KR100374099B1

KR100374099B1 - 반도체 제조장치에서의 피이재체의 검출장치

Info

Publication number: KR100374099B1
Application number: KR1019960002769A
Authority: KR
Inventors: 히사시 기쿠치
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 1995-02-06
Filing date: 1996-02-06
Publication date: 2003-05-16
Also published as: KR960032663A; JPH08213447A; TW406863U; US5780849A

Abstract

본 발명의 피이재체의 검출장치는, 캐리어의 각 단에 수용된 웨이퍼를 검출하기 위해 승강스테이지상에서 상하로 이동되는 캐리어를 스캔하는 광센서를 포함하고 있는 웨이퍼 검출부와, 상하방향으로 배열된 투광부와 비투광부를 포함하고 승강스테이지상에 상하방향으로 설치된 표시장치를 구비하여 구성된다. 표시장치는, 예컨대 5개의 발수광장치로 이루어져 독출부의 광축을 횡단함으로써 높이위치의 정보를 얻고, 웨이퍼 검출부로부터의 광검출신호의 조합에 기초하여 각 단의 웨이퍼의 유무를 인식한다. 이 때문에, 캐리어의 각 단의 반도체 웨이퍼의 유무를 빠르고 정확하게 검출할 수 있고, 검출의 도중에서 승강스테이지가 정지하여 검출이 중지된 경우에도, 캐리어를 그 초기 위치까지 되돌리지 않고 정지위치에서 검출을 재개하는 것이 가능하게 된다.

Description

반도체 제조장치에서의 피이재체의 검출장치

[산업상의 이용분야]

본 발명은, 반도체 제조장치용의 피이재체의 검출장치에 관한 것이다.

[종래의 기술 및 그 문제점]

반도체 제조장치에 있어서는, 반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼라 칭함)는 처리 스테이션에서 이동되고, 예컨대 개구된 그 상단과 하단 및 다수의 슬롯[유지홈(holding groove)]을 갖는 테플론의 용기(통상, 웨이퍼 캐리어 또는 웨이퍼 카세트라 칭함)에 격납된다. 그리고 처리 스테이션에서는, 예컨대 25매의 웨이퍼가 수납된 용기가 캐리어 보트로 반입되고, 이 위치에서, 또는 다른 장소로 이동된 후, 케리어내에 수납된 웨이퍼가 웨이퍼 이재수단(이재로봇)에 의해 소정의 장소 예컨대 웨이퍼보트나 로드록실(load-lock chamber) 등으로 이재된다.

이러한 웨이퍼의 이재는, 캐리어를 세운 상태에서, 즉 웨이퍼가 상하로 배열된 상태에서 이재수단의 포크를 캐리어의 전면 개구부로부터 슬롯내로 삽입하고, 웨이퍼를 떠을림으로써 행해진다. 이 경우, 캐리어 내의 각 단(각 슬롯)에서의 웨이퍼의 유무를 검지할(소위 매핑(mapping)을 행할) 필요가 있다. 즉, 웨이퍼는 항상 일정의 매수가 일정의 순서로 캐리어 내에 수납되어 처리 스테이션으로 반송되어 오는 것으로는 한정되지 않는다. 앞 단계의 처리 스테이션에서 사고가 일어난 경우나, 앞 단계의 처리의 검사를 행하기 위해 테스트용의 웨이퍼를 캐리어로부터골라 내는 경우 등이 있다. 이와 같이 캐리어내에 웨이퍼의 누락이 있을 때에는, 시스템의 콘트롤러 측에서 몇 단째에 웨이퍼가 있고, 몇 단째에는 웨이퍼가 없다고 하는 정보를 파악하여 웨이퍼 이재수단에 명령을 내릴 필요가 있다.

종래 캐리어내에서의 웨이퍼의 유무를 검출하는 방법으로서는, 예컨대 제10도에 나타낸 바와 같이 승강 스테이지(1)에 탑재되는 캐리어(C)를 전후방에 끼우도록 발광소자(11)와 수광소자(12)를 설치하고, 펄스모터(M)에 의해 구동되는 볼 스크류 기구(13)에 의해 승강 스테이지(1)를 승강시켜 캐리어(C)내의 최상단으로부터 최하단까지 광축(L)에 의해 상하방향으로 웨이퍼(W)를 스캔한다. 볼 스크류 기구(13)를 구동하는 펄스모터에 설치된 인코터로부터의 펄스량과, 수광소자(12)로부터의 온/오프 신호를 제어부(14)에 공급하여 상기 펄스량에 기초하여 광축(L)을 횡단하는 슬롯번호를 알아 내고, 이렇게 하여 캐리어(C)의 각 슬롯의 웨이퍼의 유무를 검출하도록 하고 있었다.

이러한 종래의 검출방법에서는, 볼 스크류 기구(13)의 이송량에 기초하여, 즉 인코더의 펄스량에 기초하여 캐리어(C)의 높이위치정보를 알아 내고 있으므로, 소프트웨어에 의한 연산을 필요로 한다. 이 때문에, 처리에 시간이 걸려 처리능력의 저하의 한 요인으로 되고 있었다. 또, 사용하는 콘트롤러의 형태에 따라 처리속도가 다르고, 설계의 자유도가 낮다고 하는 문제도 있었다. 그리고 또, 매칭의 도중에서 전원이 끊어져 모터(M)가 정지해 버리면, 캐리어(C)를 초기 위치까지 되돌리고 나서 다시 시작하지 않으면 안되는 바, 이 점으로부터도 처리능력의 향상의 방해로 되고 있었다.

[발명의 목적]

본 발명은 상기한 점을 감안하여 발명된 것으로, 캐리어 등과 같은 용기내의 각 단에서의 피이재체의 유무를 고속으로 검출할 수 있고, 게다가 매핑의 도중에서 모터가 정지해도 빨리 매핑을 재개할 수 있는 피이재체를 검출하기 위한 장치(웨이퍼 계수장치)를 제공함에 그 목적이 있다.

