリット２ａ，２ｂの
下面とを当接させ、さらに搬送台１３からウエハを離す
ためである。本実施例では、回転式エンコーダ１５から
出力されるパルス信号Ｐb の１５パルス数に相当する距
離、即ち１．５ｍｍだけ上方に移動するようにした。
尚、管１７ａの圧力値の変化を検出することにより、ウ
エハが搬送台１３から離れたか否かを判断することがで
きる。
ータ１２４を回転駆動することにより、架台１１を若干
上方に移動する。これにより、搬送台１３からウエハを
離して、ウエハの裏面の両端部をウエハキャリア２に形
成された対応するスリット２ａ，２ｂの下面に載置す
る。架台１１の移動量は、ステップＳ３における架台１
１の移動量より若干多くなければならない。これは、搬
送台１３上に載置されたウエハの裏面の両端部とウエハ
キャリア２に形成された対応するスリット２ａ，２ｂの
下面とを当接させ、さらに搬送台１３からウエハを離す
ためである。本実施例では、回転式エンコーダ１５から
出力されるパルス信号Ｐb の１５パルス数に相当する距
離、即ち１．５ｍｍだけ上方に移動するようにした。
尚、管１７ａの圧力値の変化を検出することにより、ウ
エハが搬送台１３から離れたか否かを判断することがで
きる。
【００３２】ステップＳ６では、制御手段１８５は、モ
ータ１４４を回転駆動して移動台１４６を水平方向に移
動することにより、ウエハキャリア２に差し込んだ搬送
台１３を抜き出す。これにより、ウエハキャリア２から
取り出されたウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリア２に再
び挿入することができる。
ータ１４４を回転駆動して移動台１４６を水平方向に移
動することにより、ウエハキャリア２に差し込んだ搬送
台１３を抜き出す。これにより、ウエハキャリア２から
取り出されたウエハ３ａ〜３ｆをウエハキャリア２に再
び挿入することができる。
【００３３】上記の本実施例によれば、ウエハキャリア
２に収納された各ウエハ毎に、搬送台１３を抜き差しす
る際のウエハキャリア２の基準移動量を設定する設定手
段１８３と、ウエハキャリア２からウエハを出し入れす
る際に、設定手段１８３で設定されたこのウエハに対応
する基準移動量に基づき、昇降手段１２及び挿抜手段１
４の動作を制御する制御手段１８５と、を設けたことに
より、ウエハキャリア２に収納された各ウエハに対応し
た適切な位置で搬送台１３をウエハキャリア２に差し込
んだり、抜き出したりすることができるので、ウエハキ
ャリア２に歪みが生じた場合でも、ウエハを傷つけるこ
となくウエハキャリア２から確実に出し入れすることが
できる。
２に収納された各ウエハ毎に、搬送台１３を抜き差しす
る際のウエハキャリア２の基準移動量を設定する設定手
段１８３と、ウエハキャリア２からウエハを出し入れす
る際に、設定手段１８３で設定されたこのウエハに対応
する基準移動量に基づき、昇降手段１２及び挿抜手段１
４の動作を制御する制御手段１８５と、を設けたことに
より、ウエハキャリア２に収納された各ウエハに対応し
た適切な位置で搬送台１３をウエハキャリア２に差し込
んだり、抜き出したりすることができるので、ウエハキ
ャリア２に歪みが生じた場合でも、ウエハを傷つけるこ
となくウエハキャリア２から確実に出し入れすることが
できる。
【００３４】本発明は、上記の実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨の範囲内で様々な変形が可能であ
る。たとえば、上記の実施例では、搬送台１３及び反射
型光電センサ１６の上下方向における位置を固定し、ウ
エハキャリア２を上下方向に移動する昇降手段１２を設
けたものについて説明したが、本発明はこれに限定され
るものではない。ウエハキャリア２の上下方向における
位置を固定し、搬送台１３と、搬送台１３と所定の間隔
を保つように設置された反射型光電センサ１６とを上下
方向に移動する移動手段を設けたものでもよい。
ではなく、その要旨の範囲内で様々な変形が可能であ
る。たとえば、上記の実施例では、搬送台１３及び反射
型光電センサ１６の上下方向における位置を固定し、ウ
エハキャリア２を上下方向に移動する昇降手段１２を設
けたものについて説明したが、本発明はこれに限定され
るものではない。ウエハキャリア２の上下方向における
位置を固定し、搬送台１３と、搬送台１３と所定の間隔
を保つように設置された反射型光電センサ１６とを上下
方向に移動する移動手段を設けたものでもよい。
【００３５】また、上記の実施例では、検出手段とし
て、反射型光電センサ１６及びパルス信号発生手段１８
２を用いたものについて説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、検出手段は、ウエハキャリア２
に収納されたウエハ３ａ〜３ｆの側面を検出することが
できるものであればよい。
て、反射型光電センサ１６及びパルス信号発生手段１８
２を用いたものについて説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、検出手段は、ウエハキャリア２
