JPH0563060A - ウエーハ枚数計数装置 - Google Patents
ウエーハ枚数計数装置Info
- Publication number
- JPH0563060A JPH0563060A JP25044091A JP25044091A JPH0563060A JP H0563060 A JPH0563060 A JP H0563060A JP 25044091 A JP25044091 A JP 25044091A JP 25044091 A JP25044091 A JP 25044091A JP H0563060 A JPH0563060 A JP H0563060A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- optical sensor
- wafers
- wafer cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ウェーハ計数装置に於いて、確実にウェーハの
有無を検出し得る様にする。 【構成】ウェーハカセットに対向させ反射型光センサ１
９を設け、該ウェーハカセット１８をウェーハ２の面に
対して垂直方向に相対移動し得る様に支持し、該ウェー
ハカセットの相対移動と、前記反射型光センサからのウ
ェーハの有無信号と、ウェーハカセットと反射型光セン
サとの相対位置とでウェーハカセット内のウェーハの装
填状態が検出される。
有無を検出し得る様にする。 【構成】ウェーハカセットに対向させ反射型光センサ１
９を設け、該ウェーハカセット１８をウェーハ２の面に
対して垂直方向に相対移動し得る様に支持し、該ウェー
ハカセットの相対移動と、前記反射型光センサからのウ
ェーハの有無信号と、ウェーハカセットと反射型光セン
サとの相対位置とでウェーハカセット内のウェーハの装
填状態が検出される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハ枚数計数装
置、特に半導体製造装置である縦型拡散、ＣＶＤ装置に
於けるウェーハ枚数計数装置に関するものである。
置、特に半導体製造装置である縦型拡散、ＣＶＤ装置に
於けるウェーハ枚数計数装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置の１つに縦型ＣＶＤ装置
がある。これは、実願昭63-17237号にも見られる様に、
カセットに装填されたウェーハを移載機によってボート
に移載し、該ボートを炉内の反応室へ装入して、加熱反
応させるものである。
がある。これは、実願昭63-17237号にも見られる様に、
カセットに装填されたウェーハを移載機によってボート
に移載し、該ボートを炉内の反応室へ装入して、加熱反
応させるものである。
【０００３】従来、前記移載機によりウェーハを把持す
る場合、ツイーザが使用されており、このツイーザによ
りカセット内のウェーハを吸着して取出し、更に移載機
の駆動機構によって、ボートに隙間なく並べて装填す
る。ところで、ボートに隙間なく移載するには、カセッ
ト内にウェーハが全部装填されているか、或は歯抜けな
く前詰めされていなければならず、更にカセットにウェ
ーハの未挿入部分がある場合は、予めオペレータが何枚
入っているかを数えて、制御装置にその枚数を入力して
おく必要がある。移載機の制御装置は、これらの情報に
基づいて、前記駆動機構を作動させていた。
る場合、ツイーザが使用されており、このツイーザによ
りカセット内のウェーハを吸着して取出し、更に移載機
の駆動機構によって、ボートに隙間なく並べて装填す
る。ところで、ボートに隙間なく移載するには、カセッ
ト内にウェーハが全部装填されているか、或は歯抜けな
く前詰めされていなければならず、更にカセットにウェ
ーハの未挿入部分がある場合は、予めオペレータが何枚
入っているかを数えて、制御装置にその枚数を入力して
おく必要がある。移載機の制御装置は、これらの情報に
基づいて、前記駆動機構を作動させていた。
【０００４】ところが、上記した従来のものでは、カセ
ット内にウェーハが全部、或は所要枚数のウェーハが前
詰されて装填されていることが前提となっており、カセ
ットへの誤挿入により歯抜があった場合には移載機が正
しく動作しない。
ット内にウェーハが全部、或は所要枚数のウェーハが前
詰されて装填されていることが前提となっており、カセ
ットへの誤挿入により歯抜があった場合には移載機が正
しく動作しない。
【０００５】更に、オペレータがウェーハの枚数を数え
ることは手間がかかる作業であると共に数を誤ることも
考えられる。数を誤った場合には、ボートでウェーハが
２枚重ったり、間があいたりしてやはり移載の正しい機
能が果せないという問題がある。
ることは手間がかかる作業であると共に数を誤ることも
考えられる。数を誤った場合には、ボートでウェーハが
２枚重ったり、間があいたりしてやはり移載の正しい機
能が果せないという問題がある。
【０００６】そこで本出願人は、先の特願平1-198171号
に於いて、カセット内へのウェーハの装填状態に左右さ
れることなく正しくウェーハ移載動作が行われる様、ウ
ェーハの検出、ウェーハの枚数を計数し得るウェーハ計
数装置を提供した。
に於いて、カセット内へのウェーハの装填状態に左右さ
れることなく正しくウェーハ移載動作が行われる様、ウ
ェーハの検出、ウェーハの枚数を計数し得るウェーハ計
数装置を提供した。
【０００７】斯かるウェーハ計数装置の概略を第４図に
より説明する。
より説明する。
【０００８】図中、１はウェーハ検知センサ、２はウェ
ーハ、３はウェーハカセット、４はウェーハ計数制御部
であり、ウェーハ検知センサ１は昇降動機構部５によっ
て昇降される様になっており、該昇降動機構部５は駆動
制御部６を介して駆動され、ウェーハ２の平面に対して
直角方向に移動する前記ウェーハ検知センサ１からの信
号と駆動制御部６による昇降動機構部５の駆動状態、例
えばウェーハ検知センサ１の移動距離等、からウェーハ
有無の検知、位置検出、ウェーハの枚数の計数を行う。
ーハ、３はウェーハカセット、４はウェーハ計数制御部
であり、ウェーハ検知センサ１は昇降動機構部５によっ
て昇降される様になっており、該昇降動機構部５は駆動
制御部６を介して駆動され、ウェーハ２の平面に対して
直角方向に移動する前記ウェーハ検知センサ１からの信
号と駆動制御部６による昇降動機構部５の駆動状態、例
えばウェーハ検知センサ１の移動距離等、からウェーハ
有無の検知、位置検出、ウェーハの枚数の計数を行う。
【０００９】図中、７は前記昇降動機構部５によって回
転されるスクリューシャフトである。
転されるスクリューシャフトである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した様な
ウェーハ計数装置に於いて、確実にウェーハの有無を検
出し得るウェーハ計数装置を提供しようとするものであ
る。
ウェーハ計数装置に於いて、確実にウェーハの有無を検
出し得るウェーハ計数装置を提供しようとするものであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウェーハカセ
ットに対向させ反射型光センサを設け、該ウェーハカセ
ットをウェーハの面に対して垂直方向に相対移動し得る
様に支持し、該ウェーハカセットの相対移動と前記反射
型光センサの検出結果でウェーハカセット内のウェーハ
の状態、数を検知する制御装置を設けたことを特徴とす
るものである。
ットに対向させ反射型光センサを設け、該ウェーハカセ
ットをウェーハの面に対して垂直方向に相対移動し得る
様に支持し、該ウェーハカセットの相対移動と前記反射
型光センサの検出結果でウェーハカセット内のウェーハ
の状態、数を検知する制御装置を設けたことを特徴とす
るものである。
【００１２】
【作用】反射型光センサに対してウェーハカセットをウ
ェーハの面に対して垂直方向に相対移動することで、反
射型光センサからウェーハの有無信号が発せられ、該ウ
ェーハの有無信号とウェーハカセットと反射型光センサ
との相対位置でウェーハカセット内のウェーハの装填状
態が検出される。
ェーハの面に対して垂直方向に相対移動することで、反
射型光センサからウェーハの有無信号が発せられ、該ウ
ェーハの有無信号とウェーハカセットと反射型光センサ
との相対位置でウェーハカセット内のウェーハの装填状
態が検出される。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１４】図１に於いて、１０はウェーハ移載機、１
１はカセット棚、１２はカセットローダ、１３は制御装
置を示す。
１はカセット棚、１２はカセットローダ、１３は制御装
置を示す。
【００１５】前記ウェーハ移載機１０は、移載モータ１
４によって駆動されるスクリューシャフト１５と、該ス
クリューシャフト１５に螺合するウェーハ移載テーブル
１６を有し、該ウェーハ移載テーブル１６にはウェーハ
チャック１７が設けられている。
４によって駆動されるスクリューシャフト１５と、該ス
クリューシャフト１５に螺合するウェーハ移載テーブル
１６を有し、該ウェーハ移載テーブル１６にはウェーハ
チャック１７が設けられている。
【００１６】前記カセット棚１１は、ウェーハ２が装填
されるウェーハカセット１８を複数列複数段のマトリッ
クス状に収納する構造となっており、前記カセットロー
ダ１２と対峙する位置には光センサ１９が設けられてい
る。
されるウェーハカセット１８を複数列複数段のマトリッ
クス状に収納する構造となっており、前記カセットロー
ダ１２と対峙する位置には光センサ１９が設けられてい
る。
【００１７】前記カセットローダ１２は、カセットロー
ダモータ２０によって駆動されるスクリューシャフト２
１と該スクリューシャフト２１に螺合するカセットハン
ドリングユニット２２を有し、前記カセットローダモー
タ２０には該カセットローダモータ２０の回転数、即ち
前記カセットハンドリングユニット２２の上下方向の位
置を検知するエンコーダ２３が取付けられている。
ダモータ２０によって駆動されるスクリューシャフト２
１と該スクリューシャフト２１に螺合するカセットハン
ドリングユニット２２を有し、前記カセットローダモー
タ２０には該カセットローダモータ２０の回転数、即ち
前記カセットハンドリングユニット２２の上下方向の位
置を検知するエンコーダ２３が取付けられている。
【００１８】前記制御装置１３は、主制御部２４、モー
タ制御器２５、モータ駆動器２６、ウェーハ検出計数部
２７を有し、前記主制御部２４には操作部２８が接続さ
れている。
タ制御器２５、モータ駆動器２６、ウェーハ検出計数部
２７を有し、前記主制御部２４には操作部２８が接続さ
れている。
【００１９】先ず、ウェーハ２の移載について説明す
る。
る。
【００２０】ウェーハ２をウェーハカセット１８に装填
し、図示しないウェーハカセット装入位置にセットする
と該ウェーハカセット１８は前記カセットハンドリング
ユニット２２により取込まれ、前記光センサ１９と対峙
する位置に移動された後、前記光センサ１９に対して昇
降させる。この、ウェーハカセット１８の昇降動作で該
ウェーハカセット１８内のウェーハ２の装填状態が計数
される。
し、図示しないウェーハカセット装入位置にセットする
と該ウェーハカセット１８は前記カセットハンドリング
ユニット２２により取込まれ、前記光センサ１９と対峙
する位置に移動された後、前記光センサ１９に対して昇
降させる。この、ウェーハカセット１８の昇降動作で該
ウェーハカセット１８内のウェーハ２の装填状態が計数
される。
【００２１】前記カセットハンドリングユニット２２に
よって前記カセット棚１１の所要位置に載置される。該
カセット棚１１にウェーハカセット１８を装入し終わる
と、前記ウェーハチャック１７でウェーハ２を把持し、
前記ウェーハ移載テーブル１６との協働によりウェーハ
２を所要の位置に移載する。
よって前記カセット棚１１の所要位置に載置される。該
カセット棚１１にウェーハカセット１８を装入し終わる
と、前記ウェーハチャック１７でウェーハ２を把持し、
前記ウェーハ移載テーブル１６との協働によりウェーハ
２を所要の位置に移載する。
【００２２】次に、ウェーハ２の計数作動を説明する。
【００２３】前記カセットローダモータ２０の駆動で前
記スクリューシャフト２１を回転させて前記カセットハ
ンドリングユニット２２を介して前記ウェーハカセット
１８を昇降させる。
記スクリューシャフト２１を回転させて前記カセットハ
ンドリングユニット２２を介して前記ウェーハカセット
１８を昇降させる。
【００２４】前記光センサ１９は、後述する如くウェー
ハ２の１枚、１枚について有無信号を発する様に構成さ
れており、前記光センサ１９はウェーハカセット１８内
のウェーハ２の有無を検出して、その検出結果を前記ウ
ェーハ検出計数部２７に入力する。又、前記カセットロ
ーダモータ２０の回転数は、前記エンコーダ２３から前
記モータ制御器２５に入力される。該モータ制御器２５
でカセットハンドリングユニット２２の上下方向の位置
が検知され、前記ウェーハ検出計数部２７に入力され
る。
ハ２の１枚、１枚について有無信号を発する様に構成さ
れており、前記光センサ１９はウェーハカセット１８内
のウェーハ２の有無を検出して、その検出結果を前記ウ
ェーハ検出計数部２７に入力する。又、前記カセットロ
ーダモータ２０の回転数は、前記エンコーダ２３から前
記モータ制御器２５に入力される。該モータ制御器２５
でカセットハンドリングユニット２２の上下方向の位置
が検知され、前記ウェーハ検出計数部２７に入力され
る。
【００２５】該ウェーハ検出計数部２７では、前記光セ
ンサ１９からのウェーハ２有無信号と前記上下方向の位
置信号との対比から前記ウェーハカセット１８内のウェ
ーハ２の装填状態、即ちウェーハカセット１８のどの位
置にウェーハ２があって、どの位置にウェーハ２がない
かを検知すると共にウェーハカセット１８内のウェーハ
２の枚数を計数する。
ンサ１９からのウェーハ２有無信号と前記上下方向の位
置信号との対比から前記ウェーハカセット１８内のウェ
ーハ２の装填状態、即ちウェーハカセット１８のどの位
置にウェーハ２があって、どの位置にウェーハ２がない
かを検知すると共にウェーハカセット１８内のウェーハ
２の枚数を計数する。
【００２６】この計数結果は、前記主制御部２４に入力
され、前記操作部２８に表示され、或はウェーハ移載機
１０のウェーハ２移載制御のデータとする。
され、前記操作部２８に表示され、或はウェーハ移載機
１０のウェーハ２移載制御のデータとする。
【００２７】図２、図３は上記実施例に用いられる光セ
ンサ１９を示すものである。
ンサ１９を示すものである。
【００２８】光センサ１９自体は、制御回路２９、投光
部回路３０、受光部回路３１を有し、該投光部回路３０
で電光変換されて検出光が投光され、前記受光部回路３
１は反射された検出光を受光し、更に光電変換して電気
信号を前記制御回路２９に入力する。該制御回路２９は
検出光の光量検出と共に位相検出を行い、検出光の光量
が設定レベル以上で且位相が設定した位相と合致した場
合に信号を発する。
部回路３０、受光部回路３１を有し、該投光部回路３０
で電光変換されて検出光が投光され、前記受光部回路３
１は反射された検出光を受光し、更に光電変換して電気
信号を前記制御回路２９に入力する。該制御回路２９は
検出光の光量検出と共に位相検出を行い、検出光の光量
が設定レベル以上で且位相が設定した位相と合致した場
合に信号を発する。
【００２９】前記カセットハンドリングユニット２２の
前記ウェーハカセット１８の背後には反射板３２が立設