제1도는 본 발명의 실시예에 따른 피이재체의 웨이퍼 계수장치를 갖춘 반도체 제조장치로서 종형 열처리장치를 나타낸 사시도,

제2도는 제1도의 웨이퍼 계수장치를 나타낸 사시도,

제3도는 웨이퍼 입출력 측에서 바라본 본 발명의 웨이퍼 계수장치에 의해 검출된 웨이퍼 캐리어를 나타낸 정면도,

제4도는 웨이퍼 검출장치와 웨이퍼 캐리어의 유지홈(holding groove)에 의해 수납된 웨이퍼의 표면과의 위치관계를 나타낸 설명도,

제5도는 본 발명의 웨이퍼 계수장치의 주요부를 나타낸 정면도,

제6도는 본 발명의 웨이퍼 계수장치의 표시부와 독출수단을 나타낸 도면,

제7도는 본 발명의 웨이퍼 계수장치의 표시부와 독출수단에 의해 출력된 코드의 관계를 나타낸 설명도,

제8도(A)∼제8도(C)는 본 발명의 웨이퍼 계수장치의 실시예의 동작을 나타낸 설명도,

제9도는 웨이퍼 캐리어내에서의 웨이퍼의 수납상태를 설명하는 웨이퍼 캐리어의 종단면도,

제10도는 종래의 웨이퍼 계수장치를 나타낸 개략 사시도이다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 피이재체를 검출하기 위한 장치는, 판모양의 피이재체를 상하방향으로 간격을 두고 수용하는 용기에 대하여, 승강부에 의해 피이재체의 검출부를 상대적으로 승강시키고, 상기 검출부에 의해 용기 내에서의 각 단의 피이재체의 유무를 검출하는 피이재체의 검출장치에 있어서, 상기 승강부에 설치되고 높이방향으로 다른 광검출능력을 갖는 광학적 요소가 서로 상하방향으로 배열된 표시부와, 이 표시부의 승강로를 횡단하도록 광측이 형성되고 상기 표시부의 광학적 요소의 광검출량을 독출하기 위한 독출수단을 구비하여 구성되고, 상기 표시부는 상기 독출수단에 의해 독출된 표시가 상기 검출부의 검출영역에서의 용기의 높이위치를 표시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 본 발명에 따른 피이재체를 검출하기 위한 장치는, 판모양의 피이재체를 상하방향으로 간격을 두고 수용하는 용기에 대하여, 승강부에 의해 피이재체의 검출부를 상대적으로 승강시키고, 상기 검출부에 의해 용기내에서의 각 단의 피이재체의 유무를 검출하는 피이재체의 검출장치에 있어서,

상기 승강부에 설치된 독출수단과,

이 독출수단에 의해 광학적 요소의 광검출량이 독출되도록 그 독출수단의 광축의 승강로상에 배치되고, 높이방향으로 다른 광검출능력을 갖는 광학적 요소가 서로 상하방향으로 배열된 표시부을 구비하여 구성되고,

상기 표시부는, 상기 독출수단에 의해 독출된 표시가 상기 검출부의 검출영역에서의 용기의 높이위치를 표시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 독출수단이 높이방향으로 배열된 복수의 발수광부로 구성되고, 표시부가 투광부와 비투광부의 조합으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또 본 발명은, 표시부가 반사부와 비반사부(non-reflecting portion)의 조합으로 구성된 것을 특징으로 한다.

(작용)

본 발명에 따른 피이재체를 검출하기 위한 장치에 있어서는, 피이재체의 검출부가 정지하고, 용기가 승강하는 경우를 예로 들면, 용기의 승강에 의해 독출수단의 광축상의 표시부의 광학적 요소가 변화하지만, 광학적 요소를 독출함으로써 검출부의 검출영역에 위치하는 용기의 높이위치정보를 알 수 있다. 예컨대, 검출부가 광센서인 경우, 이 광센서의 광축상에 용기의 제1단째가 위치하고 있다고 하면, 독출수단의 광축상의 표시부의 광학적 요소가 제1단째인 표시에 상당하는 것으로 된다. 예컨대 독출수단이 높이방향으로 배열된 복수의 발수광부라고 하면, 이들 발수광부로부터 출력되는 광검출신호의 온/오프의 조합이 제1단째를 나타내는 코드에상당하는 것으로 된다.

따라서, 본 발명에 따르면, 피이재체의 검출부로부터 피이재체의 유무가 검출된 때에, 그것이 용기내의 몇 단째에 대한 정보인가 하는 것을 하드웨어에 의해 파악할 수 있다. 이 때문에, 처리속도가 빠르고, 검출의 도중에서 전원이 끊어져도 용기를 초기 위치로 되돌리지 않고 정지위치에서 검출을 재개할 수 있다.

(실시예)

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 피이재체를 검출하기 위한 장치를 종형 열처리장치의 입출력포트에 설치한 실시예에 대해 설명한다. 우선, 제1도에 기초하여 본 발명의 종형 열처리장치의 전체 구성에 대해 간단히 설명한다. 참조부호 2는 예컨대 25매의 웨이퍼를 수용하는 용기인 캐리어(C)의 입출력포트를 나타낸다. 이 입출력포트(2)는 도시하지 않은 AGV(Automated-Guided Vehicle: 자동 반송로봇)와의 사이에서 웨이퍼 캐리어(C)의 주고 받음(受渡)을 행하는 예컨대 2개의 이재포트(21)를 그 상부에 갖추고 있다.

그리고 입출력포트(2)로부터 종형 열처리장치로 반입된 캐리어(C)는 X, θ, Z방향으로 이동이 자유로운 캐리어 이재기구(22)에 의해 예컨대 캐리어 수납붕(carrier storage shelf; 23)을 매개로 웨이퍼 이재스테이지(24)로 이재된다. 웨이퍼 이재스테이지(24)상의 캐리어(C) 내의 웨이퍼가 X, θ 방향으로 이동이 자유로운 웨이퍼 이재기구(25)에 의해 웨이퍼 보트(26)로 이재된다. 웨이퍼 보트(26)는 열처리를 위해 열처리로(27) 내로 도입되도록 보트 엘리베이터(도시하지 않음)에 의해 상승된다.

