JPH11116049A - 基板搬送方法及び基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリア内のウェハを取り出す時のアーム挿
入、ウェハを収納した後のアームの退避の各動作時のウ
ェハハンドリングを確実にする。 【解決手段】 基板Ｗを収納する基板収納容器１１に対
して前記基板Ｗを搬送する基板搬送方法において、基板
Ｗを基板収納容器１１に搬出入し、前記搬出入の際に基
板Ｗと基板収納容器１１とを相対的に傾ける基板搬送方
法。基板Ｗと基板収納容器１１を相対的に傾けるので、
容易に基板Ｗを基板収納容器１１に搬出入することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送方法及び
基板搬送装置に関し、特に基板収納容器に基板を出し入
れする工程を含む半導体製造方法に用いて好適な基板搬
送方法及び基板搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の装置を図６の側面図に示
す。図６において、ウエハキャリア１は複数のウエハＷ
を収納する容器である。キャリアテーブル２はウエハキ
ャリア１を設置するための台であり、キャリアテーブル
２は上下動機構３を介して設置台１０に搭載されてい
る。上下動機構３はキャリアテーブル２を垂直方向に上
下動作させるための機構である。さらに設置台１０上に
は、ウエハキャリア１の開口に向くようにアーム４が設
けられている。アーム４は、ウエハＷを載せるための平
坦な上面が水平になるように配置されており、ウエハキ
ャリア１から基板であるウエハの抜き取りまたはウエハ
キャリア１へウェハの挿入を行うように水平方向に往復
運動をする。

【０００３】キャリアテーブル２に設置されたウエハキ
ャリア１からウエハＷを抜き取る時の動作においては、
まず、ウエハキャリア１内の抜き取られるウェハとその
下のウェハとの間にアーム４を挿入する。次にウェハキ
ャリア１を上下動機構３により下降させることによりウ
ェハキャリア１からアーム４へウェハが受け渡される。
続けてアーム４にウェハを載せ、ウェハＷを引き抜く。

【０００４】次に、キャリアテーブル２に設置されたウ
ェハキャリア１へウェハを挿入する時の動作において
は、まず、ウェハを載せたアーム４をウェハキャリア１
に挿入する。次にウェハキャリア１を上下動機構３によ
り上昇させることによりアーム４からウェハキャリア１
へウェハが受け渡される。続けてアーム４を引き抜く。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の方
法あるいは装置によれば、ウエハの出し入れに際してア
ームがウエハに接触し易いという問題があった。以下問
題点を詳細に説明する。

【０００６】図６に示される装置において、ウェハキャ
リア１をキャリアテーブル２に設置した場合、ウェハキ
ャリア１内のウェハＷの姿勢は、一般的にウェハキャリ
ア１の前面側（開口側）が下がった状態となる。理由を
図３、図４、図５を参照して説明する。

【０００７】図３は、一般的なウェハキャリア１を上方
から見たときの平面断面図であり、これに示されるよう
に、ウエハキャリア１には、棚１ａ（及び溝１ｂ）が開
口側から奥に向かって左右に平行に配されており、その
棚１ａと溝１ｂは奥でウエハを止めるように閉じてい
る。図３の平面図にしめされる例では、内側に４５度折
れ曲がっている。

【０００８】図４は、開口側から見た部分正面断面図で
あり、特にウエハＷを載置する棚溝の部分を断面にした
ものである。棚溝の断面は、楔状あるいは台形状の断面
形状を有する棚部１ａが等間隔で配置されている。その
結果、棚１ａ同士の間が楔状あるいは台形状の断面形状
の溝１ｂとして形成されている。

【０００９】ここで、ウェハキャリア１に円形のウェハ
Ｗが収納されている状態を考えると、図３に示されるよ
うに、ウェハＷはウェハキャリア１の開口側から見て左
側では、４５度折り曲がった奥の棚１ａのＡ点と手前側
の平行な棚１ａのＢ点でウェハキャリア１と接触し、右
側ではＡ点、Ｂ点と平面図上で縦中心線に関して対称の
位置で接触している。