に収納されたウエハ３ａ〜３ｆの側面を検出することが
できるものであればよい。
【００３６】さらに、上記の実施例では、移動量検出手
段として、回転式エンコーダ１５及びパルスカウンタ１
８１を用いたものについて説明したが、本発明はこれに
限定されるものではなく、移動量検出手段は、昇降手段
によるウエハキャリア２又は搬送台１３の移動量を検出
することができるものであればよい。
段として、回転式エンコーダ１５及びパルスカウンタ１
８１を用いたものについて説明したが、本発明はこれに
限定されるものではなく、移動量検出手段は、昇降手段
によるウエハキャリア２又は搬送台１３の移動量を検出
することができるものであればよい。
【００３７】また、上記の実施例では、設定手段１８３
において、反射型光電センサ１６が架台１１の側面１１
ａの下端を検出した位置を基準として、ウエハ３ａ〜３
ｆをウエハキャリア２から出し入れする際の架台１１の
基準移動量を設定したが、基準移動量の基準位置は、反
射型光電センサ１６が架台１１の側面１１ａの下端を検
出した位置に限定されるものではない。
において、反射型光電センサ１６が架台１１の側面１１
ａの下端を検出した位置を基準として、ウエハ３ａ〜３
ｆをウエハキャリア２から出し入れする際の架台１１の
基準移動量を設定したが、基準移動量の基準位置は、反
射型光電センサ１６が架台１１の側面１１ａの下端を検
出した位置に限定されるものではない。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、ウエハキャリアに収納された各ウエハ毎に、
搬送台を抜き差しする際の基準移動量を設定する設定手
段と、ウエハキャリアからウエハを出し入れする際に、
設定手段で設定されたこの各ウエハに対応する基準移動
量に基づき、昇降手段及び挿抜手段の動作を制御する制
御手段と、を設けたことにより、ウエハキャリアに収納
された各ウエハに対応した適切な位置で搬送台を抜き差
しすることができるので、ウエハキャリアに歪みが生じ
た場合でも、ウエハを傷つけることなくウエハキャリア
から確実に出し入れすることができるウエハ搬送装置を
提供することができる。
によれば、ウエハキャリアに収納された各ウエハ毎に、
搬送台を抜き差しする際の基準移動量を設定する設定手
段と、ウエハキャリアからウエハを出し入れする際に、
設定手段で設定されたこの各ウエハに対応する基準移動
量に基づき、昇降手段及び挿抜手段の動作を制御する制
御手段と、を設けたことにより、ウエハキャリアに収納
された各ウエハに対応した適切な位置で搬送台を抜き差
しすることができるので、ウエハキャリアに歪みが生じ
た場合でも、ウエハを傷つけることなくウエハキャリア
から確実に出し入れすることができるウエハ搬送装置を
提供することができる。
【図１】本発明の一実施例であるウエハ搬送装置の概略
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１に示すウエハ搬送装置において、ウエハキ
ャリア内のウエハ、アーム及び反射型光電センサの配置
を説明するための図である。
ャリア内のウエハ、アーム及び反射型光電センサの配置
を説明するための図である。
【図３】図１に示すウエハ搬送装置のコントロール部の
概略ブロック図である。
概略ブロック図である。
【図４】図１に示すウエハ搬送装置において、ウエハキ
ャリアを移動した際にパルス信号発生手段及び回転式エ
ンコーダから出力されたパルス信号のタイミングチャー
トである。
ャリアを移動した際にパルス信号発生手段及び回転式エ
ンコーダから出力されたパルス信号のタイミングチャー
トである。
【図５】図１に示すウエハ搬送装置において、ウエハキ
ャリアから所望のウエハを取り出すときの動作を説明す
るためのフローチャートである。
ャリアから所望のウエハを取り出すときの動作を説明す
るためのフローチャートである。
【図６】図５に従ってウエハキャリアから取り出したウ
エハをウエハキャリアに再び挿入するときの動作を説明
するためのフローチャートである。
エハをウエハキャリアに再び挿入するときの動作を説明
するためのフローチャートである。
１ ウエハ搬送装置 ２ ウエハキャリア ２ａ，２ｂ スリット ２ｃ，１１ａ，３１ 側面 ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ ウエハ １１ 架台 １２ 昇降手段 １３ 搬送台 １３ａ 穴 １４ 挿抜手段 １５ 回転式エンコーダ １６ 反射型光電センサ １７ 真空発生器 １７ａ 管 １８ コントロール部 １１２，１１４，１４６ａ，１４６ｂ 孔 １２１，１４１ 軸 １２２，１４２ プーリー １２３，１４３ ベルト １２４，１４４ モータ １２５，１４５ ガイド棒 １４６ 移動台 １８１ パルスカウンタ １８２ パルス信号発生部 １８３ 設定手段 １８４ 記憶手段 １８５ 制御手段