여기서 본 발명의 실시예에 따른 피이재체를 검출하기 위한 장치, 예컨대 웨이퍼 검출장치는, 제2도에 나타낸 바와 같이 상기 입출력포트(2)에 짜 맞추어져 있다 이 입출력포트(2)의 상단 판(32A)에 이재포트(21)가 형성되고, 상자모양의 커버(30)가 상단 판(32A) 상에 위치되어 갈고랑이(도시하지 않음)에 의해 고정되어 있다. 커버(30)의 근방에는 도시하지 않은 AGV가 설치되어 있다. 이 커버(30)는 이재포트(21)와 연통하도록 하면에 형성된 개구부와, AGV 본체로부터 캐리어(C)가 반송되도록 제2도중 안쪽의 면에 형성된 개구부(30B)를 갖추고 있다. 또 입출력포트(2)는, 커버(30)에 의해 둘러싸이고 외부덮개(outer lid; 30C) 상에 배치된 수도실(受渡室; 31)의 아래쪽에, 장치내의 캐리어 이재기구(22)와의 사이에서 캐리어(C)의 주고 받음이 행해지는 이재실(32)를 갖추고 있다.

상기 이재실(32) 내에는 도시하지 않은 승강기구에 의해 가이드(볼 스크류; 33A)에 안내되면서 캐리어(C)를 수도실(31)과 이재실(32)의 사이에서 승강시키기 위한 승강스테이지(33)와, 이 승강스테이지(33)에 의해 강하하여 캐리어(C)를 수취하여 유지하는 4개의 유지아암(34; 1개는 제2도의 캐리어에 의해 숨겨져 보이지 않음)이 설치되어 있다. 유지아암(34)은 에어실린더(34A)에 의해 화살표 방향으로 주고 받는 선반(34B)에 의해 회전되는 피니언(34C)에 의해 나타낸 바와 같이 전후방향으로 회전하고, 승강스테이지(33)가 캐리어(C)를 싣고 이재실내로 강하한 때에 제2도와 같이 닫힌 상태(전후에 배열된 2개의 유지아암(34)이 평행하게 된 상태)로 되어 캐리어(C)를 수취하게 된다. 유지아암(34)은 이재실(32)의 하단 판(32B) 상에서 회전된다.

제2도 및 제3도에 나타낸 바와 같이, 캐리어(C)가 그 한쪽 면 상에 놓인 때(웨이퍼가 수평으로 놓인 때)에는, 전면 및 후면이 개구되고, 웨이퍼(W)는 전면(제2도의 로(爐)의 측면)측으로부터 캐리어(C)의 안과 밖으로 반입, 반출된다. 캐리어(C)의 양측면의 내측에는, 웨이퍼의 둘레부를 유지하도록 통상 슬롯이라 불리우고 있는 유지홈(holding groove; 40)이 예컨대 25단 형성되어 있다. 상기 이재실(32)의 상단부에는, 캐리어(C) 내의 각 단의 웨이퍼(W)의 유무를 검출하기 위한 웨이퍼 검출부(5)가 설치되어 있다.

이 웨이퍼 검출부(5)는, 캐리어(C)의 승강로의 전방측에 서로 대향하여 배설된 2개의 발광부(51, 52)와, 상기 숭강로의 후방측에 서로 대향하여 배설된 2개의 수광부(53, 54)를 갖추고 있다. 발광부 및 수광부로 이루어진 센서의 2조(51, 52; 53, 54)는 각 광축(a, b)이 승강스테이지(33) 상의 캐리어(C)의 전후의 개구부를 통하여 승강로를 횡단하도록, 또 예컨대 캐리어(C)의 중심으로부터 좌우로 각각 예컨대 45mm씩 떨어지도록(즉 각 광축은 좌우방향으로 90mm 떨어져 있다) 배치되어 있다.

그리고 발광부 51(52) 및 수광부 53(54)의 상하방향의 위치관계에 대해서는, 제 4도에 나타낸 바와 같이 캐리어(C)를 승강스테이지(33)에 둔 때에 캐리어(C) 내의 좌우의 대응하는 슬롯의 중심 사이를 연결하는 면(S; 즉, 슬롯에 정상적으로 유지된 경우의 웨이퍼(W)의 면)에 대해 θ 만큼 광축 a(b)가 기울어지도록 설정되어 있고, 그 기울기는 예컨대 발광부 51(52)의 발광면의 중심과 수광부 53(54)의 수광면의 중심과의 높이방향의 거리가 3mm로 된다.

상기 승강스테이지(33)의 하면의 둘레 부근에는, 제5도 및 제6도에 나타낸 바와 같이 캐리어(θ)의 높이위치를 표시하는 띠모양의 판재(板材)로 이루어진 표시부(차광판; 6)(제2도에서는 나타내고 있지 않음)가 수직으로 설치되어 있다. 한편, 이재실내에는 제6도에 나타낸 바와 같이 예컨대 발광부 및 수광부를 조합시킨 5개의 발수광부(71∼75)를 상하로 배열하여 이루어진 독출수단(7)이 설치되어 있다. 이 독출수단(7)은 각 발수광부(71∼75)의 광축(M)이 표시부(6)의 승강로를 횡단하도록 구성되어 있다.

즉, 독출수단(7)에는 표시부(6)가 통과할 수 있도록 홈부(76)가 형성되어 있고, 이 홈부(76)내에 광축(M)이 형성되어 있다. 제5도에서는, 편의상 표시부(6)와 독출수단(7)은 서로 분리하여 나타내고 있다.

제5도 및 제6도에 나타낸 바와 같이, 상기 표시부(6)의 한쪽에는 측부로부터 직사각형으로 잘린 홈부(61)가 간격을 두고 복수개 형성되어 있다. 각 투광부(홈부; 61)의 상하부분의 잘려지지 않고 남아 있는 부분이 비투광부(62)를 형성하고 있다.

제7도는 이 표시부(6)의 구체적인 일례를 나타내고 있다.

투광부(61) 및 비투광부(62) 각각의 상하의 길이는 상기 발광부 각각의 상하의 길이(1피치, 예컨대 스페이서가 개재되는 6.35mm)의 정수배이다. 투광부(61)가 독출수단(7)의 광축(M)을 횡단하는 위치에 있을 때에는, 발수광부의 수광부가 수광하므로 수광신호가 온으로 되고, 비투광부(62)가 광축(M)을 횡단하는 위치에 있을때에는, 수광부가 수광하지 않으므로 수광신호가 오프로 된다.

따라서, 표시부(6)의 높이위치에 따라 각 발수광부(71∼75)로부터의 광검출신호의 온/오프의 조합이 결정되게 된다. 예컨대, 제7도는 독출수단(7)에 대한 표시부(6)의 높이위치와, 독출수단(7)의 각 발수광부(71∼75; 틀내의 1∼5에 상당한다)로부터의 광검출신호의 조합을 대응시켜 나타낸 도면으로, "0"은 오프(OFF)이고, "1"은 온(ON)이다.

이 예에서는, 캐리어(C)의 0단째의 유지홈 즉 캐리어(C)의 하단 판이 웨이퍼 검 출부(5)의 광축 a(b)의 위에 있을 때, 표시부(6)의 하단부의 비투광부(62)가 독출수단(7)의 모든 광축을 차단하는 위치로 되도록 배열된다. 또, 캐리어(C)의 각 유지홈(40)이 웨이퍼 검출부(5)의 광축 a(b)과 동일 레벨에 위치할 때, 그 유지홈(40)의 번호(위에서부터 몇 번째인가 하는 번호; n)와, 발수광부(71∼75)로부터의 광검출신호의 "1", "0"의 조합코드가 대응하도록 표시부(6)의 투광부(61)와 비투광부(62)의 배열이 설정되어 있다.

예컨대, 캐리어(C)의 아래로부터 1번째의 유지홈(40)이 상기 웨이퍼 검출부의 광축 a(b)와 동일 레벨에 위치할 때에는, 제7도에 나타낸 바와 같이 상기 코드는(10000)으로 되고, 25번째의 유지홈(40)에 대해서는 (01101)로 된다. 다만 이 실시예에서는, 캐리어(C)의 상단 판이 상기 광축 a(b)와 동일 레벨로 된 때에도 검출할 수 있도록, 이 상단 판의 위치에 상당하는 가상적인 30번째의 유지홈에 대해서도 식별코드 (00001)이 출력되도록 표시부(6)가 구성되어 있다.

한편, 제5도에 나타낸 바와 같이, 이 실시예에 따른 웨이퍼의 검출장치는 웨이퍼(W)의 유무를 검출하기 위한 상기 수광부 53(54)으로부터의 신호 및 독출수단(7)으로부터의 신호를 수취하는 제어부(70)를 갖추고 있다. 이 제어부(70)는 독출수단(7)으로부터의 신호에 기초하여 캐리어(C)의 높이위치를 알아 내고, 웨이퍼 검출부(5)로부터의 신호에 기초하여 웨이퍼(W)의 유무를 검출한다. 이에 따라, 캐리어(C)내의 각 단의 웨이퍼(W)의 유무를 파악하는 즉 매핑(mapping)을 행하는 기능을 가지고 있다.

또, 제2도에 나타낸 바와 같이 상기 이재실(32)의 상부에는 캐리어(C)의 정면 개구부의 승강로에 맞서는 위치에 광축이 위치하도록 좌우에 각각 발광부(35) 및 수광부(36)가 설치되어 있고, 이재실(32)의 상부 및 하부에는 캐리어(C)의 정면 개구부의 승강로에 맞서는 위치에 광축이 위치하도록 좌우에 각각 발광부(37) 및 수광부(38)가 설치되어 있다. 상기 발광부(35) 및 수광부(36)는 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 반출을 검출하는 센서이고, 상기 발광부(37) 및 수광부(38)는 웨이퍼(W)의 오리엔테이션 플랫(orientation flat)이 전방측(로(爐) 측)에 위치하고 있는가 아닌가를 검출하는 센서이다.

다음에는 상기 실시예의 작용에 대해 설명한다. 내부가 불활성 가스로 퍼지된 자동 반송로봇(AGH; 도시하지 않음)이 상술한 열처리장치의 입출력포트(2)에 도착하고, 자동 반송로봇측으로부터 웨이퍼(W)를 수용한 캐리어(C)가 수도실(31)내로 반입된 것으로 한다. 이 때, 승강스테이지(33)는 제5도에 나타낸 바와 같이 상한 위치에 있고, 계속해서 강하한다. 캐리어(C)의 저면(가상적인 0번째의 유지홈)이 웨이퍼 검출부(5)의 광축 a(b)와 동일 레벨로 된 때에 제8도(A)에 나타낸 바와 같이(제7도 참조), 독출수단(7)의 각 발수광부(71∼75)의 검출신호가 오프, 즉 독출수단(7)의 출력코드가 (00000)으로 되고, 이에 따라 제어부(70)는 독출수단(7)으로부터의 광검출신호를 수신하도록 세트된다.

캐리어(C)를 내리도록 승강스테이지가 더 강하하여 캐리어(C)내의 1번째의 유지홈(40)이 광축 a(b)와 동일 레벨로 되면, 독출수단(7)의 출력코드가 (10000)으로 된다. 이 코드에 기초하여, 제어부(70)는 웨이퍼 검출부(5)의 검출영역에 1번째의 유지홈(40)이 위치하고 있음을 인식함과 더불어, 웨이퍼 검출부(5)에 의해 출력된 광검출신호에 기초하여 웨이퍼(W)의 유무를 인식하고, 예컨대 도시하지 않은 메모리에 유지홈(40)의 번호와 웨이퍼(W)의 유무를 대응시켜 데이터를 기록한다. 이렇게 하여, 승강스테이지(33)의 강하에 따라, 캐리어(C)내의 1번째로부터 25번째까지의 유지홈(40)에서의 웨이퍼(W)의 유무가 검출된다.

그리고 캐리어(C)가 강하하여 가상적인 30번째의 유지홈이 광축 a(b)의 위에 위치하면, 이 가상적인 30번째의 유지홈이 있는 위치가 캐리어(C)의 상단 판(CL)에 상당하므로 웨이퍼 검출부(5)의 출력 광검출신호는 오프로 된다. 이와 같이 30번째의 유지홈을 검출하는 이유는, 가령 캐리어(C)내에 웨이퍼(W)가 1매도 수용되어 있지 않다고 하면, 캐리어(C)가 존재하는가 아닌가를 인식할 수 없게 되어 버리기 때문이다. 캐리어(C)의 존재는 캐리어(C)의 상단 판(CL)을 검출함으로써 인식되는 것이다. 캐리어(C)가 더 강하하여 광축 a(b)의 위에 가상적인 31번째의 유지홈(40; 상단 판(CL)보다도 더 위의 공간)이 위치하면, 독출수단(7)으로부터의 출력코드는 (00000)으로 되고, 제어부(70) 측에서는 웨이퍼(W)의 검출을 종료한다. 그후, 승강스테이지(33)가 하한위치(제5도에 점선으로 나타냄)까지 강하하고, 캐리어(C)는 캐리어 이재기구(22)에 의해 종형 열처리장치 본체내로 반입되게 된다.

여기서, 캐리어(C)의 1번째로부터 25번째까지의 유지홈(40)이 광축 a(b)를 통과하는데 10초 걸리도록 승강스테이지(33)의 속도가 설정되어 있는 것으로 하면, 웨이퍼 검출부(5)의 출력 광검출신호는 예컨대 0.2초마다 독출된다. 이와 같이 하면, 예컨대 제9도에 있어서 5번째의 유지홈(40)의 경우와 같이 동일한 유지홈 내에 2매의 웨이퍼가 겹쳐서 유지되어 있는 경우에도, 웨이퍼 검출부(5)로부터의 오프 광검출신호가 연속하여 취입되기 때문에, 그 상태를 제어부(70)측에서 파악할 수 있다. 또, 웨이퍼 검출부(5)는 발광부 및 수광부의 조합으로 이루어진 센서를 2조(51, 53; 52, 54) 각각 좌우에 설치하여 2개소에서 웨이퍼(W)를 검출하고 있다. 이 때문에, 예컨대 제9도에 있어서 8번째, 9번째의 유지홈(40)의 경우와 같이 웨이퍼(W)가 다른 단의 유지홈(40)에 걸쳐서 유지되어 있을 때라도, 웨이퍼 검출부(5)의 한쪽의 센서가 온, 다른쪽의 센서가 오프로 되므로, 이 상태를 제어부(70) 측에서 정확하게 파악할 수 있다.

상술한 실시예에 따르면, 캐리어(C)의 높이정보위치, 즉 웨이퍼 검출부(5)의 광축 a(b)의 위에 캐리어(C)의 몇 번째의 유지홈(40)이 위치하고 있는가 하는 정보를 승강스테이지(33)와 더불어 승강하는 표시부(6)로부터 얻어지는 신호에 기초하여 파악하여, 말하자면 하드웨어적으로 알 수 있다. 따라서, 캐리어(C)의 매핑의 도중에서 전원이 끊어지는 등의 문제에 의해 캐리어(C)가 정지해도, 그때의 캐리어(C)의 높이위치정보는 표시부(6)로부터 직접 독출되므로, 캐리어(C)를 초기위치까지 되돌리지 않고 정지위치에서 매핑을 재개할 수 있다. 또, 종래와 같이 인코더를 이용하여 펄스수를 카운트하고, 소프트웨어 연산에 의해 높이위치정보를 알아내는 경우에 비해 처리속도를 빠르게 할 수 있다. 또, 콘트롤러의 기종에 관계없이 처리속도가 처의 변화하지 않기 때문에 콘트롤러의 선택의 자유도가 넓고, 설계를 행하기 쉽다. 또, 길이가 긴 표시부(6)와, 상하로 배열된 발수광부(71∼75)를 부설하는 구조이기 때문에, 스페이스의 절약이 가능하다.