され、ウェーハ２のない位置では図２に示される様に、
検出光は前記反射板３２で反射され、前記受光部回路３
１に入射する様に光路が定められている。又、検出光は
前記反射板３２で反射されることで位相がずれる。従っ
て、光量検出と共に位相検出を行うことで検出光を他の
光から判別することができる。 検出すべき位置にウェ
ーハ２が存在すると、図３に示す様に検出光がウェーハ
２に遮られ、前記反射板３２で反射して帰ってこない。
而して、ウェーハありの信号を得ることができる。
前記ウェーハカセット１８の背後には反射板３２が立設
され、ウェーハ２のない位置では図２に示される様に、
検出光は前記反射板３２で反射され、前記受光部回路３
１に入射する様に光路が定められている。又、検出光は
前記反射板３２で反射されることで位相がずれる。従っ
て、光量検出と共に位相検出を行うことで検出光を他の
光から判別することができる。 検出すべき位置にウェ
ーハ２が存在すると、図３に示す様に検出光がウェーハ
２に遮られ、前記反射板３２で反射して帰ってこない。
而して、ウェーハありの信号を得ることができる。
【００３０】尚、上記実施例ではウェーハカセットを昇
降させたが、水平方向に移動させても良く、要は光セン
サに対してウェーハカセットをウェーハの面に対して垂
直方向に移動させれば良い。又、ウェーハカセットを固
定し、光センサを移動させてもよいことは勿論である。
降させたが、水平方向に移動させても良く、要は光セン
サに対してウェーハカセットをウェーハの面に対して垂
直方向に移動させれば良い。又、ウェーハカセットを固
定し、光センサを移動させてもよいことは勿論である。
【００３１】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、下記の
優れた効果を発揮する。
優れた効果を発揮する。
【００３２】 作業者がウェーハの枚数を数える必要
がないので、作業者の人為的ミスが減少し、ウェーハの
処理不良を防止することができる。
がないので、作業者の人為的ミスが減少し、ウェーハの
処理不良を防止することができる。
【００３３】 予め、ウェーハカセット内のウェーハ
の有無の状態を検知し、その後のウェーハ処理に検知結
果を利用することで、ウェーハカセットに端数のウェー
ハが装填されていても処理が可能となる。
の有無の状態を検知し、その後のウェーハ処理に検知結
果を利用することで、ウェーハカセットに端数のウェー
ハが装填されていても処理が可能となる。
【００３４】 上記した様に、ウェーハカセット内の
ウェーハの歯抜けを検知可能であるので、ウェーハが歯
抜けしている場合に、警報、ウェーハ追加処理ができ
て、ウェーハ処理を正しく行うことができる。
ウェーハの歯抜けを検知可能であるので、ウェーハが歯
抜けしている場合に、警報、ウェーハ追加処理ができ
て、ウェーハ処理を正しく行うことができる。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】該実施例に於ける光センサの原理説明図であ
る。
る。
【図３】該実施例に於ける光センサの原理説明図であ
る。
る。
【図４】従来のウェーハ計数装置の概略説明図である。
２ ウェーハ １１ カセット棚 １２ カセットローダ １３ 制御装置 １８ ウェーハカセット １９ 光センサ ２３ エンコーダ ２７ ウェーハ検出計数部
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハカセットに対向させ反射型光セ
ンサを設け、該ウェーハカセットをウェーハの面に対し
て垂直方向に相対移動し得る様に支持し、該ウェーハカ
セットの相対移動と前記反射型光センサの検出結果でウ
ェーハカセット内のウェーハの状態、数を検知する制御
装置を設けたことを特徴とするウェーハ枚数計数装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25044091A JPH0563060A (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | ウエーハ枚数計数装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25044091A JPH0563060A (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | ウエーハ枚数計数装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0563060A true JPH0563060A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=17207911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25044091A Pending JPH0563060A (ja) | 1991-09-03 | 1991-09-03 | ウエーハ枚数計数装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0563060A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100342397B1 (ko) * | 2000-07-24 | 2002-07-02 | 황인길 | 에스엠아이에프 장치의 웨이퍼 수량 산출장치 및 방법 |