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｌ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のウエハが上下方向に収納されたウ
エハキャリアから所望のウエハを出し入れするウエハ搬
送装置において、 前記ウエハキャリアに収納されたウエハを載置して搬送
する搬送台と、 前記ウエハキャリア又は前記搬送台を上下方向に移動す
る昇降手段と、 前記搬送台を前記ウエハキャリアから抜き出したり、差
し込んだりする挿抜手段と、 前記昇降手段による前記ウエハキャリア又は前記搬送台
の移動量を検出する移動量検出手段と、 前記搬送台と所定の間隔を保つように設置された、前記
ウエハキャリア及び前記ウエハキャリアに収納された前
記複数のウエハの位置を検出する検出手段と、 前記昇降手段により前記ウエハキャリア又は前記搬送台
を移動し、前記移動量検出手段及び前記検出手段から出
力された信号に基づき、前記ウエハキャリアに収納され
た各ウエハ毎に、前記搬送台を抜き差しする際の基準移
動量を設定する設定手段と、 前記ウエハキャリアから所望のウエハを出し入れする際
に、前記設定手段で設定された前記所望のウエハに対応
する前記基準移動量に基づき、前記昇降手段及び前記挿
抜手段の動作を制御する制御手段と、 を有することを特徴とするウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24204794A JPH0881008A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24204794A JPH0881008A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0881008A true JPH0881008A (ja) | 1996-03-26 |
Family
ID=17083486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24204794A Pending JPH0881008A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0881008A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100620165B1 (ko) * | 2001-06-25 | 2006-09-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체웨이퍼 보관장치 |
| CN103663262A (zh) * | 2012-09-03 | 2014-03-26 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 升降机构和具有其的基片装载设备 |
| CN108717207A (zh) * | 2018-05-21 | 2018-10-30 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | 面板放置检测装置及面板放置检测方法 |
-
1994
- 1994-09-09 JP JP24204794A patent/JPH0881008A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100620165B1 (ko) * | 2001-06-25 | 2006-09-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체웨이퍼 보관장치 |
| CN103663262A (zh) * | 2012-09-03 | 2014-03-26 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 升降机构和具有其的基片装载设备 |
| CN108717207A (zh) * | 2018-05-21 | 2018-10-30 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | 面板放置检测装置及面板放置检测方法 |
| CN108717207B (zh) * | 2018-05-21 | 2024-03-29 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | 面板放置检测装置及面板放置检测方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040618 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040729 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041217 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |