JPH113927A - 基板処理装置及びカセット内の基板検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウエハの搬送容器として、蓋体が付い
たクローズ型カセットを用い、このクローズ型カセット
を例えば縦型熱処理装置内に搬入して、蓋体を開いてカ
セット内からウエハを取り出して熱処理するにあたり、
効率よく円滑な運転をすることができるようにする。 【解決手段】 カセット２０は、搬入出ステージを通っ
てカセット収納棚に一時的に収納され、ここからウエハ
受け渡し用の保持台に移載されて蓋体が開かれ、ウエハ
が取り出される。搬入出ステージ２に光センサ５を設け
る一方、カセット２０における光センサ５の光軸の通る
中央部分７は、光透過性材料で作りかつ外面を平坦面に
形成し、更にウエハ保持用の棚２２が存在しないように
（つまり棚２２の中央部が切り欠かれた状態）し、カセ
ット２０内を光が通ったときの光の屈折をできるだけ少
なくしてウエハの検出を容易にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウエ
ハなどの基板を蓋体付きの密閉型カセットに収納した場
合の基板処理装置及びカセット内の基板検出装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ（以下ウエハという）に対
して行われる熱処理としては例えば酸化処理、ドーパン
トの拡散、アニールあるいはＣＶＤなどが挙げられ、こ
のような熱処理をバッチ式で行う装置として縦型熱処理
装置が知られている。

【０００３】従来の縦型熱処理装置の一例を図９を参照
しながら説明する。この装置は、装置本体１０の前面側
に外部との間の入出力ポートをなす搬入出ステージ１が
配置されている。先ずウエハを２５枚縦置きに収納した
カセットＣを搬入出ステージ１に載置し、図示しない横
倒し機構によりカセットＣを横に倒す。次いでこのカセ
ットＣをカセット移載機１１により通常ストッカと呼ば
れているカセット収納棚１２に一旦移載し、このカセッ
ト収納棚１２からカセットＣをカセット移載機１１によ
りウエハ受け渡し部１３に移載する。その後ウエハ移載
機１４が当該カセットＣ内のウエハをウエハボート１５
に順次移載し、ウエハボート１５には多数枚のウエハが
棚状に配列される。しかる後ウエハボート１５がボート
エレベータ１６により上昇して縦型の熱処理炉１７内に
ロードされる。１８は熱処理炉１７の下方側を閉じる蓋
体である。

【０００４】ところでこのような縦型熱処理装置では、
熱処理炉１７の下方側を含むウエハの移載領域（以下
「ローディングエリア」という）を囲ってロードロック
室とし、このローディングエリアを例えば窒素ガスでパ
ージすることによりウエハにおける自然酸化膜の発生や
熱処理炉１７内への大気の巻き込みを防止することも検
討されている。

【０００５】一方、ウエハのパーティクル汚染を抑える
ために従来のオープン型カセットに対して、密閉型のカ
セット（以下「クローズ型カセット」という）が検討さ
れている（月刊Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｗｏｒｌ
ｄ １９９７年１月号等参照）。このクローズ型カセッ
トはウエハを例えば１３枚収納するカセット本体と、こ
のカセット本体のウエハ取り出し口を気密に塞ぐための
蓋体とを備えており、カセット内部は例えば窒素ガスに
よりパージされている。

【０００６】クローズ型カセットを用いる場合には、カ
セット収納棚から運ばれたカセットは、ローディングエ
リアの壁の外側に設けられたウエハ受け渡し用の保持台
に載置される。この壁には常時は扉で閉じられている開
口部が形成されており、カセットが開口部に装着される
と扉と共に蓋体が開かれ、カセットの内部がローディン
グエリア内に開放され、このカセット内のウエハが取り
出されることになる。このような装置は、ウエハへのパ
ーティクル汚染及び自然酸化膜の生成を抑えることがで
き、パターンの微細化、高集積化に対応することができ
る装置として有効なものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】カセット収納棚からカ
セットを保持台に移載するにあたっては、ウエハボート
におけるウエハの最大搭載枚数が決まっているので、カ
セット内のウエハの収納枚数に応じてカセットの組み合
わせを決めるという作業がコントローラにより行われ
る。各カセットに何枚のウエハが収納され、カセット内
のどのスロット（段）にウエハが保持されているかとい
うことは熱処理装置に送られる前に分かっており、その
情報はカセットに設けられたタグに書き込まれる場合も
ある。この場合熱処理装置において各カセットのタグの
情報を読み取ることによりウエハの収納枚数などの情報
を知ることができるが、カセット内のウエハをウエハ移
載機で取り出す前に確認のためにカセット内のウエハの
枚数、収納位置を調べる必要がある。またタグがない場
合にはウエハの枚数、収納位置は必ず調べなければなら
ない。

【０００８】クローズ型カセットは外から内部が見えな
いかあるいは見えにくいので、ローディングエリア内に
反射型光センサを設け、蓋体を開いたカセットの開口部
に対して光センサを上下にスキャンすることによりいわ
ゆるマッピング情報つまりウエハの収納位置、収納枚数
を調べるようにしたシステムの検討が進められている。

【０００９】しかしながらカセットに設けられたタグの
情報と実際のマッピング情報とが常に必ず一致するとは
限らず、例えばウエハ枚数が異なったり、ウエハが無い
といったことが起こることを経験的に把握している。ま
た、タグのない場合はマッピング情報を得なければ移載
が始められない。このようにカセットの蓋体を開いたと
ころ、ウエハの枚数が予定枚数に対して過不足があるこ
とが分かると、１回のバッチ処理に対応するカセットの
組み合わせを変えなければならない場合もあり、その場
合には、マッピングを行ったカセットの蓋体を閉じて当
該カセットをカセット収納棚に戻し、別のカセットを載
置台に移載するといった作業が必要になる。

【００１０】またカセット内のウエハが予定枚数より少
なく、特にウエハが入っていない場合などにおいては、
ストッカに貯えられているウエハの合計枚数が予定して
いたバッチ処理回数に見合う枚数を下回り、このためオ
ペレータが外部からカセットを補充しなければならな
い。このときオペレータが装置から既に離れてしまって
いるとオペレータが戻って補充作業を行うまでの間装置
が止まってしまいスループットが低下するという問題が
ある。

【００１１】本発明は、このような事情の下になされた
ものであり、その目的はクローズ型カセットを用いて基
板を装置内に搬入し、このカセットから基板を取り出し
て所定の処理を行うにあたり、効率よく、円滑に運転す
ることのできる処理装置を提供することにある。

【００１２】本発明の他の目的はクローズ型カセット内
の基板の収納枚数を蓋体を開くことなく確実に検出する
ことのできるクローズ型カセット内の基板検出装置を提
供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、基板
処理装置において、処理すべき基板を収納し、常時は蓋
体によって閉じられている密閉型のカセットを装置内へ
搬入するために一旦載置される搬入ステ−ジと、この搬
入ステ−ジを通って搬入されたカセットが載置され、カ
セットの蓋体が開かれる基板受け渡し用の保持台と、こ
の保持台に載置されたカセット内から基板を取り出す基
板移載機と、この基板移載機によりカセット内から取り
出された基板を処理するための処理部と、前記カセット
が前記搬入ステ−ジに搬入されてから前記保持台にてカ
セットの蓋体が開かれる前までに、カセット内の基板の
収納枚数を検出するための基板検出手段と、を備えたこ
とを特徴とする。

【００１４】請求項２の発明は、基板処理装置におい
て、処理すべき基板を収納し、常時は蓋体によって閉じ
られている密閉型のカセットを装置内へ搬入するために
一旦載置される搬入ステ−ジと、この搬入ステ−ジを通
って搬入されたカセットが一時的に収納されるカセット
収納部と、このカセット収納部から移載されたカセット
が載置され、カセットの蓋体が開かれる基板受け渡し用
の保持台と、前記搬入ステ−ジ、カセット収納部及び基
板受け渡し用の保持台の間でカセットを移載するカセッ
ト移載機と、前記保持台に載置されたカセット内から基
板を取り出す基板移載機と、この基板移載機によりカセ
ット内から取り出された基板を処理するための処理部
と、前記カセットが前記搬入ステ−ジに搬入された後、
前記カセット収納部から取り出される前までに、カセッ
ト内の基板の収納枚数を検出するための基板検出手段
と、を備えたことを特徴とする。

【００１５】請求項３の発明は、請求項１または２記載
の基板処理装置において、基板検出手段は、搬入ステ−
ジに設けられたことを特徴とする。

【００１６】請求項４の発明は、処理すべき基板を収納
し、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセッ
ト内の基板の枚数を検出する装置において、前記カセッ
トが載置される載置台と、この載置台に載置されたカセ
ット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光
部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の
基板の枚数を検出するための光センサと、この光センサ
の光軸を前記載置台に対して相対的に昇降させる昇降部
と、を備え、前記カセットにおける前記光軸が通る部分
は、光透過性の材料で作られかつ外面が平坦面に形成さ
れていることを特徴とする。

【００１７】請求項５の発明は、処理すべき基板の周縁
部を保持するように複数段の棚を備え、常時は蓋体によ
って閉じられている密閉型のカセット内の基板の枚数を
検出する装置において、前記カセットが載置される載置
台と、この載置台に載置されたカセット内に光を照射す
る発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の
透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出す
るための光センサと、この光センサの光軸を前記載置台
に対して相対的に昇降させる昇降部と、を備え、前記カ
セットにおける前記光軸が通る部分は、光透過性の材料
で作られかつ前記棚が存在しないことを特徴とする。

【００１８】請求項６の発明は、処理すべき基板を収納
し、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセッ
ト内の基板の枚数を検出する装置において、前記カセッ
トが載置される載置台と、この載置台に組み合わせて設
けられ、前記カセットの重量を計測してその重量の計測
値に基づきカセット内の基板枚数を求める手段と、を備
えたことを特徴とする。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の基板処理装置を縦
型熱処理装置に適用した実施の形態について説明する。
図１及び図２は夫々本実施の形態に係る縦型熱処理装置
を示す斜視図及び縦断側面図であり、図１では図示の便
宜上装置の外装部や内部の壁部などは省略してある。こ
の熱処理装置は、基板例えばウエハの搬送容器であるカ
セット２０の入出ポートをなす搬入出ステージ２と、カ
セット２０を一時的に収納しておくカセット収納部であ
るカセット収納棚（ストッカ）３と、カセット２０内の
ウエハをウエハボート４１に移載し、ウエハボート４１
を処理部である熱処理炉４０内にローディングするロー
ディングエリア４とを備えている。

【００２０】前記搬入出ステージ２は、カセット２０を
載置するための載置台２１と、この載置台２１を昇降す
るための昇降部２１ａと、前記カセット２０内を光軸が
横切るように設けられた光センサ５とを備えている。こ
の光センサ５は、後で詳述するが、カセット２０の構造
と関連してカセット２０内のウエハの収納枚数及び収納
位置（何段目にウエハが保持されているかという情報）
を光学的に求める、基板検出装置であるウエハ検出装置
の一部を構成するものであり、ここで検出されたカセッ
ト内の情報は、制御部５０に送られる。

【００２１】前記カセット収納棚３は、搬入出ステージ
２の奥側領域の上方に位置しており、カセット移載機３
１により、搬入出ステージ２とカセット収納棚３との間
でカセット２０が移載される。

【００２２】前記カセット移載機３１は、昇降ガイド３
２に沿って昇降可能な昇降基体３３と、この昇降基体３
３に設けられ、搬入出ステージ２から見て前後に動作可
能な水平多関節アームよりなる移載アーム３４とを備
え、カセット２０を吊り下げて、搬入出ステージ２、カ
セット収納棚３及び後述のウエハ受け渡し用の保持台の
間でカセット２を移載する役割をもつ。

【００２３】前記ローディングエリア４は壁部４２によ
り囲まれて外部に対しては密閉されており、図示しない
ガス供給源及び排気系により例えば窒素ガス雰囲気とさ
れている。ローディングエリア４を囲む、搬入出ステー
ジ２に対向する壁部４２の外側には、例えば２個のカセ
ット２０を上下に２個載置できるようにウエハ受け渡し
用のカセット保持台４３が設けられている。

【００２４】一方図３に示すように前記壁部４２には、
カセット２０が装着されてカセット２０内からウエハＷ
を取り出すための開口部４４が形成されており保持台４
３に置かれたカセット２０はローディングエリア４側に
設けられて開口部４４を塞いでいる扉４５に当接するま
で、図示しないガイドに沿ってカセット移載機３１によ
り押し出される。この例では１個の開口部４４に対して
２段の保持台４３が設けられており、これら保持台４２
は図示しない昇降部により昇降可能で、図４に示すよう
に各保持台４３のカセット２０が、交互に順次開口部４
４に対応するレベルに位置するように構成されている。

【００２５】ここでクローズ型カセット２０の構造及び
カセット２０の蓋体の開閉について述べておく、このカ
セット２０は、図５に示すようにウエハの周縁の一部を
保持するように、両側部に棚２２が多段に設けられたカ
セット本体２３と、このカセット本体２３のウエハの取
り出し口である開口部２４を気密に塞ぐための蓋体２５
とを備えており、例えば１３枚のウエハＷを各々ほぼ水
平に上下に間隔をおいて保持するように構成されてい
る。前記蓋体２５には例えば２か所に鍵穴２６が形成さ
れており、この鍵穴２６にキー２７を挿入して回すこと
により蓋体２５の上端及び下端から図示しないロックピ
ンが突出して、カセット本体２３に蓋体２５が固定され
るようになっている。

【００２６】前記キー２７は、図示しないキー操作機構
と共に前記扉４５に組み合わせて設けられており、カセ
ット２０が壁部４２の開口部４４に装着されると、キー
２７が鍵穴２６に差し込まれ、キー２７を操作してキー
２７を介して扉４５と共に蓋体２５が開かれる。この動
作は、扉４５が図２に示す扉開閉機構４６によって例え
ばカセット２０に対して後退し、その後下降あるいは水
平な軸のまわりに回動することによって行われる。

【００２７】前記ローディングエリア４内には、カセッ
ト２０とウエハボート４１との間でウエハの移載を行う
ための基板移載機であるウエハ移載機６が設けられてお
り、このウエハ移載機６は、例えばウエハＷを複数枚一
括して移載することができ、また１枚づつの移載もでき
るような複数のアーム６１を備えていて、進退自在、昇
降自在、回転自在に構成されている。前記ウエハボート
４１は例えば多段にウエハ保持溝が形成された複数本の
支柱を備え、多数枚のウエハＷを棚状に保持するように
構成されている。このウエハボート４１はボートエレベ
ータ６２の上昇により熱処理炉４０内に搬入される。

【００２８】ここで前記光センサ５を用いたウエハ検出
装置に関して図６及び図７を参照しながら説明する。こ
の例で用いられるクローズ型カセット２０のカセット本
体２３について、蓋体２５により開閉される開口部を前
面側とすると、左右両側壁の中央部分例えば十数ミリ幅
の帯状部分７（斜線部分）が光透過性の材料例えば透明
プラスチックで構成されると共に、当該中央部分（帯状
部分）７の外面が平坦な面として形成されている。更に
両側壁の中央部分７、７を結ぶ領域には、ウエハ保持用
の棚２２が存在しないように構成する。つまり前記棚２
２は中央部が切り欠かれた状態になっている。

【００２９】そしてカセット２０が載置台２１に置かれ
たときにカセット本体２３の左右の中央部分７、７を結
ぶラインの延長線上となる位置にカセット２０を挟んで
互いに対向する、光センサ５を構成する発光部５１及び
受光部５２が設けられている。一方前記載置台２１は、
図２に示す昇降部２１ａにより昇降し、これにより光セ
ンサ５の光軸Ｌがカセット２０の上端から下端まで走査
され、受光部５２の受光信号に基づいて各段のウエハＷ
の有無を検出することができる。

【００３０】このようにカセット２０を構成すれば、光
軸Ｌ上の移動路におけるカセット２０の外面が平坦面で
あるから発光部５１からカセット２０の壁部内への光が
入射するとき及び壁部から外側へ光が出るときの光の屈
折が少なく、しかも光軸Ｌの移動路上には棚２２が存在
しないので、光の通りが良く、この結果発光部５１から
の光がウエハＷにより遮られるときの受光部５２の受光
信号とウエハにより遮られないときの受光信号とを区別
するスレッシュホールドレベルの設定が容易である。こ
の結果光軸Ｌをカセット２０に対して相対的に上下に移
動させたときに受光部５２の受光信号に基づいてカセッ
ト２０のどの棚２２の上にウエハＷが置かれていて、ど
の棚２２には置かれていないかということを確実に検出
することができ、ウエハＷのマッピング情報つまりウエ
ハＷの収納枚数及び収納位置を検出することができる。

【００３１】また光センサとしては、反射型のセンサを
用い、ウエハＷの周端部での反射光を検出するようにし
てもよい。更にカセット２０については、前記中央部分
７以外も、光透過性の材料で作るようにしてもよい。更
にまた中央部分７の外面は必ずしも平坦面でなくともよ
いし、光軸Ｌ上に棚２２が設けられていてもよい。

【００３２】次に上述の熱処理装置の全体の動作につい
て説明する。先ず外部から例えば２個のカセット２０を
図示しない自動搬送ロボットあるいはオペレータにより
搬入出ステージ２の載置台２１の上に置く。続いてこの
載置台２１が昇降し、光センサ５の信号に基づいて各カ
セット２０内のウエハの収納枚数及び収納位置が検出さ
れ、検出信号が制御部５０に送られる。

【００３３】次いでカセット移載機３１により搬入出ス
テージ２上のカセット２０を一旦カセット収納棚３に収
納する。制御部５０はカセット収納棚３に収納されてい
る各カセット２０内のウエハＷの枚数を既に把握してい
るので、ウエハＷの枚数情報とウエハボート４１におけ
る被処理ウエハＷの最大搭載数とに基づいて、１バッチ
処理のカセット２０の組み合わせを決定し、その組み合
わせに従ってカセット移載機３１がウエハ受け渡し用の
保持台４３にカセット２０を移載する。なお場合によっ
ては搬入出ステージ２上のカセット２０は直接保持台４
３に移載される。

【００３４】壁部４２の開口部４４に対応する位置にあ
る保持台４３に載せられたカセット２０は、前記扉４５
に当接する位置まで押し出され、扉４５側のキー２７と
カセット２０の蓋体２５側の鍵穴２６とが係合し、既述
の如く蓋体２５が開かれる。その後ウエハ移載機６によ
りカセット２０内のウエハＷが取り出され、ウエハボー
ト４１に移載される。このウエハＷの移載は、２段の各
保持台４３上のカセット２０について順次行われる。こ
うしてウエハボート４１上に所定枚数のウエハＷが搭載
されると、ボートエレベータ６２により熱処理炉４０内
にローディングされ、所定の熱処理が行われる。熱処理
終了後は上述の動作とは逆の動作によりウエハＷがカセ
ット２０に戻され、カセット２０は搬入出ステージ２を
介して外部に搬出される。

【００３５】このような実施の形態によれば、ローディ
ングエリア４にてクローズ型カセット２０の蓋体２５を
開ける前に、既に搬入出ステージ２にカセット２０が置
かれたときに各カセット２０内のウエハの枚数及び収納
位置を求め、その情報を制御部５０側で把握しているた
め、例えばカセット２０のタグを通じて、前の工程から
制御部５０に伝えられたウエハ枚数の情報が誤っていた
としても、カセット２０内の実際のウエハ枚数に応じた
シーケンスを組んでカセット２０をウエハ受け渡し用の
保持台４３に移載することができる。このため蓋体２５
を開いたときに予定していたウエハ枚数に対して過不足
が生じ、シーケンスの組み直しや、面倒な蓋体２５の開
閉作業を無駄に行うといったことを回避することができ
る。

【００３６】特にカセット収納棚３にカセット２０を貯
えておいてオペレータが装置から離れる場合、カセット
２０をカセット収納棚３に搬入する前に、予定外の空の
カセット２０の存在やウエハの不足を知ることができる
ので、その時点で対応をとることができ、従ってオペレ
ータが装置から離れた後に、ウエハ枚数の不足により装
置が止まってしまうといった不具合を避けることができ
る。

【００３７】以上において基板検出装置は、図８に示す
ようにカセット２０が載置台２１に置かれたときに重量
計測部８でカセット２０の重量を計測し、その重量計測
値に基づいてカセット２０内のウエハ枚数を求めるよう
にしてもよい。この手法では、カセット２０自体の重量
及びウエハ１枚の重量が予め分かっているため、カセッ
ト２０の総重量を計ることによりカセット２０内にウエ
ハが何枚収納されているかを知ることができる。なお本
発明は、基板検出装置を搬入出ステージに設けることに
限定されるものではなく、クローズ型カセットの蓋を開
ける前であれば、どのタイミングでウエハ枚数を検出す
るようにしてもよい。また本発明は縦型熱処理装置に限
られずスパッタリング装置や洗浄装置など、他のウエハ
処理装置に対しても適用することができる。

【００３８】

【発明の効果】本発明の基板処理装置によれば、クロー
ズ型カセットを用いて基板を装置内に搬入し、このカセ
ットから基板を取り出して所定の処理を行うにあたり、
効率よく円滑に運転することができる。

【００３９】また本発明の基板検出装置によれば、クロ
ーズ型カセット内の基板の枚数を確実にしかも簡単に検
出することができ、例えば本発明の基板処理装置に好適
に用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板処理装置の実施の形態を示す概略
斜視図である。

【図２】上記の実施の形態を示す縦断側面図である。

【図３】上記の実施の形態において、カセットが壁部に
装着される様子を示す斜視図である。

【図４】ウエハ受け渡し台の昇降動作の様子を示す説明
図である。

【図５】クローズ型カセットを開閉するための機構を示
す斜視図である。

【図６】クローズ型カセットの基板枚数を検出する装置
の一例を一部切り欠いて示す斜視図である。

【図７】図５の装置を示す横断平面図である。

【図８】クローズ型カセットの基板枚数を検出する装置
の他の例を示す斜視図である。

【図９】従来の縦型熱処理装置を示す斜視図である。

【符号の説明】

２ 搬入出ステージ ２０ クローズ型カセット ２１ 載置台 ２２ 棚 ２３ カセット本体 ２５ 蓋体 ３ カセット収納棚 ３１ カセット移載機 ４ ローディングエリア ４１ ウエハボート ４２ 壁部 ４３ ウエハ受け渡し用の保持台 ４４ 開口部 ５ 光センサ ５０ 制御部 ６ ウエハ移載機 ７ カセット本体の中央部 ８ 重量計測部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮下 正弘 神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内 (72)発明者 谷川 修 神奈川県津久井郡城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理すべき基板を収納し、常時は蓋体に
   よって閉じられている密閉型のカセットを装置内へ搬入
   するために一旦載置される搬入ステ−ジと、 この搬入ステ−ジを通って搬入されたカセットが載置さ
   れ、カセットの蓋体が開かれる基板受け渡し用の保持台
   と、 この保持台に載置されたカセット内から基板を取り出す
   基板移載機と、 この基板移載機によりカセット内から取り出された基板
   を処理するための処理部と、 前記カセットが前記搬入ステ−ジに搬入されてから前記
   保持台にてカセットの蓋体が開かれる前までに、カセッ
   ト内の基板の収納枚数を検出するための基板検出手段
   と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 処理すべき基板を収納し、常時は蓋体に
   よって閉じられている密閉型のカセットを装置内へ搬入
   するために一旦載置される搬入ステ−ジと、 この搬入ステ−ジを通って搬入されたカセットが一時的
   に収納されるカセット収納部と、 このカセット収納部から移載されたカセットが載置さ
   れ、カセットの蓋体が開かれる基板受け渡し用の保持台
   と、 前記搬入ステ−ジ、カセット収納部及び基板受け渡し用
   の保持台の間でカセットを移載するカセット移載機と、 前記保持台に載置されたカセット内から基板を取り出す
   基板移載機と、 この基板移載機によりカセット内から取り出された基板
   を処理するための処理部と、 前記カセットが前記搬入ステ−ジに搬入された後、前記
   カセット収納部から取り出される前までに、カセット内
   の基板の収納枚数を検出するための基板検出手段と、を
   備えたことを特徴とする基板処理装置。
3. 【請求項３】 基板検出手段は、搬入ステ−ジに設けら
   れたことを特徴とする請求項１または２記載の基板処理
   装置。
4. 【請求項４】 処理すべき基板を収納し、常時は蓋体に
   よって閉じられている密閉型のカセット内の基板の枚数
   を検出する装置において、 前記カセットが載置される載置台と、 この載置台に載置されたカセット内に光を照射する発光
   部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過ま
   たは反射によりカセット内の基板の枚数を検出するため
   の光センサと、 この光センサの光軸を前記載置台に対して相対的に昇降
   させる昇降部と、を備え、 前記カセットにおける前記光軸が通る部分は、光透過性
   の材料で作られかつ外面が平坦面に形成されていること
   を特徴とするカセット内の基板検出装置。
5. 【請求項５】 処理すべき基板の周縁部を保持するよう
   に複数段の棚を備え、常時は蓋体によって閉じられてい
   る密閉型のカセット内の基板の枚数を検出する装置にお
   いて、 前記カセットが載置される載置台と、 この載置台に載置されたカセット内に光を照射する発光
   部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過ま
   たは反射によりカセット内の基板の枚数を検出するため
   の光センサと、 この光センサの光軸を前記載置台に対して相対的に昇降
   させる昇降部と、を備え、 前記カセットにおける前記光軸が通る部分は、光透過性
   の材料で作られかつ前記棚が存在しないことを特徴とす
   るカセット内の基板検出装置。
6. 【請求項６】 処理すべき基板を収納し、常時は蓋体に
   よって閉じられている密閉型のカセット内の基板の枚数
   を検出する装置において、 前記カセットが載置される載置台と、 この載置台に組み合わせて設けられ、前記カセットの重
   量を計測してその重量の計測値に基づきカセット内の基
   板枚数を求める手段と、を備えたことを特徴とするカセ
   ット内の基板検出装置。