【００１０】図４には、棚溝の断面形状と共にウエハＷ
が接触しているＡ点とＢ点付近の状態が図示されてい
る。一般的に、ウェハキャリア１をキャリアテーブル２
から持ち上げて搬送する過程では、ウェハキャリア１か
らウェハＷが滑り出さないようにウェハキャリア１の開
口側を水平よりも上に傾けて支持する。このため、ウェ
ハキャリア１の奥の側（ウェハキャリア１の開口側と逆
側）では、ウェハＷはウェハキャリア溝１ｂの奥まで入
り込み、ウェハキャリア１をキャリアテーブル２上に設
置した状態において、ウェハＷは溝１ｂの奥即ち溝の楔
の先端側（棚１ａの楔の根元側）のＡ点でウェハキャリ
アと接触する。一方、ウェハキャリア１の開口側では、
ウェハＷはＣ点（平面図上でウエハＷの横中心線とウエ
ハＷの外周の交点に対応する点）よりもキャリア開口側
のＢ点（棚１ａの楔の先端側）でウェハキャリア１と接
触する。このような状態になるのは、ウエハＷの直径が
対向する並行な溝１ｂの底同士の間隔よりも、ある程度
小さいことに起因する。

【００１１】以上のように接触点が棚１ａの楔の根元側
と先端側であるところから、ウェハキャリア溝１ｂ内で
のウェハＷの棚１ａとの接触点Ａ点とＢ点の高さの違い
が生じ、ウェハＷはウェハキャリア１の開口側が下がっ
た状態になる。一般的な６インチウエハ用ウェハキャリ
アの場合、実測値として２ｍｍ程度キャリア開口側が下
がる。また最悪の場合、Ｂ点またはＢ点と対称の位置に
オリエンテーションフラット（以下「オリフラ」と呼
ぶ）が有る状態では、半径方向の距離が短い分だけウェ
ハＷとキャリア１の接触点の高さはＢ点よりも更に下が
り、ウェハの傾斜はさらに大きくなる。

【００１２】ウエハの移送等のウェハハンドリングはア
ーム４によるウェハＷの裏面吸着を伴って行われること
が多いところから、キャリア１に対するウェハＷのすき
間や、ウェハＷ相互のすき間がアーム４の厚さ以上であ
ることが重要である。キャリア１は規格によってその寸
法が規定されているが、６インチウエハ用ウェハキャリ
アでは溝ピッチ約４．８ｍｍが一般的である。

【００１３】図５は、実際のアーム４の厚さを２ｍｍ程
度と考えた場合のウェハＷ相互間の隙間とアーム４との
関係を示したものである。図５から明らかなように、溝
ピッチ４．８ｍｍからアーム４の厚さ２ｍｍと、ウエハ
Ｗの傾斜によって生じる２ｍｍとを差し引くと、０．８
ｍｍとなり、ウエハＷの搬入時の余裕がほとんど無くな
ってしまう。このため、アーム４の動作時にウェハＷと
アーム４が接触したり、ウェハＷの抜き差しが不可能に
なるという不都合があった。

【００１４】そこで本発明は、キャリア内のウェハを取
り出す時のアームの挿入、ウェハを収納した後のアーム
の退避の各動作時のウェハハンドリングを確実にするこ
とを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明による基板搬送方法は、図１に
示されるように、基板Ｗを収納する基板収納容器１１に
対して前記基板Ｗを搬送する基板搬送方法において、前
記基板Ｗを前記基板収納容器１１に搬出入し、前記搬出
入の際に前記基板Ｗと前記基板収納容器１１とを相対的
に傾けることを特徴とする。ここで、相対的に傾けると
は、例えば図１において搬送アーム１４上に吸着載置さ
れた基板Ｗと基板収納容器１１の基板を載置する溝１ｂ
の載置面とがなす角度を相対的に変化させることであ
り、収納容器１１を傾斜させる場合と搬送アーム１４を
傾斜させる場合の両方を含む。典型的には搬送アーム１
４の基板を載置する面が水平に設定されているときは、
収納容器１１を水平方向に対して傾斜させることであ
る。