| EP3611512A4 (en) * | 2017-04-13 | 2020-12-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | IMAGE CAPTURE DEVICE AND IMAGE CAPTURE METHOD |
| CN113871331A (zh) * | 2021-09-24 | 2021-12-31 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于立式氧化炉的片盒进出传送装置 |
-
1991
- 1991-09-03 JP JP25044091A patent/JPH0563060A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100342397B1 (ko) * | 2000-07-24 | 2002-07-02 | 황인길 | 에스엠아이에프 장치의 웨이퍼 수량 산출장치 및 방법 |
| EP3611512A4 (en) * | 2017-04-13 | 2020-12-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | IMAGE CAPTURE DEVICE AND IMAGE CAPTURE METHOD |
| US11249297B2 (en) | 2017-04-13 | 2022-02-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | Image acquisition device and image acquisition method |
| CN113871331A (zh) * | 2021-09-24 | 2021-12-31 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于立式氧化炉的片盒进出传送装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5906469A (en) | Apparatus and method for detecting and conveying substrates in cassette | |
| KR100198145B1 (ko) | 웨이퍼 반송장치 및 카세트내의 웨이퍼의 경사를 검출하는 방법 | |
| JP5353336B2 (ja) | 基板検出装置およびそれを備えた基板搬送装置 | |
| JPH06244268A (ja) | 移載装置 | |
| JP2005156539A (ja) | ガラス基板のエッジ部分の破損検出装置及びその方法 | |
| JP3399728B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| KR100374099B1 (ko) | 반도체 제조장치에서의 피이재체의 검출장치 | |
| JPH0563060A (ja) | ウエーハ枚数計数装置 | |
| JP2004039841A (ja) | 半導体ウエハ搬送装置 | |
| JP2882746B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH05243347A (ja) | 移動制御方法及び被処理体位置検出装置 | |
| JPH04215454A (ja) | ウエハ用カセットの姿勢制御機構 | |
| KR100212709B1 (ko) | 반도체 제조 설비의 웨이퍼 이중 감지 시스템 및 방법 | |
| JPH01144647A (ja) | 半導体ウエハ計数装置 | |
| JPH03237739A (ja) | ウェーハ枚数計数装置 | |
| JPH09148403A (ja) | カセット内基板検出装置 | |
| US5017082A (en) | Handling apparatus | |
| JPH11106043A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| KR100342397B1 (ko) | 에스엠아이에프 장치의 웨이퍼 수량 산출장치 및 방법 | |
| JPH04154144A (ja) | 基板入出機構 | |
| JP2510286B2 (ja) | 半導体ウエハ計数装置 | |
| JPH0881008A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JPH11121594A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH05238513A (ja) | 半導体ウェハー収納カセットと半導体ウェハー搬送機構との位置決め方法 | |
| JPH0652753B2 (ja) | 基板搬出入装置 |