본 발명에 있어서, 웨이퍼 검출부(5)로서는 반사형의 센서나 초음파 센서를 이용해도 좋다. 또, 독출수단으로서는 반사형 센서를 이용함과 더불어, 표시부(6)로서는 반사부와 비반사부를 조합시키도록 해도 좋다. 더 나아가서, 표시부(6)로서는 유지홈의 번호를 표시하는 바코드를 각 높이위치마다 형성하는 것이어도 좋다. 더욱이 또, 독출수단(7)은 5개의 발수광부를 조합시키는 것에 한정되지 않고, 그보다 많은 발수광부를 조합시킴과 더불어, 이에 대응하여 표시부를 형성하고, 인식할 수 있는 캐리어(C)의 높이위치정보의 수를 늘려도 좋다.

그리고 또, 본 발명에 있어서는, 표시부를 이재실 측에 한정하여 정지시켜 두고, 독출수단을 승강스테이지에 설치하도록 해도 좋다. 또한, 캐리어(C)를 정지시켜 두고, 승강스테이지에 웨이퍼 검출부를 설치하여 웨이퍼 검출부 측을 승강시키도록 해도 좋다. 이 경우에는, 예컨대 표시부를 승강스테이지에 설치해 두면 좋다. 또한, 본 발명은 용기에 상당하는 유지홈에 액정패널용의 글래스기판을 상하로 배열한 경우에, 이 글래스기판의 운무를 검출하기 위해 적용해도 좋다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 용기내의 각 단의 피이재체(웨이퍼)의 유무를 빠른 속도로 검출할 수 있고, 또 매핑의 도중에서 전원이 끊어진 상태라고 해도 그후 곧바로 매핑을 정지위치에서 재개할 수 있으므로, 그 결과로서 처리능력의 향상이 도모된다.

Claims

승강부에 의해 상하로 이동가능함과 더불어 피이재체를 상하방향으로 간격을 두고 서로 6.35mm의 동일한 상하길이를 갖는 각각의 웨이퍼 유지홈에 수용하는 웨이퍼 캐리어내에 수용되고, 종형 열처리장치로 이재되는 피이재체를 검출하기 위한 장치에 있어서,

서로 다른 광검출능력을 가지고 서로 상하방향으로 배열된 광학적 요소, 투광부와 비투광부의 조합 및 승강로를 형성하는 수단을 포함하고서, 상기 승강부에 위치한 웨이퍼 캐리어의 높이위치를 표시하는 표시부와,

상기 표시부의 승강로를 횡단하는 광축이 형성되고, 6.35mm의 동일한 상하길이를 가지고 상하방향으로 배열된 5개의 발광부와 5개의 수광부를 포함하고서, 상기 표시부의 상기 광학적 요소에 의한 표시를 독출하는 독출수단을 구비하여 구성되고,

상기 투광부 및 비투광부의 상하의 길이가 상기 발광부 각각의 상하의 길이의 정수배이고, 상기 독출수단에 의해 독출된 상기 표시부의 표시가 상기 검출장치의 검출영역에서의 웨이퍼 캐리어의 높이위치를 표시하는 것을 특징으로 하는 피이재체의 검출장치.
제1항에 있어서, 상기 투광부가 직사각형의 홈부이고, 상기 비투광부가 상기 각 홈부의 상하의 잘려지지 않은 부분인 것을 특징으로 하는 피이재체의 검출장치.