【００１６】この方法においては、請求項２に記載のよ
うに、前記収納容器１１を傾けるのが好ましい。一般的
には、図１に示されるように搬送アーム１４の基板を載
置する面はほぼ水平に設定されており、また図２（Ｂ）
に示されるように基板Ｗが収納容器１１に対して傾斜さ
れて収納される場合があり、そのようなときは基板Ｗの
搬出入の際には、収納容器１１を傾ければ搬出入が容易
に行える。また、前述のように、傾けるとは典型的には
水平方向に対して傾斜をつけたり、傾斜を戻して水平方
向に向けたりすることであるが、搬送アームに対する角
度変化が重要であり、例えば搬送アームが傾斜して設け
られている場合には、基板収納容器を傾斜させた結果、
基板収納容器は水平になることもある。

【００１７】このようにすると、搬送アーム１４に載せ
られた基板Ｗと収納容器１１の基板を載置する面との相
対的角度を変化させることができ、基板Ｗの搬入が容易
になるし、また基板Ｗを収納容器１１に収納した後に、
例えば搬送アーム１４を収納容器１１から抜き出す際に
基板Ｗとの干渉を防止できる。

【００１８】以上の方法においては、請求項３に記載の
ように、前記相対的に傾ける際には、前記基板Ｗと前記
基板Ｗを搬出入する搬送アーム１４とがほぼ平行となる
ように傾く、或いは前記基板収納容器１１の基板載置溝
１ｂと前記搬送アーム１４とがほぼ平行になるように傾
けるようにしてもよい。

【００１９】このようにすると、基板Ｗと基板Ｗを搬出
入する搬送アーム１４とがほぼ平行となるように傾ける
ので基板Ｗと搬送アーム１４との干渉が避けられる。ま
た、基板収納容器１１の基板載置溝１ｂと前記搬送アー
ム１４とがほぼ平行になるように傾ければ、基板Ｗを載
置した搬送アーム１４を収納容器１１から抜き出すとき
に基板Ｗと収納容器との干渉が避けられる。

【００２０】以上の方法では、請求項４に記載のよう
に、前記搬出入する際に、基板Ｗを基板収納容器１１中
で基板収納容器１１に対して相対的に上下させる上下工
程を含み、該上下工程は前記傾ける際にそれと並行して
行われるものとしてもよい。

【００２１】このようにすると、基板Ｗと基板収納容器
１１とを相対的に傾けるので、例えば搬送アーム１４の
出し入れの際に基板Ｗとの干渉を避けやすくなり、また
上下工程を備えるので、搬送アーム１４上に基板Ｗを載
せたり、おろしたりでき、これらの工程を並行して行う
ことにより、搬送アーム１４に載せられた基板Ｗと収納
容器１１との干渉を防止できる。

【００２２】請求項３に記載の基板搬送方法では、請求
項５に記載のように、前記基板載置溝の断面形状は楔状
であるものとしてもよい。ここで楔状とは、溝断面にお
いて溝を形成する側壁が互いにテーパ状になっているこ
とを意味する。したがって、先端部が切り落とされた楔
形状即ち台形形状も含む。

【００２３】この方法では、溝の断面形状は楔状である
ので、溝の基板を載置する面に基板Ｗを載置したとき
に、基板Ｗが自然状態では収納容器１１に対して傾斜す
るが、そのように傾斜した場合、例えば搬送アーム１４
上に載置した基板Ｗと収納容器１１とを相対的に傾ける
ので、基板Ｗを収納容器１１から抜き出す際にお互いの
干渉を避けられる。

【００２４】上記目的を達成するために、請求項６に係
る発明による基板搬送装置は、図１に示されるように、
基板Ｗを収納する基板収納容器１１に対して前記基板Ｗ
を搬送する基板搬送装置において、収納している前記基
板Ｗを前記基板収納容器１１から搬出入する搬送アーム
１４と、前記基板収納容器１１と前記搬送アーム１４と
を相対的に傾斜させる傾斜機構１６〜１８とを備えたこ
とを特徴とする。

【００２５】このように構成すると、傾斜機構を備える
ので、基板収納容器１１と搬送アーム１４とを相対的に
傾斜させることができ、容易に基板Ｗを基板収納容器１
１に搬出入することができる。

【００２６】この装置では、請求項７に記載のように、
前記傾斜機構は基板用収納容器１１を傾斜させる容器傾
斜機構１６〜１８を有するのが好ましい。

【００２７】このように構成すると、容器傾斜機構１６
〜１８を有するので、収納容器１１を傾斜させることに
よって、例えば搬送アーム１４に載置された基板Ｗと基
板収納容器１１とを相対的に傾けたり、搬送アーム１４
に載置された基板Ｗと基板収納容器１１の傾きを戻した
りすることができる。

【００２８】以上の装置では、請求項８に記載のよう
に、さらに前記基板用収納容器１１に収納される基板Ｗ
相互間の間隙を検知する間隙検知器３１〜３３を備え、
前記傾斜機構は、前記間隙検出器の検出結果に基づいて
前記基板収納容器と前記搬送アームとを相対的に傾斜さ
せるように構成されていてもよい。

【００２９】このように構成すると、間隙検知器を備え
るので、基板収納容器に収納される基板Ｗ相互間の間隙
を検知することができ、実際の間隙に応じて前記のよう
に相対的な傾き与えることができる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。なお、各図において互い
に同一あるいは相当する部材には同一符号あるいは類似
符号を付し、重複した説明は省略する。

【００３１】図１は、本発明による基板搬送装置の一実
施の形態を示す側面図である。基板収納容器１１は、本
発明の基板であるウエハＷが整列して収納されている状
態が分かるように断面図で示されている。

【００３２】図１において、本発明の基板収納容器であ
るウエハキャリア１１はウエハＷを収納する容器であ
る。基板収納容器用テーブルであるキャリアテーブル１
２はウエハキャリア１１を設置するための受け台であ
り、水平方向で且つ後述の搬送アーム１４の往復運動方
向と直角な方向に向いた軸２１を介して支持部材１５に
回動可能に、即ち蝶番のように正逆方向に円運動可能に
取り付けられている。支持部材１５は、上下動機構１３
を介して、設置台１０に、直線的相対運動が可能なよう
に搭載されている。例えば、設置台１０にはガイドレー
ルが形成されており、それにより案内される摺動片が支
持部材１５に形成されている。このように、上下動機構
１３はキャリアテーブル１２を垂直方向に上下動作させ
るための機構である。

【００３３】さらに設置台１０上には、ウエハキャリア
１１の開口に向くように搬送アーム１４が設けられてい
る。なお、ウエハキャリア１１の開口は、キャリアテー
ブル上で軸２１とは反対の側に向くように載置される。

【００３４】搬送アーム１４は、ウエハキャリア１１か
らウエハＷの抜き取りまたはウエハキャリア１１へウェ
ハＷの挿入を行うように水平方向に往復運動をするアー
ムであり、不図示のウエハ吸着機構を備えている。ま
た、搬送アーム１４は、厚さが約２ｍｍの平板であり、
上面がウエハＷを載せる面として平坦に形成されてお
り、その上面がウエハ吸着機構の吸着面になっている。
吸着は、大気圧より低い負圧によって行われる。

【００３５】本発明の基板収納容器は、テーブル２上に
恒常的に搭載されていてもよいが、この実施の形態では
基板収納容器は、ウエハＷを他の場所に搬送するために
テーブル２から持ち上げて移動されるので、ウエハキャ
リア１１と呼ばれる。

【００３６】キャリアテーブル１２は、軸２１で一方の
端部を支持部材１５に枢着、即ち回動（正逆方向に円運
動）自在に取り付けられた矩形の平板であり、他方の端
部即ちアーム１４側は、その底を垂直方向に向いたピン
１６により突き上げられるように支持されている。この
ようにキャリアテーブル１２は、ピン６の上下動作によ
り軸２１を中心として回動し、傾斜するように構成され
ている。

【００３７】なおピン６の下端部には、垂直方向に雌ね
じが切られており、それと噛み合う雄ねじが垂直方向に
貫通している。その雄ねじは、上端と下端が軸受けに支
えられており、それらの軸受けはそれぞれ支持部材１５
に取り付けられている。したがって、該雄ねじは支持部
材１５に対して、回転可能である。

【００３８】該雄ねじの下端部は、支持部材１５にステ
ーター側が固定的に搭載されたモータ１７の回転軸に結
合されている。なお、以上の雌ねじと雄ねじは、できる
だけ摩擦抵抗無しに滑らかに動作するようにボールねじ
１８とするのが好ましい。

【００３９】以上の様に構成された装置において、キャ
リアテーブル１２に設置されたウェハキャリア１１から
ウェハＷを抜き取るときの動作を図１と図２を参照して
説明する。図２の（Ａ）は、キャリアテーブル１２を、
ひいてはウエハキャリア１１を傾斜させない状態を示
し、（Ｂ）は、キャリアテーブル１２を、即ちウエハキ
ャリア１１を傾斜させた状態を示す図である。

【００４０】ここで、傾斜させるとは典型的には水平方
向に対して角度をつけることであるが、以下説明するよ
うに実際には搬送アーム１４特にその平坦な上面に対す
る角度変化が重要であり、例えば搬送アームの上面が傾
斜して設けられている場合には、基板収納容器を傾斜さ
せた結果、基板収納容器は水平になることもある。本実
施の形態では搬送アーム１４（の上面）は水平に設定さ
れており、水平方向に出し入れされる。搬送アーム１４
と基板Ｗがほぼ平行というときも、搬送アーム１４の上
面と平行であることを意味する。

【００４１】ウェハキャリア１１からウェハＷを抜き取
るときは、ウエハキャリア１１が水平の状態で搬送アー
ム１４をウエハキャリア１１に挿入すると、図２（Ａ）
に示されるようにアーム１４が、その上下方向にある２
枚のウエハＷと干渉し易い。そこでまず、ウェハキャリ
ア１１内のウェハＷ同士の間隔を広くするために、ピン
１６を上昇させることにより、キャリアテーブル１２を
軸２１を中心として回動させ傾斜させる（図２
（Ｂ））。

【００４２】抜き取るウェハＷとその下のウェハＷとの
間にアーム１４を挿入する。ピン１６を下降させキャリ
アテーブル１２を水平にすると同時にキャリアテーブル
１２を上下動機構１４によって下降させ、ウェハキャリ
ア１１からアーム１４へウェハＷが受け渡される。続け
てアーム１４にウェハＷの裏面を吸着し、ウェハＷを引
き抜く。このとき、キャリアテーブル１２を傾斜させる
と、本発明で言う基板と基板収納容器とを相対的に傾け
ることになり、ウエハキャリア内で傾斜して収納されて
いるウエハＷ同士の間隔あるいはウエハＷ間に引かれた
水平線（アーム１４が挿入される行路）とウエハＷとの
間隔は広がるので、アーム１４をウエハＷ同士の間に挿
入することは容易になるが、ウエハＷとウエハキャリア
１１の直上の棚１ａ（図２には不図示）との間隔は狭ま
っている。

【００４３】このような状況の下で、ウエハＷを抜き出
す際に、キャリアテーブル１２を、ひいてはウエハキャ
リア１１を水平にする動作と、上下動機構１４によって
ウエハキャリア１１を下降させる動作を、同期させて同
時に行うと、本発明で言う両動作を並行して行ったこと
になり、抜き出されようとしているウエハＷとそのウエ
ハキャリア１１の直上の棚１ａとの間隔が広がるので、
ウエハＷの抜き出しが極めて容易になる。これらの動作
は必ずしも同期させなくてもよく、水平にしたあとで上
下させてもよいし、上下させたあとで水平にしてもよ
い。この実施の形態では、上下動機構１４によってウエ
ハキャリア１１を上下することによって、ウエハＷとウ
エハキャリア１１とを相対的に上下させたが、アーム１
４を上下させるように構成し、アーム１４の上下動によ
って相対的に上下させてもよい。

【００４４】引き出されたウエハＷは、搬送アーム１４
上に載置され、ウエハキャリア１１から他所へ搬送され
る。

【００４５】次に、キャリアテーブル１２に設置された
ウェハキャリア１１へウェハＷを挿入するときの動作を
説明する。まず最初は、キャリアテーブル１２は水平に
なっている。ここでウェハＷの裏面を吸着しているアー
ム１４をウェハキャリア１１に挿入する。収納すべき位
置まで挿入した後、ウェハＷの裏面吸着を解除する。続
けてピン１６を上昇させキャリアテーブル１２を傾斜さ
せると同時にキャリアテーブル１２を上下動機構１３に
よって上昇させアーム１４からウェハキャリア１１へウ
ェハＷが受け渡される（図２（Ｂ））。そしてアーム１
４を、ウエハキャリアから引き抜く。

【００４６】このようにウエハＷを挿入する場合も、ウ
エハＷを抜き出す際と同様に、キャリアテーブル１２
を、ひいてはウエハキャリア１１を傾斜させる動作と、
上下動機構１４によってウエハキャリア１１を上昇させ
る動作を、同期させて同時に行うと、挿入されたウエハ
Ｗとそのウエハキャリア１１の直上の棚１ａとの間隔が
広がるので、アーム１４をウエハＷとの干渉を避けて極
めて容易に抜き出すことができる。両動作を並行して行
うとは、必ずしも同期に限らないことは、ウエハＷを抜
き出す動作の場合と同様である。

【００４７】ウエハキャリア１１を上下する代わりに、
アーム１４を上下させるように構成してよい点も同様で
ある。

【００４８】なお、図１に示される実施の形態のよう
に、軸２１をキャリアテーブル１２の一方の端部に設け
た場合は、ピン１６の上下はキャリアテーブル１２の上
下も伴うことになる。したがって、上の説明ではウエハ
Ｗを引き出す際にはピン１６を下降させるのと並行して
キャリアテーブル１２を上下動機構１３によって下降さ
せるとしたが、実際には軸２１のキャリアテーブル１２
に対する取り付け位置によっては（キャリアテーブルの
中心からの距離が大きいときには）ピン１６の下降のみ
で済むか、あるいは逆に上昇させることによって適切な
隙間が得られる場合もあり得る。

【００４９】ウエハＷを挿入する場合についても、上昇
の代わりに下降動作が必要になることもある。本発明で
いう、上下工程とはこのような場合を含む。

【００５０】ここで、軸２１はキャリアテーブル１２
の、ウエハキャリア１１を載置すべき位置のほぼ中央に
設けてもよく、その場合は上下動機構１３とピン１６の
上昇、下降動作は、上で詳細に説明した通りとなる。

【００５１】本発明による基板搬送方法及び基板搬送装
置では、以上説明したように、ウェハキャリア内のウェ
ハ傾斜分をキャリアテーブルを傾斜させることにより吸
収し、ウェハ相互間の隙間を広げウェハハンドリング動
作を確実にする。

【００５２】本発明の第２の実施の形態を図７を参照し
て説明する。本実施の形態は、ウエハキャリア１１中の
ウエハＷ同士の間隙を検出する、本発明の間隙検出器で
ある透過光型隙間センサを使用した場合である。図７に
は、ウエハキャリア１１とその中に収容されている複数
のウエハＷと、透過光型隙間センサの関係を示す側面断
面図である。この部分の説明に不要な要素は図示を省略
してある。

【００５３】図７において、送光ユニット３１が、ウエ
ハキャリア１１の外側から、ウエハキャリア１１の切り
欠き穴を通して照明光を照射するように設けられてい
る。ウエハキャリア１１に関して送光ユニット３１の反
対側には、受光素子３２が設けられている。送光ユニッ
ト３１と受光素子３２は、設置台１０に対して固定的に
設けられている。送光ユニット３１としては、発光ダイ
オード、半導体レーザ等を用いる。

【００５４】本実施の形態では、送光ユニット３１から
は、２本の照明光Ｌ１、Ｌ２が発射され、それぞれ間隙
を検知しようとするウエハＷの上側と下側とを通過する
ように構成されている。照明光を検知する受光素子３２
には、制御系３３が電気的に接続されており、ここで受
光した照明光の情報を処理する。制御系３３は、上下動
機構１３及びモーター１７と電気的に接続されており、
制御信号をこれらに送り、ウエハキャリア１１の上下方
向位置と傾斜を、前述のようにウエハＷの搬出入のため
に適切に制御する。

【００５５】これにより、ウエハキャリア１１に収納さ
れた基板相互の間隔を正確に認識できるために、搬送ア
ームと基板との接触をより低減することができる。

【００５６】以上の実施の形態では、キャリアテーブル
１２を傾斜させる場合を示したが、図示は省略するが、
傾斜機構１６〜１８と同様な機構を搬送アーム１４の側
に設けてキャリアテーブル１２を傾斜させることなく基
板Ｗと基板収納容器１１とを相対的に傾ける構造として
も同様な効果が得られる。また、キャリアテーブル１２
と搬送アーム１４の双方に傾斜機構を設けて双方をそれ
ぞれ傾斜させてもよい。

【００５７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、基板を基
板収納容器に搬出入する際の操作、例えば搬送アームの
挿入、基板を収納した後の搬送アームの退避の各動作時
に、基板と基板収納容器との相対的な角度を変えること
により、搬送アームと基板、収納容器と基板、あるいは
基板相互間のすき間を通常よりも広くできるため、搬送
アームの挿脱が容易である。これにより、例えば搬送ア
ーム動作時の不用意な基板との接触を防止でき、また例
えばオリフラの位置に無関係に安定した基板の挿脱が可
能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板搬送装置の側面図である。

【図２】基板収納容器を傾斜さない状態と傾斜させた状
態を示す図である。

【図３】基板収納容器を上方から見た断面平面図であ
る。

【図４】基板収納容器の溝棚の断面図である。

【図５】基板収納容器に収納された複数のウエハとその
間に挿入された搬送アームとの位置関係を示す側面図で
ある。

【図６】従来技術による基板搬送装置の側面図である。

【図７】間隙検出器とウエハとの関係を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

１ａ 棚 １ｂ 溝 １０ 設置台 １１ ウエハキャリア １２ キャリアテーブル １３ 上下動機構 １４ 搬送アーム １５ 支持部材 １６ ピン １７ モータ １８ ボールネジ ２１ 軸 ３１ 送光ユニット ３２ 受光素子 ３３ 制御系 Ｌ１、Ｌ２ 照明光 Ｗ ウエハ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を収納する基板収納容器に対して前
   記基板を搬送する基板搬送方法において、 前記基板を前記基板収納容器に搬出入し、 前記搬出入の際に前記基板と前記基板収納容器とを相対
   的に傾けることを特徴とする、基板搬送方法。
2. 【請求項２】 前記相対的に傾ける際には、前記収納容
   器を傾けることを特徴とする、請求項１に記載の基板搬
   送方法。
3. 【請求項３】 前記相対的に傾ける際には、前記基板と
   前記基板を搬出入する搬送アームとがほぼ平行となるよ
   うに、或いは前記基板収納容器の基板載置溝と前記搬送
   アームとがほぼ平行になるように傾けることを特徴とす
   る、請求項１または請求項２に記載の基板搬送方法。
4. 【請求項４】 前記搬出入する際に、基板を基板収納容
   器中で基板収納容器に対して相対的に上下させる上下工
   程を含み、該上下工程は前記傾ける際にそれと並行して
   行われることを特徴とする、請求項１乃至請求項３のい
   ずれかに記載の基板搬送方法。
5. 【請求項５】 前記基板載置溝の断面形状は楔状であ
   る、請求項３に記載の基板搬送方法。
6. 【請求項６】 基板を収納する基板収納容器に対して前
   記基板を搬送する基板搬送装置において、 収納している前記基板を前記基板収納容器から搬出入す
   る搬送アームと、 前記基板収納容器と前記搬送アームとを相対的に傾斜さ
   せる傾斜機構とを備えたことを特徴とする、基板搬送装
   置。
7. 【請求項７】 前記傾斜機構は前記基板用収納容器を傾
   斜させる容器傾斜機構を有することを特徴とする、請求
   項６に記載の基板搬送装置。
8. 【請求項８】 さらに前記基板用収納容器に収納される
   基板相互間の間隙を検知する間隙検知器を備え、 前記傾斜機構は、前記間隙検出器の検出結果に基づいて
   前記基板収納容器と前記搬送アームとを相対的に傾斜さ
   せるように構成されていることを特徴とする請求項６ま
   たは請求項７に記載の基板搬送装置。